臺裝置的製作方法

2023-07-05 18:36:36

專利名稱：臺裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及具有在搭載有基板的基臺上沿一軸方向移動的臺架部的臺 裝置。
背景技術：
以往，作為在液晶面板或半導體等的各種基板的製造等中使用的臺裝 置，己知有例如在專利文獻1中公開的裝置。該臺裝置具備將罐部件以框 狀連結而構建的制罐構造的基臺、設在基臺的兩側的一對導軌、沿著這些 導軌被引導的一對引導滑塊、和橫架在一對引導滑塊之間的梁。梁沿著導 軌移動，通過搭載在該梁上的照相機及矯正裝置等檢測基板的缺陷並將其 修復。基臺經由除振單元支撐在架臺上。此外，基臺被平行地架設在框內 的加強罐加強。
專利文獻1日本特開2006-269509號公報
但是，在上述以往的制罐構造的基臺中，即使設置了加強罐，剛性也 不夠，所以例如在梁沿著導軌移動到近側並且照相機等搭載物移動到右方 時，在基臺上產生幾十微米級別的變形，以使基臺的近側右角塌陷。因此， 即使使照相機等的搭載物移動了正確的距離，在搭載物與基臺的相對位置 中也會產生對應於該基臺的變形量的誤差，有可能不能正確地進行基板的 處理。此時，如果延遲基板的處理直到基臺的變形回到原狀，則有生產能 力會顯著地下降的可能。

發明內容
本發明是鑑於上述情況而做出的，目的是提供一種通過提高基臺的剛 性、能夠不降低生產能力而在基臺上正確地處理基板的臺裝置。
有關本發明的臺裝置，是具備基臺、在上述基臺上可沿一軸向移動地 設置的臺架(力'乂卜li )、和支撐上述基臺的除振單元的臺裝置。上述基臺具
3有上部框架，將罐部件以框狀連結而構建；下部框架，將罐部件以框狀 連結而構建，與上述上部框架上下離開而設置；以及連結部件，將上述上 部框架和上述下部框架連結。
在該臺裝置中，由於基臺具有上部框架和下部框架，並將其用連結部 件連結，做成了所謂的箱構造，所以儘管由罐部件構成而實現輕量化，也 提高了剛性。因此，即使因臺架的移動施加負荷而除振單元下沉、基臺傾 斜，通過抑制基臺自身的變形，臺架與基臺的相對位置的誤差也很小，能 夠進行基板的正確的處理。此外，由於不需要將基板的處理延遲直到基臺 的變形恢復原狀，所以也不會降低生產能力。
其特徵也可以是，臺裝置具備經由上述除振單元支撐上述基臺的架臺。 如果這樣，則能夠在架臺上以除振狀態支撐基臺。
其特徵也可以是，上述上部框架的外形是矩形狀；上述下部框架是沿 著上述上部框架的外形而四角凹陷的矩形狀；上述架臺具有沿著上述上部 框架的外形的矩形狀的框體、和通過上述下部框架的四角的凹陷從下方支 撐上述上部框架的四角的支柱；上述除振單元至少設在上述上部框架的四 角和上述支柱的上端之間。這樣，則能夠經由除振單元在接近重心的更高 的位置支撐基臺，所以能夠抑制因臺架的移動而產生的基臺的擺動。此外， 通過下部框架作為重物發揮功能，能夠進一步抑制基臺的擺動。
其特徵也可以是，上述基臺具有用來將該基臺沿水平方向分割為多個 塊的分割部。這樣，即使伴隨著基板的大型化而基臺大型化，也能夠不使 用特殊的大型車輛而將基臺分割輸送。
其特徵也可以是，上述分割部是將構成上述上部框架及上述下部框架 的罐部件在上下對應的位置切斷而構成的。這樣，由於設在上部框架和下 部框架上的分割部沿上下方向離開，所以在剛性方面是有利的。
其特徵也可以是，在上述罐部件的切斷面上設有朝向外方的凸緣。這 樣，則能夠將分割的塊彼此經由朝向外方的凸緣容易地連結。
其特徵也可以是，在上述上部框架及上述下部框架的至少一個的框內， 沿傾斜方向架設有加強部件。這樣，與在框內平行地架設加強部件的情況 相比能夠充分地提高基臺的剛性。即，能夠提高在臺架與其搭載裝置同時 移動的情況下可能發生的基臺的扭轉的扭轉剛性。根據本發明，能夠提供通過提高基臺的剛性、可不降低生產能力而在基臺上正確地處理基板的臺裝置。


圖1是表示有關本發明的第1實施方式的臺裝置的立體圖。圖2是從上方觀察圖1的臺裝置具備的基臺的立體圖。圖3是從下方觀察基臺的立體圖。
圖4是表示連結有連結部件的基臺的下部框架支撐在除振單元上的狀
態的立體圖。
