一種熔煉電源升降一體結構的製作方法
2023-12-05 23:56:06
專利名稱:一種熔煉電源升降一體結構的製作方法
技術領域:
本實用新型為一種電源結構,特別涉及一種製作石英坩堝的熔煉電源升降一體結構,屬於升降設備技術領域。
背景技術:
用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶矽,發展大規模集成電路必不可少的基礎材料,是作為太陽能、半導體行業切克拉斯基法(cz)拉制單晶矽必不可少的容器。石英坩堝的製作是使用電弧石英坩堝工藝,而其中熔煉電源是必不可少的,通過調節熔煉電源來控制電極,從而精確控制熔制溫度。熔煉電源一般有3個,在通常的設備配置中, 對每個熔煉電源都需要單獨配置馬達,在操作熔煉電源時,不能同時調節,造成調節尺度有一定的誤差,使電流不平衡、穩定,造成熔煉電源的各個電極損耗速度不相等,使熔煉溫度不穩定,熔煉坩堝的產品質量受到很大影響。且絲杆升降機的行程開關易損壞。
實用新型內容本實用新型的目的是針對上述現有技術中,電流不平衡、不穩定,造成熔煉電源的各個電極損耗速度不相等,使熔煉溫度不穩定,熔煉坩堝的產品質量受到很大影響,且絲杆升降機的行程開關易損壞的缺陷,提供了一種熔煉電源升降一體結構,使易於熔煉電源的電流控制,電流平衡、穩定,使熔煉電源的各個電極損耗速度相等,熔煉溫度穩定,熔煉坩堝的產品質量有保證,且可對絲杆升降機的行程開關起到很大的保護作用。為了實現上述目的本實用新型採取的技術方案是一種熔煉電源升降一體結構, 包括支架、絲杆升降機、馬達和熔煉電源;所述絲杆升降機固定安裝在支架的橫梁上,所述馬達設置在絲杆升降機一側,絲杆升降機由馬達帶動;所述熔煉電源包括外線圈、鐵芯、鐵芯連杆,熔煉電源通過兩側連接杆,與橫梁固定連接;所述鐵芯通過鐵芯連杆與絲杆升降機的升降絲杆固定連接,所述馬達為一個,所述絲杆升降機有第1、2、3臺,熔煉電源有第1、2、 3個;馬達的輸出軸同時與三臺絲杆升降機的螺母轉動軸固定連接,一個馬達可同時帶動三臺絲杆升降機工作,使三個熔煉電源的鐵芯同時作上、下運動。所述第1、2、3臺絲杆升降機在支架的橫梁上,自左至右橫向均勻設置。所述馬達設置在橫梁的左側。所述馬達的輸出軸與第1臺絲杆升降機的螺母轉動軸固定連接,第1、2臺絲杆升降機的螺母轉動軸之間以連接軸A固定連接,第2、3臺絲杆升降機的螺母轉動軸之間以連接軸B固定連接。與現有技術相比,本實用新型的有益效果是(1)三臺絲杆升降機同時帶動三個鐵芯上下運動,易於熔煉電源的電流控制,電流平衡、穩定,使熔煉電源的各個電極損耗速度相等,可使熔煉溫度穩定,熔煉坩堝的產品質
量提高。(2)對絲杆升降機的行程開關起到很大的保護作用,使設備不用經常維修,增加了設備使用壽命。
附圖1 本實用新型主視圖;附圖2 本實用新型左視圖;附圖3 圖1的A-A剖視圖;附圖標記說明1支架、11連接杆、2絲杆升降機、21升降絲杆、22螺母轉動軸、3馬達、31連接軸A、32連接軸B、4熔煉電源、41外線圈、42鐵芯、43鐵芯連杆。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明,但不作為對本實用新型的限定。