多線切割機導輪結構的製作方法

2023-08-07 09:47:26 1

多線切割機導輪結構的製作方法
【專利摘要】本實用新型涉及半導體切割裝置【技術領域】，公開了一種多線切割機導輪結構。所述一種多線切割機導輪結構，包括導輪本體（1），位於導輪本體（1）外周的導輪塗層（2），位於導輪塗層（2）上並沿導輪本體（1）圓周布置的導輪槽（3）和卡在導輪槽（3）的鋼線（4），其特徵在於，還包括：所述導輪槽（3）的槽深為，所述導輪槽（3）的開槽角度為，與鋼線（4）的直徑滿足關係：。本實用新型中導輪的導輪槽具有合適的槽深，使鋼線既不易跳線又不深入，減小導輪槽內壁對鋼線的磨損，從而減少矽片切割時出現故障的概率，確保矽片的切割精度和質量。
【專利說明】多線切割機導輪結構

【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及半導體切割裝置【技術領域】，具體地，涉及一種多線切割機導輪結 構。

【背景技術】
[0002] 在半導體切割裝置【技術領域】中，多線切割機技術作為一種比較先進的矽片加工技 術，被當前絕大多數矽片生產廠家所採用。作為多線切割機的核心部件，導輪結構對切割 矽片的精度和質量起著至關重要的作用，其包括導輪本體，位於導輪本體外周的導輪塗層， 位於導輪塗層上並沿導輪本體圓周布置的導輪槽和卡在導輪槽的鋼線。在多線切割機工 作時，纏繞在導輪上的數百條鋼線沿導輪本體圓周方向高速旋轉，從而將磨料切割成具有 一定厚度的薄片。導輪中的導輪槽用於承載鋼線，並約束鋼線的切割方向，其主要參數有槽 距、槽深、開槽角度、槽距修正值、外徑、跳動值等，但是在實際生產中，導輪在開槽時只根據 鋼線的直徑和所需矽片的厚度確定導輪槽之間的槽距，而忽略其它導輪槽參數的設定。
[0003] 由於在導輪槽開槽時忽略了槽深和開槽角度參數的影響，實際生產中會出現如下 兩個問題：如圖1所示，如果導輪槽開槽過淺、角度過小，會造成鋼線無法準確卡在導輪槽 內，在矽片切割時容易出現跳線，改變鋼線的切割方向，從而使切割矽片的厚度出現不均勻 的問題。另一個問題如圖2所示，如果導輪槽開槽過深、角度過大，會造成鋼線在導輪槽中 存在過大的移動空間，在矽片切割時鋼線將會在導輪槽內左右移動，頻繁地與導輪槽內壁 產生摩擦而磨損鋼線，不但使線徑變小，增加斷線的風險，還會增大切割矽片的厚度，影響 矽片的精度和質量。
[0004] 針對上述兩個問題，多線切割機的導輪除了具有合適的槽距外，其導輪槽還應該 具有合適的槽深和合適的開槽角度，使多線切割機在切割時，既不輕易出現跳線，又可以減 小導輪槽內壁對鋼線的磨損，從而減少矽片切割時出現故障的概率，確保矽片的切割精度 和質量。 實用新型內容
[0005] 針對目前多線切割機導輪易造成鋼線磨損或跳線的問題，本實用新型提出了一種 多線切割機導輪結構，具有合適的槽深和開槽角度，在切割時既不輕易出現跳線，又可以減 小導輪槽內壁對鋼線的磨損，從而減少矽片切割時出現故障的概率，確保矽片的切割精度 和質量。
[0006] 本實用新型採用的技術方案，提供一種多線切割機導輪結構，包括導 輪本體，位於導輪本體外周的導輪塗層，位於導輪塗層上並沿導輪本體圓周布 置的導輪槽和卡在導輪槽的鋼線，其特徵在於，還包括：所述導輪槽的槽深為 i，所述導輪槽的開槽角度為《，與鋼線的直徑J?滿足關係

【權利要求】
1. 一種多線切割機導輪結構，包括導輪本體（1)，位於導輪本體（1)外周的導輪塗層 (2)，位於導輪塗層（2)上並沿導輪本體（1)圓周布置的導輪槽（3)和卡在導輪槽（3)的鋼 線（4)，其特徵在於，還包括： 所述導輪槽（3)的槽深為I，所述導輪槽（3)的開槽角度為《，與鋼線（4)的直徑fl滿足 關係：
2. 如權利要求1所述的多線切割機導輪結構，其特徵在於，包括： 所述導輪槽（3)的開槽角度〇不小於46度且不大於60度。
3. 如權利要求1所述的多線切割機導輪結構，其特徵在於，包括： 所述導輪槽（3)的開槽角度a為導輪槽截面積指數不大於第一數值時的最小開槽角 度；
4. 如權利要求3所述的多線切割機導輪結構，其特徵在於，包括： 所述第一數值為大於2. 5且不大於2. 7的實數。
5. 如權利要求1所述的多線切割機導輪結構，其特徵在於，包括： 所述導輪槽（3)的截面為等腰三角形。
【文檔編號】B28D5/04GK204094970SQ201420593080
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2014年10月15日 優先權日:2014年10月15日
【發明者】黃武林, 劉興翀, 林洪峰 申請人:天威新能源控股有限公司