去光阻溫度監測裝置的製作方法
2023-06-18 03:34:31 1
專利名稱：去光阻溫度監測裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及集成電路製造領域，特別涉及一種去光阻溫度監測裝置。
背景技術：
由於電子設備的廣泛應用，集成電路的製造工藝得到了飛速的發展，集 成電路的製造流程涉及塗覆光阻、曝光、顯影、蝕刻、去光阻等一系列操作。 其中，去光阻這一操作會使用到一種具有多個託盤的去光阻主機臺，將旋塗有光阻的晶圓放置在託盤上即可由去光阻主機臺來實現去光阻；而且，在去 光阻的過程中，需要將每個晶圓的溫度控制在一定的範圍內。由此，上述去光阻主機臺通常還配有一去光阻溫度監測裝置，以便檢測 每個晶圓周圍的溫度是否超出了預定的範圍、並在超出時報警。圖1為現有技術中去光阻溫度監測裝置的結構示意圖。如圖l所示，以 去光阻主機臺具有N個託盤101、每個託盤101下方分別置有一個溫度傳感 器102為例，去光阻溫度監測裝置103包括具有N路輸入管腳104和N路 輸出管腳106的溫度監測器105、以及與溫度監測器105的N路輸出管腳 106相連的報警器107。其中，N為大於l的正整數，溫度監測器105的N 路輸入管腳104與N個溫度傳感器102——相連，且N路輸入管腳104與 N路輸出管腳106--對應。需要說明的是，上述的N路輸入管腳104與N個溫度傳感器102 —一 相連，是指每一路輸入管腳104與一個溫度傳感器102相連，且每一路輸入 管腳104所連接的溫度傳感器102與其他輸入管腳104均不相同；上述的N 路輸入管腳104與N路輸出管腳106——對應，是指每一路輸入管腳1043與一個輸出管腳106相對應，且每一^各輸入管腳104所對應的輸出管腳106 與其他輸入管腳104均不相同。這樣，每個溫度傳感器102獲取其所在託盤101的溫度，即等效於放 置於該託盤101的晶圓的溫度，並將獲取的晶圓的溫度傳送給溫度監測器 105中與該溫度傳感器102相連的一路輸入管腳104;溫度監測器105判斷 通過N路輸入管腳104輸入的溫度是否在正常範圍內，當任一5各輸入的溫 度不在正常範圍內時，將與該路輸入管腳104對應的輸出管腳106置為有效， 報警器107檢測到任一輸出管腳106有效時立刻產生報警信號以實現報警。可見，雖然當任一晶圓的溫度出現異常時，現有溫度監測裝置中的報警 器均可進行報警，但是現有溫度監測裝置並未明確指示究竟是哪一個或者哪 幾個晶圓的溫度出現異常，從而無法針對出現異常的晶圓的溫度進行實時地 調整。實用新型內容有鑑於此，本實用新型的主要目的在於提供一種去光阻溫度監測裝置，能夠明確指示出溫度異常的晶圓。為達到上述目的，本實用新型的技術方案具體是這樣實現的 去光阻溫度監測裝置，該裝置包括溫度監測器，其中， 所述溫度監測器具有N路輸入管腳，N為正整數，所述N路輸入管腳與去光阻主機臺的N個用於放置晶圓的託盤下方的溫度傳感器——相連；所述溫度監測器具有與所述N路輸入管腳--對應、且在對應輸入管腳接收到表示溫度異常的溫度信號時會被置為有效的N路輸出管腳；每一路輸出管腳還分別連接有一個用於在該路輸出管腳有效時產生提示信號的提示部件，且每一路輸出管腳所連接的提示部件產生的所述提示信號各不相同。所述提示部為不同顏色和/或不同位置的發光二極體LED。 所述提示部件為不同頻率的蜂鳴器。4所述輸出管腳高電平有效，所述LED的輸入端與所述輸出管腳相連、輸出 端接地。所述輸出管腳低電平有效，所述LED的輸入端與所述輸出管腳相連、輸出 端與電源正糹及相連。 所述N為6。該裝置進一步包括與所述N路輸出管腳相連、並在任一路輸出管腳有效 時產生報警信號的報警器。由上述的技術方案可見，本實用新型所提供的去光阻溫度監測裝置中，溫 度監測器的每一路輸出管腳分別連接有一個提示部件，當任一晶圓的溫度不在 正常範圍內時，溫度監測器會將對應的輸出管腳置為有效，從而能夠使得與對 應的輸出管腳相連的提示部件產生提示信號，以明確指示出溫度異常的晶圓， 進而便於針對出現異常的晶圓的溫度進行實時地調整。
