氣體供給閥及部件輸送裝置的製作方法

2023-07-29 18:00:51

專利名稱：氣體供給閥及部件輸送裝置的製作方法
技術領域：
在本發明的不同形式中，還具有收容上述閥缸的殼體，上述通氣 路徑包含形成在上述閥缸、使內外連通的內側貫通孔，形成於上述閥 缸的外面或上述殼體的內面、連通於上述內側貫通孔的中間凹槽，及 形成於上述殼體、使內外連通並且連通在上述中間凹槽的外側貫通孔。 這樣，通氣路徑形成為包含內側貫通孔、中間凹槽、及外側貫通孔的 形式，從而即使提高組裝容易性、結構的自由度，也能夠可靠地確保 通氣路徑。另外，通過改變內側貫通孔與外側貫通孔的位置關係，能 夠容易地調整通氣路徑的通氣阻力。在該場合，如後述的實施形式那 樣，閥缸的外面和殼體的內面都由圓筒面構成，上述中間凹槽形成為 繞軸線延長的形狀的凹槽(例如環狀槽)，從而能夠在殼體內按任意的 角度收容閥缸，所以，通過在具有外側貫通孔的殼體內改變具有內側 貫通孔的閥缸的繞軸線的角度姿勢，能夠更容易地改變通氣路徑的長 度，調整通氣阻力。
另外，在閥缸12設置與軸孔12a連通、內外貫通的橫孔12c，該 橫孔12c與設在主結構部11A的氣體導出孔llg連通，由此構成氣體 導出通道。該氣體導出通道的導出開口 12d由閥釭12的上述橫孔12c 的內部開口構成。
另外，通過緩和上述負壓，壓電執行機構的負荷得到減輕，所以， 能夠避免壓電執行機構的大型化，另外，為了使從閥放出的氣體的量 增加，增大內部空間的氣體流通截面，由此還能夠避免閥結構大型化， 所以，能夠實現氣體供給閥的小型化，結果，能夠將閥配置在更接近 氣體供給目的地的位置，所以，能夠減輕氣體供給的開始和停止的時
刻的延遲。 [0032
在本實施形式中，特別是由彈性構件18的彈性力使閥體15的閉 塞部15a接觸在導入開口 lie,使閥成為關閉狀態，所以，即使提高 供給側壓力，也不在壓電執行機構19施加負荷，能夠防止壓電執行機 構19的損傷，還能夠避免壓電執行機構19的大型化。
在該第2實施形式的氣體供給閥10'中，設置作為朝成為閥開放狀 態的方向對閥體15'施力的施力裝置的彈性構件18'，代替第1實施形 式的彈性構件18。該彈性構件18'配置在主結構部11A的凹孔lla的 底部與閥體15'的閉塞部15a'間，朝圖示上方抬起閥體15'地作用。因 此，該第2實施形式在壓電執行機構19不動作的場合由彈性構件18' 的彈性力將閥體15'抬起，使岡成為開放狀態，為此，成為常開型的閥。 在該實施形式中，由壓電執行機構19的動作反抗彈性構件18'的彈性力使閥成為關閉狀態，但當閥成為開放狀態時由彈性構件18'的彈性力 使氣體的供給迅速開始，所以，具有能夠極大地提高氣體供給開始時 的響應速度的優點。0039
另外，在該第2實施形式中，使壓電執行機構19的驅動部19a 接觸在閥體15'的外端部15b'的端面(圖示上面)。這是因為，在本實 施形式中，如上述那樣，由彈性構件18'朝使閥體15'成為閥開放狀態 的方向施力，所以，壓電執行機構19的驅動部19a形成為從閥體15' 時常朝圖示上方受到應力的狀態，從而使得不需要將驅動部19a固定 在閥體15'。其中，也可由粘接等將驅動部19a固定在閥體15'。這樣， 簡單地使驅動部19a接觸在閥體15'，即可防止從閥體15在壓電執行 機構19作用其軸線方向以外的其它方向的應力。
0040
