顯影製程廢水處理裝置及其廢水處理方法
2023-05-27 03:48:21
專利名稱：顯影製程廢水處理裝置及其廢水處理方法
技術領域：
本發明涉及一種廢水處理裝置及其廢水處理方法，特別是涉及一種可提供顯影製程廢水處理的功能，能夠使顯影製程廢水中的不溶解性物質分
離且去除的顯影(Developing)製程廢水處理裝置及其廢水處理方法。
背景技術：
請參閱圖1所示，是一種現有習知的顯影製程廢水處理的裝置的示意圖。該現有習知的顯影製程(製程即製造程序，本文均簡稱為製程)廢水的處理裝置，包含有一顯影製程廢水儲存裝置111、 一生物處理裝置130以及一固液分離裝置140，其顯影過程是將顯影製程廢水儲存裝置111所儲存的顯影製程廢水110經過生物處理裝置130去除汙染物質後，再藉由固液分離裝置140除去顯影製程廢水110的不溶性成分，達成廢水淨化的目的。然而，由於顯影製程廢水110內包含有程度不等的廢光阻液，不容易以一般的生物處理方式加以分解去除，又因為此廢光阻液為粘滯性較高的成分，極容易降低固液分離裝置的運轉成效，諸如薄膜的阻塞，極為影響整體廢水處理的效果。
由此可見，上述現有的顯影製程廢水處理裝置及其廢水處理方法在產品結構、處理方法與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進一步改進。為解決上述存在的問題，相關廠商莫不費盡心思來謀求解決之道,但長久以來一直未見適用的設計被發展完成，而一般產品及方法又沒有適切的結構及方法能夠解決上述問題，此顯然是相關業者急欲解決的問題。因此如何能創設一種新的顯影製程廢水處理裝置及其廢水處理方法，實屬當前重要研發課題之一，亦成為當前業界極需改進的目標。
有鑑於上述現有的顯影製程廢水處理裝置及其廢水處理方法存在的問題，為了能夠兼顧解決，本發明人基於從事此類產品設計製造多年豐富的實務經驗及其專業知識，並配合學理的運用，積極加以研究創新，以期創設一種新的顯影製程廢水處理裝置及其廢水處理方法，能夠改進一般現有的顯影製程廢水處理裝置及其廢水處理方法，以作為改善上述缺點的實現方式與依據，使其更具有實用性。經過不斷的研究、設計，並經反覆試作樣品及改進後，終於創設出確具實用價值的本發明。
發明內容
本發明的主要目的在於，克服現有的顯影製程廢水處理裝置及其廢水處理方法存在的缺陷，而提供一種新的顯影製程廢水處理裝置及其廢水處常適於實用。 '、。 、口 、a - '、、
本發明的另一目的在於，克服現有的顯影製程廢水處理裝置存在的缺陷，更提供一種新的顯影製程廢水處理裝置，所要解決的技術問題是使其包含一顯影製程廢水儲存裝置、 一酸液儲存單元、 一酸化混合單元、 一第一固液分離裝置、 一酸鹼中和調整裝置、 一生物處理裝置及一第二固液分離裝置，使顯影製程廢水中的不溶解性物質分離且去除之。
本發明的目的及解決其技術問題是採用以下技術方案來實現的。依據
本發明提出的一種顯影製程廢水處理裝置，包括 一顯影製程廢水儲存裝置，是儲存一顯影製程廢水； 一酸化處理裝置，具有一酸液儲存單元及一酸化混合單元，該酸液儲存單元內有一酸液，該酸液及該顯影製程廢水輸入至該酸化混合單元中混合，使該顯影製程廢水內的原溶解性成分轉化為一不溶解性物質； 一第一固液分離裝置，是將與該酸液相混合的該顯影製程廢水及該不溶解性物質分離； 一酸鹼中和調整裝置，是將與該酸液相混合的該顯影製程廢水中的酸鹼值(pH值)調合成中性； 一生物處理裝置，是接收該酸鹼中和調整裝置中，其所調合成中性的該顯影製程廢水；以及一第二固液分離裝置，是自該生物處理裝置中，分離已去除汙染物質的該顯影製程廢水及沉澱的活性汙泥。
本發明的目的及解決其技術問題還可採用以下技術措施進一步實現。前述的顯影製程廢水處理裝置，其更包含一酸液輸送裝置位於該酸化處理裝置中，以使該酸液由該酸液輸送裝置輸送至該酸化混合單元。
前述的顯影製程廢水處理裝置，其更包含一廢光阻成分在該顯影製程廢水中。
前述的顯影製程廢水處理裝置，其中所述的顯影製程廢水是由顯影製程所製造的廢水。'
