有內分壓電阻器的陰極射線管的製作方法
2023-04-30 20:58:21
專利名稱：有內分壓電阻器的陰極射線管的製作方法
技術領域：
本發明涉及彩色陰極射線管(CRT)，具體涉及設有內分壓電阻器的CRT，內分壓電阻器用於給CRT頸部中裝的電子槍的多個電極加不同的電壓。在內分壓電阻器與頸部分內壁之間的間隔中設有導體，用於提高耐壓。
背景技術：
在電視接收機或信息終端監視器中用的彩色CRT有裝在抽真空的玻殼頸部中的電子槍，用於發射多個電子束，和在它的屏盤內表面上塗螢光元素形成的螢屏(視屏)，用於發射多種顏色的光。抽真空的玻殼外邊周圍安裝有偏轉線圈，它把電子槍發射的電子束按兩個方向掃描，在螢屏上形成要求的圖像。
許多彩色CRT中，用作選色電極的蔭罩靠近螢屏，使電子槍發射的多個電子束中的每束電子束撞擊螢屏上的螢光元素，以產生彩色圖像。
為提高螢屏上形成的顯示屏上的彩色圖像的質量，現有的彩色CRT用的電子槍是給多個電極上加多個高於其陽極電壓的多個高電壓，聚焦電子束。
圖6是包括設有內分壓電阻器的電子槍的彩色CRT的主要部分的局部切開的側視圖。圖7是按圖6中箭頭A所示方向看的圖6所示彩色CRT的主要部分的局部切開的側視圖。
發射三個一字式電子束的電子槍裝在彩色CRT的抽真空的玻殼10的頸部32中。該電子槍包括陽極(即第6柵電極)加有最高電壓(陽極電壓)；中間柵極2，加有用內分壓電阻器分割陽極電壓所得到的電壓；陽極K，它發射電子束；第5柵極組3，它由多個構成透鏡用於聚焦陽極K發射的電子束的電極構成；第4柵極4；第3柵極5，第2柵極6和第1柵極7。電極1至7按規定的順序固定，把各個電極的周邊部分嵌入一對絕緣支撐杆9中，使電極之間分別有規定的間隔。
屏蔽杯8連接到第6柵極1，多個導電彈簧11的末端焊到屏蔽杯8的前端的側壁上。抽真空的玻殼10的部分內壁塗有如石墨構成的內部導電膜10a，內導電膜10a從漏鬥部分向頸部延伸。導電彈簧的另一端壓在內部導電膜10a上，使陽極電壓經嵌在漏鬥部分中的高壓端加到第6柵極1。
隨後要說明的結構內部分壓電阻器12連接到面對頸部內壁32a的絕緣支撐9中的一個的外表面上。內分壓電阻器12設有用於電連接的引出端13、14和15，引出端13電連接到要加陽極電壓的第6柵極1，引出端14連接到中間柵電極2，引出端15接地。
引出端13設有按垂直於電子槍的縱軸方向伸出的連接片13a，連接片13a連接到第6柵極1。從引出端14伸出的連接片14a連接到中間柵極2，由此供給按內分壓電阻器的阻值比的因素分割陽極電壓得到的高電壓。延長連接片15a或其它元件，使引出端15連接到一個管腿45，由此，使引出端15連接到CRT外邊的電位端，如地電位(以後叫地電位)端。
設置用金屬絲構成的導體16，導體16穿過頸部32的內壁32a的內分壓電阻器12之間的間隔並包圍內分壓電阻器12和安裝有電阻器12的絕緣支撐杆9中的一個。導體16焊到絕緣支撐杆9中的一個相對邊上的第5柵極組3中的一個電極上。
導體16用鎳或不鏽鋼製成。在製成的電子槍組件密封進頸部32之後用外部的高頻感應加熱器對導體16加熱，使導體16中含的金屬部分揮發掉，由此，在頸部的內壁32a，絕緣支撐杆9和內分壓電阻器12上形成金屬薄膜16a，由此，在CRT工作中在頸部的內壁上產生穩定電位。已知的另一種導體16用金屬絲的延長部分構成，把CRT中要加同樣電壓的電極連接在一起。還有一種已知的導體16，它的一端固定到電極，導體16的另一端不固定到電極。
