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一種用於無塵室的移動式充電設備的製作方法

2023-12-04 07:33:36

專利名稱:一種用於無塵室的移動式充電設備的製作方法
技術領域:
本發明涉及一種無塵室系統,尤其涉及該無塵室系統中的移動式充電設備。
背景技術:
無塵室(Clean Room)是汙染控制的基礎,在某種意義上來說,它是批量生產對汙染較為敏感的電子元件的重要保證。具體地,它可以是具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其通過特定規則的操作程序來控制空氣中懸浮的微粒子濃度,以便達到符合要求的微粒潔淨度級別。在半導體製造領域,尤其是液晶顯示器製造工藝中,該液晶顯示器必須在非常精密的環境中進行處理。技術人員在無塵室中工作時,需穿戴特殊的防塵工作服以減少異物 (如灰塵)的產生。此外,為使室內維持一定的潔淨度,通常在無塵室的上方設置多個風扇濾網機組(FFU,Fan Filter Unit),從而經由這些風扇濾網機組來輸入一定潔淨度的氣體進入無塵室內部。以無塵室內的移動載具(如,卡匣)為例,該卡匣用於測量無塵室內的微粒子濃度,在移動量測過程中,無法使用市電進行供電,若採用24V電池來提供工作電源, 也僅僅能夠維持4小時左右,之後再將電池拆除更換,還要耗費大量時間將卡匣移送至充電站重新充電。因而,現有技術中的卡匣會導致大量的能源消耗,而且也降低了微粒子濃度的量測效率和量測速度。有鑑於此,如何設計一種適用於無塵室內的移動式充電設備,使卡匣在移動量測過程中能夠持續地提供工作電源,以便提高微粒子濃度的量測效率,加快量測速度,是業內相關技術人員亟待解決的一項課題。

發明內容
針對現有技術中的無塵室內的移動載具在使用時所存在的上述缺陷,本發明提供了一種移動式充電設備。依據本發明的一個方面,提供了一種移動式充電設備,適用於一無塵室的移動載具,其中,該移動式充電設備包括—能量轉換部件,用於將一可再生能源轉換為一第一電源,該第一電源為一交流電或一直流電;以及一變頻器,與該能量轉換部件相連接,用於將該第一電源轉換為一第二電源,該第二電源為一交流電;其中,移動載具在移動過程中,利用移動式充電設備生成的第二電源為多個電子儀器進行供電。優選地,該移動載具為一卡匣,用於測量無塵室中的微粒子濃度。在一具體實施例中,能量轉換部件為一通風球,裝設於卡匣的上方,該通風球在無塵室的迴風風壓所形成的氣流驅動下發生旋轉,從而將風能轉化為第一電源。在另一具體實施例中,該能量轉換部件為一組風車,裝設於卡匣的前方,通過卡匣在移動過程中所產生的風力來帶動風車的葉片轉動,以將風能轉化為第一電源。進一步,變頻器為一交流-直流-交流變頻器。在一具體實施例中,該能量轉換部件為一太陽能發電板,鋪設於卡匣的上方,該太陽能發電板接收來自無塵室中光源的光,以將光能轉化為第一電源。此外,變頻器為一直流_交流變頻器。此外,該太陽能發電板還包括一充電電池,用於儲存經由光能轉化後的第一電源所對應的電能量。優選地,該電子儀器為一微粒子量測儀、一行車記錄器或一照明電燈。採用本發明的用於無塵室的移動式充電設備,通過其能量轉換部件將一可再生能源(如風能或太陽能)轉換為電能,並通過變頻器將所轉換的電能變成穩定的工作電源,以使得無塵室內的電子儀器在卡匣移動過程中仍然能夠持續可靠地工作。此外,在移動載具中裝設本發明的移動式充電設備後,無需將卡匣搬回充電站進行充電,不僅節約了能源, 而且還提高了卡匣的量測效率和量測速度。