圖5是將工件模座(定盤)設置在圖1所示的臺裝置中的立體圖。圖6是表示分割部的正視圖。
圖7是表示線纜託架(亇一7W年卞IJ7)的配置的部分放大圖。圖8是圖1所示的臺裝置的側視圖。圖9是表示分割部的變形例的圖。
圖10是表示有關本發明的第2實施方式的臺裝置的立體圖。
圖11是從上方觀察圖10的臺裝置具備的基臺的立體圖。
圖12是從下方觀察基臺的立體圖。
圖13是從上方觀察分割了基臺的後側的塊的立體圖。
圖14是表示連結了連結部件的基臺的下部框架的立體圖。
圖15是表示架臺和除振單元的立體圖。
圖16是表示線纜託架的配置的部分放大圖。
圖17是圖IO所示的臺裝置的側視圖。
具體實施例方式
以下，參照附圖對本發明的實施方式進行說明。另外，在附圖的說明中，對於相同的要素賦予相同的標號而省略重複的說明。[第1實施方式]
圖1是表示有關本發明的第1實施方式的臺裝置1的立體圖，圖2是從上方觀察圖1的臺裝置1具備的基臺的立體圖，圖3是從下方觀察基臺的立體圖，圖4是表示連結有連結部件的基臺的下部框架支撐在除振單元上的狀態的立體圖。
如圖1所示，臺裝置1具備搭載有基板的基臺10、在基臺IO上移動的臺架部30、設在基臺10上、引導臺架部30的移動的導軌40及永久磁鐵42、和設在臺架部30的下部、受導軌40引導的引導滑塊44及與永久磁鐵42對置的電磁鐵46，是該臺架部30沿著導軌40移動的結構。另外，在圖1中，設基臺IO的長度方向為Y軸方向，設與其正交的水平方向為X軸方向，設與它們正交的方向為Z軸方向。
基臺10具有上部框架12、與上部框架12上下離開設置的下部框架22、和將上部框架12與下部框架22連結的連結部件18。
上部框架12是通過用多個加強部件14a、 14b、 14c、 14d將通過將沿X軸方向延伸的罐部件12a、 12b、沿Y軸方向延伸的罐部件12c、 12d分別連結而形成的矩形狀的框體的內側加強而構成的。這裡，罐部件12a、 12b、12c、 12d是中空的棒材，在本實施方式中使用截面為口狀的口型鋼。此外，加強部件14a、 14b、 14c、 14d中空、實心都可以，是橫架在框體的內側的棒材，在本實施方式中使用截面為工字狀的工字鋼和截面為口狀的口型鋼。
這裡，詳細在後面敘述，基臺IO能夠沿長度方向的水平方向分割為多個塊(這裡是兩塊)，沿上部框架12的Y軸方向延伸的罐部件12c、 12d在中途被切斷，並設有分割部16。並且，對於夾著分割部16在前側和後側的各個塊，在切斷部分的罐部件12c、 12d之間橫架有由口型鋼構成的加強部件14a，以使其沿X軸方向延伸。
並且，在由罐部件12a、罐部件12c、 12d和加強部件14a形成的後側的框內，由工字鋼構成的加強部件14b平行於罐部件12c、 12d架設，並且平行於罐部件12a及加強部件14a架設。此外，由工字鋼構成的加強部件14c相對於罐部件12a、 12c、 12d和加強部件14a傾斜地以對角狀橫架。因此，加強部件14b、 14c在中央的一點交叉，成為從這裡以放射狀延伸的狀態。
此外，在由罐部件12c、 12d、罐部件12b和加強部件14a形成的近側的框內，由工字鋼構成的加強部件14d相對於罐部件12b、 12c、 12d和加強部件14a傾斜地橫架。
下部框架22是通過用加強部件24b將通過將沿X軸方向延伸的罐部件22a、 22b、和沿Y軸方向延伸的罐部件22c、 22d分別連結而形成的矩形狀的框體的內側加強而構成的。使罐部件22a、 22b、 22c、 22d的直徑比上部框架12的罐部件12a、 12b、 12c、 12d小。由口型鋼構成的加強部件24b沿X軸方向橫架在罐部件22c、 22d的長度方向的中央部。
這裡，如上所述，基臺10能夠沿長度方向的水平方向分割為多個塊(這裡是兩塊)，沿下部框架22的Y軸方向延伸的罐部件22c、 22d在中途被切斷，並設有分割部26。
連結部件18在沿Z軸方向離開的狀態下將上部框架12與下部框架22連結。在本實施方式中，連結部件18通過由口型鋼構成的罐部件構成，並將上部框架12與下部框架22四角連結。進而，為了提高剛性，在上下的罐部件12c、 22c之間，在分割部16、 26的近側，架設有由口型鋼構成的連結部件18，以使其沿Z軸方向延伸。此外，在上下的罐部件22d、 22d之間，在分割部16、 26的近側，架設有由口型鋼構成的連結部件18，以使其沿Z軸方向延伸。