參考數字17是指阻止電火花的導膜，導電膜17是在內分壓電阻器12對著頸部內壁的表面上濺射的Au-Pd或Cr膜，防止導體16及其附近電極之間在隨後要說明的光點撞擊發生中出現電火花，能增強光點撞擊的效果。
圖8A至8C是圖7所示電子槍中用的內分壓電阻器12的示意圖；圖8A是從電阻器構圖一側看的內分壓電阻器的平面圖；圖8B和8C分別是內分壓電阻器的側視圖和後視圖。
在內分壓電阻器12中，電阻層19形成在絕緣襯底18的表面上，絕緣襯底18最好用陶瓷製成，襯底18上首先按所需圖形印刷有所需電阻特性的電阻材料層19，如包括氧化釕(RuO)的金屬氧化物之後，乾燥和燒結電阻材料。之後，在電阻層19的圖形(以後叫做電阻圖形)上覆蓋用硼矽酸鉛玻璃製成的第1絕緣膜20a。同樣，在絕緣襯底18的背面除形成有引出端的區域外在大致是襯底背面中心區上形成第2絕緣膜20b，而且，在第2絕緣膜20b的規定部分上塗防電火花導電膜17。防止電火花的導電膜17從導體16的位置朝高壓端13有些位移。用離子轟擊Au-Pd或Cr製成的靶，使Au-Pd或Cr濺射到用有規定形狀的開口的不鏽鋼掩模覆蓋的第2絕緣膜20b上，形成防電火花的導電膜17。
形成在內分壓電阻器12的一端上的引出端13用從它伸出的連接片13a連接到第六柵1，內分壓電阻器一端上形成的引出端15用從它伸出的連接片15a連接到地電位電極件，內分壓電阻器12的中間位置形成的引出端14用從它伸出的連接片14a連接到中間電極2。
設置導電膜(連接引線)13b、14b和15b並連接到電阻層19上分別對應連接片13a，14a和15a的位置，用小孔鉚釘把連接片13a、14a和15a分別固定到導電膜13b、14b和15b。導電膜(連接引線)13b、14b和15b不用覆蓋電阻層19的絕緣膜20a覆蓋，使它們露出。
圖9是常規彩色CRT的又一實施例的頸部局部切開的正視圖。圖9所示彩色CRT在結構上與結合圖6和7所述的結構不同，那種情況下，它的內分壓電阻器92位於從絕緣支撐杆93的位置圍繞CRT的旋轉90度的位置，它的電子槍沒有圍繞內分壓電阻器92的導體和對應上述導體16的絕緣支撐杆93。但是，絕緣襯底92A面對電子槍94的表面覆蓋有渡越金屬氧化物膜92B，絕緣襯底92A面對管頸95的另一表面用覆蓋電阻圖形92C的硼矽酸鉛系玻璃絕緣膜92D(絕緣保護膜)覆蓋。
包括這種內分壓電阻器的彩色CRT已公開在日本實用新型專利申請公開昭和55-38484(
公開日80年3月12日)，日本專利申請公開平6-5224(
公開日為1994年1月14日)，日本專利2638835(對應1989年3月14日公開的日本特許公開平成1-67846)，日本專利1952176(對應
公開日為1988年1月12日的日本特許公開昭和-63-6730)中。
發明內容
本發明的目的是提供用設有低成本內分壓電阻器有超級耐壓特性並且能提供高清晰度圖像顯示的電子槍的彩色CRT。
為達到上述的目的，按本發明的一個實施例，所提供的彩色CRT包括抽真空的玻殼，它包括在其內表面上形成有螢屏的屏盤，頸部，連接屏盤和頸部的漏鬥部分；裝在頸部中的電子槍，它包括電子束髮射部分，按規定順序排列的多個聚焦電極和陽極，用於把電子束髮射部分發射的三束電子束會聚到螢屏上，用一對絕緣支撐杆按預定的軸向間隔關係固定多個聚焦電極和陽極；分壓電阻器，用它分割陽極電壓產生要加到鄰近陽極的多個聚焦電極中的第1聚焦電極上的中間電壓，分壓電阻器設在一對絕緣支撐中的一個支撐杆的面對頸部內壁的一個表面附近，分壓電阻器包括絕緣膜、電阻圖形、絕緣襯底，和含過渡金屬氧化物的第二膜，這些構件規定的設置順序是以朝向頸部內壁的絕緣膜開始依次設置；金屬導體，它圍繞分壓電阻器和一對絕緣支撐杆中的一個支撐杆，並固定到多個聚焦電極中的第二聚焦電極，第二聚焦電極位於三束電子束的路徑中的多個聚焦電極中的第1聚焦電極的上流位置。