如圖1-3所示,一種熔煉電源升降一體結構,包括支架1、絲杆升降機2、馬達3和熔煉電源4 ;所述絲杆升降機2固定安裝在支架1的橫梁上,所述馬達3設置在絲杆升降機 2左側,絲杆升降機2由馬達3帶動;所述熔煉電源4包括外線圈41、鐵芯42、鐵芯連杆43, 熔煉電源4通過兩側連接杆11,與橫梁固定連接;所述鐵芯42通過鐵芯連杆43與絲杆升降機2的升降絲杆21固定連接,所述馬達3為一個,所述絲杆升降機2有第1、2、3臺,熔煉電源4有第1、2、3個;馬達3的輸出軸同時與三臺絲杆升降機2的螺母轉動軸22固定連接, 一個馬達3可同時帶動三臺絲杆升降機2工作,使三個熔煉電源4的鐵芯42同時作上、下運動。所述第1、2、3臺絲杆升降機2在支架1的橫梁上,自左至右橫向均勻設置。所述馬達3的輸出軸與第1臺絲杆升降機2的螺母轉動軸22固定連接,第1、2臺絲杆升降機2的螺母轉動軸22之間以連接軸A31固定連接,第2、3臺絲杆升降機2的螺母轉動軸22之間以連接軸B32固定連接。以上所述的實施例,只是本實用新型較優選的具體實施方式
的一種,本領域的技術人員在本實用新型技術方案範圍內進行的通常變化和替換都應包含在本實用新型的保護範圍內。
權利要求1.一種熔煉電源升降一體結構,包括支架、絲杆升降機、馬達和熔煉電源;所述絲杆升降機固定安裝在支架的橫梁上,所述馬達設置在絲杆升降機一側,絲杆升降機由馬達帶動; 所述熔煉電源包括外線圈、鐵芯、鐵芯連杆,熔煉電源通過兩側連接杆,與橫梁固定連接;所述鐵芯通過鐵芯連杆與絲杆升降機的升降絲杆固定連接,其特徵在於所述馬達為一個,所述絲杆升降機有第1、2、3臺,熔煉電源有第1、2、3個;馬達的輸出軸同時與三臺絲杆升降機的螺母轉動軸固定連接,一個馬達可同時帶動三臺絲杆升降機工作,使三個熔煉電源的鐵芯同時作上、下運動。
2.根據權利要求1所述的一種熔煉電源升降一體結構,其特徵在於所述第1、2、3臺絲杆升降機在支架的橫梁上,自左至右橫向均勻設置。
3.根據權利要求1所述的一種熔煉電源升降一體結構,其特徵在於所述馬達設置在橫梁的左側。
4.根據權利要求1所述的一種熔煉電源升降一體結構,其特徵在於所述馬達的輸出軸與第1臺絲杆升降機的螺母轉動軸固定連接,第1、2臺絲杆升降機的螺母轉動軸之間以連接軸A固定連接,第2、3臺絲杆升降機的螺母轉動軸之間以連接軸B固定連接。
專利摘要一種熔煉電源升降一體結構,屬於升降設備技術領域,包括支架、絲杆升降機、馬達和熔煉電源;絲杆升降機固定安裝在支架的橫梁上,馬達設置在絲杆升降機一側,絲杆升降機由馬達帶動;熔煉電源包括外線圈、鐵芯、鐵芯連杆,熔煉電源通過兩側連接杆,與橫梁固定連接;鐵芯通過鐵芯連杆與絲杆升降機的升降絲杆固定連接,馬達為一個,絲杆升降機有3臺,熔煉電源有3個;馬達的輸出軸同時與三臺絲杆升降機的螺母轉動軸固定連接,一個馬達可同時帶動三臺絲杆升降機工作,使三個熔煉電源的鐵芯同時作上、下運動。本實用新由於三個鐵芯同時上下運動,易於熔煉電源的電流控制,電流平衡、穩定,使各個電極損耗速度相等,可使熔煉溫度穩定,熔煉坩堝的產品質量提高。
文檔編號H05B7/152GK202035171SQ201120164919
公開日2011年11月9日 申請日期2011年5月13日 優先權日2011年5月13日
發明者王定永, 王文慶 申請人:寧波寶斯達坩堝保溫製品有限公司