而且，在本實施形式中，作為閥體限制裝置的限制部(在圖示例 中為限制構件)16'伸出到閥體15'的外周。該保持部16'用於防止閥體 15'朝圖示上方超過需要地突出而對壓電執行機構19產生損傷。
[0041J
在上述各實施形式中，設有在閥體15的移動方向(閥的開閉方向) 對閥體15施力的彈簧構件(彈簧)，但也可不設置該彈性構件地構成。 例如，在第l實施形式中，也可省略彈性構件18，作為其替代結構， 當閥關閉時使壓電執行機構19的驅動部19a朝下方推壓閥體地構成。 在該場合，例如能夠在壓電執行機構19的非驅動狀態下由驅動部19a 朝下方推壓閥體15而使閥關閉地構成，另外，也能夠對壓電執行機構 19通電，由其驅動力使驅動部19a推壓閥體15地構成。在所有的場 合，解除對上述閥體15的推壓狀態，從而由氣體的供給使閥體15移 動，使閥成為開放狀態。此時，由壓電執行機構19的驅動力使驅動部 19a在開閥方向變形而將閥開放，由此使得能夠更高速地供給氣體， 能夠使氣體的供給開始時刻提前。
0042下面，說明將上述實施形式用於部件輸送裝置的部件分選部的例
子。圖6為包含上述各實施形式的氣體供給閥10、 10'的部件輸送裝置 1的概略部分說明圖。在該部件輸送裝置1中，在固定於勵振機構2 上的振動體3固定具有部件輸送通道4a的輸送體4。作為勵振機構2, 只要為使用電磁螺線管的電磁振動器、使用壓電執行機構的壓電振動 器等在輸送方向(與圖6的紙面正交的方向)發生預定頻率(在輸送 電子部件等小輸送物的場合，通常為50 300Hz左右)的往復振動， 則不特別限定。 [0043
在部件分選部4X設置用於判別部件輸送通道4a上的部件P的有 無、良否、姿勢等的傳感器(光檢測器等)4c,並設有根據該傳感器 4c的檢測信號進行判別的判別部4d。判別部4d判別是否在部件分選 部4X向部件輸送通道4a的部件P噴吹氣體、噴吹時刻是否正確等， 控制氣體供給閥10、 10'。具體地說，作為該控制的內容，決定是否向 上述壓電執行機構19輸送驅動信號，或輸送什麼樣的驅動信號。該氣 體的噴吹用於從部件輸送通道4a上排除部件P，使部件輸送通道4a 上的部件P翻轉而改變姿勢，或使部件輸送通道4a上的部件P移動 到別的輸送通道上等目的。
0044
從壓縮機5等通過供氣管6將壓縮空氣供給到部件輸送裝置1， 壓縮空氣通過流量調整器7供給到上述氣體供給閥10、10'的氣體導入 部。然後，氣體供給閥10、 10'的氣體導出部通過供氣管8連接到設於 上述輸送體4的供氣路徑4b。供氣路徑4b在上述部件輸送通道4a通 過的部件分選部4X中在部件輸送通道4a的輸送面的一部分開口。通 過使氣體供給閥10、 10'為開放狀態，能夠將氣流噴吹到在部件輸送通 道4a上輸送來的部件P。
[0045
在部件輸送通道4a上，在高速地進行部件輸送的場合，由於多個 部件P成列地輸送來，所以，需要高速地按高響應速度在部件分選部4X進行上述氣流的噴吹的開始和停止。例如，當氣流噴吹的開始延遲時，不能在特定的部件P噴吹氣流，當氣流的噴吹的停止延遲時，在特定部件P以外的其它部件P也噴吹了氣流，部件的分選精度惡化，對部件供給形成致命的障礙，而且輸送效率也下降。[0046
在上述各實施形式的氣體供給閥10、 10'中，作為氣體供給閥10、10'自身的結構，在閥的開放狀態下通過通氣路徑將內部空間與外部連
通，從而能夠緩和內部空間的負壓的發生，能夠實現氣體供給的效率化，實現閥結構的小型化，同時，能夠迅速地進行氣流噴吹的開始。
