電特性測定裝置的製作方法
2023-05-05 14:33:36
專利名稱:電特性測定裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及用於測定電特性的測定裝置，本發明特別是涉及下述電特性測定裝置，其具有薄膜磁頭等的微型結構，以靜電或突入電流較弱的電子器件作為被測定物。
背景技術：
如圖7所示，過去的數字式伏-歐-毫安表等的電特性測定裝置包括內部設置有電動測定器的主體部61；從主體部61引出，經絕緣性覆蓋的2根測定電纜62；正負極的一對杆狀的電極探頭63，該對電極探頭63安裝於測定電纜62的前端部，通過測定電纜62與主體部61以導通方式連接，該電極探頭63由以鎳為基體，進行了鍍金處理的黃銅等的良導電體形成，電極探頭63與被測定物的端子部直接相接觸，對被測定物的電特性進行測定。
但是，由於過去的電特性測定裝置中的具有絕緣外膜的測定電纜62為容易蓄積電荷的結構，另外，電極探頭63處於相對主體部61的電源接地端，靜電浮起的狀態，故電極探頭63相對電源接地端，容易帶有電位。如果電極探頭63或被測定物63帶電，通過測定時的電極探頭63與被測定物的端子部之間的接觸，帶電的電荷Q在被測定物與電極探頭63之間瞬間移動(數個毫微秒)。在按照此方式，電荷Q瞬間移動的場合，即使在電荷Q為微量的情況下，作為電荷Q時間微分的電流I＝ΔQ/ΔT為大電流。由於該大電流，當被測定物為具有微型結構的電子器件(比如，薄膜磁頭等)時，具有被測定物受到靜電破壞的問題。
另外，在過去，為了防止被測定物或電特性測定裝置帶電，通過電離裝置對被測定物進行除電處理，或對電特性測定裝置進行改造等。但是，任何一種方式的成本均較高，具有管理複雜的問題。
發明內容
本發明的目的在於提供電特性測定裝置，其不使作為被測定物的電子器件受到靜電破壞，並且可正確地測定電子器件的電特性。
本發明的電特性測定裝置按照下述方式構成，該方式為電極探頭包括由良導電體形成的基部；由良導電體形成的第1接點部；由其電阻大於上述第1接點部的導電體形成的第2接點部，上述基部與第1，第2接點部處於導通的狀態，在第2接點部與被測定物以導通方式連接之後，第1接點部與該被測定物以導通方式連接，第2接點部的表面電阻在106～1012Ω/□的範圍內。
另外，本發明的電特性測定裝置中的電極探頭具有由良導電體形成的基部，第1接點部由上述基部的一部分形成，第2接點部可沿上述基部的長度方向移動，並且上述第2接點部相對第1接點部，沿上述基部的長度方向突出，可按照相對該突出狀態後退的方式移動。
此外，最好在本發明的電特性測定裝置中，第2接點部與基部之間設置有彈簧部件。
還有，最好在本發明的電特性測定裝置中，上述彈簧部件將基部與第2接點部連接。
再有，最好在本發明的電特性測定裝置中，第1接點部與第2接點部按照相互接近的方式設置。
另外，最好在本發明的電特性測定裝置中，第2接點部呈包圍第1接點部的外周的筒狀。
此外，最好在本發明的電特性測定裝置中，在上述第1接點部的長度方向的中間部，設置有中空部，第2接點部接納於該中空部中。
再有，最好在本發明的電特性測定裝置中，第2接點部由導電性塑料形成。作為導電性塑料，包括有聚乙炔等的導電性高分子，在塑料中混合有作為導電性填料的金屬粉末等而形成的材料，或離子傳導性高分子等。
或者，在本發明的電特性測定裝置中，第2接點部由導電性陶瓷形成。作為導電性陶瓷，包括有ZrO2-Y2O3等的離子帶電體。
還有，在本發明的電特性測定裝置中，上述彈簧部件由鈹銅形成。
或者，在本發明的電特性測定裝置中，上述彈簧部件由磷青銅形成。
