拉力試驗機的校準裝置製造方法
2023-07-08 06:31:06 1
拉力試驗機的校準裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型提出一種拉力試驗機的校準裝置，所述校準裝置具有一磁性的標準樣品以及一用於拉伸所述標準樣品的夾具，所述夾具具有兩個可磁化的夾板，所述標準樣品的兩個所述相對端分別吸住兩個所述夾板。在本實用新型提供的拉力試驗機的校準裝置中，所述標準樣品可以吸住所述夾板，以準確模擬拉力實驗，不需要膠水黏貼，避免清理膠水，提高工作效率；同時，夠避免外部因素的幹擾，提高測試數據的準確性；另外，當所述校準裝置進行校準時，對兩個所述夾板施加拉力，當拉力大於所述標準樣品對所述夾板的吸力時，所述標準樣品從所述夾板上託落下來，測得實驗數據，所述標準樣品不會被破壞，可以反覆利用。
【專利說明】拉力試驗機的校準裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體製造領域，尤其涉及一種拉力試驗機的校準裝置。
【背景技術】
[0002]在半導體製造過程中，需要對半導體晶圓進行不同參數的測量，以監控生產工藝是否符合標準，生產出的半導體晶圓良率是否合格。針對不同的參數量測，需要採用不同的方法。
[0003]其中一種參數量測是對晶片(Die)做拉力破壞性實驗，通過觀察Die的金屬層(Metal)與Metal之間的剝離狀態來分析製程(Process)是否正常。目前，此項實驗在業界處於起步階段，其測試方法、校準裝置以及校準方法均有待優化。現有技術中，通常採用拉力試驗機來進行Die的拉力破壞性實驗。拉力試驗機作為一種重要的試驗設備,用來對金屬和非金屬材料進行拉伸、壓縮、彎曲、剪切、剝離等力學性能試驗用的機械加力，廣泛應用於材料的各種物理機械性能測試，為物性試驗、教學研究、質量控制等不可缺少的檢測設備。圖1為現有技術中的拉力試驗機，所述拉力試驗機I具有一用於拉伸待測晶片15的夾具11。如圖2所示，所述待測晶片15包括襯底151、若干金屬層152a、152b、152c、152d以及鈍化層153，其中金屬層的層數不做限制。所述夾具11具有兩個夾板12、13，所述襯底151和鈍化層153分別通過膠水黏貼到兩個所述夾板12、13上。所述拉力試驗機I通過對兩個所述夾板12、13施加拉力，以對所述晶片15進行拉力測試。
[0004]由於拉力試驗機I的校準儀器比較貴重，通常的拉力試驗機I每年委託計量局來做校準。為了保證拉力試驗機I輸出拉力的準確性，最好在每次實驗之前，對拉力試驗機I進行校準，以確保測試數據的準確性。然而，不可能在做每次的實驗的時候，都委託計量局來校準拉力試驗機I。所以，通常需要用製備專門的標準樣品來校準機臺，一般的，選擇與所述待測晶片15相同結構的晶片作為所述標準樣品。然而，所述標準樣品在製備的過程中，會遇到很多幹擾因素會影響到分析值的準確性；另外，即使所述標準樣品製備沒問題，由於拉力實驗是一次性破壞實驗，一次校準實驗後，所述標準樣品用完就報廢了，如果當拉力試驗機I需要做反覆性的測試才能達到校準的效果時，需要製備若干所述標準樣品，費時費力；並且，現有技術中的所述標準樣品需要黏貼到兩個所述夾板12、13上，所以，膠水14塗抹的均勻性也會影響測試數據，拉力試驗結束後，還需要清理粘附在所述夾板12、13上的膠水14，工作效率低。
實用新型內容
[0005]本實用新型的目的在於提供一種拉力試驗機的校準裝置，能夠準確模擬拉力實驗，並能夠反覆利用，提聞效率。
[0006]為了實現上述目的，本實用新型提出一種拉力試驗機的校準裝置，所述校準裝置具有一磁性的標準樣品以及一用於拉伸所述標準樣品的夾具，所述夾具具有兩個可磁化的夾板，所述標準樣品具有兩個相互背離的相對端，兩個所述相對端分別吸住兩個所述夾板。[0007]進一步的，所述標準樣品為一可變磁力磁鐵。
[0008]進一步的，所述標準樣品為一電磁鐵。
[0009]進一步的，所述標準樣品的兩個相對端為兩個磁極。
[0010]進一步的，所述標準樣品的兩個相對端均為平面。
[0011]進一步的，所述夾板為條形。
[0012]進一步的，所述夾板為鐵夾板。
[0013]與現有技術相比，本實用新型的有益效果主要體現在；
