一種氣相沉積爐的製作方法

2023-06-06 02:28:56 2

專利名稱：一種氣相沉積爐的製作方法
技術領域：
本實用屬於化學氣相沉積(CVD)的技術領域，特別提供了一種氣相沉積爐。
背景技術：
氮化硼具有很高的熱穩定性，其製品在高新技術領域許多新材料的製備過程中是 不可缺少的用具，用氣相沉積法製作的熱解氮化硼製品，壁薄、密度高、強度高、省料且成品 率高，成為氮化硼產品製備中一種很常用的方法，特別是熱解氮化硼坩堝的製備。通常的氣相沉積爐包括爐體、加熱體、進氣口、出氣口、模具等幾部分，進氣口在爐 體底部或頂部，出氣口通常與之相對，為使氣相沉積均勻，進氣口常採用同心圓筒的方式， 模具對準進氣口，且有齒輪使每一隻吊掛的產品都進行自轉。然而，當製作大尺寸的熱解氮 化硼製品時，容易導致鍋底較厚，而側壁較薄，同時由於原料氣體在空間分布的不均勻，導 致壁厚分布不均勻的現象時有發生。當同時製作多個熱解氮化硼製品時，也容易導致導致 壁厚分布不均勻。
發明內容本實用新型的目的在於提供一種氣相沉積爐，該氣相沉積爐的進氣口為三同心圓 進氣口，在爐體內或爐體外設有旋轉機構，可以有多隻產品模具在爐內同時進行公轉、自 轉。採用該氣相沉積爐製備熱解氮化硼(PBN)製品，能夠提高PBN產品質量及其生產效率， 降低生產成本。本實用新型具體提供了一種氣相沉積爐，該氣相沉積爐包括爐體、加熱體、進氣 口、出氣口以及模具，進氣口在爐體底部或頂部，其特徵在於在爐體內或爐體外設有旋轉 機構，所述旋轉機構由廣36個齒輪、轉盤、齒套、傘齒輪組、連接軸以及電機組成，電機通過 傘齒輪組與轉盤相連，齒輪通過連接軸固定在轉盤上，齒套在所有齒輪外圍固定，並與齒輪 嚙合，轉盤轉動帶動齒輪沿著圓盤式齒套旋轉，每個齒輪上都吊掛或直立一個模具，模具隨 著齒輪的自轉公轉實現了產品(模具)在爐內的公轉與自轉。本實用新型提供的氣相沉積爐，其特徵在於所述旋轉機構在爐內的上端或下端。本實用新型提供的氣相沉積爐，其特徵在於進氣口為三同心圓進氣口 C 氣口的 數量一般為纊12個)。根據需要，三同心圓進氣口原理可延伸為弧形、半圓形、長方形等等 的進氣模式。採用三同心圓進氣可以使原料氣體混合的更加均勻，致使氣體不發生明顯的 偏析，使得大坩堝與一爐多隻的小坩堝顏色均勻。三同心圓進氣口對於生產大尺寸產品的 效果比同心圓進氣口更好。採用本實用新型提供的氣相沉積爐製備而得的產品，尺寸一致、顏色歸一、規格相 同，在提高產品合格率的同時，也大大提高了其生產效率。

圖1 一爐三隻氣相沉積爐結構3[0010]圖2 —爐五隻氣相沉積爐結構圖。
具體實施方式
實施例1如圖1所示，該氣相沉積爐包括雙壁水冷爐體1、進氣口 2、出氣口 3、模具4、旋轉 機構5以及發熱體6，其中旋轉機構由轉盤5. 1、齒輪5. 2、連接軸5. 3、傘齒輪組5. 4、齒套 5. 5以及電機5. 6組成。發熱體6由感應線圈6. 1、加熱體6. 2以及石墨套筒6. 3組成。其 中電機5. 6通過傘齒輪組5. 4與轉盤5. 1相連，兩個齒輪5. 2通過連接軸固定在轉盤5. 1 下，且每個齒輪下都吊掛一個模具4。齒套5. 5放在石墨套筒6. 3上並與所有齒輪5. 2齧 合。進氣口 2為三同心圓進氣口，設置在爐體下端。實施例2如圖2所示，該氣相沉積爐包括雙壁水冷爐體1、進氣口 2、出氣口 3、模具4、旋轉 機構5以及發熱體6，其中旋轉機構由轉盤5. 1、齒輪5. 2、連接軸5. 3、傘齒輪組5. 4、齒套 5.5以及電機5. 6組成。發熱體6由感應線圈6.1、加熱體6. 2以及石墨套筒6. 3組成。其 中電機5. 6通過傘齒輪組5. 4與轉盤5. 1相連，五個齒輪5. 2通過連接軸固定在轉盤5. 1 上，且每個齒輪上都直立一個模具4。齒套5. 5放在石墨套筒6. 3上並與所有齒輪5. 2齧 合。進氣口 2為三同心圓進氣口，設置在爐體上端。
權利要求1.一種氣相沉積爐，該氣相沉積爐包括爐體、發熱體、進氣口、出氣口以及模具，進氣口 在爐體底部或頂部，其特徵在於在爐體內或爐體外設有旋轉機構，所述旋轉機構由廣36 個齒輪、轉盤、齒套、傘齒輪組、連接軸以及電機組成，電機通過傘齒輪組與轉盤相連，齒輪 通過連接軸固定在轉盤上，齒套在所有齒輪外圍固定，並與齒輪嚙合，每個齒輪上都吊掛或直立一個模具。
2.按照權利要求1所述氣相沉積爐，其特徵在於所述旋轉機構在爐內的上端或下端。
3.按照權利要求1或2所述氣相沉積爐，其特徵在於進氣口為三同心圓進氣口。
4.按照權利要求3所述氣相沉積爐，其特徵在於三同心圓進氣口為弧形、半圓形或長 方形的進氣模式。
專利摘要本實用新型的目的在於提供一種氣相沉積爐，該氣相沉積爐包括爐體、加熱體、進氣口、出氣口以及模具，進氣口在爐體底部或頂部，其特徵在於在爐體內或爐體外設有旋轉機構，所述旋轉機構由1~36個齒輪、轉盤、齒套、傘齒輪組、連接軸以及電機組成，電機通過傘齒輪組與轉盤相連，齒輪通過連接軸固定在轉盤上，齒套在所有齒輪外圍固定，並與齒輪嚙合，轉盤轉動帶動齒輪沿著圓盤式齒套旋轉，每個齒輪上都吊掛或直立一個模具，模具隨著齒輪的自轉公轉實現了產品在爐內的公轉與自轉。採用該氣相沉積爐製備熱解氮化硼製品，能夠提高PBN產品質量及其生產效率，降低生產成本。
文檔編號C23C16/44GK201890928SQ201020617180
公開日2011年7月6日 申請日期2010年11月22日 優先權日2010年11月22日
發明者趙鳳鳴, 趙林 申請人:趙鳳鳴, 趙林