帶有作為接地屏蔽的集成去耦的平衡-非平衡轉換器的製造方法
2023-06-12 13:50:26 6
帶有作為接地屏蔽的集成去耦的平衡-非平衡轉換器的製造方法
【專利摘要】本發明涉及帶有作為接地屏蔽的集成去耦的平衡-非平衡轉換器。提供了一種裝置。在第一區域中形成傳輸線單元。在一部分第一區域內的傳輸線單元上方形成第一金屬化層。至少一部分第一金屬化層電耦合到多個傳輸線單元。在第一金屬化層上方形成第二金屬化層，其具有互連部分、交疊部分和第一平衡-非平衡轉換器。互連部分至少部分延伸到第一區域中，並且交疊部分在第一區域內。第一平衡-非平衡轉換器繞組電耦合到交疊部分並部分延伸到第二區域中。第一區域部分圍繞第二區域。在第二金屬化層上方形成第三金屬化層，其具有在第二區域內的第二平衡-非平衡轉換器繞組，其中第二繞組與第一平衡-非平衡轉換器繞組大致同軸。
【專利說明】參見2010年9月22日提交的題為「101-2/888, 208，為了所有目的通過引用將該專6衡轉換器，但是該傳輸線基本上是線性的。結果，浪費了面積。因此，希望傳輸線與並使用較小的面積。:包括:形成在第一區域中的多個傳輸線單&上方的第一金屬化層，其中至少一部分第5第一金屬化層上方的第二金屬化層，其中戶的互連部分；在第一區域內的交疊部分；釋一平衡-非平衡轉換器繞組，其中第一區I上方的第三金屬化層，其具有在第二區域:組與第一平衡-非平衡轉換器繞組大致同
其中第一平衡-非平衡轉換器繞組包括延繞組還包括耦合到第二交疊部分並指向第一方向並與第二方向相反。
互括:平衡-非平衡轉換器，其具有:由第一繞組具有指向第一方向的第一和第二引線1與第一方向相反；以及由至少一部分第二I向第三方向的第四和第五引線，其中第三繞組形成在第一繞組上方並與第一繞組大部分形成的傳輸線，其中傳輸線包括:多個第一導電平面，其在傳輸線上方延伸，其中:二金屬化層的第二部分形成的第二導電平&面上方延伸，並且其中第二導電平面電耦之的第一互連，其中第一互連電耦合到第四
I二互連，其中第二互連電耦合到第一導電
互連和第一導電平面之間的第一組通孔；丁」的美國專利申請如.12/888，208中對這:引用將該專利申請合併於此。這些單元包1更詳細地看到)的通孔108 (例如，其可以可如，其可以由鋁或銅形成)形成，並且其可112形成。如該示例中所示，形成在金屬化-以部分用作接地平面。
卜到)可以形成金屬化層118。與金屬化層珍成。金屬化層118和114之間的一個差別、到平衡-非平衡轉換器區域102中。在傳(可以由部分116-1和116-4組成)和互連I不例中，部分116-3完全位於傳輸線區域示例中，部分116-2延伸到傳輸線區域104I巨平衡轉換器區域104內，金屬化層118的122-2 (其可以是差分端子)的繞組117-1，
I1口 103。與引線122-1和122-2相反的是
【權利要求】
1.一種裝置，其包含: 形成在第一區域中的多個傳輸線單元； 形成在一部分所述第一區域內的所述多個傳輸線單元上方的第一金屬化層，其中至少一部分所述第一金屬化層電耦合到所述多個傳輸線單元； 形成在所述第一金屬化層上方的第二金屬化層，其中所述第二金屬化層包括: 至少部分延伸到所述第一區域中的互連部分； 在所述第一區域內的交疊部分； 電耦合到所述交疊部分並部分延伸到第二區域中的第一平衡-非平衡轉換器繞組，其中所述第一區域部分圍繞所述第二區域；以及形成在所述第二金屬化層上方的第三金屬化層，其具有在所述第二區域內的第二平衡-非平衡轉換器繞組，其中所述第二繞組與所述第一平衡-非平衡轉換器繞組大致同軸。
2.根據權利要求1所述的裝置，其中所述第一區域包括開口，並且其中所述第一平衡-非平衡轉換器繞組包括延伸穿過所述開口的第一引線和第二引線。
3.根據權利要求2所述的裝置，其中所述交疊部分還包括第一交疊部分和第二交疊部分，並且其中所述互連部分位於所述第一和第二交疊部分之間。
4.根據權利要求3所述的裝置，其中所述第一平衡-非平衡轉換器繞組還包括耦合到所述第二交疊部分且與第一和第二引線相反的第三引線。