本發明的有該結構的彩色CRT用設有低成本的內分壓電阻器有極優異的耐壓特性的電子槍。
本發明不限於上述結構，在不脫離所附權利要求書限定的發明範圍內還會有各種變化和改進。
全部附圖中相同的數字表示相同的元件。
圖1A和1B畫出本發明實施例的彩色CRT的電子槍中用的內分壓電阻器，圖1A是內分壓電阻器的平面圖；圖1B是圖1A所示內分壓電阻器的後(背)視圖；圖2是沿圖1A中II-II線的內分壓電阻器的主要部分的橫截面圖；圖3是本發明另一實施例的彩色CRT的頸部沿垂直於管軸的平面的橫截面圖；圖4是圖3中「C」指示的頸部中的一部分的放大的橫截面圖；圖5是本發明另一實施例的彩色CRT的橫截面圖，用它作為說明總結構的實施；圖6是包括設有內分壓電阻器的電子槍的彩色CRT的主要部分局部切開的側視圖；圖7是圖6所示彩色CRT的主要部分從圖6中箭頭A指示方向看的局部切開的側視圖；
圖8A至8C是電子槍的內分壓電阻器的示意圖，圖8A是它的平面圖，圖8B是它的側視圖；圖8C是它的後視圖；圖9是常規彩色CRT的局部切開的側視圖；圖10是說明產生光點撞擊用的電連接的電路圖。
具體實施例方式
彩色CRT製造中，CRT抽出氣體並密封之後，要經過所謂的光點撞擊(高壓穩定化)處理。CRT在25至30kv的陽極電壓正常工作。給陽極加兩倍額定陽極電壓的高壓進行光點撞擊(高壓穩定化)處理，由此迫使電子槍組件的電極之間和電極與頸部內壁之間出現電火花，隨後除去電極中的凸點或CRT中的外來顆粒，因此，在製成的彩色CRT正常工作中防止彩色CRT中出現這種電火花。
圖10畫出用於彩色CRT光點撞擊的電結構的一個實例。位於電子束路徑中的第5柵極組3的上流的電極連接在一起，並接地，如圖中虛線所示，用作陽極的第六柵極1加兩倍的額定陽極電壓，中間電極加內分壓電阻器12分割陽極高壓得到的電壓。光點撞擊的過程中，上述導體16接地，導體16位於疊置在絕緣支撐杆9上的內分壓電阻器12的周圍，因而靠近頸部內壁，由此，在陽極1與導體16之間出現強電火花。
把內分壓電阻器12設置成它的有電阻圖形19和其上有第一絕緣膜20a的前表面面對絕緣支撐杆9，它的其上有第二絕緣膜20b的背面面對頸部的內壁32a。
通常，玻璃表面容易發射二次電子，因此，容易發生電子雪崩。因此，如果兩個相對的玻璃表面上加高壓，則會出現電子雪崩，容易產生電火花。
為了在電極之間產生電火花而進行的光點撞擊過程中，清潔了包括電極表面的彩色CRT的裡邊，但是，有時候不能達到預期的效果，其原因是，由於覆蓋內分壓電阻器12的背面的絕緣玻璃膜20b與頸部的玻璃內壁32a之間的電子雪崩和導體16的位置之間的共同作用，使只在加60kv高壓的第六柵極1與內分壓電阻器12的引出端之間出現電火花，或者，只在第六柵極1與導體16之間出現電火花，因此，在指定電極之間不產生光點撞擊。
作為克服該缺點的一種方法提供了一種結構，在內分壓電阻器12的面向頸部內壁32a的背面上，從導體16向高壓端13有些位移的位置處覆蓋的絕緣玻璃膜20b上，澱積防電火花導電膜17。
另一種克服該缺點的方法是，在覆蓋內分壓電阻器12的電阻圖形的第一絕緣膜20a中分散過渡金屬氧化物，如Fe，Ni或Cr的氧化物並把第一絕緣膜20a放置成面向頸部的內壁32a，由此，抑制二次電子發射。