除振單元50設在設置臺裝置1的設置面與基臺IO之間。更詳細地講，除振單元50在下部框架22的四角和罐部件22c、 22d的中途的下部，可除振地支撐著基臺10。除振單元50是將從設置面傳遞到基臺10的振動除去的單元，可以使用例如由空氣彈簧或橡膠等的彈性部件構成的結構。
導軌40分別設在罐部件12c、 12d的上表面，並沿Y軸方向延伸。更詳細地講，在罐部件12c、 12d的上表面，朝向外側方設有伸出片52，該伸出片52沿Y軸方向連續地延伸。並且，在該伸出片52的上表面設有導軌40。此外，永久磁鐵42相鄰地設在伸出片52的上表面的、導軌40的外側的位置上，沿Y軸方向延伸。該永久磁鐵42是在Y軸方向上重複S極與N極的規定模式的部件。
在導軌40及永久磁鐵42的上方，配置有連結到沿X軸方向延伸的臺架部30的兩側的下部的連結板46，在該連結板46的下表面，分別相鄰地設有引導滑塊44和電磁鐵48。電磁鐵48使磁極配合永久磁鐵42的S極和N極的模式而變化，通過在與永久磁鐵42之間產生排斥力，可以一邊用導軌40引導一邊使臺架部30沿Y軸方向移動。
另外，在伸出片52的下表面，沿Y軸方向以規定間隔設有架設在與罐部件12c、 12d的外側面之間的多個加強筋54。
臺架部30具備沿X軸方向延伸的支撐部30a、線性馬達部30b、以及移動部30c。移動部30c能夠在線性馬達部30b的作用下沿該線性馬達部30b向X軸方向移動。並且，通過在該移動部30c中附設規定的處理裝置，處理裝置沿X軸方向移動，對搭載在基臺IO上的基板執行規定的處理。作為該處理裝置，可以是檢査基板上的缺陷的照相機、或修復彩色過濾器的脫色等的基板的表面處理狀態的矯正裝置、或對基板進行布圖處理的塗敷裝置等。
如圖5所示，在臺裝置1的基臺10上，設置有用來載置液晶面板等的基板的工件模座ll。另外，臺裝置l在被輸送車輸送時，以設置了該工件模座11的狀態裝載在輸送車中。
在本實施方式中，如圖5所示，基臺10、導軌40、永久磁鐵42、伸出片52及工件模座11在與Y軸方向正交的分割面被分割。並且，被分割後的基臺10在分割部16、 26通過螺栓等連結。即，在分割部26 (16)上，如圖6所示，設有朝向外方的凸緣26a (16a)，以使其包圍被切斷的罐部件22c (12c)的切斷面，經由該朝向外方的凸緣26a (16a)將分割後的基臺10的塊彼此連結。另外，在上部框架12的分割部16上，加強筋54兼作為朝向外方的凸緣16a。
這樣，由於基臺IO、導軌40、永久磁鐵42、伸出片52及工件模座11在Y軸方向上可分割地構成，所以臺裝置1可分割為兩個塊而構成。另外，分割部16、 26設在上下的Z軸方向上的、對應的位置上，並形成在Y軸方向上的、各塊成為可裝載在輸送車中的大小的位置上。
此外，在基臺10的兩側方、在伸出片52的下方，如圖1及圖7所示，設有線纜託架60。在臺架部30上，連接有未圖示的電力線纜、及未圖示的信號線纜等，該未圖示的電力線纜供給用來控制臺架部30自身及移動部30c的移動的電力，該未圖示的信號線纜用來在與附設於移動部30c中的處理裝置之間收發各種信號。這些線纜經由線纜託架60布線。
線纜託架60是將扁平的多個筒材連接設置而成，各筒材相互在限制的角度內轉動自如地連結。將匯集的線纜通到該線纜託架60的內部中。線纜託架60的一端60a固定在設於基臺10的側方的支撐臺62上。此外，線纜託架60的另一端60b固定在聯繫部件64上。聯繫部件64是筒狀的部件，連結在臺架部30和線纜託架60上，將來自線纜託架60的線纜引導到臺架部30中。
因此，如圖8所示，線纜託架60如履帶(年卞夕匕°，)(註冊商標)那樣變形自如，隨著臺架部30沿Y軸方向移動，能夠在基臺10的長度方向的任意的位置上彎曲為U字狀。並且，通到線纜託架60的內部的線纜仿形於線纜託架60的變形而變形。