讀者在參照附圖閱讀了本發明的具體實施方式
以後,將會更清楚地了解本發明的各個方面。其中,圖1示出依據本發明的一個方面,用於無塵室的移動式充電設備的結構框圖;圖2示出圖1中的移動式充電設備的能量轉換部件的第一優選實施例;以及圖3示出圖1中的移動式充電設備的能量轉換部件的第二優選實施例。
具體實施例方式為了使本申請所揭示的技術內容更加詳盡與完備,可參照附圖以及本發明的下述各種具體實施例,附圖中相同的標記代表相同或相似的組件。然而,本領域的普通技術人員應當理解,下文中所提供的實施例並非用來限制本發明所涵蓋的範圍。此外,附圖僅僅用於示意性地加以說明,並未依照其原尺寸進行繪製。下面參照附圖,對本發明各個方面的具體實施方式
作進一步的詳細描述。圖1示出依據本發明的一個方面,用於無塵室的移動式充電設備的結構框圖。參照圖1,本發明的移動式充電設備10包括一能量轉換部件101和一變頻器103,能量轉換部件101和變頻器103彼此電性連接。更為詳細地,能量轉換部件101將一可再生能源轉換為一第一電源,該第一電源為一交流電或一直流電。變頻器103與能量轉換部件101相連接,用於將能量轉換部件101 所輸出的第一電源轉換為一第二電源,該第二電源為一交流電。採用本發明的移動式充電設備,包含該設備的移動載具在移動過程中,利用該設備生成的第二電源為多個電子儀器進行供電。在一具體實施例中,移動載具為一卡匣,用於測量無塵室中的微粒子濃度。在另一具體實施例中,移動載具中的電子儀器為一微粒子量測儀、一行車記錄器或一照明電燈。圖2示出圖1中的移動式充電設備的能量轉換部件的第一優選實施例。參照圖2, 能量轉換部件為一通風球201,裝設於卡匣20的上方,該通風球201在無塵室的迴風風壓所形成的氣流驅動下發生旋轉,從而將風能轉化為第一電源。於卡匣上方設置的一個或多個通風球,在氣流驅動下旋轉,從而將風能轉變為電能。然後將該電能送入變頻器202,以便提供卡匣中的多種電子儀器提供工作所需的電源。例如,變頻器202輸出一交流電,照明電燈207利用該交流電來持續提供卡匣20內的照明。又如,變頻器202輸出一交流電,微粒子量測儀205也可將該交流電作為量測所需的工作電壓。在另一實施例中,該能量轉換部件為一組風車203,裝設於卡匣20的前方,通過卡匣20在移動過程中所產生的風力來帶動風車203的葉片轉動,以將風能轉化為第一電源。 類似地,變頻器202輸出一交流電,以便照明電燈207使用該交流電持續照明,以及微粒子量測儀205使用該交流電作為工作電壓。較佳地,該變頻器202為一交流-直流-交流變頻器,先將轉化後的交流電能轉換為直流電,然後再將直流電轉換為頻率和幅值較為穩定的交流電。圖3示出圖1中的移動式充電設備的能量轉換部件的第二優選實施例。參照圖3, 該能量轉換部件為一太陽能發電板301,鋪設於卡匣30的上方,太陽能發電板301接收來自無塵室中光源的光,以將光能轉化為第一電源。例如,變頻器302輸出一交流電,照明電燈307利用該交流電來持續提供卡匣30內的照明。又如,變頻器302輸出一交流電,微粒子量測儀305也可將該交流電作為量測所需的工作電壓。在一具體實施例中,日光或燈光照射太陽能發電板301後所產生的 電能為直流電,因此太陽能發電板301所產生的電能經過一直流-交流變頻器可得到一般通用的 110V/220V交流電壓。此外,該太陽能發電板301還包括一充電電池,用於儲存經由光能轉化後的第一電源所對應的電能量,從而提高能源的使用效率。採用本發明的用於無塵室的移動式充電設備,通過其能量轉換部件將一可再生能源(如風能或太陽能)轉換為電能,並通過變頻器將所轉換的電能變成穩定的工作電源,以使得無塵室內的電子儀器在卡匣移動過程中仍然能夠持續可靠地工作。此外,在移動載具中裝設本發明的移動式充電設備後,無需將卡匣搬回充電站進行充電,不僅節約了能源,而且還提高了卡匣的量測效率和量測速度。上文中,參照附圖描述了本發明的具體實施方式