[0014]1、在本實用新型的拉力試驗機的校準裝置中，所述校準裝置具有一磁性的標準樣品以及一用於拉伸所述標準樣品的夾具，所述夾具具有兩個可磁化的夾板，所述標準樣品的兩個相對端分別吸住兩個所述夾板，與現有技術相比，磁性的所述標準樣品可以吸住兩個可磁化的所述夾板，通過所述標準樣品對所述夾板的吸力準確模擬拉力實驗，不需要膠水黏貼，避免清理膠水，提高工作效率；同時，磁性的所述標準樣品能夠避免外部因素的幹擾，提高測試數據的準確性；另外，當所述校準裝置進行校準時，對兩個所述夾板施加拉力，當拉力大於所述標準樣品對所述夾板的吸力時，所述標準樣品從所述夾板上託落下來，測得實驗數據，所述標準樣品不會被破壞，可以反覆利用，從而確保每次做實驗前拉力試驗機量測的準確度。
[0015]2、在本實用新型的拉力試驗機的校準裝置中，所述標準樣品為一可變磁力磁鐵，例如電磁鐵，可以通過調節所述電磁鐵的導電繞組的數量以及導電繞組的電流，控制所述電磁鐵的吸力，使得所述標準樣品對具有所述夾板具有不同的吸力；當需要測試不同製程的待測晶片時，可以通過調節導電繞組的電流，以使所述標準樣品的力值範圍與所述待測晶片的力值範圍相匹配，從而精確地對拉力試驗機量測進行校準。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1為現有技術中拉力試驗機的示意圖；
[0017]圖2為現有技術中拉力試驗機的夾具的示意圖；
[0018]圖3為本實用新型一實施例中拉力試驗機的校準裝置的示意圖。
【具體實施方式】
[0019]下面將結合示意圖對本實用新型的拉力試驗機的校準裝置進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型，而仍然實現本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對於本領域技術人員的廣泛知道，而並不作為對本實用新型的限制。
[0020]為了清楚，不描述實際實施例的全部特徵。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本實用新型由於不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須做出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是複雜和耗費時間的，但是對於本領域技術人員來說僅僅是常規工作。
[0021]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特徵將更清楚。需說明的是，附圖均採用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0022]請參考圖3，具體說明本實施例提出一種拉力試驗機的校準裝置，所述拉力試驗機的校準裝置用於對拉力試驗機進行校準。所述校準裝置具有一磁性的標準樣品25以及一用於拉伸所述標準樣品25的夾具21，所述夾具21具有兩個可磁化的夾板22、23，所述標準樣品25具有兩個相互背離的相對端25a、25b,兩個所述相對端25a、25b分別吸住兩個所述夾板22、23。其中，所述夾板22、23的材料可以為鐵，也可以為鈷、鎳等可磁化的材料，只要是能夠被磁性的所述標準樣品25的磁力所吸引，亦在本實用新型的思想範圍之內。
[0023]由於磁性的所述標準樣品25可以吸住兩個可磁化的所述夾板22、23，通過所述標準樣品25對所述夾板22、23的吸力準確模擬拉力實驗，不需要膠水黏貼，避免清理膠水，提高工作效率；同時，磁性的所述標準樣品25能夠避免外部因素的幹擾，提高測試數據的準確性；另外，當所述校準裝置進行校準時，對兩個所述夾板22、23施加拉力，當拉力大於所述標準樣品25對所述夾板22、23的吸力時，所述標準樣品25從所述夾板22、23上託落下來，測得實驗數據，所述標準樣品25不會被破壞，可以反覆利用，從而確保每次做實驗前拉力試驗機量測的準確度。
[0024]較佳的，所述標準樣品25為一可變磁力磁鐵，可以通過調節所述可變磁力磁鐵的磁力，使得所述標準樣品25對具有所述夾板22、23具有不同的吸力。在本實施例中，所述標準樣品25為一電磁鐵，所述標準樣品25由鐵芯251以及圍繞在所述鐵芯251外的導電繞組252組成。可以通過調節所述電磁鐵的導電繞組252的數量以及導電繞組252的電流，控制所述電磁鐵的吸力，使得所述標準樣品25對具有所述夾板22、23具有不同的吸力；當需要測試不同製程的待測晶片時，可以通過調節導電繞組252的電流，以使所述標準樣品25的力值範圍與所述待測晶片的力值範圍相匹配，從而精確地對拉力試驗機量測進行校準。
