一種多線切割機的製作方法
2023-06-06 11:00:06 1
專利名稱：一種多線切割機的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種多線切割機。
背景技術：
多線切割是一種通過金屬絲的高速往復運動，把磨料帶入半導體加工區域進行研磨，將半導體等硬脆材料一次同時切割為數百片薄片的一種新型切割加工方法。數控多線切割機已逐漸取代了傳統的內圓切割，成為矽片切割加工的主要方式。·[0003]現有技術中，鋼線導輪常因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，生產率不高。
實用新型內容本實用新型提出一種多線切割機，解決了現有技術中鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，生產率不高的問題。本實用新型的技術方案是這樣實現的本實用新型公開了一種多線切割機，包括加工室、支架、多個鋼線導輪、導輪砂漿桶，所述的鋼線導輪安裝於支架上，所述的支架位於所述的加工室中，所述的多個鋼線導輪為單獨驅動的剛性鋼線導輪。進一步地，所述的鋼線導輪軸間距440mm。進一步地,所述的鋼線導輪長度為500mm。進一步地，所述的多線切割機的頂部、底部的鋼線線網各自布網。進一步地，所述的導輪砂漿桶位於所述的加工室正下方，容量為240L。進一步地，所述的導輪砂漿桶具有多層過濾構造。實施本實用新型的一種多線切割機，具有以下有益的技術效果防止因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，應對切薄、細線化時鋼線導輪的負荷增加，發揮高效的生產能力。
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖I是本實用新型一種多線切割機構造示意圖。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。請參閱圖1，本實用新型的實施例，一種多線切割機，包括加工室10、支架20、多個鋼線導輪30、導輪砂漿桶40，鋼線導輪30安裝於支架20上，支架20位於加工室10中，多個鋼線導輪30為單獨驅動的剛性鋼線導輪。採用多個鋼線導輪30為單獨驅動的剛性鋼線導輪可防止因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，應對切薄、細線化時鋼線導輪的負荷增加，發揮高效的生產能力(同時加工娃棒長度1000mm)。進一步地，鋼線導輪30間軸間距440mm，採用該距離可抑制加工中鋼線的振動、跳
線、彎曲。 進一步地，鋼線導輪30長度為500mm，採用該長度可實現高精度、高出片率，使高送線加工成為可能。進一步地，多線切割機的頂部、底部的鋼線線網各自布網，因此，可在頂部、底部也可以用不同的槽距進行加工。進一步地，導輪砂漿桶40位於加工室10正下方，容量為240L。由於砂漿路徑的最短化，減少了路徑內的淤渣殘留。因大容量化，可減輕切薄時矽含有量上升而產生的切割能力下降。砂漿自動給排，構造簡易。砂漿桶的裝取、清掃的操作性良好。進一步地，導輪砂漿桶40具有多層過濾構造。實踐證實，多層過濾構造可徹底除去破片，淤渣，防止由於鋼線跳線造成的出片率惡化，宜採用加工室2層、砂漿桶2層的4層過濾構造。實施本實用新型的一種多線切割機，具有以下有益的技術效果防止因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，應對切薄、細線化時鋼線導輪的負荷增加，發揮高效的生產能力。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，並不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。
權利要求1.一種多線切割機，包括加工室、支架、多個鋼線導輪、導輪砂漿桶，所述的鋼線導輪安裝於支架上，所述的支架位於所述的加工室中，其特徵在於，所述的多個鋼線導輪為單獨驅動的剛性鋼線導輪。
2.根據權利要求I所述的多線切割機，其特徵在於，所述的鋼線導輪軸間距440mm。
3.根據權利要求I所述的多線切割機，其特徵在於，所述的鋼線導輪長度為500mm。
4.根據權利要求I所述的多線切割機，其特徵在於，所述的多線切割機的頂部、底部的鋼線線網各自布網。
5.根據權利要求I所述的多線切割機，其特徵在於，所述的導輪砂漿桶位於所述的加工室正下方，容量為240L。
6.根據權利要求I所述的多線切割機，其特徵在於，所述的導輪砂漿桶具有多層過濾構造。
專利摘要本實用新型提出了一種多線切割機，包括加工室、支架、多個鋼線導輪、導輪砂漿桶，所述的鋼線導輪安裝於支架上，所述的支架位於所述的加工室中，所述的多個鋼線導輪為單獨驅動的剛性鋼線導輪。本實用新型一種多線切割機防止因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，應對切薄、細線化時鋼線導輪的負荷增加，發揮高效的生產能力。
文檔編號B28D5/04GK202781472SQ20122044391
公開日2013年3月13日 申請日期2012年9月3日 優先權日2012年9月3日
發明者沈抗, 周學巧 申請人:東海縣抗歆電子廠