這樣，通過將線纜託架60設在基臺IO的兩側方、伸出片52的下方，與設在基臺10的內部中的情況不同，罐部件12c、 22c間及罐部件12d、 22d間的空間的利用的自由度提高，可以在這裡配置連結部件18或除振單元50，提高了剛性及防振性。此外，通過設置伸出片52並在其上配置導軌40及永久磁鐵42，與將它們配置在上部框架12的罐部件12c、 12d上的情況相比，能夠減小基臺IO的X軸方向的尺寸，實現覆蓋區域(7:y卜7， 乂卜)的減小。
這樣，在有關本實施方式的臺裝置1中，基臺IO具有上部框架12和下部框架22，將其用連結部件18連結，做成了所謂的箱構造，所以儘管由罐部件構成而實現了輕量化，也提高了剛性。因此，即使因臺架部30的移動而施加負荷、除振單元50下沉而基臺IO傾斜，通過抑制基臺10自身的變形，臺架部30與基臺10的相對位置的誤差也很小，能夠進行基板的正確的處理。此外，由於不需要將基板的處理延遲至基臺IO的變形恢復到原狀，所以不會降低生產能力。
此外，由於基臺IO具有用來將基臺IO沿水平方向分割為多個塊的分割部16、 26，所以即使隨著基板的大型化而基臺IO大型化，也能夠不使用特殊的大型車輛而將基臺10分割輸送。此外，在機械加工構成基臺10的罐部件12c、 12d、 22c、 22d時，也能夠按照分割後的部分進行，所以能夠容易地進行機械加工。
此外，在將基臺IO分割的情況下，如果基臺10由罐部件構成，則接合面的剛性較低，在臺架部30的驅動時有可能發生應變，但本實施方式的基臺10是箱構造，如果將上部框架12與下部框架26的上下的接合面配合,則接合面增加，所以能夠減小產生應變的可能性，成為有利於基臺10的構
9造。
此外，分割部16、 26由於將構成上部框架12及下部框架26的罐部件在上下對應的位置切斷而構成，所以通過設在上部框架12與下部框架22上的分割部16、 26沿上下方向離開，相對於要使分割面分開的力矩被強化，在剛性方面是有利的。
此外，由於在罐部件的切斷面上設有朝向外方的凸緣16a、 26a，所以能夠將分割後的塊彼此經由朝向外方的凸緣16a、 26a通過螺栓等容易地連結。
另外，在伸出片52的下表面，設有架設在與罐部件12c、 12d的外側面之間的多個加強筋54，分割後的基臺10也經由該加強筋54連結。這裡，在以往的臺構造的情況下，需要設置成如果想要分割則使用來連結的凸緣在臺的側面飛出，有橫向的尺寸變大的問題，但在本實施方式中，由於能夠抑制加強筋54及分割部16、 26飛出到伸出片52的側方，所以能夠抑制大型化。
此外，由於在上部框架12的框內沿傾斜方向架設有加強部件14c、14d，所以與將加強部件平行地架設在框內的情況相比，能夠充分地提高基臺10的剛性。
此外，通過將線纜託架60設在基臺10的兩側方、伸出片52的下方，與設在基臺10的內部的情況不同，罐部件12c、 22c間及罐部件12d、 22d間的空間的利用的自由度提高，能夠在這裡配置連結部件18或除振單元50，能夠提高剛性及防振性。此外，由於能夠縮短聯繫部件64的Z軸方向的長度，所以能夠減少由幹擾帶來的基臺IO的振動。此外，通過設置伸出片52並在其上設置導軌40及永久磁鐵42，與將它們配置在上部框架12的罐部件12c、 12d之上的情況相比，能夠減小基臺10的X軸方向的尺寸，
能夠實現覆蓋區域的減小。
另外，這裡，僅在上部框架12的框內沿傾斜方向設置了加強部件，但也可以在下部框架22的框內沿傾斜方向設置加強部件。
此外，做成將連結部件18用口型鋼構成、將上部框架12及下部框架22在四角等連結的結構，但連結部件18並不限於口型鋼，也可以做成通過板材將上部框架12和下部框架22完全包圍而連結的結構。此外，如圖9所示，也可以將上部框架12的分割部16的朝向外方的 凸緣16a和下部框架22的分割部26的朝向外方的凸緣26a做成一體構造。 如果這樣，則能夠進一步提高基臺10的剛性。
接著，對本發明的第2實施方式進行說明。另外，對於與上述第1實
施方式相同的要素賦予相同的標號而省略重複的說明。
圖10是表示有關本發明的第2實施方式的臺裝置101的側面圖，圖11 是從上方觀察圖10的臺裝置101具備的基臺110的立體圖，圖12是從下 方觀察基臺110的立體圖，圖13是從上方觀察分割了基臺110的後側的塊 的立體圖，圖14是表示連結了連結部件118的基臺110的下部框架122的 立體圖，圖15是表示架臺170和除振單元150的立體圖。
