一種可加強石英坩堝清洗能力的裝置的製作方法
2023-07-11 20:59:11 1
專利名稱:一種可加強石英坩堝清洗能力的裝置的製作方法
技術領域:
本發明涉及一種石英坩堝清洗裝置,特別是對石英坩堝上口邊緣與承載裝置接觸部位有較強清洗能力的專用裝置。
背景技術:
石英坩堝是製備太陽能矽單晶的重要消耗性器件,其表面潔淨程度的高低,雜質含量的多少,對矽單晶純度及電學性能有著重大影響。過去在石英坩堝成品的清洗工藝中, 因考慮到石英坩堝穩定性需要,承載裝置常做成光滑的平面轉盤,石英坩堝倒置在上面時, 上口邊緣與承載平面轉盤接觸嚴密,相互間的吸附力強。但這種光滑的平面轉盤容易導致石英坩堝上口邊緣與平面轉盤的接觸部位變成清洗的死角,成為石英坩堝內外表面清洗衝淋下來的雜質富集區域,石英坩堝烘乾處理後,上口邊緣殘留雜質較多。使用這種石英坩堝製備太陽能矽單晶時,在高溫環境下,這些雜質將隨著單晶爐內的氣流被帶入熔融矽液中, 汙染了矽原料,嚴重影響了矽單晶的純度。
發明內容
本發明的目的是為了克服現有技術的不足,提供一種可加強石英坩堝清洗能力的
直ο本發明採用的技術方案是一種可加強石英坩堝清洗能力的裝置,包括支撐模塊一、支撐模塊二、配合件、組合噴淋頭和支撐爪,所述支撐模塊一和支撐模塊二圍繞組合噴淋頭設置,支撐模塊一和支撐模塊二之間通過配合件連接,支撐模塊一和支撐模塊二上分別安裝有支撐爪,支撐爪上設置有凹槽。作為優選,所述支撐模塊一和支撐模塊二上分別安裝有三個支撐爪。作為優選,所述支撐模塊一和支撐模塊二由BPU材料製成。本發明關鍵組成是兩組承載石英坩堝的支撐模塊,支撐模塊由環保耐磨的BPU材料製成,BPU材料的良好彈性可保證石英坩堝在清洗過程中,在倒置狀態下保持良好的穩定性和安全性。每組支撐模塊有三隻伸出的支撐爪,上有凹槽,可承接清洗噴淋頭噴出的純水,始終處於溢流狀態,能對石英坩堝與支撐爪接觸部位進行溢流漂洗。兩組支撐模塊在垂直方向上通過液壓系統可變換位置。清洗過程中,其中一組支撐模塊升至高位位置,承載倒置的石英坩堝,另一組支撐模塊處於低位位置,根據設定的間隔時間,兩組支撐模塊在液壓系統作用下實現位置互換, 即低位支撐模塊升至高位,接替承載石英坩堝,高位支撐模塊降至低位。保證石英坩堝上口邊緣與支撐模塊相接觸的部位得到衝淋清洗,徹底解決石英坩堝上口邊緣清洗死角難題。有益效果本發明承載石英坩堝的支撐模塊選用無毒環保、耐磨、彈性較好的BPU 材料製成,具有良好的防撞性能,可減小石英坩堝與支撐模塊相接觸形成的後天應力。BPU 材料良好的彈性,可增強承載的穩定性和安全性,能有效防止轉盤旋轉過程中石英坩堝產生位移。每組支撐模塊的三個支撐爪上有內凹槽,在減小石英坩堝上口邊緣與支撐模塊接觸面積的同時,利用支撐爪內凹槽的溢流對石英坩堝與支撐爪接觸過的部位進行溢流衝洗。通過兩組支撐模塊的上下位置互換,可在清洗過程中實現升降切換,徹底消除整個系統的清洗死角。
附圖為本發明的結構示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖和具體實施方式
對本發明作進一步說明如附圖所示一種可加強石英坩堝清洗能力的裝置,包括支撐模塊一 1、支撐模塊二 2、配合件3、組合噴淋頭4和支撐爪5,所述支撐模塊一 1和支撐模塊二 2圍繞組合噴淋頭4設置,支撐模塊一 1和支撐模塊二 2之間通過配合件3連接,支撐模塊一 1和支撐模塊二 2上分別安裝有支撐爪5,支撐爪5上設置有凹槽。所述支撐模塊一 1和支撐模塊二 2上分別安裝有三個支撐爪5。所述支撐模塊一 1和支撐模塊二 2由BPU材料製成。
權利要求
1.一種可加強石英坩堝清洗能力的裝置,其特徵在於包括支撐模塊一(1)、支撐模塊二 O)、配合件(3)、組合噴淋頭(4)和支撐爪(5),所述支撐模塊一(1)和支撐模塊二(2) 圍繞組合噴淋頭(4)設置,支撐模塊一(1)和支撐模塊二( 之間通過配合件( 連接,支撐模塊一(1)和支撐模塊二( 上分別安裝有支撐爪(5),支撐爪( 上設置有凹槽。
2.根據權利要求1所述的一種可加強石英坩堝清洗能力的裝置,其特徵在於所述支撐模塊一(1)和支撐模塊二( 上分別安裝有三個支撐爪(5)。
3.根據權利要求1所述的一種可加強石英坩堝清洗能力的裝置,其特徵在於所述支撐模塊一(1)和支撐模塊二 O)由BPU材料製成。
全文摘要
本發明公開了一種可加強石英坩堝清洗能力的裝置,包括支撐模塊一、支撐模塊二、配合件、組合噴淋頭和支撐爪,所述支撐模塊一和支撐模塊二圍繞組合噴淋頭設置,支撐模塊一和支撐模塊二之間通過配合件連接,支撐模塊一和支撐模塊二上分別安裝有支撐爪,支撐爪上設置有凹槽。本發明承載石英坩堝的支撐模塊選用無毒環保、耐磨、彈性較好的BPU材料製成,具有良好的防撞性能,可減小石英坩堝與支撐模塊相接觸形成的後天應力,而且通過兩組支撐模塊的上下位置互換,可在清洗過程中實現升降切換,徹底消除整個系統的清洗死角。
文檔編號C30B35/00GK102400228SQ201010286200
公開日2012年4月4日 申請日期2010年9月16日 優先權日2010年9月16日
發明者楊業林, 陳寶昌 申請人:揚州華爾光電子材料有限公司