圖1為現有技術中去光阻溫度監測裝置的結構示意圖； 圖2為本實用新型所提供的去光阻溫度監測裝置的結構示意圖； 圖3為本實用新型中提示部件的第一較佳實施例的示意圖； 圖4為本實用新型中提示部件的第二較佳實施例的示意圖。
具體實施方式
為使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下參照附圖 並舉實施例，對本實用新型進一步詳細說明。圖2為本實用新型所提供的去光阻溫度監測裝置的結構示意圖，如圖2 所示，仍以去光阻主機臺具有N個託盤101、每個託盤101下方分別置有一 個溫度傳感器102為例，去光阻溫度監測裝置203包括具有N路輸入管 腳104和N路輸出管腳106的溫度監測器105、以及與溫度監測器105的N 路輸出管腳106相連的報警器107。其中，溫度監測器105的N路輸入管腳104與N個溫度傳感器102——相連，且N3各輸入管腳104與N路輸出管 腳106——對應。也就是說，溫度監測器105具有N路輸入管腳104， N路輸入管腳104 與去光阻主機臺的N個用於放置晶圓的託盤101下方的溫度傳感器102 — 一相連；溫度監測器105還具有與N路輸入管腳104——對應、且在對應 輸入管腳104接收到表示溫度異常的溫度信號時會被置為有效的N路輸出 管腳106。需要說明的是，本文所述的N路輸入管腳104與N個溫度傳感器102 ——相連，是指每一路輸入管腳104與一個溫度傳感器102相連，且每一路 輸入管腳104所連接的溫度傳感器102與其他輸入管腳104均不相同；本文 所述的N路輸入管腳104與N路輸出管腳106——對應，是指每一路輸入 管腳104與一個輸出管腳106相對應，且每一i 各輸入管腳104所對應的輸出 管腳106與其他輸入管腳104均不相同。此外，如圖2所示的去光阻溫度監測裝置、203中，溫度監測器105的每 一路輸出管腳106分別連接有一個用於在該路輸出管腳106有效時產生表示 晶圓溫度異常的提示信號的提示部件208，即如圖2所示的去光阻溫度監測 裝置203中還包括N個提示部件208。其中，每一路輸出管腳106所連接的 提示部件208產生的提示信號各不相同，能夠區別於其他提示部件208。這樣，每一路輸入管腳104接收與該路輸入管腳104相連的一個溫度傳 感器102所傳送的託盤101中晶圓的溫度，溫度監測器105判斷每個晶圓的 溫度是否在正常範圍內，若任一晶圓的溫度不在正常範圍內，將用於接收此 晶圓溫度的輸入管腳104對應的輸出管腳106置為表示有效的高電平或低電 平。此時，由於報警器107與N路輸出管腳106相連，因而當報警器107 檢測到任一路輸出管腳106的電平有變化、即變為有效時，立即產生報警信 號以實現報警；同時，由於每一路輸出管腳106分別連接有一個提示部件 208,因而置為表示有效的輸出管腳106能夠使得與其相連的提示部件產生 表示晶圓溫度異常的提示信號。在實際應用中，去光阻主機臺所具有的託盤數量通常為6,相應地，溫度監測器包括6路輸入管腳和6路輸出管腳，且6路輸入管腳與6路輸出管 腳——對應，6個提示部件中的每一個提示部件與溫度監測器的6路輸出管 腳中對應的一路輸出管腳相連，即N可取6;當6路中任一路輸出管腳的電 平有變化時，與該輸出管腳相連的提示部件均可向用戶提示該路輸出管腳電 平的變化。在實際應用中，提示部件208可為不同顏色和/或不同位置的發光二極 管(LED)。也就是"i兌，可選用不同顏色的LED予以區分，但即便選用相 同的顏色，也可通過設置在不同的位置予以區分。提示部件208也可為不同 頻率的蜂鳴器，也就是說，可設置不同的蜂鳴頻率予以區分。另外，可進一 步增加與提示部件208串聯的限流電阻(圖未示出)，用於防止提示部件 208被大電流擊穿。