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真空加熱器的端頭連接結構的製作方法

2023-06-13 15:51:36 2

專利名稱:真空加熱器的端頭連接結構的製作方法
技術領域:
真空加熱器的端頭連接結構技術領域[0001]本實用新型涉及一種平面磁控濺射鍍膜設備,尤其涉及一種真空加熱器的端頭連接結構。
背景技術:
[0002]現有技術中的真空鍍膜設備通常使用的加熱器分為兩種,一種是用多層「 O 」圈加墊片的方法,以螺母壓緊的方式固定加熱器,通過擠壓「 O 」圈來實現密封效果,但是這種加熱器安裝操作繁瑣,且「O」圈在擠壓過程中易變形,此外,若漏裝「O」圈還會導致漏氣。另一種常用的加熱器,其端頭是法蘭結構,通過法蘭連接固定加熱器這種加熱器主要是加熱絲套管一端與加熱絲進行焊接,另一端與法蘭進行焊接,採用焊接方式進行熔焊以達到密封目的,但加熱絲套管與法蘭壁厚相差大,焊接易出現二次補焊而造成有害空間,出現微裂紋或疏鬆孔而導致漏氣。實用新型內容[0003]本實用新型針對現有技術中的不足,提供一種真空加熱器的端頭連接結構,目的在於使加熱器的安裝操作簡單,降低漏氣率。[0004]為了實現上述目的,本實用新型用的技術方案為[0005]一種真空加熱器的端頭連接結構,包括法蘭、加熱絲套管和加熱絲,所述加熱絲位於加熱絲套管內,所述加熱絲套管位於法蘭內,所述加熱絲套管一端與加熱絲焊接,另一端與法蘭焊接。所述加熱絲套管分為薄壁焊接端和厚壁焊接端,薄壁焊接端與加熱絲焊接,厚壁焊接端與法蘭焊接。所述法蘭為帶頸法蘭,法蘭頸部與法蘭盤垂直。[0006]本實用新型的優點在於加熱器端頭焊接部分有針對性,厚壁焊接區與薄壁焊接區分開,解決了加熱絲套管與法蘭之間因壁厚相差大而不易焊接,以及焊接易出現二次補焊而造成有害空間、出現微裂紋或疏鬆孔而導致漏氣的問題,降低了漏氣率;焊接工藝簡單,焊接部位質量好,生產加熱器的成品一次焊接合格率提高,提高生了產效率,降低了生產成本。


[0007]下面對本實用新型說明書各幅附圖表達的內容及圖中的標記作簡要說明[0008]圖I為背景技術的結構示意圖;[0009]圖2為本實用新型的結構示意圖;[0010]圖3為本實用新型加熱絲套管的放大後的結構示意圖;[0011]上述圖中的標記均為[0012]I、法蘭,2、加熱絲套管,3、加熱絲,201、加熱絲套管薄壁端,202、加熱絲套管厚壁端具體實施方式
[0013]下面對照附圖,通過對最優實施例的描述,對本實用新型的具體實施方式
作進一步詳細的說明。[0014]如圖2所示,真空加熱器的端頭連接結構,法蘭I、加熱絲套管2和加熱絲3,加熱絲3位於加熱絲套管2內,加熱絲套管2位於法蘭I內,加熱絲套管2 —端與加熱絲3焊接, 另一端與法蘭I焊接。[0015]如圖3所所示,加熱絲套管2分為薄壁焊接端201和厚壁焊接[0016]端202,薄壁焊接端201與加熱絲3焊接,厚壁焊接端202與法蘭I焊接。[0017]上面對本實用新型進行了示例性描述,顯然本實用新型具體實現並不受上述方式的限制,不論是在其形狀或者結構上做任何變化,只要採用了本實用新型的方法構思和技術方案進行的各種非實質性的改進,或未經改進將本實用新型的構思和技術方案直接應用於其它場合的,均在本實用新型的保護範圍之內。
權利要求1.一種真空加熱器端頭連接結構,包括法蘭(I)、加熱絲套管(2)和加熱絲(3),所述加熱絲(3 )位於加熱絲套管(2 )內,所述加熱絲套管(2 )位於法蘭(I)內,所述加熱絲套管(2 )一端與加熱絲(3)焊接,另一端與法蘭(I)焊接,其特徵在於,所述加熱絲套管(2)分為薄壁焊接端(201)和厚壁焊接端(202 ),薄壁焊接端(201)與加熱絲(3 )焊接,厚壁焊接端(202 )與法蘭(I)焊接。
2.根據權利要求I所述的真空加熱器的端頭連接結構,其特性在於,所述法蘭(I)為帶頸法蘭,法蘭頸部與法蘭盤垂直。
專利摘要本實用新型公開了一種真空加熱器的端頭連接結構,包括法蘭、加熱絲套管和加熱絲,所述加熱絲位於加熱絲套管內,所述加熱絲套管位於法蘭內,所述加熱絲套管分為薄壁焊接端和厚壁焊接端,薄壁焊接端與加熱絲焊接,厚壁焊接端與法蘭焊接。加熱器端頭焊接部分有針對性,厚壁焊接區與薄壁焊接區分開,焊接工藝簡單,焊接部位質量好,降低了漏氣率,提高生了產效率,降低了生產成本。
文檔編號C23C14/35GK202808932SQ20122044573
公開日2013年3月20日 申請日期2012年9月4日 優先權日2012年9月4日
發明者張兵, 鄭建軍, 王偉, 邵家滿 申請人:蕪湖長信科技股份有限公司

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