本發明的目的及解決其技術問題還釆用以下技術方案來實現。依據本發明提出的一種顯影製程廢水處理方法，其包括以下步驟提供一顯影製程廢水進入一顯影製程廢水儲存裝置；由該顯影製程廢水儲存裝置中的該顯影製程廢水進入一酸化混合單元，且同時由儲存於一酸液儲存單元的一酸液進入該酸化混合單元；當該酸液及該顯影製程廢水進入該酸化混合單元後，該顯影製程廢水內的原溶解性成分將轉化為不溶解性物質；提供一第一固液分離裝置，將與該酸液相混合的該顯影製程廢水及該不溶解性物質進行分離；提供一酸鹼中和調整裝置，將已分離不溶解性物質的該顯影製程廢水中的S吏鹼值(pH值)調合成酸鹼值呈中性的顯影製程廢水；提供一生物處理裝置，接收調合成酸鹼值呈中性的該顯影製程廢水，進行汙染物質的去除；以及提供一第二固液分離裝置，從該生物處理裝置中，分離已去除
汙染物質的該顯影製程廢水及活'性汙泥。
本發明的目的及解決其技術問題還可採用以下技術措施進一步實現。前述的顯影製程廢水處理方法，其更包含一酸液輸送裝置位於該酸化
處理裝置中，以使該酸液由該酸液輸送裝置輸送至該酸化混合單元。
前述的顯影製程廢水處理方法，其更包含一廢光阻成分在該顯影製程
廢水中。
前述的顯影製程廢水處理方法，其中所述的顯影製程廢水是由顯影製程所製造的廢水。
本發明與現有技術相比具有明顯的優點和有益效果。由以上技術方案
可知，本發明的主要技術內容如下
為了達到上述主要目的，本發明提供了一種顯影製程廢水處理方法，當顯影製程廢水儲存裝置內的廢水、酸液儲存單元內的酸液，進入一酸化混合單元，使顯影製程廢水內的原溶解性成分轉化為不溶解性物質，經第 一 固液分離裝置，使顯影製程廢水中的不溶解性物質分離並且去除之。
另外，為了達到上述另一目的，本發明另提供了一種顯影製程廢水處理裝置，包括一顯影製程廢水儲存裝置、 一酸化處理裝置、 一第一固液分離裝置、 一酸鹼中和調整裝置、 一生物處理裝置及一第二固液分離裝置，其中酸化處理裝置，具有一酸液儲存單元及一酸化混合單元。酸液儲存單元是儲存一酸液，酸液及顯影製程廢水是在酸化混合單元中混合，使顯影製程廢水內的部分成分轉化為不溶解性物質。經第一固液分離裝置，進入酸鹼中和調整裝置，將已分離不溶解性物質的顯影製程廢水中的酸鹼值(pH值)調合成中性的顯影製程廢水，然後進入生物處理裝置至第二固液分離裝置，將汙染物質去除及排出沉澱的活性汙泥。
此外，本發明亦揭示一種顯影製程廢水處理方法，其包括顯影製程廢水儲存裝置的廢水及酸液儲存單元的酸液，進入酸化混合單元中混合,使顯影製程廢水內的原溶解性成分轉化為不溶解性物質，經第一固液分離裝置，進入酸鹼中和調整裝置，將分離不溶解性物質的顯影製程廢水中的酸鹼值(pH值)調合成中性的顯影製程廢水，然後進入生物處理裝置至第二固液分離裝置，將汙染物質去除及排出沉澱的活性汙泥。
藉由上述技術方案，本發明顯影製程廢水處理裝置及其廢水處理方法至少具有下列優點及有益效果承上所述，因為依本發明的具有以顯影製程廢水處理裝置及其廢水處理方法，具有將顯影製程廢水內程度不等的廢光阻液，結合酸^f威的調整程序，使原溶解性成分轉為不溶解性物質後，再藉由固液分離裝置將廢水內的不溶性物質去除的優點。按本發明所提供的顯影製程廢水處理裝置及其廢水處理方法，確實能夠有效地進行處理，同時能夠達到單純簡化的功能。
綜上所述，本發明的顯影製程廢水處理裝置及其廢水處理方法，可以提供顯影製程廢水處理的功能，非常適於實用。本發明的顯影製程廢水處理裝置，包含一顯影製程廢水儲存裝置、 一酸液儲存單元、 一酸化混合單元、一第一固液分離裝置、 一酸鹼中和調整裝置、 一生物處理裝置及一第二固液分離裝置，可以使顯影製程廢水中的不溶解性物質分離且去除。本發明具有上述諸多優點及實用價值，其不論在產品結構、處理方法或功能上皆有較大的改進，在技術上有顯著的進步，並產生了好用及實用的效果，且較現有的顯影製程廢水處理裝置及其廢水處理方法具有增進的突出功效，從而更加適於實用，誠為一新穎、進步、實用的新i殳計。
上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，並且為了讓本發明的上述和其他目的、特徵和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，並配合附
