防靜電液塗覆系統的製作方法

2023-06-18 23:11:36

本發明涉及液晶顯示屏的制具領域，尤其涉及一種防靜電液塗覆系統。

背景技術：

液晶顯示屏的生產工藝包括對玻璃基板清洗(Cleaner)，對玻璃基板塗布上光阻後(Coater)，經過真空乾燥單元(VCD)，烘烤(Pre-bake)，再進入曝光機(Exposure)，利用MASK在玻璃基板上對光阻定義圖形；然後再經過顯影製程(Developer)顯示圖形，在曝光線設備中，塗布設備或曝光機設備，基板需放置在平臺上，並用真空吸附將基板固定在平臺上；基板在完成塗布或曝光製程後，基板與平臺剝離過程中，會有強烈的靜電發生，基板上累積的靜電會導致基板上圖形放電擊傷，且平臺與基板由於帶電極性不同，會相互吸附，導致剝離過程中粘附破片，現在採用的方式是人工在平臺上塗覆一層防防靜電液。這種方式需要定期停機，會影響設備的生產效率，且人員頻繁進入設備會造成設備內部的汙染，影響產品良率，雖然可一定程度的改善粘附破片的問題，但是對於產品靜電擊傷實際改善不大。

技術實現要素：

為克服現有技術的不足，本發明提供一種自動塗覆防靜電液於基板上的系統。

本發明提供一種防靜電液塗覆系統，用於塗覆防靜電液於一基板上，所述防靜電液塗覆系統包括一塗覆裝置，所述塗覆裝置包括一用於裝設防靜電液的容器、一噴液裝置、多個滾輪及一個塗覆滾筒，所述多個滾輪用於轉動而帶動所述基板移動，所述噴液裝置用於驅動防靜電液噴到所述塗覆滾筒上，所述塗覆滾筒用於接觸所述基板的背側並隨著所述基板移動而滾動從而將防靜電液塗覆在所述基板的背側。

進一步地，所述塗覆裝置還包括一風乾裝置，所述風乾裝置用於對所述基板進行風乾。

進一步地，所述多個滾輪平行排列。

進一步地，所述塗覆裝置還包括一接收裝置，所述接收裝置位於所述塗覆滾筒的下側以用於接收從所述塗覆滾筒上掉下的防靜電液。

進一步地，所述噴液裝置包括一噴頭及一傳輸泵，所述傳輸泵通過連接管與所述容器及所述噴頭連接，所述傳輸泵用於驅動防靜電液從所述噴頭流出從而噴到所述塗覆滾筒上。

進一步地，所述噴頭和所述傳輸泵之間連接有一閥門。

進一步地，所述防靜電液塗覆系統還包括一稀釋裝置，所述稀釋裝置包括一稀釋桶及一傳輸裝置，所述稀釋桶用於將防靜電原液和水按一定比例進行稀釋成所述防靜電液，所述傳輸裝置用於將所述稀釋桶中的防靜電液傳輸給所述容器。

進一步地，所述傳輸裝置包括一稀釋液泵，所述稀釋液泵用於驅動所述稀釋桶中的防靜電液傳輸給所述容器。

進一步地，所述防靜電液塗覆系統還包括一供液裝置，所述供液裝置連接所述稀釋裝置，所述供液裝置用於傳輸靜電原液給所述稀釋裝置。

進一步地，所述供液裝置包括一供液泵和一供液桶，所述供液桶內存儲有防靜電原液，所述供液泵用於驅動所述防靜電原液傳輸至所述稀釋裝置的稀釋桶中。

在本發明中，所述系統包括塗覆滾筒，所述多個滾輪轉動而帶動所述基板移動，所述塗覆滾筒接觸所述基板的背側並隨著所述基板移動而滾動從而將防靜電液塗覆在所述基板的背側，操作簡單方便。

附圖說明

圖1為本發明防靜電液塗覆系統較佳實施方式的塗覆裝置的示意圖。

圖2為本發明防靜電液塗覆系統較佳實施方式的稀釋裝置的示意圖。

圖3為本發明防靜電液塗覆系統較佳實施方式的供液裝置的示意圖。

具體實施方式

現在，將在下文中參照附圖更加充分地描述本發明構思，在附圖中示出了本發明構思的示例性實施例。根據將參照附圖更加詳細描述的下面的示例性實施例，本發明構思的優點和特徵以及使它們實現的方法將是清楚的。然而，應該注意的是，本發明構思不限於下面的示例性實施例，並且可以以各種形式進行實施。因此，提供示例性實施例僅為了公開本發明構思和讓本領域技術人員了解本發明構思的範疇。在附圖中，本發明構思的實施例不局限於這裡提供的具體示例。

