組合式高精度質量流量控制系統的製作方法
2023-07-30 05:39:31 1
本實用新型涉及一種用於氣體流量計量裝置的組合式高精度質量流量控制系統。
背景技術：
現有技術中的對氣體流量的控制一般通過單一性能的測量裝置實現，只能針對特定技術參數進行監控，氣體流量控制具有較大的局限性，量程範圍小，不能兼顧不同的量程，精度不高，特別是微小流量的情況下難以精確控制，流量調節困難；而直接使用氣體減壓閥調節流量，也存在流量調節不準確、耗時較長、可測量程範圍窄等問題，並且影響微小氣體流量計量的準確性。
技術實現要素：
本實用新型所要解決的技術問題是，提供一種能夠精確測量氣體流量，量程範圍大，測量精度高的組合式高精度質量流量控制系統。
本實用新型的組合式高精度質量流量控制系統，與氣源連接有進氣管路，進氣管路經過一組計量儀器後，連接到後續檢測裝置上；所述一組計量儀器為三路並聯的流量計量裝置；所述三路並聯的流量計量裝置為並聯連接的大量程流量高精度質量流量控制器、小量程流量高精度質量流量控制器、針閥；所述大量程流量高精度質量流量控制器、小量程流量高精度質量流量控制器、針閥入口處分別設置有獨立球閥，氣源入口的進氣管部分設置有精密調壓閥、壓力傳感器、溫度傳感器；
所述氣源前端入口處還設置有精密過濾器；
所述大量程流量高精度質量流量控制器測量範圍為0～500 sccm，小量程流量高精度質量流量控制器測量範圍為0～50sccm，大量程流量高精度質量流量控制器、小量程流量高精度質量流量控制器的準確度都為±1%FS。
本實用新型的組合式高精度質量流量控制系統，採用兩組量程範圍不同的高精度質量流量控制器和一組高靈敏度針閥並聯組合，擴展了微小流量計量裝置的可測流量範圍；使用質量流量控制器作為流量調節裝置，能夠快速響應設置流量點，比使用調壓閥調節流量大大縮短了時間，降低了時間成本；使用高精密調壓閥與針閥組合使用，實現了量程範圍兩端的流量調節更快速簡便；擴展了可測量程範圍，實現了檢測流量點快速調節，提高了微小氣體流量計量的準確性。
附圖說明
圖1是本實用新型實施例的組合式高精度質量流量控制系統原理示意圖。
具體實施方式
如圖所示，一種組合式高精度質量流量控制系統，與氣源連接有進氣管路，進氣管路經過一組計量儀器後，連接到後續檢測裝置上；所述一組計量儀器為三路並聯的流量計量裝置；所述三路並聯的流量計量裝置為並聯連接的大量程流量高精度質量流量控制器、小量程流量高精度質量流量控制器、針閥；每個大量程流量高精度質量流量控制器、小量程流量高精度質量流量控制器、針閥入口處設置有獨立球閥，氣源入口的進氣管部分設置有精密調壓閥、壓力傳感器、溫度傳感器；氣源前端入口處還設置有精密過濾器；大量程流量高精度質量流量控制器測量範圍為0～500 sccm，小量程流量高精度質量流量控制器測量範圍為0～50sccm，大量程流量高精度質量流量控制器、小量程流量高精度質量流量控制器的準確度都為±1%FS；氣源入口的進氣管部分設置有精密調壓閥、壓力傳感器、溫度傳感器，根據檢測需要調整氣壓，並通過壓力傳感器、溫度傳感器檢測進氣管壓力、溫度參數；氣源前端入口處還設置有精密過濾器以過濾空氣中的灰塵、雜質；進氣管經三路並聯的檢測裝置檢測後連接到後續被測儀表和出口管路上。
本實用新型並聯連接兩組量程範圍不同的高精度質量流量控制器系統和一組高靈敏度針閥調節系統，一組大量程流量高精度質量流量控制系統包括高精密調壓閥，球閥，大量程流量高精度質量流量控制器，大量程流量高精度質量流量控制器量程範圍為（0～500）sccm，準確度為±1%FS；另外一組小量程流量高精度質量流量控制系統包括高精密調壓閥，球閥，小量程流量高精度質量流量控制器，小量程流量高精度質量流量控制器量程範圍為（0～50）slpm，準確度為±1%FS；一組高靈敏度針閥調節系統包括高精密調壓閥，球閥，針閥；通過調節調壓閥，可實現小流量和大流量的設置。
根據氣體流量計量程範圍選擇相應的質量流量控制系統，打開所選系統對應的球閥，同時關閉其餘兩組球閥。使用高精度質量流量控制器或調節針閥和高精密調壓閥設置檢測流量點；通過一套流量調節系統使用三組質量流量控制系統，擴展了微小流量計量裝置的可測流量範圍；使用質量流量控制器作為流量調節裝置，能夠快速響應設置流量點，比使用調壓閥調節流量大大縮短了時間，降低了時間成本；使用高精密調壓閥與針閥組合使用，實現了量程範圍兩端的流量調節更快速簡便。
本實用新型的組合式高精度質量流量控制系統，採用兩組量程範圍不同的高精度質量流量控制器和一組高靈敏度針閥並聯組合，擴展了微小流量計量裝置的可測流量範圍；使用質量流量控制器作為流量調節裝置，能夠快速響應設置流量點，比使用調壓閥調節流量大大縮短了時間，降低了時間成本；使用高精密調壓閥與針閥組合使用，實現了量程範圍兩端的流量調節更快速簡便；擴展了可測量程範圍，實現了檢測流量點快速調節，提高了微小氣體流量計量的準確性。