該第2實施方式與第1實施方式不同的點是通過架臺170支撐基臺110 這一點、和因此變更了基臺110的結構這一點。
如圖10所示，臺裝置101具備搭載有基板的基臺110、在基臺110上 移動的臺架部130、設在基臺110上、引導臺架部130的移動的導軌140 及永久磁鐵142、和設在臺架部130的下部、受導軌140引導的引導滑塊 144及與永久磁鐵142對置的電磁鐵146，是該臺架部130沿著導軌140移 動的結構。另外，在圖10中，設基臺110的長度方向為Y軸方向，設與其 正交的水平方向為X軸方向，設與它們正交的方向為Z軸方向。
基臺110具有上部框架112、與上部框架112上下離開設置的下部框架 122、和將上部框架112與下部框架122連結的連結部件118。
上部框架112是通過用多個加強部件114a、 1Mb、 114c、 114d將通過 將沿X軸方向延伸的罐部件112a、 112b、沿Y軸方向延伸的罐部件112c、 112d分別連結而形成的矩形狀的框體的內側加強而構成的。這裡，罐部件 112a、 112b、 112c、 112d是中空的棒材，在本實施方式中，使用截面為口 型的口型鋼。此外，加強部件114a、 114b、 114c、 114d中空、實心都可以， 是橫架在框體的內側的棒材，在本實施方式中使用截面為工字狀的工字鋼 和截面為口狀的口型鋼。
這裡，詳細在後面敘述，基臺110能夠沿長度方向的水平方向分割為 多個塊(這裡是兩塊)，沿上部框架112的Y軸方向延伸的罐部件112c、112d在中途被切斷，設有分割部116。並且，對於夾著分割部116在前側 和後側的各個塊，在切斷部分的罐部件112c、 112d之間橫架有由口型鋼構 成的加強部件114a，以使其沿X軸方向延伸。
並且，在由罐部件112a、罐部件112c、 112d和加強部件114a形成的 近側的框內，由工字鋼構成的加強部件114b平行於罐部件112c、 112d架 設，並且平行於罐部件112a及加強部件114a架設。此外，由工字鋼構成 的加強部件114c相對於罐部件112a、 112c、 112d和加強部件114a傾斜地 以對角狀橫架。因此，加強部件114b、 114c在中央的一點交叉，成為從這 裡以放射狀延伸的狀態。
此外，在由罐部件112c、 112d、罐部件112b和加強部件114a形成的 後側的框內，由工字鋼構成的加強部件114d相對於罐部件112b、112c、112d 和加強部件114a傾斜地橫架。
下部框架122是通過用多個加強部件124a、 124b、 124c將通過分別連 結沿X軸方向延伸的罐部件122a、122b、和沿Y軸方向延伸的罐部件122c、 122d而形成的矩形狀的框體的內側加強而構成的。使罐部件122a、 122b、 122c、 122d的直徑比上部框架12的罐部件112a、 112b、 112c、 112d小。
這裡，如上所述，基臺110能夠沿長度方向的水平方向分割為多個塊 (這裡是兩塊)，沿下部框架122的Y軸方向延伸的罐部件122c、 122d在 中途被切斷，設有分割部126。並且，分割部126的近側的塊，在切斷部分 的罐部件122c、 122d之間橫架有由口型鋼構成的加強部件124a，以使其沿 X軸方向延伸。
此外，在由罐部件122a、罐部件122c、 122d和加強部件124a形成的 近側的框內，由工字鋼構成的加強部件124b平行於罐部件122c、 122d架 設，並且平行於罐部件122a及加強部件124a架設。此外，由工字鋼構成 的加強部件124c相對於罐部件122a、 122c、 122d和加強部件124a傾斜地 以對角狀橫架。因此，加強部件124b、 124c在中央的一點交叉，成為從這 裡以放射狀延伸的狀態。
此外，下部框架122是沿著上部框架112的外形四周凹陷的大致矩形 狀，通過該凹陷119，後述的架臺170的支柱178從下方支撐上部框架112 的四角。連結部件118在沿Z軸方向離開的狀態下將上部框架112與下部框架 122連結。在本實施方式中，連結部件118通過由口型鋼構成的罐部件構成， 將上部框架112與下部框架122在四角附近連結。