。但是,本領域中的普通技術人員能夠理解,在不偏離本發明的精神和範圍的情況下,還可以對本發明的具體實施方式
作各種變更和替換。這些變更和替換都落在本發明權利要求書所限定的範圍內。
權利要求
1.一種移動式充電設備,適用於一無塵室的移動載具,其特徵在於,所述移動式充電設備包括一能量轉換部件,用於將一可再生能源轉換為一第一電源,所述第一電源為一交流電或一直流電;以及一變頻器,與所述能量轉換部件相連接,用於將所述第一電源轉換為一第二電源,所述第二電源為一交流電;其中,所述移動載具在移動過程中,利用所述移動式充電設備生成的所述第二電源為多個電子儀器進行供電。
2.根據權利要求1所述的移動式充電設備,其特徵在於,所述移動載具為一卡匣,用於測量所述無塵室中的微粒子濃度。
3.根據權利要求2所述的移動式充電設備,其特徵在於,所述能量轉換部件為一通風球,裝設於所述卡匣的上方,所述通風球在所述無塵室的迴風風壓所形成的氣流驅動下發生旋轉,從而將風能轉化為所述第一電源。
4.根據權利要求2所述的移動式充電設備,其特徵在於,所述能量轉換部件為一組風車,裝設於所述卡匣的前方,通過所述卡匣在移動過程中所產生的風力來帶動所述風車的葉片轉動,以將風能轉化為所述第一電源。
5.根據權利要求3或4所述的移動式充電設備,其特徵在於,所述變頻器為一交流_直流_交流變頻器。
6.根據權利要求2所述的移動式充電設備,其特徵在於,所述能量轉換部件為一太陽能發電板,鋪設於所述卡匣的上方,所述太陽能發電板接收來自所述無塵室中光源的光,以將光能轉化為所述第一電源。
7.根據權利要求6所述的移動式充電設備,其特徵在於,所述變頻器為一直流-交流變頻器。
8.根據權利要求6所述的移動式充電設備,其特徵在於,所述太陽能發電板還包括一充電電池,用於儲存經由所述光能轉化後的第一電源所對應的電能量。
9.根據權利要求1所述的移動式充電設備,其特徵在於,所述電子儀器為一微粒子量測儀、一行車記錄器或一照明電燈。
全文摘要
本發明提供了一種移動式充電設備,適用於一無塵室的移動載具,包括一能量轉換部件,用於將一可再生能源轉換為一第一電源,該第一電源為一交流電或一直流電;以及一變頻器,與該能量轉換部件相連接,用於將該第一電源轉換為一第二電源,該第二電源為一交流電;其中,移動載具在移動過程中,利用移動式充電設備生成的第二電源為多個電子儀器進行供電。採用本發明,通過其能量轉換部件將一可再生能源(如風能或太陽能)轉換為電能,並通過變頻器將所轉換的電能變成穩定的工作電源,以使得無塵室內的電子儀器在卡匣移動過程中仍然能夠持續可靠地工作,不僅節約了能源,而且還提高了卡匣的量測效率和量測速度。
文檔編號H02N6/00GK102361338SQ20111032981
公開日2012年2月22日 申請日期2011年10月21日 優先權日2011年10月21日
發明者林順隆, 鍾志和, 陳建宏, 黃詩穎 申請人:友達光電股份有限公司

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