磷擴散的矽片承載裝置製造方法
2023-08-06 07:51:36 2
磷擴散的矽片承載裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種磷擴散的矽片承載裝置，包括石英舟，而其：還包括兩端有端側板的石英託架，且石英託架的底部呈圓弧形結構而形成沉腔，在沉腔的底下表面有分開布置的支腳，所述石英舟設在石英託架的沉腔內，且石英舟的上沿口高出石英託架的上沿口。本實用新型具有結構簡單，矽片易於與石英管相分離，且生產成本較低等優點。
【專利說明】磷擴散的矽片承載裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型具體涉及一種磷擴散的矽片承載裝置。
【背景技術】
[0002]現有的矽片在進行磷擴散處理時，將多個矽片裝載在石英舟上，而相鄰矽片之間夾有紙源，再將石英舟推入石英管內，並放置在擴散爐內，對矽片實施磷擴散。由於高濃度紙源在400°C左右時開始燃燒分解，在未達到擴散溫度之前，紙源的殘留物將會融化成為粘性液體，並沿著矽片滲流到石英管的內壁上，在磷擴散的降溫過程中，隨著擴散爐內的溫度逐漸降低，石英管內壁上的粘性液體也逐漸冷卻，此時，石英管與石英舟的接觸面上，且被粘性液體覆蓋的部分就會牢牢黏在一起，為了將石英舟從石英管內取出，需要用石英棒敲擊石英管與石英舟的接觸面，在這個過程中，既會損傷石英舟和石英管，也會碰觸到磷擴散後的矽片，使得矽片破損，這不僅增加了生產成本，也增加了廢品率。
【發明內容】
[0003]本實用新型的目的是:提供一種結構簡單，矽片易於與石英管相分離，且生產成本較低的磷擴散的矽片承載裝置，以克服現有技術的不足。
[0004]為了達到上述目的，本實用新型的技術方案:一種磷擴散的矽片承載裝置，包括石英舟，而其:還包括兩端有端側板的石英託架，且石英託架的底部呈圓弧形結構而形成沉腔，在沉腔的底外表面有分開布置的支腳，所述石英舟設在石英託架的沉腔內，且石英舟的上沿口高出石英託架的上沿口。
[0005]在上述技術方案中，所述石英託架的側端部有與其互為一體的把手。
[0006]在上述技術方案中，所述石英託架的支腳有6個，每組3個支腳分別沿石英託架的兩側長度方向分開布置。
[0007]本實用新型所具有的積極效果是:由於採用上述承載裝置後，使用時，將矽片放置在石英舟內，相鄰的矽片之間有紙源，然後將本實用新型推入石英管內，由於石英舟的上沿口高出石英託架的上沿口，阻擋了紙源高溫產生的粘性液體流入石英託架內，而石英託架底部的支腳與石英管內壁接觸，這樣就減少了兩者的接觸面積，便於將擴散後的承載裝置從石英管內取出，這樣既不會損傷石英舟和石英管，也不會碰觸到磷擴散後的矽片，有效降低了生產成本，確保了製品的質量，本實用新型結構簡單，可反覆使用。實現了本實用新型的目的。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0008]圖1是本實用新型一種【具體實施方式】的結構示意圖；
[0009]圖2是圖1的俯視圖；
[0010]圖3是圖2的A-A剖視圖；
[0011]圖4是圖2的右視圖。【具體實施方式】
[0012]以下結合附圖以及給出的實施例，對本實用新型作進一步的說明，但並不局限於此。
[0013]如圖1、2、3、4所示，一種磷擴散的矽片承載裝置，包括石英舟1，而其:還包括兩端有端側板2-3的石英託架2，且石英託架2的底部呈圓弧形結構而形成沉腔2-1，在沉腔2-1的底外表面有分開布置的支腳2-2，所述石英舟I設在石英託架2的沉腔2-1內，且石英舟I的上沿口高出石英託架2的上沿口。
[0014]如圖1、2、4所示，為了便於將本實用新型推入或取出石英管，所述石英託架2的側端部有與其互為一體的把手3。
[0015]如圖1、4所示，所述石英託架2的支腳2-2有6個，每組3個支腳2_2分別沿石英託架2的兩側長度方向均勻分開布置。
[0016]本實用新型小試效果顯示，使用時，將矽片放置在石英舟I內，且相鄰的矽片之間夾有紙源，操作人員手持把手3，將本實用新型推入石英管內，然後再將石英管送至擴散爐內，對矽片實施磷擴散；由於石英託架2的底部的六個支腳2-2與石英管直接接觸，減少了兩者的接觸面積，便於與石英管相分離，既不會損傷石英舟和石英管，也不會碰觸到磷擴散後的矽片，有效降低了生產成本；又由於石英舟I的上沿口高出石英託架2的上沿口，因此，阻擋了紙源高溫產生的粘性液體流入石英託架2內；實現了本實用新型的初衷。
【權利要求】
1.一種磷擴散的矽片承載裝置，包括石英舟(1)，其特徵在於:還包括兩端有端側板(2-3)的石英託架(2)，且石英託架(2)的底部呈圓弧形結構而形成沉腔(2-1)，在沉腔(2-1)的底外表面有分開布置的支腳(2-2)，所述石英舟(I)設在石英託架(2)的沉腔(2-1)內，且石英舟(I)的上沿口高出石英託架(2)的上沿口。
2.根據權利要求1所述的磷擴散的矽片承載裝置，其特徵在於:所述石英託架(2)的側端部有與其互為一體的把手(3)。
3.根據權利要求1所述的磷擴散的矽片承載裝置，其特徵在於:所述石英託架(2)的支腳(2-2)有6個，每組3個支腳(2-2)分別沿石英託架(2)的兩側長度方向分開布置。
【文檔編號】H01L21/673GK203481199SQ201320604230
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年9月29日 優先權日:2013年9月29日
【發明者】馮麗萍 申請人:常州銀河電器有限公司