一種石英坩堝熔制機運動控制系統的製作方法

2023-08-03 10:08:11 1

一種石英坩堝熔制機運動控制系統的製作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種石英坩堝熔制機運動控制系統，包括支撐板、電機II、絲杆、電極、磨具、電機III、水平臺、支架、電機I和皮帶組成；所述水平臺支撐整個系統，所述水平臺上置有電機III，所述電機III置於磨具下方，所述電極下端置於磨具內；所述支架支撐電機I和皮帶，所述支撐板固定在皮帶上，所述電機I帶動皮帶運動，帶動電極的升降運動，所述電機II帶動絲杆運動，所述電極沿著絲杆左右移動。本實用新型採用三組電機控制電極的運動和磨具的運動，電極升降系統由伺服電極驅動絲槓升降機構以實現電極進給位置準確可靠。
【專利說明】一種石英坩堝熔制機運動控制系統
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種石英坩堝系統領域，特別是涉及一種石英坩堝熔制機運動控制系統。
【背景技術】
[0002]真空電弧法生產石英坩堝設備是目前世界上生產坩堝最先進的技術設備。它以電弧為熱源，離心成型的工藝製造坩堝。其特點是設備可操作性強，工藝成熟，產品利潤空間大，市場前景廣闊。石英玻璃坩堝是單晶矽生產中的關鍵必需品，是半導體產業的龍頭產業。廣泛應用於電子、化工等諸多行業。用電弧法制的半導體半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶矽，發展大規模集成電路必不可少的基礎材料。當今，世界半導體工業發達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。主要是採用電弧為熱源，離心成型為基礎，融化預先成型的高純石英粉料，通過抽真空製造高純度內層透明，外層乳白的石英坩堝裝置。
實用新型內容
[0003]針對現有技術存在的問題，本實用新型的目的是提供一種石英坩堝熔制機運動控制系統，包括支撐板1、電機112、絲杆3、電極4、磨具5、電機II16、水平臺7、支架8、電機19和皮帶10組成；其特徵在於:所述水平臺7支撐整個系統，所述水平臺7上置有電機1116，所述電機III6置於磨具5下方，所述電極4下端置於磨具5內；所述支架8支撐電機19和皮帶10，所述支撐板I固定在皮帶10上，所述電機19帶動皮帶10運動，帶動電極4的升降運動，所述電機Π2帶動絲杆3運動，所述電極4沿著絲杆3左右移動。
[0004]本實用新型採用三組電機控制電極的運動和磨具的運動，電極升降系統由伺服電極驅動絲槓升降機構以實現電極進給位置準確可靠。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0005]圖1為本實用新型的示意圖。
【具體實施方式】
[0006]參照圖1中，本實用新型採用的技術方案為一種石英坩堝熔制機運動控制系統，包括支撐板1、電機112、絲杆3、電極4、磨具5、電機1116、水平臺7、支架8、電機19和皮帶10組成；其特徵在於:所述水平臺7支撐整個系統，所述水平臺7上置有電機1116，所述電機III6置於磨具5下方，所述電極4下端置於磨具5內；所述支架8支撐電機19和皮帶
10,所述支撐板I固定在皮帶10上,所述電機19帶動皮帶10運動,帶動電極4的升降運動，所述電機Π2帶動絲杆3運動，所述電極4沿著絲杆3左右移動。
[0007]以上所述，僅是本實用新型的實施例，並非對本實用新型作任何限制，凡是根據本實用新型技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結構變化，均仍屬於本實用新型技術方案的保護範圍內。
【權利要求】
1.一種石英坩堝熔制機運動控制系統，其特徵在於:包括支撐板(I)、電機II (2)、絲杆(3)、電極(4)、磨具(5)、電機III (6)、水平臺(7)、支架(8)、電機I (9)和皮帶(10)組成；其特徵在於:所述水平臺(7)支撐整個系統，所述水平臺(7)上置有電機III (6)，所述電機III (6)置於磨具(5)下方，所述電極(4)下端置於磨具(5)內；所述支架(8)支撐電機I (9)和皮帶(10)，所述支撐板(I)固定在皮帶(10)上，所述電機I (9)帶動皮帶(10)運動，帶動電極(4)的升降運動，所述電機II (2)帶動絲杆(3)運動，所述電極(4)沿著絲杆(3)左右移動。
【文檔編號】G05D3/00GK203643845SQ201320729948
【公開日】2014年6月11日 申請日期:2013年11月16日 優先權日:2013年11月16日
【發明者】祝軍武, 高喜梅, 張新麗 申請人:西安艾力特電子實業有限公司