但是，在第一種方法中，在面向頸部內壁32a的內分壓電阻器12的背面上覆蓋的絕緣玻璃膜20b上形成防電火花的導電膜17，最初內分壓電阻器12上沒有加防電火花的導電膜17，之後，在附加的工藝步驟中，在內分壓電阻器12上形成防電火花的導電膜17。在附加的工藝步驟中處理內分壓電阻器12時，要清除電阻器的端部或各膜，因而會出現汙染，而且，在除去汙染的工作中可能會改變它的特性，因此可能會損害內分壓電阻器的主要特性，因而必然會降低內分壓電阻器的合格率。而且，製造防電火花的導電膜17需用價格昂貴的高精度蒸發設備，並且，要精確控制蒸發操作，這就不可避免地降低了內分壓電阻器的合格率，增大了它的生產成本。
另一方面，第二種方法中，要在覆蓋內分壓電阻器12的電阻圖形的第1絕緣膜20a中分散過渡屬氧化物，如Fe，Ni或Cr的氧化物，並把第一絕緣膜20a設置成面向頸部內壁32a，不像第1種方法那樣需用附加工藝。但是原先含在絕緣膜20a中作為雜質的鈉(Na)，由於使絕緣膜20a自身具有的導電率使Na朝負電位一側移動，使構成絕緣膜20a的金屬鉛的鉛氧化物減少，造成不希望有的導電率增大，引起了遷移發生，結果，降低了電阻圖形部分之間的耐壓。這種現象使內分壓電阻器的電陽值變化，因而，使按電阻值比的因素分割陽極電壓所產生的要加到中間柵電極2上的高電壓變化，因而不能獲得高清晰的圖像顯示。
現在參見附圖詳細說明本發明的實施例。
圖1A和1B畫出了本發明實施例的彩色CRT的電子槍中用的內分壓電阻器，圖1A是它的平面圖，圖1B是它的後視圖。圖2是圖1A所示內分壓電阻器的主要部分沿圖1A中II-II的橫截面示意7中與圖1A、1B和2中相應的部分用相同的數字表示。
內分壓電阻器22中，它沒連接到電子槍之前，如圖1A，1B和2所示，用絲網印刷法，在絕緣襯底18上按規定圖形形成電阻層，即電阻圖形，像結合圖7說明的常規內分壓電阻器的情況一樣，由內分壓電阻器22伸出的引出端用有小孔的鉚釘固定，使引出端13連接到高壓電極，引出端14連接到中間電極，引出端15接地。
隨後形成厚度為T1有規定組分的絕緣膜23a，絕緣膜23a覆蓋電阻層19，並把內分壓電阻器22裝入彩色CRT中，使絕緣層23a面向電子槍的一個絕緣支撐杆。另一方面，隨後在絕緣襯底18的背面上形成厚度為T2有規定組分的另一膜23b，絕緣膜23b澱積成面對頸部的內壁32a。
面對絕緣支撐杆9澱積的絕緣膜23a包括至少含20％重量的PbO的硼矽酸鉛玻璃。
另一方面，面向頸部內壁32澱積的膜23b，除含有構成絕緣膜23a的硼矽酸鉛系玻璃之外，還含有至少一種選自Zn，Cd，Fe，Mn，Cu，Ni，Cr，Co和Zr的金屬氧化物。
本例中的其餘元件與已經說明了的常規彩色CRT中的元件相同。這裡不再重複。
以下說明內分壓電阻器22的製造方法的例子。
首先製備絕緣襯底18，襯底18用至少含96％重量的Al的氧化鋁材料製成，襯底18的厚度T為0.635mm，寬為5mm，長L1為58mm。之後，用絲網印刷法，已預先用與電阻圖形用的材料基本相同的材料形成了引出端13至15的襯底上，用主要含氧化釕(RuO)的材料，形成電阻圖形19，之後，經乾燥後，電阻圖形在850℃燒結，構成電阻圖19。
之後，用有例1組分的硼矽酸鉛系玻璃漿並噴塗在電阻圖形19上，只是電阻圖形19的端部不塗，玻璃膜燒結後的厚度為0.15mm。
硼矽酸鉛系玻璃的組分例1氧化鉛 55(wt％)氧化矽 29氧化硼 8氧化鋁 4其它組分 平衡量在絕緣襯底18的背面上除端部以外，塗有下面組分例2所示的混有氧化鐵的硼矽酸鉛系玻璃漿，塗層厚度在燒結後為0.25mm。
