一種石墨離子槍檔板的製作方法

2023-05-27 00:53:26

專利名稱：一種石墨離子槍檔板的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及石墨材質在工業生產領域的應用，特別是涉及一種石墨離子槍檔板，主要用於石英晶體製造業之氬離子刻蝕式晶振自動頻率調整設備的耗材維護。
背景技術：
現有技術中，通常採用鑰材質離子槍檔板在氬離子蝕刻式晶振自動微調機的氬離子槍防護。如圖I所示，現有的鑰材質離子槍檔板為一塊長方形擋板，擋板上開有兩個圓孔，這種結構的擋板的平均使用壽命只有720小時，而且在進行蝕刻時，擋板上的鑰屑與蝕刻下來的銀屑會形成結塊，從而造成氬離子槍電極之間短路，影響氬離子槍的正常工作。
發明內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種石墨離子槍檔板，能夠防止氬離子槍短路，並且可延長自身的使用壽命。本實用新型解決其技術問題所採用的技術方案是提供一種石墨離子槍檔板，包括擋板主體，所述擋板主體上開有兩個圓孔，所述擋板主體採用石墨材料製成，所述擋板主體的前端受轟擊面高於擋板主體的上表面，所述擋板主體的後端受轟擊面高於擋板主體的下表面。所述擋板主體的前端受轟擊面高於擋板主體的上表面1mm。所述擋板主體的後端受轟擊面高於擋板主體的下表面1mm。有益效果由於採用了上述的技術方案，本實用新型與現有技術相比，具有以下的優點和積極效果本實用新型利用石墨低濺射率、低熱膨脹係數、高熔沸點且不易與銀屑形成結塊的特點，設計出前後受轟擊面加厚Imm的石墨材質離子槍檔板，滿足了晶振頻率自動調整設備上對離子槍檔板需要耐氬離子轟擊、保護氬離子槍穩定工作的要求，有效增強其使用壽命達4320小時，有效杜絕鑰屑與銀屑形成的結塊引起的氬離子槍短路，增強了氬離子槍工作的穩定性。

圖I是現有技術中鑰材質離子槍檔板結構示意圖；圖2是本實用新型的結構示意圖；圖3是圖2的俯視圖。
具體實施方式
下面結合具體實施例，進一步闡述本實用新型。應理解，這些實施例僅用於說明本實用新型而不用於限制本實用新型的範圍。此外應理解，在閱讀了本實用新型講授的內容之後，本領域技術人員可以對本實用新型作各種改動或修改，這些等價形式同樣落於本申請所附權利要求書所限定的範圍。本實用新型的實施方式涉及一種石墨離子槍檔板，如圖2和圖3所示，包括擋板主體I，所述擋板主體I表面開有兩個圓孔2，所述擋板主體I採用石墨材料製成，所述擋板主體I的前端受轟擊面3高於擋板主體I的上表面，所述擋板主體I的後端受轟擊面4高於擋板主體I的下表面。其中，所述擋板主體I的前端受轟擊面3高於擋板主體I的上表面1mm。所述擋板主體I的後端受轟擊面4高於擋板主體I的下表面1mm。不難發現，本實用新型利用石墨低濺射率、低熱膨脹係數、高熔沸點且不易與銀屑形成結塊的特點，設計出前後受轟擊面加厚Imm的石墨材質離子槍檔板，滿足了晶振頻率自動調整設備上對離子槍檔板需要耐氬離子轟擊、保護氬離子槍穩定工作的要求，有效增強其使用壽命達4320小時，有效杜絕鑰屑與銀屑形成的結塊引起的氬離子槍短路，增強了氬離子槍工作的穩定性，此技術的關鍵是利用了石墨材料的優點，附加技術特徵是在受轟 擊面加厚Imm的設計。
權利要求1.一種石墨離子槍檔板，包括擋板主體(1)，所述擋板主體(I)表面開有兩個圓孔(2)，其特徵在於，所述擋板主體(I)採用石墨材料製成，所述擋板主體(I)的前端受轟擊面(3)高於擋板主體(I)的上表面,所述擋板主體(I)的後端受轟擊面(4)高於擋板主體的下表面。
2.根據權利要求I所述的石墨離子槍檔板，其特徵在於，所述擋板主體(I)的前端受轟擊面(3)高於擋板主體(I)的上表面1mm。
3.根據權利要求I所述的石墨離子槍檔板，其特徵在於，所述擋板主體(I)的後端受轟擊面(4)高於擋板主體(I)的下表面1mm。
專利摘要本實用新型涉及一種石墨離子槍檔板，包括擋板主體，所述擋板主體表面開有兩個圓孔，所述擋板主體採用石墨材料製成，所述擋板主體的前端受轟擊面高於擋板主體的上表面，所述擋板主體的後端受轟擊面高於擋板主體的下表面。本實用新型利用石墨低濺射率、低熱膨脹係數、高熔沸點且不易與銀屑形成結塊的特點，滿足了晶振頻率自動調整設備上對離子槍檔板需要耐氬離子轟擊、保護氬離子槍穩定工作的要求，有效增強其使用壽命達4320小時，有效杜絕鉬屑與銀屑形成的結塊引起的氬離子槍短路，增強了氬離子槍工作的穩定性。
文檔編號H03H3/04GK202737820SQ201220306639
公開日2013年2月13日 申請日期2012年6月25日 優先權日2012年6月25日
發明者柯智雄 申請人:臺晶(寧波)電子有限公司