補液裝置的製作方法
2023-06-03 14:23:11 2
專利名稱：補液裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及半導體清洗技術領域，特別涉及一種補液裝置。
背景技術：
在半導體行業內，在很多工序上都需要對矽片進行各種清洗，在清洗的過程中會使用到各種化學液，並且各種化學液的濃度和成分比例各不相同，當混合配比時或使用一段時間後，藥液的濃度都會發生變化，需要補給一定量的藥液或超純水。一般情況下，化學液都需要放在化學容器中(如槽或罐)，首先在容器中加入一定容量的化學液，此藥液的濃 度已經滿足要求的濃度。在使用過程中容器中化學液會被反覆使用，在反覆循環的過程中，藥液的濃度會發生變化，又需要補充化學液或者超純水。因此需要定期對容器內的化學液進行定量補給。目前，對藥液或者超純水的補給多採用計量泵等，需要信號控制或者反饋等，雖然能夠實現精確的補給，但是體積較大並且相應的控制和結構等較複雜，而且成本較聞。
發明內容
(一)要解決的技術問題本發明要解決的技術問題是，針對現有技術的不足，提供一種補液裝置，可以實現液體的多種體積量的精確補給，從而可以在設定時間將精確的定量的液體定時分配到相關工藝單元。(二)技術方案本發明提供一種補液裝置，包括儲液罐、為所述儲液罐提供化學藥液的化學藥液供給管路、為所述儲液罐提供超純水的超純水供給管路、為所述儲液罐定量補給超純水的超純水定量補給管路和循環管路，所述循環管路的一端與所述儲液罐出液口連接，另一端連接所述儲液罐進口。其中，所述化學藥液供給管路上設有化學藥液供給氣動閥。其中，所述超純水供給管路上設有超純水供給氣動閥。其中，所述超純水定量補給管路上設有超純水定量補給氣動閥、總補給氣動閥以
及定量泵。其中，所述循環管路上依次設有將所述儲液罐中的化學液輸送到相應工藝單元的工藝氣動閥、液體傳輸泵、手閥和將所述儲液罐中的化學液加熱過濾的加熱過濾器。其中，補液裝置還包括用於將工藝單元中的化學藥液回收到所述儲液罐中的回收管路。其中，補液裝置還包括位於儲液罐側面用於感測化學液的液位傳感器。其中，所述儲液罐為並行的兩個儲液罐。(三)有益效果本發明提供的補液裝置，可隨著化學藥液的反覆使用，藥液的濃度變化，定時定量的補給，能夠維持一定的藥液濃度，從而保證工藝效果，操作簡單。
圖I是本發明補液裝置的結構示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖和實施例，對本發明的具體實施方式
作進一步詳細描述。以下實施例用於說明本發明，但不用來限制本發明的範圍。如圖I所示，本發明提供的補液裝置，包括並行的兩個儲液罐(1，2)、為所述儲液罐(1，2)提供化學藥液的化學藥液供給管路(3，4)、為所述儲液罐(1，2)提供超純水的超純水供給管路(5，6)、為所述儲液罐(1，2)定量補給超純水的超純水定量補給管路(7，8)和循環管路(10，11)，所述循環管路(10，11)的一端與所述儲液罐(1，2)出液口連接，另一端連接所述儲液罐(1，2)進口。 所述化學藥液供給管路(3，4)上設有化學藥液供給氣動閥(3』，4』);所述超純水供給管路(5，6)上設有超純水供給氣動閥(5』，6』);所述超純水定量補給管路(7，8)上設有超純水定量補給氣動閥(7』，8』)、總補給氣動閥9』以及定量泵(10』，11』)。所述循環管路(10，11)上依次設有將所述儲液罐(1，2)中的化學液輸送到相應工藝單元的工藝氣動閥(12』，13』)、液體傳輸泵(14』，15』)、手閥(16』，17』)和將所述儲液罐(I，2 )中的化學液加熱過濾的加熱過濾器(18 』，19 』)。補液裝置還包括用於將工藝單元中的化學藥液回收到所述儲液罐中的回收管路(12，13)以及位於儲液罐(1，2)側面用於感測化學液的液位傳感器(20』，21』)。工作原理如圖I所示，以左側的儲液罐I舉例說明首先通過控制器14(controller)開啟化學藥液供給氣動閥3』，向儲液罐I內注入化學液，通過控制化學藥液供給氣動閥3』的開啟時間注入設定體積的化學液，也可以通過儲液罐I旁的液位傳感器20』的反饋信號，當達到設定液位時關閉化學藥液供給氣動閥3』，停止注入化學液。