另外，在本發明的電特性測定裝置中，第1接點部由上述基部的一部分形成，第2接點部在第1接點部的附近，安裝於上述基部上，第1接點部的前端與第2接點部的前端位置按照與上述基部的長度方向保持一致的方式設置。
還有，在本發明的電特性測定裝置中，第2接點部由導電性塑料形成。
再有，在本發明的電特性測定裝置中，第2接點部由導電性陶瓷形成。
圖1為本發明電特性測定裝置的整體示意圖；圖2為本發明的電特性測定裝置的第1實施例的主要部分的剖視圖；
圖3為本發明的電特性測定裝置的第2實施例的主要部分的剖視圖；圖4為本發明的電特性測定裝置的第3實施例的主要部分的剖視圖；圖5為本發明的電特性測定裝置的第4實施例的主要部分的剖視圖；圖6為本發明的電特性測定裝置的第5實施例的主要部分的剖視圖；圖7為過去的電特性測定裝置的整體示意圖。
具體實施方式
首先，通過圖1和圖2對本發明的第1實施例進行描述。如圖1所示，本發明的電特性測定裝置包括其內部設置有電測定器的主體部1；兩根測定電纜2，它們從主體部1引出，實現絕緣包覆；正負極的一對電極探頭3，其安裝於測定電纜2的前端部，通過測定電纜2，與主體部1以導通方式連接。
如圖2所示，一對相應的電極探頭3包括基部3b，該基部3b由以鎳為基體，進行了鍍金處理的黃銅等的良導電體形成；第1接點部3a，該第1接點部3a呈從基部3b的前端中間部，沿基部3b的長度方向延伸的前端較細的杆狀；螺旋狀的彈簧部件5，該彈簧部件5由鈹銅或磷青銅等形成；第2接點部4，該第2接點部4由導電性塑料或導電性陶瓷等的高阻抗材料形成，上述第2接點部4呈與基部3b基本相同的粗細的筒狀，在中心開設有通孔。
另外，作為導電性塑料，包括有比如，聚乙炔等的導電性高分子，包含金屬粉末或鍍金屬層的無機物等的導電性填料的材料，或具有由聚氧化乙烯與LiClO4的混合物形成的傳導性高分子等，作為導電性陶瓷，包括有ZrO2-Y2O3或Bi2O3-Y2O3等。
第1接點部3a插入第2接點部4的通孔中，第1接點部3a的外周處於圍繞第2接點部4的主體。另外，在第2接點部4的頂面，安裝有彈簧部件5的一個端部，並且在彈簧部件5的另一端部安裝於基部3b，第2接點部4在可相對第1接點部3a，沿基部3b的長度方向移動的狀態，與基部3b連接。此外，該第2接點部4與基部3b處於通過彈簧部件5，實現導通的狀態。在測定前的通常時，第2接點部4處於沿基部3b的長度方向，從第1接點部3a突出的狀態，並且可相對該突出狀態，抵抗彈簧部件5的彈性，朝向基部3b一側後退。
如果在測定電特性時，使電極探頭3的前端部接近被測定物的端子部，則電極探頭3首先在最初，在第2接點部4，與被測定物的端子部相接觸。此時，即使在電極探頭3或被測定物帶電的情況下，由於電極探頭3與被測定物之間的電荷移動因高阻抗材料的第2接點部4的作用而緩慢，故大電流不流過被測定物。
此外，由於第2接點部4圍繞第1接點部3a的外周，故第1接點部3a不先於第2接點部4，與被測定物的端子部相接觸。
如果在電荷移動完成，電極探頭3與被測定物為相同電位之後，將電極探頭3壓靠於被測定物的端子部，則在彈簧部件5的彈性的作用下，第2接點部4從突出的狀態後退，第1接點部3a的前端與被測定物的端子部相接觸。另外，由於由良導電體形成的第1接點部3a與被測定物之間以導通方式連接，故在測定裝置中的內部電阻較小的狀態下，可正確地測定被測定物的電特性。
