一種用於夾取plc晶圓的鑷子的製作方法
2023-05-05 19:33:01 3
一種用於夾取plc晶圓的鑷子的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了晶圓加工領域的一種用於夾取PLC晶圓的鑷子，包括等長的第一夾持臂和第二夾持臂，所述第一夾持臂和所述第二夾持臂均設有一個固定端和一個活動端，所述第一夾持臂的固定端和所述第二夾持臂的固定端是相互固定的；所述第一夾持臂的活動端設有一個指向所述第二夾持臂的第一支撐部，所述第二夾持臂的活動端設有一個指向所述第一夾持臂的第二支撐部；所述第一夾持臂與所述第一支撐部之間的夾角，以及所述第二夾持臂與所述第二支撐部之間的夾角是相同的，且均在70～90°之間。其技術效果是：其能夠在夾取PLC晶圓的過程中，牢牢夾取PLC晶圓，同時避免與PLC晶圓的上表面接觸，以防止PLC晶圓在人工顯影過程中發生顯影不均勻等缺陷。
【專利說明】_種用於夾取PLC晶圓的鑷子
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及晶圓加工領域的一種用於夾取PLC晶圓的鑷子。
【背景技術】
[0002]在PLC(Planar Lightwave Circuit平面光波導)晶圓生產中，為防止人為因素而使灰塵汙染PLC晶圓的表面，操作人員必須通過一種用於夾取PLC晶圓的鑷子來夾取PLC晶圓，而不能用手直接提取PLC晶圓。
[0003]請參閱圖1至圖3，普通的用於夾取PLC晶圓的鑷子包括第一夾持臂I和第二夾持臂2，第一夾持臂I的第一端部和第二夾持臂2的第一端部是相互固定的。即第一夾持臂I的第一端部和第二夾持臂2的第一端部均為固定端，第一夾持臂I的第二端部和第二夾持臂2的第二端部均為活動端，第一夾持臂I的第二端部設有第一臺階結構19，第二夾持臂2的第二端部設有第二臺階結構29。第一臺階結構19和第二臺階結構29是同向排列的。同時第一夾持臂I的長度小於第二夾持臂2的長度。在夾取PLC晶圓時，第一夾持臂I通過第一臺階結構19與PLC晶圓的上表面，即光刻表面接觸，第二夾持臂2通過第二臺階結構29與PLC晶圓的下表面接觸，對PLC晶圓起到支撐作用。
[0004]該用於夾取PLC晶圓的鑷子，存在以下問題。第一，其是用人力夾取PLC晶圓的，第二夾持臂2通過第二臺階結構29對PLC晶圓的下表面的支撐只是在PLC晶圓的徑向一側的支撐，因而PLC晶圓容易脫落。第二，第一夾持臂I的第二端部與PLC晶圓的光刻表面直接接觸，因此在光刻工藝中的人工顯影時，容易造成顯影不均等不良現象，造成良品率的下降。
實用新型內容
[0005]本實用新型的目的是為了克服現有技術的不足，提供一種用於夾取PLC晶圓的鑷子，其能夠在夾取PLC晶圓的過程中，牢牢夾取PLC晶圓，同時避免與PLC晶圓的上表面接觸，以防止PLC晶圓在人工顯影過程中發生顯影不均勻等缺陷。
[0006]實現上述目的的一種技術方案是:一種用於夾取PLC晶圓的鑷子，包括等長的第一夾持臂和第二夾持臂，所述第一夾持臂和所述第二夾持臂均設有一個固定端和一個活動端，所述第一夾持臂的固定端和所述第二夾持臂的固定端是相互固定的；其特徵在於:
[0007]所述第一夾持臂的活動端設有一個指向所述第二夾持臂的第一支撐部，所述第二夾持臂的活動端設有一個指向所述第一夾持臂的第二支撐部；
[0008]所述第一夾持臂與所述第一支撐部之間的夾角，以及所述第二夾持臂與所述第二支撐部之間的夾角是相同的，且均在70?90°之間。
[0009]進一步的，所述第一支撐部上設有第一支撐爪，所述第二支撐部上對稱設有第二支撐爪。
[0010]進一步的，所述第一夾持臂和所述第二夾持臂的截面形狀為梯形。
[0011]進一步的，所述第一夾持臂和所述第二夾持臂都是用軟質金屬製成的。
[0012]採用了本實用新型的一種用於夾取PLC晶圓的鑷子的技術方案，即在在第一夾持臂的活動端增加一個指向第二夾持臂的第一支撐部，在第二夾持臂的活動端增加一個指向第一夾持臂的第二支撐部，第一夾持臂與第一支撐部之間的夾角，第二夾持臂與第二支撐部之間的夾角是相同的，且均在70?90°之間的用於夾取PLC晶圓的鑷子的技術方案。其技術效果是:其能夠在夾取PLC晶圓的過程中，牢牢夾取PLC晶圓，同時避免與PLC晶圓的上表面接觸，以防止PLC晶圓在人工顯影過程中發生顯影不均勻等缺陷。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]圖1為現有技術的用於夾取PLC晶圓的鑷子的主視圖。
[0014]圖2為現有技術的用於夾取PLC晶圓的鑷子的左視圖。
[0015]圖3為現有技術的用於夾取PLC晶圓的鑷子的操作示意圖。
