一種新型對位標記的製作方法

2023-05-01 14:31:16 2

專利名稱：一種新型對位標記的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種對位標記，具體的是一種平板顯示曝光機用的新型對位標記。
背景技術：
目前，平板顯示器件在電子產品領域中的應用越來越廣泛，平板顯示器件製作的 投入在不斷地擴大。現在平板顯示器件的主流製作方式採用光刻的方式進行，光刻中使用 大型的非接觸式的曝光設備。為了保證在首次製作圖形時把圖形製作在玻璃基板的中心位 置，一般是在機臺上設置機械對位，保證圖形的精度偏差在設計的範圍內，那麼就需要一個 對位標記作為參考點。在現有技術當中，主要採用的是在需要安裝對位標記的機臺上預先製作安置對位 標記的安裝孔，在需要使用對位標記的時候，直接將對位標記放置在機臺上的安裝孔裡面。現有技術的對位標記如圖1、圖2、圖3所示，其中圖1為現有技術對位標記的正視 圖，圖2為現有技術對位標記的俯視圖，圖3是現有技術對位標記的縱向剖視圖。現有技術 的對位標記主要包括安裝部2和固定部4，安裝部2和固定部4相連接；安裝部2和固定部 都為圓柱形設計，安裝部2的直徑大於固定部4的直徑，安裝部2與固定部4的中軸線在同 一條直線上。其中安裝部2的頂端設置有對位部1，對位部1包括透明層6，透明層6的正 中心設置有深色點標記7，方便對位時曝光機的對位鏡頭能直接觀察到；在對位部1下方的 安裝部2為中空透視部8 ；安裝部4為帶有氣孔9的中空的圓柱體，氣孔9與中空透視部8 相通，在安裝部4設計氣孔9是為了在安裝時，使機臺上安裝孔裡的空氣排出，以方便固定。根據上述可知，現有對位標記設計沒有鎖定裝置，只是簡單的將對位標記放置在 機臺的安裝孔裡，這種結構的對位標記安裝在機臺的安裝孔以後，容易出現鬆動、不穩等現 象；對位時對位標記的微小晃動都會對對位結果造成影響，使曝光對位可能出現比較大的 偏差，同時鏡頭觀看的焦距容易發生變化，不利於聚集，嚴重時影響玻璃基板的對位，使圖 形不能很好地製作在玻璃基板的中間位置，嚴重時會影響產品的性能；現有技術結構的對 位標記，安裝部2設計成圓柱形，儘管圓柱形設計有利於對位標記的加工製作，但是不容易 安裝，更不適合利用工具進行夾持作業；在機臺上安裝孔的設置也比較受限，只能設置在固 定的位置固定的尺寸上，不能在機臺上設置太多的安裝孔，這樣對於不同尺寸產品不同玻 璃尺寸間的切換造成很大的影響。在曝光機的機臺上，分布有很多固定臺面的螺絲孔，這種螺絲孔的縱向剖面視圖 如圖4所示，在機臺上的螺絲孔包括螺帽下沉孔24和螺釘緊固孔22，螺釘緊固孔22的底端 部帶有螺紋絲23。本發明通過對現有對位標記進行改進形成一種新型的對位標記，新型對 位標記可以以機臺上廣泛分布的螺釘固定孔為安裝孔進行對位標記的安裝。
發明內容本實用新型的目的是提供一種以機臺上廣泛分布的螺絲孔作為安裝孔，根據螺絲
3孔對對位標記進行改進，達到方便安裝、固定牢靠、不用另外設置安裝孔等有益技術效果。一種新型對位標記，包括安裝部2和固定部4，其中安裝部2與固定部4之間設置 有下沉部3，固定部4的端部帶有螺紋5，新型對位標記的安裝部2至少帶有一對互相平行 的邊，不同於現有技術安裝部2的設計。具體的，安裝部2、下沉部3、固定部4的中軸線在同一條直線上。具體的，安裝部2、下沉部3、固定部4的直徑依次減小。具體的，安裝部2帶有至少一對相互平行的邊。更具體的，安裝部2包括圓形帶兩 條平行的邊結構、正四邊形結構、正六邊形結構、正八邊形結構。具體的，安裝部2的頂端設置有對位部1，對位部1包括圓形透明層6和置於透明 層6中心位置的點標記7。具體的，點標記7的直徑為200 u m-280 u m。具體的，透明層6的直徑為5_8mm。

