準單晶鑄錠爐坩堝平臺升降裝置的真空密封結構的製作方法
2023-08-04 07:57:51
準單晶鑄錠爐坩堝平臺升降裝置的真空密封結構的製作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種準單晶鑄錠爐坩堝平臺升降裝置的真空密封結構,包括爐殼、移動立柱、支撐座,所述支撐座內設有真空密封橡膠圈、墊圈、油氈和壓蓋,所述爐殼內流通有冷卻水。本實用新型結構合理,使坩堝平臺升降裝置的移動立柱在運動中能保持爐內的密封,不會有空氣進入設備內部,滿足其生產工藝要求,解決了在生產中鑄錠爐內部保持真空的需求。
【專利說明】準單晶鑄錠爐坩堝平臺升降裝置的真空密封結構
【技術領域】
[0001]本實用新型屬於準單晶鑄錠爐【技術領域】,特別涉及準單晶鑄錠爐坩堝平臺升降裝置的真空密封結構。
【背景技術】
[0002]準單晶是在準單晶鑄錠爐上採用誘導式方法鑄造結晶獲得的,再經過開方,切片環節,可生產出的具有高轉換率的準單晶矽片。其主要工藝是通過在準單晶鑄錠爐石英坩堝的底部增加籽晶,並在真空和保護氣氛狀態下,採用精確分段控溫,保證矽料融化時籽晶部分融化,由此長出單晶。此項技術具備多晶矽鑄錠高產出、高品質、低能耗的優點。產出的準單晶位錯在允許範圍內,光電轉換效率明顯高於多晶矽。這種通過鑄錠的方式形成單晶矽的技術,其功耗只比普通多晶矽多5%,所生產的單晶矽的質量接近直拉單晶矽。這種技術就是用多晶矽的成本,生產單晶矽的技術。
[0003]準單晶量產決定性因素:
[0004](I)可行的技術路線,如果生產準單晶在理論上沒有可行的技術路線,準單晶產品將只能處於實驗室階段;
[0005]( 2 )合理的熱場設計;
[0006]( 3 )精準籽晶熔化控制設備;
[0007](4)結晶過程中動態的溫差控制;
[0008](5)低廉的生產成本。
[0009]針對以上的第(4)、(5)條,原多晶矽鑄錠爐是上保溫體、上發熱體、側發熱體上下移動,其密封由金屬焊接波紋管來密封。在準單晶鑄錠爐中需要實現坩堝平臺的上下移動,而坩堝平臺升降機構位於爐殼的外部,移動部件又穿過保溫體和爐體,其受熱變形也會對可靠運動產生影響,必須考慮到整個移動過程中的真空密封,以確保設備的真空要求。
實用新型內容
[0010]本實用新型的目的在於提供一種準單晶鑄錠爐坩堝平臺升降裝置的真空密封結構,以滿足在生產中爐體內部保持真空狀態的要求。
[0011]為實現上述目的,本實用新型採用以下方案:
[0012]一種準單晶鑄錠爐坩堝平臺升降裝置的真空密封結構,包括爐殼、移動立柱、支撐座,支撐座內設有真空密封橡膠圈、墊圈、油氈、壓蓋。
[0013]所述支撐座設置在爐殼底部,移動立柱置於中空的支撐座內部,支撐座的下端設有沉孔,沉孔內與移動立柱之間設有兩個真空密封橡膠圈,兩個真空密封橡膠圈的外圈之間設有墊圈,兩個真空密封橡膠圈的內圈之間設有油氈,沉孔端部設有壓蓋。
[0014]所述爐殼內流通有冷卻水,用來對移動立柱降溫,以保護真空密封橡膠圈。
[0015]在鑄錠爐的工作過程中,其坩堝平臺由:3~4個移動立柱支撐,它帶動平臺在爐內上下移動,在支撐座內通過壓蓋及墊圈將真空密封橡膠圈壓緊在移動立柱和支撐座之間,確保端面不漏氣;所述真空密封橡膠圈內徑比移動立柱外徑略小,可將立柱包裹,防止軸向漏氣;移動立柱由於熱傳導至溫度較高,在移動時爐殼內有冷卻水可將熱量帶走,使得移動立柱的溫度在支撐座處能滿足真空密封橡膠圈的耐溫要求,使其沒有損傷,沒有損傷就不會破壞密封;由此可以確保在移動立柱運動時不會有空氣進入設備內,爐體內部維持真空狀態,滿足其生產工藝要求。
[0016]本實用新型結構合理,使坩堝平臺升降裝置的移動立柱在運動中保持密封狀態,滿足了在生產中鑄錠爐內部保持真空的需求。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0017]圖1為本實用新型的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0018]以下結合實施例及其附圖對本實用新型做進一步詳細的說明:
[0019]如圖1所示,一種準單晶鑄錠爐坩堝平臺升降裝置的真空密封結構,包括移動立柱1、壓蓋2、真空密封橡膠圈3、墊圈4、油氈5、爐殼6、支撐座7。
[0020]所述支撐座7設置在爐殼6底部,移動立柱I置於中空的支撐座7內部,支撐座7的下端設有沉孔,沉孔內與支撐立柱I之間設有兩個真空密封橡膠圈3,兩個真空密封橡膠圈3的外圈之間設有墊圈4,兩個真空密封橡膠圈3的內圈之間設有油氈5,沉孔端部設有壓蓋2。
[0021]所述爐殼6內流通有冷卻水61。
[0022]以上所述的僅是本實用新型的優選實施方式,應當指出,對於本領域的普通技術人員來說,在不脫離本實用新型原理的前提下,還可以作出若干變型和改進,這些也應視為屬於本實用新型的保護範圍。
【權利要求】
1.一種準單晶鑄錠爐坩堝平臺升降裝置的真空密封結構,包括爐殼、移動立柱、支撐座,其特徵在於:所述支撐座內設有真空密封橡膠圈、墊圈、油氈和壓蓋; 所述支撐座設置在爐殼底部,移動立柱置於中空的支撐座內部,支撐座的下端設有沉孔,沉孔內與移動立柱之間設有兩個真空密封橡膠圈,兩個真空密封橡膠圈的外圈之間設有墊圈,兩個真空密封橡膠圈的內圈之間設有油氈,沉孔端部設有壓蓋。
2.根據權利要求1所述的準單晶鑄錠爐坩堝平臺升降裝置的真空密封結構,其特徵在於:所述爐殼內流通有冷卻水。
【文檔編號】C30B28/06GK203382845SQ201320463146
【公開日】2014年1月8日 申請日期:2013年7月31日 優先權日:2013年7月31日
【發明者】水川, 許柏 申請人:安徽大晟新能源設備科技有限公司