[0016]圖4為本實用新型的一種用於夾取PLC晶圓的鑷子的主視圖。
[0017]圖5為本實用新型的一種用於夾取PLC晶圓的鑷子的左視圖。
[0018]圖6為本實用新型的一種用於夾取PLC晶圓的鑷子的操作示意圖。
【具體實施方式】
[0019]請參閱圖4至圖6，本實用新型的發明人為了能更好地對本實用新型的技術方案進行理解，下面通過具體地實施例，並結合附圖進行詳細地說明:
[0020]請參閱圖4?圖6，本發明一種用於夾取PLC晶圓的鑷子，包括等長的第一夾持臂I和第二夾持臂2，第一夾持臂I和第二夾持臂2均設有一個固定端和一個活動端，第一夾持臂I的固定端和第二夾持臂2的固定端是相互固定的，以便於對該用於夾取PLC晶圓的鑷子進行操作。
[0021]第一夾持臂I的活動端設有一個指向第二夾持臂2的第一支撐部11，第二夾持臂2的活動端設有一個指向第一夾持臂I的第二支撐部21。
[0022]第一夾持臂I與第一支撐部21之間的夾角Θ 1，以及第二夾持臂2與第二支撐部21之間的夾角Θ 2是相同的，且均在70?90°之間。
[0023]這樣設計的目的在於:通過第一夾持臂I上的第一支撐部21，以及第二夾持臂2上的第二支撐部21，在對PLC晶圓4進行夾取作業時，第一支撐部21和第二支撐部21在PLC晶圓4的徑向兩側對PLC晶圓4的託起作用。同時，該用於夾取PLC晶圓的鑷子在夾取PLC晶圓4時，第一夾持臂I和第二夾持臂2之間的夾角Θ增大，有回覆的趨勢，對PLC晶圓4產生一個指向PLC晶圓4圓心的作用力，因此，操作該用於夾取PLC晶圓的鑷子時，只需用手掌控將第一夾持臂I和第二夾持臂2固定端固定的操作端，同時將PLC晶圓4放在第一支撐部11和第二支撐部21處即可固定PLC晶圓4，該用於夾取PLC晶圓的鑷子可以牢牢夾住PLC晶圓4。這樣雙管齊下，更能確保在操作時夾取PLC晶圓4的安全性，減少生產報廢量。同時，第一支撐臂I的活動端和第二支撐臂2的活動端均不與PLC晶圓4的上表面接觸，因此在人工顯影時使用簡單、輕鬆，並且不會造成PLC晶圓4脫落和顯影不均的不良現象的發生。
[0024]為了便於第一支撐部11和第二支撐部21託住PLC晶圓4，增大PLC晶圓4與第一支撐部11和第二支撐部21之間的接觸面積，第一支撐部11設有第一支撐爪12，第二支撐部21上對稱設有第二支撐爪。
[0025]為了保證能將第一夾持臂I和第二夾持臂2撐開，增大第一夾持臂I和第二夾持臂2之間的夾角Θ，同時保證第一支撐部11和第二支撐部21在夾取PLC晶圓過程中不變形，必須增大一夾持臂I和第二夾持臂2固定端的韌性，因此第一夾持臂I和第二夾持臂2截面均為梯形。即通過減小第一夾持臂I和第二夾持臂2固定端的水平截面的面積來增加第一夾持臂I和第二夾持臂2固定端韌性。本實施例中將第一夾持臂I和所述第二夾持臂2在豎直平面上的截面形狀設計為梯形。
[0026]本實施例中，第一夾持臂I和第二夾持臂2均是選用軟質金屬製成的，比如鋁合金製成的來製作第一夾持臂I和第二夾持臂2，增加第一夾持臂I和第二夾持臂2的韌性，便於本實用新型的一種用於夾取PLC晶圓的鑷子的撐開，而用不鏽鋼製作第一支撐爪12和第二支撐爪，以防止第一支撐爪12和第二支撐爪變形。
[0027]本【技術領域】中的普通技術人員應當認識到，以上的實施例僅是用來說明本實用新型，而並非用作為對本實用新型的限定，只要在本實用新型的實質精神範圍內，對以上所述實施例的變化、變型都將落在本實用新型的權利要求書範圍內。
【權利要求】
1.一種用於夾取PLC晶圓的鑷子，包括等長的第一夾持臂和第二夾持臂，所述第一夾持臂和所述第二夾持臂均設有一個固定端和一個活動端，所述第一夾持臂的固定端和所述第二夾持臂的固定端是相互固定的；其特徵在於: 所述第一夾持臂的活動端設有一個指向所述第二夾持臂的第一支撐部，所述第二夾持臂的活動端設有一個指向所述第一夾持臂的第二支撐部； 所述第一夾持臂與所述第一支撐部之間的夾角，以及所述第二夾持臂與所述第二支撐部之間的夾角是相同的，且均在70?90度之間。
2.根據權利要求1所述的一種用於夾取PLC晶圓的鑷子，其特徵在於:所述第一支撐部上設有第一支撐爪，所述第二支撐部上對稱設有第二支撐爪。
3.根據權利要求1所述的一種用於夾取PLC晶圓的鑷子，其特徵在於:所述第一夾持臂和所述第二夾持臂的截面形狀為梯形。
4.根據權利要求1所述的一種用於夾取PLC晶圓的鑷子，其特徵在於:所述第一夾持臂和所述第二夾持臂都是用軟質金屬製成的。
【文檔編號】H01L21/687GK204263018SQ201420639374
【公開日】2015年4月15日 申請日期:2014年10月30日 優先權日:2014年10月30日
【發明者】俞月琴, 倪智平, 李方園 申請人:上海鴻輝光通科技股份有限公司