大型平板玻璃改進的鍍膜生產裝置的製作方法

2023-07-16 09:20:46 3

專利名稱：大型平板玻璃改進的鍍膜生產裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及玻璃 設備，特別是關於一種大型平板玻璃艦的| 生產裝置。
背景技術：
隨著社會對節能和環境，的廣泛關注，以及人們對審美意識的不斷提高，鍍
有^S的,玻璃在建築、裝飾等領域已得到廣泛的應用。各種^玻璃是由專門
的鵬設備加工生產的，現有生產鵬玻璃的設備一般的是由低真空室、高真空室、 等待室、抽氣室、 室、隔離錢真空鎖組成。其中鵬室內驢有^^鵬耙， ^§ ]"耙室為鵬 的關鍵部件， 一般的，磁控賺蝶置於平板形的耙座上，
由於磁控、M耙的重量(超過1000kg)較大，尤其當鍍制寬度在1800mm以上的大 型平板玻璃，由^^室的橫向跨度較大，耙座會因^^ 耙的重量而發生彎曲 變形，鵬的 ^會影響 1"耙到鵬玻璃的距離，以及磁場3賊的變化，戰 的變化以至於影響,^的均勻一致性。其次，現有 室的加氣管僅裝置有1 根，對於鍍制寬度較小的玻璃時， 室的寬度以及加氣管的長度均較小，此時， 力口氣管從氣管兩端與氣管中段祠汽的壓差較小，也即是說，反應氣條鵬室寬度 方向上不均勻性的差異是不明顯的， 玻璃的均勻性的質量指標是合格的。當鍍 制玻璃的寬度在1800mm以上時，設於室內的加氣管的長度也相應加長，如此，加 氣管從兩端的排氣量與管中段的排氣量有著明顯的差異，反應氣條加氣管長度方 向排氣量的差異將會影響鵬的均勻性。另外，現設備中抽氣室內氣流流向不穩定 以及易產生"竄氣"的缺陷仍然未能得到有效的解決。

實用新型內容
本實用新型的目的，是為改善現有大型平板玻璃MM設備在H^^抽氣室的 結構中存在的缺陷和不足，而提出一種大型平板玻璃SdS的,生產裝置。為實現 ，目的採用以下的技術方案 一種大型平板MM的M生產^S，包括低真 空室、高真空室、等待室、抽氣室、鵬室、磁控^f耙、力口氣管、隔離室、真空
鎖，其特徵在於磁控 1^耙設於 室的剛性耙座， 室內設有2根以上分段的 加氣管；抽氣室內設有上下兩層隔板；剛性耙座是由底板和框架構成，框架設置於 底板之上，耙座的垂直的高度大於300m,耙座的縱向長度大於2000rara;上隔板水平 置於抽氣室玻璃ilit口之上且與抽氣室內壁之間密封，下隔^7K平置於玻璃通道口之下。
按本方案實施的大型平板玻璃改進的 生產裝置，由於將磁控TO耙裝置於
剛性耙座、以及在皿室內設置了分段的加氣管，由此而保證了磁場3M及反應氣
流分布的均勻一致性，在抽氣室內設置的雙層隔板有效的防止了 "竄氣"和反應氣
流的不穩定性。本實用新型結構合理、性能穩定，具有EM牢固、均勻，和生產效
率高的特點。

圖1是本實用新型一種實施例的主視圖2為圖1的俯視圖3是耙座為一種矩形框架的結構示意圖4為玻璃在 室內通過時的斷面示意圖5為玻璃在 室內通過後的斷面示意圖。
具體實施方式
結合附圖作進一步的具體說明。本實施例是一種鍍制寬度為2M的大型玻璃的 生產裝置，由低真空室1~"^真空室2~~^待室3—抽氣室5 室4一 J氣室5—隔離室6~~抽氣室5ifeJl室4~~抽氣室5~~^待室3~~^ 真空室2—底真空室1及設於低真空室的真空鎖7構成；其中，鵬室設有裝置 ^$ 耙8的剛性耙座9，岡雌耙座9是在框架91內設有縱橫相交的主筋板92 及輔筋板93，用以增加耙座的岡l渡，耙座的垂直高度(包括底板和框架)設為320mm， 長度設為2000咖。如此結構的框架可承受耙座足夠的重量(約1000公斤以上)而 不發生變形，由此便克月艮了因耙座^f致使磁場弓艘的變化，而導致玻璃 的非 均勻一致性。為了排除和克服反應氣#^ 室加氣管長度方向排氣量的差異所帶 來鵬的不均勻性，本實用新型將加氣管10辦偽2段，以保持反應氣流在玻璃鍍 制的寬度方向的一致性。為了防止和克月細氣室內氣流流向不穩定以及易產生"竄氣"的缺陷，抽氣室5內設有上下兩層隔板51和52，上隔板51水平置於抽氣室玻 璃通道口 50之上且與抽氣室內壁之間密封，下隔板52 7jC平置於玻璃通道口 50之下。 圖中的ll是玻璃，L為反應氣體的流向。
權利要求1、一種大型平板玻璃改進的鍍膜生產裝置，包括低真空室、高真空室、等待室、抽氣室、鍍膜室、磁控濺射靶、加氣管、隔離室、真空鎖，其特徵在於磁控濺射靶設於鍍膜室的剛性靶座，鍍膜室內設有2根以上分段的加氣管；抽氣室內設有上下兩層隔板。
2、 按權利要求1所述大型平板 改進的 生產裝置，其特徵在於剛性耙座是由底板和框架構成，框架設置於底fet上，耙座的垂直的高度大於300m， 耙座的縱向長度大於2000ram。
3、 按權利要求1戶脫大型平板玻璃艦的IM生產體，其特徵在於上隔船K 平置於抽氣室玻璃ilil口之上且與抽氣室內壁之間密封，下隔^7jC平置於玻 璃通道口之下。
專利摘要本實用新型涉及玻璃鍍膜設備，特別是關於一種大型平板玻璃改進的鍍膜生產裝置。其特徵在於磁控濺射靶設於鍍膜室的剛性靶座，鍍膜室內設有2根以上分段的加氣管；抽氣室內設有上下兩層隔板。按本方案實施的大型平板玻璃改進的鍍膜生產裝置，由於將磁控濺射靶裝置於剛性靶座、以及在鍍膜室內設置了分段的加氣管，由此而保證了磁場強度及反應氣流分布的均勻一致性，在抽氣室內設置的雙層隔板有效的防止了「竄氣」和反應氣流的不穩定性。本實用新型結構合理、性能穩定可靠，具有膜層牢固、均勻，和生產效率高的特點。
文檔編號C03C17/06GK201056539SQ200720000410
公開日2008年5月7日 申請日期2007年6月22日 優先權日2007年6月22日
發明者王百新, 王百江 申請人:王百新;王百江