因此，由閥結構的小型化使得能夠設置在接近部件分選部4X的場所，同時，提高閥功能，從而能夠減小部件輸送通道4a上的氣流噴吹的開始和停止的延遲，確保對於部件P的分選的高響應性。
[0047
在本發明中，通過使用壓電執行機構，能夠相對於以往的電磁閥等獲得十分之一以下(數msec或其以下)的高速響應，同時，能夠根據具有通氣路徑的閥結構減小氣體的供給開始和供給停止的延遲，所以，在氣體供給切換時能夠實現非常高的實質的響應性，非常適合作為將氣體供給到部件輸送裝置的部件分選部的氣體供給閥。
[0048
本發明的氣體供給閥和部件輸送裝置不限定於上述圖示例，當然能夠在不脫離本發明要旨的範圍內施加各種變更。例如，上述壓電執行機構19具有板狀結構，在其延伸方向產生撓曲變形，由前端的驅動部19a在軸線方向對閥體15進行驅動，作為壓電執行機構，不限於上述那樣的結構，也可形成為使塊狀壓電體在厚度方向變形，在軸線方向上推壓閥體15的結構等，採用各種結構。
權利要求
1.一種氣體供給閥，設有導入氣體的氣體導入通道、該氣體導入通道的導入開口向內部面對著的閥缸、閥體、具有面對所述閥缸的內部的導出開口的氣體導出通道，及驅動所述閥體進行所述導入開口的開閉動作的壓電執行機構；所述閥體在該閥缸的內部具有可開閉所述導入開口地構成的閉塞部，其特徵在於在閥的開放時使所述導入開口與所述導出開口間的內部空間連通到外部的通氣路徑與所述氣體導入通道和所述氣體導出通道分別地設置。
2. 根據權利要求l所述的氣體供給閥，其特徵在於在所述閥缸 內，所述閉塞部朝所述導入開口按照在與所述岡缸的周圍內面間具有 間隔的形式突出，所述通氣路徑在所述間隔內開口。
3. 根據權利要求2所述的氣體供給閥，其特徵在於在前端具有 所述導入開口的氣體導入部按照在與所述閥缸的周圍內面間具有間隔 的形式朝所述閥體突出，而且，所述氣體導入部的前端構成為細頭狀。
4. 根據權利要求1~3中任何一項所述的氣體供給閥，其特徵在 於所述導出開口相對於所述導入開口的開口位置在與所述閉塞部的 移動方向正交的方向開口 。
5. 根據權利要求1~4中任何一項所述的氣體供給閥，其特徵在 於具有閥體限制裝置，該閥體限制裝置設定所述閉塞部從所述導入 開口離開的方向的所述閥體的移動極限。
6. —種部件輸送裝置，其特徵在於具有根據權利要求1 5中 任何一項所述的氣體供給閥、選擇地將通過該氣體供給閥供給的氣體 噴吹到部件上進行分選的部件分選部，及通過該部件分選部的部件輸 送通道。
全文摘要
本發明的氣體供給閥(10)設有導入氣體的氣體導入通道(11c)、該氣體導入通道的導入開口(11e)向內部面對著的閥缸(12)、在該閥缸的內部具有可開閉上述導入開口地構成的閉塞部(15a)的閥體(15)、具有面對上述閥缸的內部的導出開口(12d)的氣體導出通道(12c、11g)，及驅動上述閥體進行上述導入開口的開閉動作的壓電執行機構(19)；其特徵在於至少在閥的開放時使上述導入開口與上述導出開口間的內部空間連通到外部的通氣路徑(12e、12f、11j)與上述氣體導入通道和上述氣體導出通道分別地設置。這樣，能夠實現氣體供給閥的小型化，並減小氣流噴吹開始和停止的延遲。
文檔編號F16K31/72GK101603611SQ20091014532
公開日2009年12月16日 申請日期2009年6月3日 優先權日2008年6月13日
發明者原順一, 百瀨和紀, 神戶祐二 申請人:株式會社大伸