架臺170如圖15所示，是通過用多個加強部件174a、 174b將通過分 別連結沿X軸方向延伸的罐部件172a、 172b、和沿Y軸方向延伸的罐部件 172c、 172d而形成的矩形狀的框體的內側加強而構成的。罐部件172a、 172b、 172c、 172d是中空的棒材，在本實施方式中使用截面口狀的口型鋼。此外， 加強部件174a、 174b中空、實心都可以，是橫架在框體的內側的棒材，在 本實施方式中使用截面為口狀的口型鋼。
這裡，如上所述，基臺110能夠沿長度方向的水平方向分割為多個塊 (這裡是兩塊)，與此同時，架臺170也能夠分割為多個塊。沿架臺170的 Y軸方向延伸的罐部件172c、 172d在中途被切斷，並設有分割部176。並 且，在夾著分割部176的近側和後側的塊上，在切斷部的罐部件172c、 172d 之間橫架有由口型鋼構成的加強部件174a，以使其沿X軸方向延伸。此夕卜， 在近側的框內，還橫架有由口型鋼構成的加強部件174a，以使其沿X軸方 向延伸。此外，在架臺170的框內，橫架有由口型鋼構成的加強部件174b， 以使其沿Y軸方向延伸。該加強部件174b在中途被切斷，並設有分割部 176。
在架臺170的四角設有支柱178，以使其沿Z軸方向延伸。除振單元 150設在架臺170的支柱178的上端和各罐部件172a、 172b、 172c、 172d 之上。更詳細地講，除振單元150在上部框架112的四角和架臺170的支 柱178的上端之間、以及各罐部件172a、 172b、 172c、 172d的中途的上部 與下部框架122的罐部件122a、 122b、 122c、 122d之間可除振地支撐著基 臺110。除振單元150是將從設置面傳遞到基臺110的振動除去的單元，可
以使用例如由空氣彈簧或橡膠等的彈性部件構成的結構。
導軌140分別設在罐部件112c、 112d的上表面，沿Y軸方向延伸。更 詳細地講，在罐部件112c、 112d的上表面，朝向外側方設有伸出片152， 該伸出片152沿Y軸方向連續地延伸。並且，在該伸出片152的上表面設 有導軌140。此外，永久磁鐵142相鄰地設在伸出片152的上表面的、導軌 140的外側的位置上，沿Y軸方向延伸。該永久磁鐵142是在Y軸方向上重複S極與N極的規定模式的部件。
在導軌140及永久磁鐵142的上方，配置有連結到沿X軸方向延伸的 臺架部130的兩側的下部的連結板146，在該連結板146的下表面，分別相 鄰地設有引導滑塊144和電磁鐵148。電磁鐵148使磁極配合永久磁鐵142 的S極和N極的模式而變化，通過在與永久磁鐵142之間產生排斥力，可 以一邊用導軌140引導一邊使臺架部130沿Y軸方向移動。
另外，在伸出片152的下表面，沿Y軸方向以規定間隔設有架設在罐 部件112c、 112d的外側面之間的多個加強筋54。
臺架部130具備沿X軸方向延伸的支撐部130a、線性馬達部130b、以 及移動部130c。移動部130c能夠在線性馬達部130b的作用下沿該線性馬 達部130b向X軸方向移動。並且，通過在該移動部130c中附設規定的處 理裝置，處理裝置沿X軸方向移動，對搭載在基臺110上的基板執行規定 的處理。作為該處理裝置，可以是檢查基板上的缺陷的照相機、或修復彩 色過濾器的脫色等的基板的表面處理狀態的矯正裝置、或對基板進行布圖 處理的塗敷裝置等。
另外，在臺裝置101的基臺110上，與第1實施方式同樣，設置有用 來載置液晶面板等的基板的未圖示的工件模座。另外，臺裝置101在被輸 送車輸送時，以設置了該工件模座的狀態裝載在輸送車中。
在本實施方式中，如圖10所示，基臺IIO、導軌140、永久磁鐵142、 伸出片152、架臺170及工件模座在與Y軸方向正交的分割面被分割。並 且，被分割後的基臺U0在分割部116、 126通過螺栓等連結。
另外，在伸出片152的下表面，設有架設在罐部件112c、 112d的外側 面之間的多個加強筋154，被分割的基臺110也經由該加強筋154連結。這 裡，在以往的臺構造的情況下，需要設置成如果想要分割則使用來連結的 凸緣在臺的側面飛出，有橫向的尺寸變大的問題，但在本實施方式中，由 於能夠抑制加強筋154及分割部116、 126飛出到伸出片152的側方，所以