硼矽酸鉛玻璃系的組分例2
氧化鉛55(wt％)氧化矽27氧化硼10氧化鋁5氧化鐵3乾燥後，玻璃膜在600℃燒40分鐘，設在內分壓電阻器上的絕緣膜23a的厚度T1是0.15mm，膜23b的厚度T2是0.25mm。
製成後的內分壓電阻器22的絕緣膜23a和23b的表面實際上分別是白色和黑色，製成的內分壓電阻器的絕緣膜23a和膜23b的表面顏色不同便於分辨。
圖1A和1B中的尺寸如下L1是58mm，L2是40mm，L3是14mm，L4是2mm，L5是2mm，L6是3.5mm，L7是3.5mm。
通用的內分壓電阻器中，它的總長度L1的範圍是50mm至100mm，它的寬度範圍是5mm至10mm，包括兩個表面上的兩層膜和多個引出端的它的總厚度範圍是大約1mm至大約2mm。
上述方法製成的內分壓電阻器中，覆蓋電阻圖形19的絕緣膜23a只用硼矽酸鉛玻璃構成，因此，能抑制遷移，因而能充分確保電阻圖形各部分之間和電阻圖形與引出端之間的絕緣特性，因此克服了主要由金屬鉛引起的各種問題。
用至少含20％重量的PbO的硼矽酸鉛系玻璃能防止內分壓電阻器捲曲或彎曲，因而可以在低於作為相同目的所用的其它玻璃系所用的850℃燒結溫度的溫度中燒結絕緣膜，因此，絕緣膜製造中所需的繞結工藝不會損壞電阻圖形。
使內分壓電阻器背面上的膜層23b的硼矽酸鉛系玻璃中包含例如氧化鐵氧化鈷的過渡金屬氧化物，能抑制二次電子發射，在光點撞擊過程中，膜23b處於類似於電浮置的狀態。結果，能保證在防電火花的導電膜17中不會有要求的電火花路徑，因而，保證在電極中有強度足夠的電火花，得到滿意的光點撞擊效果。因而解決了與防電火花的導電膜17的製造相關的各種問題，結果使內分壓電阻器的生產成本降低。
當膜23b的厚度大於絕緣膜23a的厚度時，不僅能防止內分壓電阻器捲曲或彎曲，還能提高它的耐壓特性。
圖3是本發明另一實施例的彩色CRT的頸部沿垂直於它的管軸的平面的橫截面圖，圖4是圖3中所示頸部的「C」部分的放大橫截面圖。圖1A，1B，2和6-10中與圖3，4對應的部分用相同的數字指示。
圖3和4中，內分壓電阻器22位於一對絕緣支撐杆9中的一個絕緣支撐杆的外邊，即，位於一個絕緣支撐杆面向頸部32的內壁32a的一側上，導體36位於內分壓電阻器22和在頸部內壁32a與內分壓電阻器之間的間隔中安裝電阻器22的絕緣支撐杆9周圍，導體的兩端焊在第五柵極3上。
同樣，另一導體16位於不安裝內分壓電阻器22的另一絕緣支撐杆9周圍。16a是用導體16加熱澱積的蒸發膜。蒸發膜澱積在頸部內壁32a，內分壓電阻器22和絕緣支撐杆和其它元件上，圖3或4中沒畫支撐杆9上的蒸發膜。
內分壓電阻器22設置成在它面向一個絕緣支撐杆9的一側上覆蓋電阻圖形19和絕緣膜23a，在面對頸部內壁32a的背面上澱積硼矽酸鉛系玻璃和過渡金屬氧化物構成的膜23b。
圖5是按本發明另一實施例的彩色CRT的橫面示意圖，用於說明總體結構的一個實例。41是屏盤部分，42是螢屏，32是裝電子槍的頸部，43是連接屏盤和頸部的漏鬥部分，44是蔭罩懸掛機構，49是一字型電子槍，50是偏轉線圈，51是外部磁場校正裝置，10a是內導電塗層，52是防止內爆膠帶，53是屏盤腿，54是蔭罩組件，45是管腿。
該彩色CRT中，抽真空的玻殼55由屏盤41，頸部32和漏鬥部分43構成，裝在頸部32中的電子槍49發射三束電子束B(一個中心電子束和兩個側邊電子束)，偏轉線圈50產生的水平和垂直偏轉磁場對螢屏42進行二維掃描。
