巨磁電阻三軸磁傳感器裝置的製作方法
2023-07-24 03:08:06 1
專利名稱：巨磁電阻三軸磁傳感器裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種巨磁電阻三軸磁傳感器裝置。
背景技術：
由鐵磁金屬與非磁金屬組合，且相鄰鐵磁膜磁矩反耦合所構成的多層膜，在加磁 場和不加磁場時的電阻變化率，在室溫下可達10% -20%，在低溫(4. 2K)下達到110%，遠 大於一般各向異性磁電阻的電阻變化率(約0.5%)，稱為巨磁電阻效應。產生巨磁電阻效 應的電阻稱為巨磁電阻。巨磁電阻主要用來檢測弱磁場的存在、強弱、方向和變化等。《磁 電阻效應的原理及其應用》(哈爾濱工業大學學報2008Vol. 40No. 3)對幾種磁阻效應作用 機理和磁阻元件在傳感器中的應用進行了綜述，詳細介紹了幾種磁阻傳感器的工作原理， 對幾類常用的磁阻傳感器的性能進行了比較。磁場是一個矢量，具有大小和方向。三軸磁 傳感器通過測量空間三維的磁場分量的大小，然後可以計算出空間磁場的大小和磁場的方 向。現在應用比較廣泛的三軸磁傳感器是基於磁通門和霍爾效應的磁傳感器。磁通門磁傳 感器精度高但頻率特性很差，只能應用於低頻磁場。霍爾磁傳感器精度太小。巨磁電阻磁 傳感器具有精度高，頻率特性好的特點。
發明內容本實用新型的目的是克服現有三軸磁傳感器功耗高、精度低、工作頻率低、體積 大、溫度性能差的缺點，提供一種巨磁電阻三軸磁傳感器裝置。為了實現上述目的，本實用新型採取的技術方案是一種巨磁電阻三軸磁傳感器 裝置，三個巨磁電阻傳感器在空間中兩兩垂直布置，三個巨磁電阻傳感器的敏感方向兩兩 正交，三個巨磁電阻分別於電路處理模塊連接，電路處理模塊與運算顯示模塊連接。由於採用上述結構形式，本實用新型與現有技術相比，具有體積小、功耗低、工作 頻率高、溫度性能好、適應惡劣環境能力強的優點。
以下結合附圖及實例對本實用新型作進一步描述。
圖1是本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
一種巨磁電阻三軸磁傳感器裝置，三個巨磁電阻傳感器1、2、3在空間中兩兩垂直 布置，三個巨磁電阻傳感器的敏感方向兩兩正交，三個巨磁電阻分別於電路處理模塊4、5、6 連接，電路處理模塊與運算顯示模塊7連接。巨磁電阻傳感器是晶片級傳感器，具有功耗低、體積小的優點，本實用新型與現有 技術相比，具有體積小、功耗低、工作頻率高、溫度性能好、適應惡劣環境能力強的優點。
權利要求一種巨磁電阻三軸磁傳感器裝置，其特徵在於三個巨磁電阻傳感器(1)、(2)、(3)在空間中兩兩垂直布置，三個巨磁電阻傳感器的敏感方向兩兩正交，三個巨磁電阻分別於電路處理模塊(4)、(5)、(6)連接，電路處理模塊與運算顯示模塊(7)連接。
專利摘要本實用新型公開了一種巨磁電阻三軸磁傳感器裝置，三個巨磁電阻傳感器在空間中兩兩垂直布置，三個巨磁電阻傳感器的敏感方向兩兩正交，三個巨磁電阻分別於電路處理模塊連接，電路處理模塊與運算顯示模塊連接，本實用新型與現有技術相比，具有體積小、功耗低、工作頻率高、溫度性能好、適應惡劣環境能力強的優點。
文檔編號G01R33/09GK201757778SQ201020222830
公開日2011年3月9日 申請日期2010年6月11日 優先權日2010年6月11日
發明者於曉東, 楊昌茂, 詹宏良, 顧清 申請人:中國船舶重工集團公司第七一○研究所