[0025]較佳的，所述標準樣品25的兩個相對端25a、25b為磁鐵的兩個磁極，有利於提高所述標準樣品25的磁力，並保證所述標準樣品25對所述夾板22、23吸力的穩定性。在本實施例中，所述標準樣品的25兩個相對端25a、25b均為平面，有利於提高測試的準確性，但兩個相對端25a、25b並不限於為平面，還可以為曲面等。
[0026]在本實施例中，所述夾板22、23為條形，條形的所述夾板22、23可以與平面的所述相對端25a、25b很好的配合，可以保證所述標準樣品25對所述夾板22、23吸力的穩定性，從而提高測試的準確度，但所述夾板22、23並不限於為條形，還可以為圓柱形等形狀。另夕卜，所述鐵芯251的形狀亦不做具體限制，在本實施例中，由於所述夾板22、23為條形，所述鐵芯251的形狀亦為條形。
[0027]綜上，在本實用新型實施例的核心思想在於提供一種拉力試驗機的校準裝置，所述校準裝置具有一磁性的標準樣品以及一用於拉伸所述標準樣品的夾具，所述夾具具有兩個可磁化的夾板，所述標準樣品的兩個相對端分別吸住兩個所述夾板。與現有技術相比，本實用新型的有益效果主要體現在；
[0028]1、在本實用新型的拉力試驗機的校準裝置中，所述校準裝置具有一磁性的標準樣品以及一用於拉伸所述標準樣品的夾具，所述夾具具有兩個可磁化的夾板，所述標準樣品的兩個相對端分別吸住兩個所述夾板，與現有技術相比，磁性的所述標準樣品可以吸住兩個可磁化的所述夾板，通過所述標準樣品對所述夾板的吸力準確模擬拉力實驗，不需要膠水黏貼，避免清理膠水，提高工作效率；同時，磁性的所述標準樣品能夠避免外部因素的幹擾，提高測試數據的準確性；另外，當所述校準裝置進行校準時，對兩個所述夾板施加拉力，當拉力大於所述標準樣品對所述夾板的吸力時，所述標準樣品從所述夾板上託落下來，測得實驗數據，所述標準樣品不會被破壞，可以反覆利用，從而確保每次做實驗前拉力試驗機量測的準確度。
[0029]2、在本實用新型的拉力試驗機的校準裝置中，所述標準樣品為一可變磁力磁鐵，例如電磁鐵，可以通過調節所述電磁鐵的導電繞組的數量以及導電繞組的電流，控制所述電磁鐵的吸力，使得所述標準樣品對具有所述夾板具有不同的吸力；當需要測試不同製程的待測晶片時，可以通過調節導電繞組的電流，以使所述標準樣品的力值範圍與所述待測晶片的力值範圍相匹配，從而精確地對拉力試驗機量測進行校準。
[0030]上述僅為本實用新型的優選實施例而已，並不對本實用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術領域】的技術人員，在不脫離本實用新型的技術方案的範圍內，對本實用新型揭露的技術方案和技術內容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實用新型的技術方案的內容，仍屬於本實用新型的保護範圍之內。
【權利要求】
1.一種拉力試驗機的校準裝置，其特徵在於，所述校準裝置具有一磁性的標準樣品以及一用於拉伸所述標準樣品的夾具，所述夾具具有兩個可磁化的夾板，所述標準樣品具有兩個相互背離的相對端，兩個所述相對端分別吸住兩個所述夾板。
2.如權利要求1所述的拉力試驗機的校準裝置，其特徵在於，所述標準樣品為一可變磁力磁鐵。
3.如權利要求2所述的拉力試驗機的校準裝置，其特徵在於，所述標準樣品為一電磁鐵。
4.如權利要求2或3所述的拉力試驗機的校準裝置，其特徵在於，所述標準樣品的兩個相對端為兩個磁極。
5.如權利要求1所述的拉力試驗機的校準裝置，其特徵在於，所述標準樣品的兩個相對端均為平面。
6.如權利要求1所述的拉力試驗機的校準裝置，其特徵在於，所述夾板為條形。
7.如權利要求1所述的拉力試驗機的校準裝置，其特徵在於，所述夾板為鐵夾板。
【文檔編號】G01N3/62GK203534921SQ201320672682
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年10月29日 優先權日:2013年10月29日
【發明者】陳霞莉, 位樹, 程波 申請人:中芯國際集成電路製造(北京)有限公司