5.根據權利要求4所述的裝置，其中所述互連部分還包括第一互連部分和第二互連部分。
6.根據權利要求5所述的裝置，其中所述第二平衡-非平衡轉換器繞組還包括: 耦合到所述第一互連部分的第四引線；以及 耦合到所述第二互連部分的第五引線。
7.一種裝置，其包含: 第一區域； 第二區域，其中所述第一區域基本上圍繞所述第二區域的至少一部分，並且其中所述第一區域包括開口； 形成在所述第一區域中的多個傳輸線單元； 形成在所述第一區域中的具有多個部分的第一金屬化層，所述多個部分電耦合到所述多個傳輸線單元； 形成在所述第一金屬化層上方的第二金屬化層，其中所述第二金屬化層包括: 至少部分延伸到所述第一區域中的互連部分； 在所述第一區域內的交疊部分； 電耦合到所述交疊部分且部分延伸到第二區域中的第一平衡-非平衡轉換器繞組，其中所述第一區域部分圍繞所述第二區域；以及形成在所述第二金屬化層上方的第三金屬化層，其具有在所述第二區域內的第二平衡-非平衡轉換器繞組，其中所述第二繞組與所述第一平衡-非平衡轉換器繞組大致同軸。
8.根據權利要求7所述的裝置，其中所述互連部分還包括第一互連部分和第二互連部分。
9.根據權利要求8所述的裝置，其中所述第二平衡-非平衡轉換器繞組還包括:耦合到所述第一互連部分的第一引線；以及 耦合到所述第二互連部分的第二引線。
10.根據權利要求9所述的裝置，其中所述第一和第二引線指向第一方向，並且其中所述第一平衡-非平衡轉換器繞組包括延伸穿過所述開口並指向第二方向的第一和第二引線，並且其中所述第一方向大致垂直於所述第二方向。
11.根據權利要求10所述的裝置，其中所述交疊部分還包括第一交疊部分和第二交疊部分，並且其中所述互連部分位於所述第一和第二交疊部分之間。
12.根據權利要求11所述的裝置，其中所述第一平衡-非平衡轉換器繞組還包括耦合到所述第二交疊部分且指向第三方向的第三引線，其中所述第三方向大致垂直於所述第一方向並與所述第二方向相反。
13.一種裝置，其包括: 平衡-非平衡轉換器，其具有: 由第一金屬化層的第一部分形成的第一繞組，其中所述第一繞組具有指向第一方向的第一和第二引線以及指向第二方向的第三引線，並且其中所述第二方向與所述第一方向相反；和 由第二金屬化層的至少一部分形成的第二繞組，其中所述第二繞組具有指向第三方向的第四和第五引線，其中所述第三方向大致垂直於所述第一和第二方向，並且其中所述第二繞組形成在所述第一繞組上方並與所述第一繞組大致同軸； 沿所述平衡-非平衡轉換器的外圍的至少一部分形成的傳輸線，其中所述傳輸線包括多個傳輸線單元； 由第三金屬化層的至少一部分形成的第一導電平面，其在所述傳輸線上方延伸，其中至少一部分所述第一導電平面電耦合到所述傳輸線； 由所述第二金屬化層的第二部分形成的第二導電平面，其中所述第二導電平面在至少一部分所述第一導電平面上方延伸，並且其中所述第二導電平面電耦合到所述第三引線；由所述第二金屬化層的第三部分形成的第一互連，其中所述第一互連電耦合到所述第四引線；以及 由所述第二金屬化層的第四部分形成的第二互連，其中所述第二互連電耦合到所述第一導電平面和所述第五引線。
14.根據權利要求13所述的裝置，其中所述裝置還包括: 耦合在所述第二互連和所述第一導電平面之間的第一組通孔；以及 耦合在所述第五引線和所述第二互連之間的第二組通孔。
15.根據權利要求14所述的裝置，其中所述第一、第二和第三金屬化層由銅或鋁形成。
16.根據權利要求15所述的裝置，其中所述第一和第二組通孔由鎢形成。
【文檔編號】H03H7/42GK103840786SQ201310593903
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年11月21日 優先權日:2012年11月21日
【發明者】S·桑卡蘭, B·P·金斯伯格, V·B·倫塔拉, S·M·拉馬斯瓦米, E·賽奧克, B·哈龍, B·A·克雷默, H·阿里, N·C·沃克 申請人:德克薩斯儀器股份有限公司