插板閥的密封結構的製作方法

2023-08-05 04:46:11

專利名稱：插板閥的密封結構的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種夾入電子紙、有機EL、薄膜太陽電池、液晶顯示裝置的濾色器等的基底材料以及其他片狀部件而進行密封的插板閥的密封結構，尤其涉及可以以小型的機械配置來提高插板閥的密封性能的插板閥的密封結構。
背景技術：


圖12是將上述的片狀部件間歇性地移送至真空腔或密封腔(下面統稱為「腔」)中，在停止於該腔內的片狀部件的部件表面進行PVD或CVD等加工的例如真空加工裝置的概念圖。
圖12的真空加工裝置在通過真空泵抽吸成真空的腔的出入口設置插板閥。該插板閥通過夾入片狀部件而封住該部件表面，從而隔開腔內與其外部，使腔內保持真空。關於 具有這種功能、構成的插板閥，已被例如專利文獻I (參照該文獻I的圖2和圖3)所公開。
該文獻I中公開的插板閥(下面稱為「現有的插板閥」)具有使片狀部件插入而通過的彈性筒體35、使弾性筒體35在徑向發生彈性變形的上下活塞71A、71B(參照該文獻的圖2和圖3)。並且，在該插板閥中，通過上下活塞71A、71B使弾性筒體35向內側撓曲，用撓 曲的彈性筒體35夾入片狀部件10，用彈性筒體35的內表面封住所夾入的片狀部件10的部件兩面。
但是，在現有的插板閥中，用弾性筒體35夾入片狀部件10時，弾性筒體35的上下沒有硬度差，片狀部件可能發生變形，並且彈性筒體35必須分別與上部活塞71A和下部活塞71B連接，因此在維修等過程中需要更換彈性筒體35吋，更換作業非常費事。並且，用彈性筒體35夾入片狀部件10時，弾性筒體35與片狀部件10的兩端肯定會產生微小間隙，因此用設置在腔的兩側的兩個插板閥保持腔內高度真空是困難的。
作為保持腔內的高真空的方法，可以採用除設置在腔的插板閥之外，增設差壓排氣腔和插板閥以及真空泵而進行差壓排氣的方法，但這種方法存在因增設部件而導致裝置的機械構成大規模化的缺點。
需要說明的是，上述符號是專利文獻I中使用的符號。
現有技術文獻
專利文獻
專利文獻I :日本特開2009-30754號公報發明內容
技術問題
本發明是為了解決如上所述的問題而提出的，其目的在於提供ー種以小型的設備配置適合獲得密封性和維護性良好的插板閥的插板閥密封結構。
技術方案
為了解決上述目的，本發明所提供的夾入片狀部件進行密封的插板閥的密封結
全文摘要
本發明提供適合以小型的設備配置得到密封性能良好的插板閥的插板閥的密封結構。夾入片狀部件W進行密封的插板閥密封結構GV，包含具有擠推面(1)的擠推部件(2)；具有與擠推面(1)面對的承受面(3)的承受部件(4)；將一端開口到承受面(3)的通道(5)；對通道(5)的開口端周圍的間隙進行密封的環狀的第一密封件(6)；在將擠推面(1)擠推到承受面(3)的狀態下觀察時，與第一密封件(6)相鄰的第二密封件(7)；將擠推面(1)擠推到承受面(3)時，由該擠推面(1)、承受面(3)、所述第一密封部件(6)和第二密封件(7)以及穿插通道(5)的片狀部件W包圍的空間(8)；與空間(8)連通的差壓排氣通道(9)，該空間(8)通過差壓排氣通道(9)進行排氣，由此成為以差壓排氣對片狀部件W周圍的微小間隙進行密封的差壓排氣密封的差壓室。
文檔編號F16K51/02GK102762905SQ20108006243
公開日2012年10月31日 申請日期2010年2月26日 優先權日2010年2月26日
發明者吉田秀彥 申請人:入江工研株式會社