打開超純水供給氣動閥5』，向儲液罐I內注入超純水(UPW)，通過開始時間控制注入體積量，當達到要求後關閉超純水供給氣動閥5』，停止注液。打開循環管路10上的手閥16』，開啟工藝氣動閥12』和液體傳輸泵14』，將儲液罐I內的液體輸送到加熱過濾器18』進行循環加熱，通過溫度傳感器的反饋，當達到工藝要求溫度後將液體輸送到工藝腔室參加工藝進程，工藝後的藥液通過回收管路12被回收到儲液罐I內以便下一個工藝過程使用，經過反覆多次工藝循環後，由於水分蒸發等原因，儲液罐I內的藥液濃度將增大，所以要定期對儲液罐I內的藥液進行一定量的補水。首先按照要求標定並校準定量泵10』，使其每次膜片的開合量滿足補液的體積要求，並確保超純水定量補給管路7裡沒有氣泡存在(如有氣泡存在需要先將總補給氣動閥9』和超純水定量補給氣動閥V以及定量泵10』打開，將超純水定量補給管路7氣泡排淨，然後依次關閉定量泵10』、超純水定量補給氣動閥7』和總補給氣動閥9』)，定量泵10』的標定及校準方法為通過調節定量泵10』上的旋鈕來控制定量泵10』內膜片的開合度，通過之前的測試可以知道提供不同體積的液體時對應其旋鈕的旋轉度，進而實現定量泵10』的標定。然後按照如下順序進行操作通過控制器14控制打開總補給氣動閥9』，然後打開定量泵10』，之後關閉總補給氣動閥9』，打開超純水定量補給氣動閥7』，關閉定量泵10』，液體流出，關閉超純水定量補給氣動閥7』，完成定量補液，動作結束。當使用本發明補液裝置時，當進液口壓力發生變化時，只要定量泵10』的開合量不變，既能保證補液的量不會發生變化，精確度和重複性較高，並且避免了廠端或供液管路的壓力波動對補液量的影響。以上實施方式僅用於說明本發明，而並非對本發明的限制，有關技術領域的普通技術人員，在不脫離本發明的精神和範圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術方案也屬於本發明的範疇，本發明的專利保護範圍應由權利要求限定。·
權利要求
1.一種補液裝置，其特徵在於，包括儲液罐、為所述儲液罐提供化學藥液的化學藥液供給管路、為所述儲液罐提供超純水的超純水供給管路、為所述儲液罐定量補給超純水的超純水定量補給管路和循環管路，所述循環管路的一端與所述儲液罐出液口連接，另一端連接所述儲液罐進口。
2.如權利要求I所述的補液裝置，其特徵在於，所述化學藥液供給管路上設有化學藥液供給氣動閥。
3.如權利要求I所述的補液裝置，其特徵在於，所述超純水供給管路上設有超純水供給氣動閥。
4.如權利要求I所述的補液裝置，其特徵在於，所述超純水定量補給管路上設有超純水定量補給氣動閥、總補給氣動閥以及定量泵。
5.如權利要求I所述的補液裝置，其特徵在於，所述循環管路上依次設有將所述儲液罐中的化學液輸送到相應工藝單元的工藝氣動閥、液體傳輸泵、手閥和將所述儲液罐中的化學液加熱過濾的加熱過濾器。
6.如權利要求I所述的補液裝置，其特徵在於，補液裝置還包括用於將工藝單元中的化學藥液回收到所述儲液罐中的回收管路。
7.如權利要求I所述的補液裝置，其特徵在於，補液裝置還包括位於儲液罐側面用於感測化學液的液位傳感器。
8.如權利要求I所述的補液裝置，其特徵在於，所述儲液罐為並行的兩個儲液罐。
全文摘要
本發明公開了一種補液裝置，包括儲液罐、為所述儲液罐提供化學藥液的化學藥液供給管路、為所述儲液罐提供超純水的超純水供給管路、為所述儲液罐定量補給超純水的超純水定量補給管路和循環管路，所述循環管路的一端與所述儲液罐出液口連接，另一端連接所述儲液罐進口。本發明提供的補液裝置，可隨著化學藥液的反覆使用，藥液的濃度變化，定時定量的補給，能夠維持一定的藥液濃度，從而保證工藝效果，操作簡單。
文檔編號F17D1/14GK102878429SQ201210387839
公開日2013年1月16日 申請日期2012年10月12日 優先權日2012年10月12日
發明者初國超, 何金群, 王營營, 裴立坤 申請人:北京七星華創電子股份有限公司