能夠抑制大型化。
這樣，由於基臺110、導軌140、永久磁鐵142、伸出片152、架臺170 及工件模座在Y軸方向上可分割地構成，所以臺裝置101可分割為兩個塊 而構成。另夕卜，分割部U6、 126、 176設在上下的Z軸方向對應的位置上，並形成在Y軸方向上各塊成為可裝載在輸送車中的大小的位置上。
此外，在基臺110的兩側方、在伸出片152的下方，如圖10及圖16 所示，設有線纜託架160。在臺架部130上，連接有未圖示的電力線纜、及 未圖示的信號線纜等，該未圖示的電力線纜供給用來控制臺架部130自身 及移動部130c的移動的電力，該未圖示的信號線纜用來在與附設於移動部 130c中的處理裝置之間收發各種信號。這些線纜經由線纜託架160布線。
線纜託架160是將扁平的多個筒材連接設置而成，各筒材在相互限制 的角度內轉動自如地連結。將匯集的線纜通到線纜託架160的內部。線纜 託架160的一端160a固定在設於基臺110的側方的支撐臺162上。此外， 線纜託架160的另一端160b固定在聯繫部件164上。聯繫部件164是筒狀 的部件，連結在臺架部130和線纜託架160上，將來自線纜託架160的線 纜引導到臺架部130。
因此，如圖17所示，線纜託架160如履帶(註冊商標)那樣變形自如， 隨著臺架部130沿Y軸方向移動，能夠在基臺110的長度方向的任意的位 置上彎曲為U字狀。並且，通到線纜託架160的內部的線纜仿形於線纜託 架160的變形而變形。
這樣，通過將線纜託架160設在基臺110的兩側方、伸出片152的下 方，與設在基臺110的內部中的情況不同，罐部件112c、 122c間及罐部件 112d、 122d間的空間的利用的自由度提高，可以在這裡配置連結部件118 或除振單元150，提高了剛性及防振性。此外，通過設置伸出片152並在其 上配置導軌140及永久磁鐵142，與將它們配置在上部框架112的罐部件 112c、 112d上的情況相比，能夠減小基臺IIO的X軸方向的尺寸，實現覆 蓋區域的減小。
這樣，在有關本實施方式的臺裝置101中，基臺IIO具有上部框架112 和下部框架122，並將其用連結部件118連結，做成了所謂的箱構造，所以 由罐部件構成不但實現了輕量化，也提高了剛性。因此，即使因臺架部130 的移動而施加負荷、除振單元150下沉而基臺IIO傾斜，通過抑制了基臺 110自身的變形，臺架部130與基臺110的相對位置的誤差也很小，能夠進 行基板的正確的處理。此外，由於不需要將基板的處理延遲至基臺110的 變形恢復到原狀，所以不會降低生產能力。此外，由於基臺iio具有用來將基臺110沿水平方向分割為多個塊的 分割部116、 126，所以即使伴隨基板的大型化而基臺110大型化，也能夠 不使用特殊的大型車輛而將基臺110分割地進行輸送。此外，在機械加工 構成基臺110的罐部件112c、 112d、 122c、 122d時，也能夠按照分割後的 部分進行，所以能夠容易地進行機械加工。
此外，在將基臺110分割的情況下，如果基臺110由罐部件構成，則 接合面的剛性較低，在臺架部130的驅動時有可能發生應變，但本實施方 式的基臺110是箱構造，如果將上部框架112與下部框架126的上下的接 合面配合，則接合面增加，所以能夠減小產生應變的可能性，成為有利於 基臺110的分割的構造。
此外，分割部116、 126由於將構成上部框架112及下部框架126的罐 部件在上下對應的位置切斷而構成，所以通過設在上部框架112與下部框 架122上的分割部116、 126沿上下方向離開，相對於要使分割面分開的力 矩被強化，在剛性方面是有利的。
此外，由於在罐部件的切斷面上設有朝向外方的凸緣116a、 126a，所 以能夠將分割後的塊彼此經由朝向外方的凸緣116a、 126a通過螺栓等容易 地連結。此外，由於在架臺170的罐部件的切斷面上也設有同樣的朝向外 方的凸緣，所以能夠將分割的塊彼此通過螺栓等容易地連結。