圖，詳細i兌明:^下。
圖l是現有習知的顯影製程廢水處理的裝置示意圖。
圖2是本發明較佳實施例的顯影製程廢水處理裝置的示意圖。
圖3是為本發明的顯影製程廢水處理方法的步驟流程圖。
110、210:顯影製程廢水111、211:顯影製程廢水儲存裝置
130、230:生物處理裝置140固液分離裝置
220:酸化處理裝置221酸液儲存單元
222:酸化混合單元223酸液輸送裝置
224:酸液240第一固液分離裝置
241:第二固液分離裝置250酸鹼中和調整裝置
S31至S37:流程步驟
具體實施例方式
為更進一步闡述本發明為了達成預定發明目的所採取的技術手段及其功效，以下結合附圖及較佳實施例，對依據本發明提出的顯影製程廢水處理裝置及其廢水處理方法其具體實施方式
、結構、方法、步驟、特徵及其功效，詳細說明如後。
有關本發明的前述及其他技術內容、特點及功效，在以下配合參考圖式的較佳實施例的詳細說明中將可清楚的呈現。為了方便說明與理解，下述實施例中相同的元件是以相同的標號來表示及說明。
請參閱圖2及圖3所示，圖2是本發明較佳實施例的顯影製程廢水處
7理裝置示意圖，圖3是本發明的顯影製程廢水處理方法的步驟流程圖。本發
明較佳實施例的顯影製程廢水處理裝置，包含顯影製程廢水210、顯影製程廢水儲存裝置211、酸化處理裝置220、酸液224、生物處理裝置230、第一固液分離裝置240、第二固液分離裝置241及酸鹼中和調整裝置250,其中酸化處理裝置220，具有酸液儲存單元221、酸液輸送裝置223及酸化混合單元222。
上述的顯影製程廢水儲存裝置211，是儲存一顯影製程廢水210，當該顯影製程廢水210進入酸化混合單元222內，以及，儲存於酸液儲存單元221的酸液224由酸液輸送裝置223進入酸化混合單元222內，此時酸液224及顯影製程廢水210輸入至酸化混合單元222中相混合，混合後，顯影製程廢水21G內的原溶解性成分將轉化為不溶解性物質，其中，溶解性成分轉化為不溶解性物質，是包含一廢光阻的成分。
上述的位於酸化混合單元222的顯影製程廢水210，進入第一固液分離裝置240，將與酸液相混合的顯影製程廢水210以及不溶解性物質進行分離，之後，已分離不溶解性物質的顯影製程廢水210進入酸鹼中和調整裝置250，使已分離不溶解性物質的顯影製程廢水210中的酸鹼值(pH值)調合成酸鹼值呈中性的顯影製程廢水210，然後進入生物處理裝置230中，去除汙染物質，最後進入第二固液分離裝置241，使沉澱的活性汙泥分離且排出。
另外，本發明的顯影製程廢水處理方法，是提供顯影製程所製造的廢水所稱的顯影製程廢水210,其進入一顯影製程廢水儲存裝置211中儲存，由該顯影製程廢水儲存裝置211內的顯影製程廢水210,進入酸化混合單元222，且同時以儲存於酸液儲存單元221的酸液224,由酸液輸送裝置223輸送至酸化混合單元222內。本發明較佳實施例的顯影製程廢水處理方法，其包括以下的流程步驟
步驟31:由顯影製程廢水儲存裝置導出顯影製程廢水至酸化混合單元。
步驟32:自酸液儲存單元導出酸液至酸化混合單元。
步驟33:顯影製程廢水及酸液至酸化混合單元混合，使顯影製程廢水的原溶解性成分轉化為不溶性成分。
步驟34:由酸化混合單元中，輸出與酸液相混合的顯影製程廢水至第一固液分離裝置，去除顯影製程廢水內不溶解性物質。
步驟35:由第一固液分離裝置中，輸出已去除不溶性物質的顯影製程廢水至酸鹼中和調整裝置，調合已去除不溶性物質的顯影製程廢水酸鹼值(pH值)呈中性的顯影製程廢水。
步驟36:由酸^5成中和調整裝置中，輸出呈中性的顯影製程廢水至生物處理裝置，進行汙染物質的去除。
步驟37:由生物處理裝置中，輸出去除汙染物質的顯影製程廢水至第二固液分離裝置，進行去除汙染物質的顯影製程廢水及沉澱的活性汙泥兩者 的分離。
綜上所述，本發明所提供的顯影製程廢水的處理裝置，能夠快速確實 地將顯影製程廢水內的廢光阻成分去除，可以有效的避免因為單一固液分
離系統的運轉失敗，而影響廢水淨化的功效；同時，本發明還兼具有單純 簡化的特色，非常適於實用。