本實用新型將通過例子並參照附圖的方式說明，其中圖1是現有技術的對位標記主視圖；圖2是現有技術對位標記的俯視圖圖3是現有技術對位標記的剖視圖；圖4是本實用機臺上螺絲孔的剖視圖；圖5是本實用新型對位標記的正視圖；圖6是本實用新型對位標記的俯視圖。具體的，圖中的1為對位部，2為安裝部，3為下沉部，4為固定部，5為螺紋，6為透 明層，7為點標記，8為中空透視部，9為氣孔，21為機臺，22螺釘緊固孔，23為螺紋絲，24為 螺帽下沉孔。
具體實施方式
本說明書中公開的所有特徵，或公開的所有方法或過程中的步驟，除了互相排斥 的特徵和/或步驟以外，均可以以任何方式組合。本說明書(包括任何附加權利要求、摘要和附圖)中公開的任一特徵，除非特別敘 述，均可被其他等效或具有類似目的的替代特徵加以替換。即，除非特別敘述，每個特徵只 是一系列等效或類似特徵中的一個例子而已。
以下結合附圖，詳細描述根據本實用新型的新型對位標記。如圖5、圖6所示，圖5是本實用新型對位標記的主視圖，圖6是本實用新型對位標 記的俯視圖。一種新型對位標記，包括安裝部2和固定部4 ；固定部4為圓柱體形狀，固定部 4的端部帶有螺紋5，固定部4的直徑與機臺上螺絲孔的螺釘緊固孔22的直徑想適應；固定 部4與安裝部2中間設置有下沉部3，下沉部3為圓柱體形狀，下沉部3的直徑與螺釘固定 孔的螺帽下沉孔的直徑相適應；安裝部2、下沉部3、固定部4的中軸線在同一條直線上，並 且半徑依次減小。安裝部2的頂端設置有對位部1，對位部1包括透明層6和置於透明層6正中位置
4的深色點標記7，在對位部1下部為中空透視部8。點標記7的直徑太小時，雖然對位精度要高些，但是不便於人工輸入；太大的點標 記使對位精度降低，因此點標記7的大小要合適。具體的，本實用新型的點標記7的直徑大 小優選為200-280 u m。透明層6為便於鏡頭識別點標記而設計，透明層6可以是不含雜質 的玻璃透明塑料或其它沒有雜質的透明材料，點標記7在圓形透明層6的圓心位置，透明層 6的圓直徑一般為5-8mm，透明層的設計便於鏡頭識別對位用的點標記7。安裝部2設計至少有兩條平行的邊，方便這個微小結構的安裝。安裝部2的俯視 圖外形可以設計成圓形帶互相平行的兩個邊或設計成正六邊形或四邊形，本例中如圖6所 示，但並不是對所述安裝部的限制，只是一種示例。安裝部的厚度設計為小於1. 5mm，方便 1. 8mm的玻璃對焦使用。下沉部3主要用於在螺帽下沉孔24中固定對位標記，還可以起到 固定時排出螺孔中的空氣。在現有技術對位標記的設計上，因為靠對部標記的安裝部4的 外壁和安裝孔的內壁來固定，製造時必須使安裝部4和安裝孔結合完好、密封完好，這樣才 不至於出現偏差，而且必須設計有排氣的氣孔9。而本實例新型的對位標記，下沉部3可以 不和螺絲孔的螺帽下沉孔24直接接觸，允許有一定得空隙，降低了加工精度，可以降低加 工成本。固定部4上有螺紋5，主要是固定對位標記在機臺上的螺釘固定孔的螺絲23中，這 樣固定牢靠，不容易掉出，不會由於偶爾的原因造成曝光對位出錯。固定的對位標記不需要 在機臺上另外製作對位標記的孔，直接利用機臺上固定臺面的螺絲孔即可。機臺上固定臺 面的螺絲孔，在製作時比較多，而且加工精度好，成中心對稱型分布。這樣在更換曝光機兼 容品種尺寸時，可以方便對位標記的移動。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，並不用以限制本實用新型，凡在本 實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型 的保護範圍之內。
權利要求一種新型對位標記，包括安裝部(2)和固定部(4)，其特徵在於，安裝部(2)與固定部(4)之間設置有下沉部(3)，下沉部(3)的尺寸與安裝孔相對應，固定部(4)的端部帶有螺紋(5)，安裝部(2)至少帶有一對互相平行的邊。
2.根據權利要求1所述的對位標記，其特徵在於，安裝部(2)、下沉部(3)、固定部(4) 的中軸線在同一條直線上。
3.根據權利要求2所述的對位標記，其特徵在於，安裝部(2)、下沉部(3)、固定部(4) 的直徑依次減小。
4.根據權利要求1所述的對位標記，其特徵在於，安裝部(2)帶有至少一對相互平行的邊。
5.根據權利要求4所述的對位標記，其特徵在於，安裝部(2)包括圓形帶兩條平行的邊 結構、正四邊形結構、正六邊形結構、正八邊形結構。
6.根據權利要求1所述的對位標記，其特徵在於，安裝部(2)的頂端設置有對位部⑴。
7.根據權利要求6所述的對位標記，其特徵在於，對位部(1)包括圓形透明層(6)和置 於透明層(6)中心位置的點標記(7)。
8.根據權利要求7所述的對位標記，其特徵在於，點標記(7)的直徑為 200 u m-280 u m。
9.根據權利要求7所述的對位標記，其特徵在於，透明層(6)的直徑為5-8mm。
專利摘要一種新型對位標記，包括安裝部2和固定部4，其中安裝部2與固定部4之間設置有下沉部3，固定部4的端部帶有螺紋5，新型對位標記的安裝部2至少帶有一對互相平行的邊，不同於現有技術安裝部2的設計。
文檔編號G03F9/00GK201607610SQ20092031693
公開日2010年10月13日 申請日期2009年12月10日 優先權日2009年12月10日
發明者柴立軍, 田玉民 申請人:四川虹歐顯示器件有限公司