一種編碼電機驅動的精確自動升降裝置的製作方法

2023-06-14 08:20:11 1

專利名稱：一種編碼電機驅動的精確自動升降裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種具有自動裝卸片離子注入機，特別是涉及離子注入機內的一種編碼電機驅動的精確自動升降裝置，屬於半導體器件製造領域。
背景技術：
近年來，隨著半導體集成電路技術和晶片技術的發展，半導體集成電路製造技術中，集成度越來越高，電路規模越來越大，電路中單元器件尺寸越來越小，對各種半導體工藝設備提出了更高的要求。離子注入機作為半導體離子摻雜工藝線的關鍵設備之一，也對它提出了很高的要求，要求離子注入機具有整機可靠性好、生產效率高、多種電荷態離子寬能量範圍注入、精確控制束注入能量精度、精確控制束純度、低塵粒汙染、整機全自動控制、注片均勻性和平行度好等多種功能和特徵。由此需要解決如何精確檢測晶片數量，如何精確自動升降和位移以實現全自動裝卸晶片的目的。

發明內容
本實用新型是一種用於離子注入機靶室晶片數量檢測、配合機械手裝卸晶片的、由編碼電機驅動的精確自動升降裝置。該自動升降裝置能夠使晶片在進入靶室的過程中處於全自動化操作狀態，達到檢測晶片數量，配合機械手自動裝卸晶片的高標準要求。
本實用新型通過以下技術方案實現一種編碼電機驅動的精確自動升降裝置是導杆通過套裝在導杆上的端板固定在基板上，一編碼電機通過聯軸器與絲杆一端相連、並通過基座固定連接在基板的另一側，所述絲杆另一端通過與其螺紋配合的絲杆螺母連接在導杆支撐座上，所述導杆支撐座上還平行固定連接有導杆。
本實用新型還可以在所述基板上設置有與導杆平行的、起導向作用的導軌，在導杆與導軌中間還設置有導軌滑塊，所述導軌滑塊端面與導杆支撐座的端面連接，所述絲杆通過二滾珠軸承固定支承在基座上。
本實用新型具有如下顯著優點1.導杆能夠實現精確的上下位移，運動精度在±0.1mm之內。
2.結構簡單、運動平穩、可靠性高。


圖1表示本實用新型一種編碼電機驅動的精確自動升降裝置的一個
具體實施方式

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步介紹，但不作為對本實用新型的限定。
如圖1所示，一種編碼電機驅動的精確自動升降裝置，導杆2的一端通過端板5固定在基板3上，所述端板5套裝在導杆2上，所述基板3是整個裝置的骨架，一編碼電機11通過基座9固定連接在基板3的另一側，所述編碼電機11通過聯軸器10與絲杆7一端相連、所述絲杆7通過二滾珠軸承8固定支承在基座9上，以保證所述絲杆7運行平穩，所述絲杆7另一端通過與其螺紋配合的絲杆螺母6連接在導杆支撐座1上，所述導杆支撐座1和導杆2固定連接。在所述基板3上還設置有與導杆2平行的、起導向作用的導軌4，在導杆2與導軌4中間還設置有導軌滑塊12，所述導軌滑塊12端面與導杆支撐座1的端面連接。
當編碼電機11啟動，帶動絲杆7旋轉，使與絲杆7螺紋配合的絲杆螺母6移動，通過與絲杆螺母6連接一體的導杆座1移動，帶動與導杆座1一體的導杆2作上下位移，使與之相連接的晶片臺能夠精確運動，所述晶片臺是離子注入機中的一種能夠自動裝卸片的晶片臺。為了防止導杆2下端左右擺動，固定在導杆支撐座1上的導軌滑塊12與導軌4一起起到定向的作用，使導杆2不左右擺動。該自動升降裝置，能夠使晶片在進入靶室的過程中處於全自動化操作狀態，達到檢測晶片數量，配合機械手自動裝卸晶片的要求。
本實用新型的特定實施例已對本實用新型的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本實用新型精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本實用新型專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
權利要求1.一種編碼電機驅動的精確自動升降裝置，其特徵在於導杆(2)通過套裝在所述導杆(2)上的端板(5)固定在基板(3)上，一編碼電機(11)通過聯軸器(10)與絲杆(7)一端相連，並通過基座(9)固定連接在基板(3)的另一側，所述絲杆(7)另一端通過與其螺紋配合的絲杆螺母(6)連接在導杆支撐座(1)上，所述導杆支撐座(1)上還平行固定連接有導杆(2)。
2.根據權利要求1所述的編碼電機驅動的精確自動升降裝置，其特徵在於在所述基板(3)上還設置有與所述導杆(2)平行的、起導向作用的導軌(4)，在導杆(2)與導軌(4)中間還設置有導軌滑塊(12)，所述導軌滑塊(12)端面與導杆支撐座(1)的端面連接。
3.根據權利要求2所述的編碼電機驅動的精確自動升降裝置，其特徵在於所述絲杆(7)通過同軸設置的二個滾珠軸承(8)固定支承在基座(9)上。
專利摘要本實用新型涉及一種由編碼電機驅動的精確自動升降裝置，屬於半導體器件製造領域，該自動升降裝置能夠使晶片在進入靶室的過程中處於全自動化操作狀態，達到檢測晶片數量，配合機械手自動裝卸晶片的裝置，一導杆通過套裝在導杆上的端板固定在基板上，一編碼電機通過聯軸器與絲杆一端相連、並通過基座固定連接在基板的另一側，所述絲杆另一端通過與其螺紋配合的絲杆螺母連接在導杆支撐座上，所述導杆支撐座上還平行固定連接有導杆，導杆能夠實現精確的上下位移，運動精度在±0.1mm之內，結構簡單、運動平穩、可靠性高。
文檔編號H01L21/265GK2890011SQ200620008178
公開日2007年4月18日 申請日期2006年3月17日 優先權日2006年3月17日
發明者易文杰, 彭立波, 劉仁傑, 伍三忠 申請人:北京中科信電子裝備有限公司