以上所述，僅是本發明的較佳實施例而已，並非對本發明作任何形式 上的限制，雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然而並非用以限定本發 明，任何熟悉本專業的技術人員，在不脫離本發明技術方案範圍內，當可利 用上述揭示的方法及技術內容作出些許的更動或修飾為等同變化的等效實 施例，但凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明的技術實質對以 上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬於本發明技術方 案的範圍內。
權利要求
1、一種顯影製程廢水處理裝置，其特徵在於其包括一顯影製程廢水儲存裝置，是儲存一顯影製程廢水；一酸化處理裝置，具有一酸液儲存單元及一酸化混合單元，該酸液儲存單元內有一酸液，該酸液及該顯影製程廢水輸入至該酸化混合單元中混合，使該顯影製程廢水內的原溶解性成分轉化為一不溶解性物質；一第一固液分離裝置，是將與該酸液相混合的該顯影製程廢水及該不溶解性物質分離；一酸鹼中和調整裝置，是將與該酸液相混合的該顯影製程廢水中的酸鹼值(pH值)調合成中性；一生物處理裝置，是接收該酸鹼中和調整裝置中，其所調合成中性的該顯影製程廢水；以及一第二固液分離裝置，是自該生物處理裝置中，分離已去除汙染物質的該顯影製程廢水及沉澱的活性汙泥。
2、 根據權利要求1所述的顯影製程廢水處理裝置，其特徵在於其更包 含一酸液輸送裝置位於該酸化處理裝置中，以使該酸液由該酸液輸送裝置 輸送至該酸化混合單元。
3、 根據權利要求1所述的顯影製程廢水處理裝置，其特徵在於其更包 含一廢光阻成分在該顯影製程廢水中。
4、 根據權利要求1所述的顯影製程廢水處理裝置，其特徵在於其中所 述的顯影製程廢水是由顯影製程所製造的廢水。
5、 一種顯影製程廢水處理方法，其特徵在於其包括以下步驟 提供一顯影製程廢水進入一顯影製程廢水儲存裝置；由該顯影製程廢水儲存裝置中的該顯影製程廢水進入一酸化混合單 元，且同時由儲存於一酸液儲存單元的一酸液進入該酸化混合單元；當該酸液及該顯影製程廢水進入該酸化混合單元後，該顯影製程廢水 內的原溶解性成分將轉化為不溶解性物質；提供一第 一 固液分離裝置，將與該酸液相混合的該顯影製程廢水及該 不溶解性物質進行分離；提供一酸鹼中和調整裝置，將已分離不溶解性物質的該顯影製程廢水 中的酸鹼值(pH值)調合成酸鹼值呈中性的顯影製程廢水；提供一生物處理裝置，接收調合成酸鹼值呈中性的該顯影製程廢水，進 行汙染物質的去除；以及提供一第二固液分離裝置，從該生物處理裝置中，分離已去除汙染物質 的該顯影製程廢水及活性汙泥。
6、 根據權利要求5所述的顯影製程廢水處理方法，其特徵在於其更包 含一酸液輸送裝置位於該酸化處理裝置中，以使該酸液由該酸液輸送裝置 輸送至該酸化混合單元。
7、 根據權利要求5所述的顯影製程廢水處理方法，其特徵在於其更包 含一廢光阻成分在該顯影製程廢水中。
8、 根據權利要求5所述的顯影製程廢水處理方法，其特徵在於其中所 述的顯影製程廢水是由顯影製程所製造的廢水。
全文摘要
本發明是有關於一種顯影製程廢水處理裝置及其廢水處理方法，包括顯影製程廢水儲存裝置、酸液儲存單元、酸化混合單元、第一固液分離裝置、酸鹼中和調整裝置、生物處理裝置及第二固液分離裝置，當顯影製程廢水儲存裝置內的廢水、酸液儲存單元內的一酸液，二者進入酸化混合單元使顯影製程廢水內的溶解性成分轉化為不溶解性物質，經過第一固液分離裝置、酸鹼中和調整裝置、生物處理裝置至第二固液分離裝置，去除顯影製程廢水中不溶解性物質及汙染物質。本發明具有將顯影製程廢水內程度不等廢光阻液，結合酸鹼的調整程序，使原溶解性成分轉為不溶解性物質後，再藉固液分離裝置將廢水內的不溶性物質去除的優點，能有效地進行處理，同時達到單純簡化的功能。
文檔編號C02F9/14GK101462808SQ20071019539
公開日2009年6月24日 申請日期2007年12月17日 優先權日2007年12月17日
發明者周坤琳, 奉季明, 謝奇旭, 譚發祥, 郭智輝 申請人:崇越科技股份有限公司