假設提示部件208中包括LED，圖3為本實用新型中提示部件的第一 較佳實施例的示意圖，如圖3所示，對於輸出管腳106為高電平有效，即當 與該路輸出管腳106對應的晶圓出現溫度異常時，該路輸出管腳106被置為 高電平的情況，LED 301的輸入端與輸出管腳106相連，LED301的輸出端 接地，當任一路輸出管腳106被置為高電平時，與該路輸出管腳106相連的 LED 301立即導通發光，提示用戶與該路LED 301對應的晶圓出現溫度異 常；圖4為本實用新型中提示部件的第二較佳實施例的示意圖，如圖4所 示，對於輸出管腳106為低電平有效，即當與該路輸出管腳106對應的晶圓 出現溫度異常時，該路輸出管腳106被置為低電平的情況，LED 302的輸入 端與輸出管腳106相連，LED 302的輸出端與電源正極相連，當任一路輸出 管腳106被置於低電平時，與該路輸出管腳106相連的LED 302立即導通發 光，提示與該路LED 302對應的晶圓出現溫度異常。可見，基於上述去光阻溫度監測裝置，當任一晶圓的溫度不在正常範圍 內時，溫度監測器將用於接收此晶圓溫度的輸入管腳對應的輸出管腳置為高 電平或低電平，與該路輸出管腳相連的提示部件向用戶提示該路輸出管腳的7電平的變化，用戶依據提示部件的提示，識別出N個晶圓中的哪一個或者 哪幾個的溫度出現了異常，從而對該晶圓的溫度進行實時地調整。此外，需要說明的是，本實施例中設置了提示部件208，而提示部件208 所產生的提示信號也可起到報警的作用，因此，去光阻溫度監測裝置中即可 無需設置報警器107。以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，並非用來限定本實用新型 的保護範圍。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換 以及改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。
權利要求1、去光阻溫度監測裝置，該裝置包括溫度監測器，其中，所述溫度監測器具有N路輸入管腳，N為大於1的正整數，所述N路輸入管腳與去光阻主機臺的N個用於放置晶圓的託盤下方的溫度傳感器一一相連；所述溫度監測器具有與所述N路輸入管腳一一對應、且在對應輸入管腳接收到表示溫度異常的溫度信號時會被置為有效的N路輸出管腳；其特徵在於，每一路輸出管腳還分別連接有一個用於在該路輸出管腳有效時產生提示信號的提示部件，且每一路輸出管腳所連接的提示部件產生的所述提示信號各不相同。
2、 根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於，所述提示部件為不同顏色和 /或不同位置的發光二極體LED。
3、 根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於，所述提示部件為不同頻率的 蜂鳴器。
4、 根據權利要求2所述的裝置，其特徵在於，所述輸出管腳高電平有效， 所述LED的輸入端與所述輸出管腳相連、輸出端接地。
5、 根據權利要求2所述的裝置，其特徵在於，所述輸出管腳低電平有效， 所述LED的輸入端與所述輸出管腳相連、輸出端與電源正極相連。
6、 根據權利要求1至5中任一項所述的裝置，其特徵在於，所述N為6。
7、 根據權利要求1至5中任一項所述的裝置，其特徵在於，該裝置進一步 包括與所述N路輸出管腳相連、並在任一路輸出管腳有效時產生報警信號的 報警器。
專利摘要本實用新型公開了一種去光阻溫度監測裝置，該裝置包括溫度監測器，所述溫度監測器具有N路輸入管腳，N為大於1的正整數，所述N路輸入管腳與去光阻主機臺的N個用於放置晶圓的託盤下方的溫度傳感器一一相連；所述溫度監測器具有與所述N路輸入管腳一一對應、且在對應輸入管腳接收到表示溫度異常的溫度信號時會被置為有效的N路輸出管腳；每一路輸出管腳還分別連接有一個用於在該路輸出管腳有效時產生提示信號的提示部件，且每一路輸出管腳所連接的提示部件產生的所述提示信號各不相同。採用該裝置能夠使得與對應的輸出管腳相連的提示部件產生提示信號，以明確指示出溫度異常的晶圓，進而便於針對出現異常的晶圓的溫度進行實時地調整。
文檔編號G03F7/42GK201348720SQ20092006720
公開日2009年11月18日 申請日期2009年1月20日 優先權日2009年1月20日
發明者蔣俊海 申請人:中芯國際集成電路製造(上海)有限公司