用經管腿45供給的視頻信號調製三束電子束的強度之後，用緊鄰螢屏42正面的蔭罩44選擇顏色，之後，撞擊構成螢屏42的紅，綠和蘭色的各個螢光元素，以重現規定顏色的圖像。一字型電子槍49用結合前例說明了其結構的內分壓電阻器。
本發明不限於上述結構，在不脫離發明範圍的情況下還會有各種變化和改進。本發明不限於裝有發射多束電子束的電子槍的彩色CRT，同樣適用於用裝有內分壓電阻器的電子槍的各種CRT，包括單電子束型CRT，例如投影式CRT。
如上所述，本發明中，分壓電阻器位於按規定的軸向間隔關係按規定的順序把各個電子的周邊嵌入兩個絕緣支撐杆之一的絕緣支撐杆的外表面附近，內分壓電阻器中的面向頸部內壁的表面上形成其中分散有過渡金屬氧化物的硼矽酸鉛系玻璃膜，內分壓電阻器中面向絕緣支撐杆的另一表面上形成硼矽酸鉛系玻璃膜，在一個絕緣支撐杆和內分壓電阻器周圍設有導體，導體的兩端固定在一個電極上。用發明結構不用設防電火花的導電膜就能得到足夠的光點撞擊效果，因而不會增大成本，能抑制內分壓電阻器與頸部內壁之間的二次電子發射，能保證有好的耐壓特性，能防止電陽值變化。因此，本發明提供用裝有低成本內分壓電阻器，有優良的耐壓特性，不會損壞聚焦特性，能提供高清晰度圖像顯示的彩色CRT。
權利要求
1.彩色陰極射線管，包括抽真空的玻殼，它包括其內表面上形成有螢屏的屏盤；頸部；和連接所述屏盤和頸部的漏鬥部分；裝在所述頸部內的電子槍，包括電子束髮射部分；按規定順序設置的多個聚焦電極和陽極，用於把電子束髮射部分發射的三束電子束聚焦在所述螢屏上；所述電子束髮射部分，所述多個聚焦電極和所述陽極按預定的軸向間隔用一對絕緣支撐杆固定；分壓電阻器，它通過分割所述的陽極電壓，產生要加到鄰近所述陽極的多個聚焦電極中的第一個聚焦電極上的中間電壓；所述分壓電阻器，位於一個絕緣支撐杆的面對所述頸部內壁的一邊附近的位置；所述分壓電阻器包括從朝向所述頸部內壁的絕緣膜開始的按規定順序設置的絕緣膜，電阻圖形，絕緣襯底，和含有過渡金屬氧化物的第二膜；和所述分壓電阻器和一個支撐杆周圍的金屬導體，所述金屬導體固定到多個聚焦電極中的第二聚焦電極；所述第二聚焦電極位於所述三束電子束路徑中的所述多個聚焦電極中的第一個聚焦電極的上流。
2.按權利要求1的彩色陰極射線管，其中，所述第二膜含硼矽酸鉛玻璃和選自Zn，Cd，Fe，Mn，Cu，Ni，Cr，Co和Zr中的至少一種金屬的氧化物。
3.按權利要求1的彩色陰極射線管，其中，所述第二膜比所述絕緣膜的顏色黑。
4.按權利要求2的彩色陰極射線管，其中，所述第二膜比所述絕緣膜的顏色黑。
5.按權利要求1的彩色陰極射線管，其中，所述第二膜的厚度比所述絕緣膜厚。
6.按權利要求2的彩色陰極射線管，其中，所述第二膜的厚度比所述絕緣膜厚。
7.按權利要求3的彩色陰極射線管，其中，所述第2膜的厚度比所述絕緣膜厚。
8.按權利要求4的彩色陰極射線管，其中，所述第2膜的厚度比所述絕緣膜厚。
全文摘要
彩色CRT,它的頸部內裝有電子槍,它的多個聚焦電極和陽極用兩個絕緣支撐杆固定。分壓電阻器設在一個絕緣支撐杆附近,它產生的中間電壓由分割陽極電壓加到鄰近陽極的第一聚焦電極上。分壓電阻器包括從朝向頸部內壁的絕緣膜開始的按規定順序形成的絕緣膜,電阻圖形,絕緣襯底,和含過渡金屬氧化物的第二膜。分壓電阻器和一個絕緣支撐杆周圍的金屬導體固定在位於電子束路徑中的多個聚焦電極中的第一聚焦電極上流的第二聚焦電極。
文檔編號H01J29/00GK1344007SQ0113795
公開日2002年4月10日 申請日期2001年8月30日 優先權日2000年9月19日
發明者仲村久雄, 小泉幸生, 鈴木健治 申請人:株式會社日立製作所