一種晶圓片儲放盒的製作方法

2023-05-01 11:54:56

專利名稱：一種晶圓片儲放盒的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種晶圓片儲放盒，尤其涉及一種利用斜槽結構對儲存、收藏的晶圓片進行定位及固定，使之在卡式晶圓片槽中妥善的收藏和固定以達到安全的儲存的晶圓片儲放盒。
目前已知的相關技術，有以下方法，如中國專利ZL972210474，其揭示了一種就是採用一個利用五連杆結構的晶圓片固定機構。由於其在設計採用了五連杆結構，在其工作時，會使固定機構在對晶圓片進行定位的過程中，施加給晶圓片片與之互相垂直的力。而對晶圓片來說，這個垂直於晶圓片平面的力，有可能造成晶圓片的破損。而且這種五連杆結構也較複雜。
在其他類似的的設計中，也都存在零件過多，結構複雜等問題。而且由於結構的複雜化，同時也會帶來易產生粉塵的不良後果。
根據上述目的，根據本實用新型構思的晶圓片儲放盒包括儲放晶圓片的盒體，所述盒體具有一個底盤；以及可蓋合於所述盒體上的盒蓋，在所述盒蓋內設置有固定機構；其特徵在於，所述固定機構包含固定在所述盒蓋內側的導片，在所述導片上開設有斜槽；具有突起的推桿，所述推桿上的突起伸入到所述導片上的斜槽中，可沿所述斜槽滑動；柔性推板，與所述推桿相連。
在如上所述的晶圓片儲放盒中，在所述導片上的斜槽的上端具有一段垂直槽。
如上所述，由於本實用新型的晶圓片儲放盒拋棄了連杆結構，採用滑槽結構，大大簡化了固定機構的構造，有利於降低成本，同時減少產生的粉塵。
下面將參照圖2、圖3和圖4詳細描述固定機構50的結構。
如圖3所示，固定機構50由三個零件構成，即導片51、推桿52和柔性推板53。在導片51上開設有斜槽54。在推桿52上，設置有突起55。如圖4所示，推桿52上的突起55與導片51上的斜槽54相對應，可以伸入到斜槽54內，且可沿斜槽54移動。另外，柔性推板53與推桿52相連接，可以隨著推桿52的移動而移動。
如圖2所示，該固定機構50固定在盒蓋20的內側面，即通過導片51與盒蓋20的內側面固定，柔性推板53鄰近放置在盒體10內的晶圓片30。
圖2、圖5和圖6分別示出了盒蓋20蓋入到盒體10的各個過程。如圖2和圖5所示，當盒蓋20蓋入到盒體10上時，首先推桿52與底盤40接觸，使推桿52沿導片51上的斜槽54移動。由於斜槽54的斜度，使推桿52向圖中的左側移動，從而帶動與之相連的柔性推板53向左移動，柔性推板53與晶圓片30接觸，從而在移動的過程中，推動晶圓片30排列在盒體10中，並使之整體排放。隨著盒蓋20的進一步下降，推桿52進一步向左移動，直至斜槽54的頂端，盒蓋20與盒體10密封，此時柔性推板53也被推到最左側，固定住晶圓片30，使之不能移動。在整個推動過程中，柔性推板53的設計是與晶圓片30邊緣線接觸(最小的接觸面積)，且無垂直方向的移動，減小了晶圓片受損的可能。
另外，如圖7所示，還可以將斜槽54的上端設計成垂直槽，即保留一部分非斜槽(例如3mm，該尺寸是可以根據需要而變化的)，這樣，當盒蓋20與底盤40的蓋合剩下最後的一段時，由於該段垂直槽的設計，推桿52停止向左側移動，保持在此位置至晶圓盒完全密封，從而可靠地完成晶圓片的定位、對齊和保持固定的功能。
綜上所述，本實用新型是以一種獨特的設計，簡化的固定機構的結構，同時達到了對晶圓片在卡式晶圓槽內的定位、固定功能，使晶圓片在晶圓盒內安全的儲臧，並減少粉塵的產生和汙染。
權利要求1.一種晶圓片儲放盒包括儲放晶圓片的盒體，所述盒體具有一個底盤；以及可蓋合於所述盒體上的盒蓋，在所述盒蓋內設置有固定機構；其特徵在於，所述固定機構包含固定在所述盒蓋內側的導片，在所述導片上開設有斜槽；具有突起的推桿，所述推桿上的突起伸入到所述導片上的斜槽中，可沿所述斜槽滑動；柔性推板，與所述推桿相連。
2.如權利要求1所述的晶圓片儲放盒，其特徵在於，在所述導片上的斜槽的上端具有一段垂直槽。
專利摘要本實用新型涉及一種晶圓片儲放盒。傳統的晶圓片儲放盒存在著結構複雜的問題。本實用新型的儲放盒包括儲放晶圓片的盒體，所述盒體具有一個底盤；以及可蓋合於所述盒體上的盒蓋，在所述盒蓋內設置有固定機構；其特徵在於，所述固定機構包含固定在所述盒蓋內側的導片，在所述導片上開設有斜槽；具有突起的推桿，所述推桿上的突起伸入到所述導片上的斜槽中，可沿所述斜槽滑動；柔性推板，與所述推桿相連。
文檔編號B65D85/90GK2587800SQ0226044
公開日2003年11月26日 申請日期2002年9月29日 優先權日2002年9月29日
發明者崔慧生 申請人:崔慧生