在線等離子清洗機真空提升系統的製作方法
2023-12-06 18:20:31
專利名稱:在線等離子清洗機真空提升系統的製作方法
技術領域:
本實用新型涉及一種在線式等離子清洗機中的機構,特別涉及一種在線式等離子 清洗機中的提升系統。
背景技術:
LED (發光二極體)引線框架表面的微顆粒、有機物及表面氧化物等汙染物無法採 用傳統的清洗方法去除,現採用射頻等離子清洗技術,等離子清洗機在清洗LED (發光二極 管))引線框架時一般為批量進行,現有設備存在自動化程度低容易造成二次汙染的問題。
發明內容本實用新型提供的在線等離子清洗機真空提升系統解決了現有的設備存在自動 化程度低容易造成二次汙染的問題。本實用新型是通過以下方案解決以上問題的一種在線等離子清洗機真空提升系統,包括門字形的立板支架,在門字形的立板 支架上設置有垂直上下方向的導軌,在導軌上活動設置有連接板,該連接板與固定設置在 門字形的立板支架的背面上的提升氣缸的活塞杆連接在一起,在連接板的前面板上固定設 置有一對L形懸臂,在L形懸臂的端部懸掛有反應倉上蓋,反應倉上蓋通過密封圈與反應倉 下蓋扣接在一起,反應倉上蓋與反應倉下蓋扣接組成反應倉,在反應倉上蓋上設置有氣動 角閥,在反應倉內設置有電源正極板,電源正極板與反應倉的側壁上設置的電源正極引入 端固定連接在一起,在反應倉的側壁上設置有等離子清洗氣體的進氣閥,在電源正極板與 反應倉的內側壁之間設置有分離電源正負極的絕緣條,在反應倉上設置有真空測量儀。在所述的提升氣缸的活塞杆上設置有緩衝器,在反應倉下方的連接板上設置有安 全銷。本實用新型保證倉體蓋體上下活動自如,避免了二次汙染,提高了自動化清洗質量。
圖1為本實用新型的結構示意圖圖2為本實用新型的反應倉上蓋的結構示意圖
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型進行說明一種在線等離子清洗機真空提升系統,包括門字形的立板支架1,在門字形的立板 支架1上設置有垂直上下方向的導軌5,在導軌5上活動設置有連接板,該連接板與固定設 置在門字形的立板支架1的背面上的提升氣缸4的活塞杆連接在一起,在連接板的前面板 上固定設置有一對L形懸臂8,在L形懸臂8的端部懸掛有反應倉上蓋3,反應倉上蓋3通過密封圈7與反應倉下蓋2扣接在一起,反應倉上蓋3與反應倉下蓋2扣接組成反應倉,在 反應倉上蓋3上設置有氣動角閥13,在反應倉內設置有電源正極板12,電源正極板12與反 應倉的側壁上設置的電源正極引入端14固定連接在一起,在反應倉的側壁上設置有等離 子清洗氣體的進氣閥15,在電源正極板12與反應倉的內側壁之間設置有分離電源正負極 的絕緣條11,在反應倉上設置有真空測量儀10。 在所述的提升氣缸4的活塞杆上設置有緩衝器6,在反應倉下方的連接板上設置 有安全銷9。
權利要求一種在線等離子清洗機真空提升系統,包括門字形的立板支架(1),在門字形的立板支架(1)上設置有垂直上下方向的導軌(5),在導軌(5)上活動設置有連接板,該連接板與固定設置在門字形的立板支架(1)的背面上的提升氣缸(4)的活塞杆連接在一起,其特徵在於,在連接板的前面板上固定設置有一對L形懸臂(8),在L形懸臂(8)的端部懸掛有反應倉上蓋(3),反應倉上蓋(3)通過密封圈(7)與反應倉下蓋(2)扣接在一起,反應倉上蓋(3)與反應倉下蓋(2)扣接組成反應倉,在反應倉上蓋(3)上設置有氣動角閥(13),在反應倉內設置有電源正極板(12),電源正極板(12)與反應倉的側壁上設置的電源正極引入端(14)固定連接在一起,在反應倉的側壁上設置有等離子清洗氣體的進氣閥(15),在電源正極板(12)與反應倉的內側壁之間設置有分離電源正負極的絕緣條(11),在反應倉上設置有真空測量儀(10)。
2.根據權利要求1所述的一種在線等離子清洗機真空提升系統,其特徵在於,在所 述的提升氣缸(4)的活塞杆上設置有緩衝器(6),在反應倉下方的連接板上設置有安全銷 (9)。
專利摘要本實用新型提供了一種在線等離子清洗機真空提升系統,解決了現有設備存在自動化程度低容易造成二次汙染的問題。包括在門字形的立板支架(1)上設置有垂直上下方向的導軌(5)和連接板,連接板與提升氣缸(4)的活塞杆連接在一起,在連接板的前面板上固定設置有一對L形懸臂(8),並懸掛有反應倉上蓋(3),反應倉上蓋(3)與反應倉下蓋(2)扣接組成反應倉,在反應倉上蓋(3)上設置有氣動角閥(13),在反應倉內設置有電源正極板(12),電源正極板(12)與反應倉的側壁上設置的電源正極引入端(14)固定連接在一起。避免了二次汙染,提高了自動化清洗質量。
文檔編號B08B7/00GK201720219SQ20102025849
公開日2011年1月26日 申請日期2010年7月12日 優先權日2010年7月12日
發明者王大偉 申請人:中國電子科技集團公司第二研究所