大尺寸cz直拉單晶爐真空泵的避震裝置的製作方法
2023-07-29 17:15:36 1
專利名稱：大尺寸cz直拉單晶爐真空泵的避震裝置的製作方法
技術領域：
[0001]本實用新型涉及一種避震裝置，尤其涉及一種大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避
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背景技術：
目前，公知的CZ直拉單晶法需要在20T0RR以下的低壓環境下進行長晶，拉制過程中必須維持真空泵的高速運轉；真空泵運轉過程，對地面造成衝擊，形成一定頻率的震源，傳到至CZ直拉單晶爐，致使單晶無法生長。因此從真空泵引入至今，對如何隔絕震源的人們都採取了很多措施。目前普遍使用的真空泵的避震，都是真空泵地下墊上橡膠避震的方法，或者適用單層避震的模式；而在CZ直拉法單晶爐日趨發展的今天，單晶爐腔體的尺寸越來越大，由原來的80爐增加至85爐、90爐、95爐、100爐等；相應所需要真空泵的排氣速率也必須增加。為了增加排氣速率，各真空泵廠家紛紛在原有70泵的基礎上改進了 100泵及120泵推出市場，以增加真空泵的排氣速率，而相應的真空泵的震動也相應增加，原來的避震措施已經無法達到隔絕震動傳輸的效果。
實用新型內容本實用新型目的就是為了彌補已有技術的缺陷，提供一種避震效果好的大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置。本實用新型是通過以下技術方案實現的一種大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置，包括槽鋼支架和避震模塊，所述的避震模塊分為上避震模塊和下避震模塊，所述的上避震模塊包括有四根圓形的聚乙烯樹脂棒，用螺杆固定在所述的槽鋼支架與真空泵之間，所述的下避震模塊包括有四個避震橡膠墊，直接置於所述的槽鋼支架與地基之間，所述的避震模塊還包括中間避震模塊，所述的中間避震模塊包括有四個避震彈簧和八個固定彈簧，所述的固定彈簧每兩個為一組，分為上、下固定彈簧，上、下固定彈簧的一端分別固定在所述的槽鋼支架內的上、下支架的兩端，每兩個上、下固定彈簧之間固定一避震彈簧。所述的上、下固定彈簧的一端分別固定在所述的槽鋼支架內的上、下支架上的固定方式為焊接。所述的固定彈簧為鋼製的。本實用新型的工作原理是本實用新型採用三層避震的方式採用比橡膠彈性係數更好的聚乙烯樹脂棒做為一級避震材料，第二級避震採用避震彈簧做主要材料，第三級避震採用30mm厚度的橡膠墊做避震材料。由於三種材料的彈性係數都不一樣,緩衝震動的幅度也不一樣而不會形成共振頻率，以達到震動幅度層層緩衝，層層降低的效果，並且最大限度的降低共振形成機率。經過三級緩衝後，真空泵運轉形成的震動已經大幅度降低，符合的晶體生長要求。本實用新型的優點是本實用新型採用三層避震方式，不僅使用了聚乙烯樹脂棒和避震橡膠墊做主要的避震材料,還添加了避震彈簧作為中間避震模塊的主材料,使緩衝震動的幅度不一樣不會形成共振頻率，達到層層緩衝，震動層層降低，最後達到很好的避震效果，最大化的避免震動對晶體生產的影響。
圖I為本實用新型正面示意圖。
具體實施方式
如圖I所示，一種大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置，包括槽鋼支架I和避震模塊，所述的避震模塊分為上避震模塊和下避震模塊，所述的上避震模塊包括有四根圓形的聚乙烯樹脂棒2，用螺杆固定在所述的槽鋼支架I與真空泵之間，所述的下避震模塊包
括有四個避震橡膠墊3，直接置於所述的槽鋼支架I與地基之間，所述的避震模塊還包括中間避震模塊，所述的中間避震模塊包括有四個避震彈簧4和八個固定彈簧5，所述的固定彈簧5每兩個為一組，分為上、下固定彈簧，上、下固定彈簧的一端分別固定在所述的槽鋼支架I內的上、下支架的兩端，每兩個上、下固定彈簧之間固定一避震彈簧4。所述的上、下固定彈簧的一端分別固定在所述的槽鋼支架I內的上、下支架上的固定方式為焊接。所述的固定彈簧5為鋼製的。
權利要求1.一種大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置，包括槽鋼支架和避震模塊，所述的避震模塊分為上避震模塊和下避震模塊，所述的上避震模塊包括有四根圓形的聚乙烯樹脂棒，用螺杆固定在所述的槽鋼支架與真空泵之間，所述的下避震模塊包括有四個避震橡膠墊，直接置於所述的槽鋼支架與地基之間，其特徵在於所述的避震模塊還包括中間避震模塊，所述的中間避震模塊包括有四個避震彈簧和八個固定彈簧，所述的固定彈簧每兩個為一組，分為上、下固定彈簧，上、下固定彈簧的一端分別固定在所述的槽鋼支架內的上、下支架的兩端，每兩個上、下固定彈簧之間固定一避震彈簧。
2.根據權利要求I所述的大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置，其特徵在於所述的上、下固定彈簧的一端分別固定在所述的槽鋼支架內的上、下支架上的固定方式為焊接。
3.根據權利要求I所述的大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置，其特徵在於所述的固定彈簧為鋼製的。
專利摘要本實用新型公開了一種大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置，包括槽鋼支架和避震模塊，所述的避震模塊分為上、中、下避震模塊，所述的上避震模塊包括有聚乙烯樹脂棒，所述的下避震模塊包括有避震橡膠墊，所述的中間避震模塊包括有四個避震彈簧和八個固定彈簧，每兩個上、下固定彈簧之間固定一避震彈簧。本實用新型採用三層避震方式，添加了避震彈簧作為中間避震模塊的主材料，使緩衝震動的幅度不一樣不會形成共振頻率，達到層層緩衝，震動層層降低，最後達到很好的避震效果，最大化的避免震動對晶體生產的影響。
文檔編號F04D29/66GK202789756SQ201220282168
公開日2013年3月13日 申請日期2012年6月14日 優先權日2012年6月14日
發明者馬四海, 張笑天, 丁磊, 馬先松, 馬青, 徐大國 申請人:馬鞍山明鑫光能科技有限公司