此外，由於在上部框架112的框內沿傾斜方向架設有加強部件114c、 114d，在下部框架122的框內沿傾斜方向架設有加強部件124c，所以與將 加強部件平行地架設在框內的情況相比能夠充分地提高基臺110的剛性。
此外，通過將線纜託架160設在基臺110的兩側方、伸出片152的下 方，與設在基臺110的內部中的情況不同，罐部件112c、 122c間及罐部件 112d、 122d間的空間的利用的自由度提高，能夠在這裡配置連結部件118 或除振單元150，能夠提高剛性及防振性。此外，由於能夠縮短聯繫部件 164的Z軸方向的長度，所以能夠減少由幹擾帶來的基臺110的振動。此 外，通過設置伸出片152並在其上設置導軌140及永久磁鐵142，與將它們 配置在上部框架112的罐部件112c、112d之上的情況相比能夠減小基臺110 的X軸方向的尺寸，能夠實現覆蓋區域的減小。
此外，由於臺裝置101具備經由除振單元150支撐基臺110的架臺170，所以能夠在架臺170上以除振狀態支撐基臺110。
此外，由於通過下部框架122的四角的凹陷119從下方經由除振單元 150由支柱178支撐上部框架112的四角，所以能夠經由除振單元150在接 近於重心的更高的位置支撐基臺IIO，能夠抑制因臺架部130的移動而產生 的基臺110的擺動。此外，通過下部框架122作為重物發揮功能，能夠進 一步抑制基臺IIO的擺動。
另外，做成了將連結部件118用口型鋼構成、將上部框架112及下部 框架122在四角等連結的結構，但連結部件118並不限於口型鋼，也可以 做成通過例如板材將上部框架U2和下部框架122完全包圍而連結的結構。
另外，本發明並不限於上述實施方式，能夠進行各種變形。例如，在 上述實施方式中，描述了對臺架部30、 130沿Y軸方向移動、移動部30c、 130c沿X軸方向移動的雙軸型的臺裝置1、 101的應用，但對於僅臺架部 30、 130移動的單軸型也能夠應用。
此外，臺架部30、 130及移動部30c、 130c的移動是接觸型、非接觸 型的哪種都可以。
權利要求
1、一種臺裝置，具備基臺、在上述基臺上能夠沿一軸向移動地設置的臺架、和支撐上述基臺的除振單元，其特徵在於，上述基臺具有上部框架，將罐部件以框狀連結而構建；下部框架，將罐部件以框狀連結而構建，與上述上部框架上下離開而設置；以及連結部件，將上述上部框架和上述下部框架連結。
2、 如權利要求1所述的臺裝置，其特徵在於，具備經由上述除振單元 支撐上述基臺的架臺。
3、 如權利要求2所述的臺裝置，其特徵在於， 上述上部框架的外形是矩形狀；上述下部框架是沿著上述上部框架的外形而四角凹陷的矩形狀； 上述架臺具有沿著上述上部框架的外形的矩形狀的框體、和通過上述 下部框架的四角的凹陷從下方支撐上述上部框架的四角的支柱；上述除振單元至少設在上述上部框架的四角和上述支柱的上端之間。
4、 如權利要求1 3中任一項所述的臺裝置，其特徵在於，上述基臺具有用來將該基臺沿水平方向分割為多個塊的分割部。
5、 如權利要求4所述的臺裝置，其特徵在於，上述分割部是將構成上 述上部框架及上述下部框架的罐部件在上下對應的位置切斷而構成的。
6、 如權利要求5所述的臺裝置，其特徵在於，在上述罐部件的切斷面 上設有朝向外方的凸緣。
7、 如權利要求1 6中任一項所述的臺裝置，其特徵在於，在上述上 部框架及上述下部框架的至少一個的框內，沿傾斜方向架設有加強部件。
全文摘要
本發明提供一種通過提高基臺的剛性、能夠不降低生產能力而在基臺上正確地處理基板的臺裝置。臺裝置(1)具備基臺(10)、在基臺(10)上可移動地設置的臺架部(30)、和支撐基臺(10)的除振單元(50)。基臺(10)具有將罐部件以框狀連結而構建的上部框架(12)、將罐部件以框狀連結而構建、與上部框架(12)上下離開而設置的下部框架(22)、和將上部框架(12)與下部框架(22)連結的連結部件(18)。
文檔編號H01L21/67GK101459103SQ200810087089
公開日2009年6月17日 申請日期2008年4月11日 優先權日2007年12月12日
發明者中森靖仁, 吉田達矢 申請人:住友重機械工業株式會社