除非另外定義，否則在本發明公開的實施例中使用的所有術語(包括技術術語和科學術語)具有與本發明所屬的技術領域的普通技術人員所通常理解的含義相同的含義，並且不需要局限於在描述本發明之時所知的特定定義。因此，這些術語可以包括該時刻之後創造的等同術語。進一步將理解的是，諸如在通常使用的字典中定義的這些術語應解釋為具有與本說明書中和現有技術的背景下的它們的含義相同的含義，並且除非這裡明確這樣定義，否則將不以理想化的或過於正式的意義來解釋。

請參閱圖1、圖2及圖3，本發明電液塗覆系統較佳實施方式包括一塗覆裝置10、一稀釋裝置30及一供液裝置50。

請參閱圖1，所述塗覆裝置10包括一用於裝設防靜電液的容器11、一噴液裝置13、多個滾輪15及一個塗覆滾筒17，所述多個滾輪15平行排列用於轉動而帶動基板移動，所述噴液裝置13包括一噴頭131及一傳輸泵133，所述傳輸泵133通過連接管與所述容器11及所述噴頭131連接，所述噴頭131和所述傳輸泵133之間連接有一閥門。所述傳輸泵133用於驅動防靜電液從所述容器11流向所述噴頭131並從所述噴頭131中噴到所述塗覆滾筒17上，所述塗覆滾筒17用於接觸所述基板的背側並隨著所述基板移動而滾動從而將防靜電液塗覆在所述基板的背側。所述塗覆滾筒17位於相鄰的兩個滾輪15之間。

所述塗覆裝置10還包括一風乾裝置CDA，所述風乾裝置CDA用於對所述基板進行風乾。

所述塗覆裝置10還包括一接收裝置19，所述接收裝置19位於所述塗覆滾筒的下側以用於接收從所述塗覆滾筒17上掉下的防靜電液。

所述稀釋裝置30包括稀釋桶及傳輸裝置33，所述稀釋桶包括第一稀釋桶31和第二稀釋桶32，用於將防靜電原液和水按一定比例進行稀釋成所述防靜電液，所述傳輸裝置33包括稀釋液泵330，所述稀釋液泵330用於驅動所述稀釋桶中的防靜電液傳輸給所述容器11。在本實施例中，防靜電原液在第一稀釋桶31或第二稀釋桶32中與去離子水進行稀釋混合，稀釋至20～30倍後，再通過稀釋液泵330驅動稀釋好的防靜電液供應至塗覆裝置10中的容器11內，然後通過傳輸泵133加壓噴到塗覆滾筒17上。

所述供液裝置50連接所述稀釋裝置30，所述供液裝置50用於傳輸靜電原液給所述稀釋裝置。如圖3所示，所述供液裝置50包括供液泵501和供液桶502，供液桶502內存儲有防靜電原液，所述供液泵501用於驅動所述防靜電原液至所述稀釋裝置30中的第一稀釋桶31或第二稀釋桶32中。

所述塗覆滾筒17與所述基板20接觸並隨基板傳送方向轉動，從而將稀釋好的防靜電液均勻塗覆在基板20的背面，塗覆在基板20背面的防靜電液通過風乾裝置CDA進行風乾，至此防靜電液塗覆完成。

所述第一稀釋桶31和所述第二稀釋桶32分別通過第一稀釋開關閥311和第二稀釋開關閥312引入供液泵501提供的防靜電液，第一稀釋桶31和第二稀釋桶32切換使用，以交替稀釋混合防靜電液和去離子水，並交替輸出的稀釋好的防靜電液。

整個過程設備自動完成，每片基板均可塗覆，故可大大降低產品靜電擊傷的發生風險，提升良率。

雖然已經參照特定實施例示出並描述了本發明，但是本領域的技術人員將理解：在不脫離由權利要求及其等同物限定的本發明的精神和範圍的情況下，可在此進行形式和細節上的各種變化。