下面通過圖3，對本發明的第2實施例進行描述。第2實施例的主體部1與測定電纜2與圖1所示的第1實施例的相同，如圖3所示，安裝於測定電纜2的前端的電極探頭13包括基部13b，該基部13b由以鎳為基體，進行了鍍金處理的黃銅等的良導電體形成；孔部13c，該孔部13c從該基部13b的前端部，沿基部13b的長度方向呈凹狀設置；止動部13d，其在孔部13c的內部突出；第1接點部13a，該第1接點部13a為基部13b的一部分，其呈從孔部13c的附近，沿基部13b的長度方向延伸的前端較細的杆狀；彈簧部件15，該彈簧部件15由鈹銅或磷青銅等形成；第2接點部14，該第2接點部14由導電性塑料或導電性陶瓷等的高電阻材料形成，上述第2接點部14呈前端較細的杆狀，並且在其後端部，對應於孔部13c的止動部13d，設置有朝向外周突出的鉤搭部14a。
第2接點部14與彈簧部件15接納於基部13b的孔部13c內，彈簧部件15設置於第2接點部14與基部13b之間，由此第2接點部14處於可沿基部13b的長度方向移動的狀態。另外，第2接點部14與基部13b通過彈簧部件15，處於導通狀態。在測定前的通常時，第2接點部14相對第1接點部13a，沿基部13b的長度方向突出。此時，由於通孔13c中的止動部13d與第2接點部14中的鉤搭部14a相接觸，故防止第2接點部14從孔部13c拔落。另外，如果第2接點部14與基部13b通過彈簧部件15連接，也可不設置第2接點部14中的鉤搭部14a與孔部13c中的止動部13d。
在測定電特性時，如果在使電極探頭13的長度方向基本與被測定物的端子部保持垂直的狀態，使電極探頭13的前端部靠近被測定物的端子部，則該電極探頭13首先在最初，在第2接點部14，與被測定物的端子部相接觸。此時，即使在電極探頭13或被測定物帶電的情況下，由於電荷在電極探頭13與被測定物之間的移動因由高電阻材料形成的第2接點部14而緩慢，故大電流不流過被測定物。
如果在電荷移動完成，電極探頭13與被測定物處於相同電位之後，將電極探頭13壓靠於被測定物的端子部上，則由於彈簧部件15的彈性，第2接點部14從突出狀態後退，第1接點部13a的前端與被測定物的端子部相接觸。另外，由於由良導電體形成的第1接點部3a與被測定物之間以導通方式連接，故在測定裝置中的內部電阻很小的狀態，可正確對被測定物的電特性進行測定。
此時，由於第1接點部13a與第2接點部14按照相互接近的方式設置，故即使在被測定物的端子部的面積較小的情況下，在第2接點部14與被測定物相接觸的狀態，第1接點部13a仍可與被測定物相接觸，由此，可防止下述情況，該情況指因第2接點部14的接觸而除電的被測定物再次帶電，直至與第1接點部13a相接觸。
下面通過圖4，對本發明的第3實施例進行描述。第3實施例中的主體部1和測定電纜2與圖1所示的第1實施例的相同，如圖4所示，安裝於測定電纜2的前端上的電極探頭23包括基部23b，該基部23b由以鎳為基體，進行了鍍金處理的黃銅等的良導電體形成；第1接點部23a，該第1接點部23a為基部23b的一部分，其呈沿基部23b的長度方向延伸的筒狀；中空部23d，該中空部23d設置於筒狀的第1接點部23a的中間部，在其前端側，具有開放口；止動部23e，該止動部23e在第1接點部23a中的中空部23d的內部突出；彈簧部件25，該彈簧部件25由鈹銅或磷青銅等形成；第2接點部24，該第2接點部24由導電性塑料或導電性陶瓷等的高電阻材料形成，上述第2接點部24為呈前端較細的杆狀，在其後端部，對應於止動部23e，設置有在外周部突出的鉤搭部24a。
第2接點部24與彈簧部件25接納於第1接點部23a中的中空部23d，彈簧部件25設置於第2接點部24與基部23b之間，由此第2接點部24處於可沿基部23b的長度方向移動。此外，通過彈簧部件25，第2接點部24與基部23b之間實現導通。在測定前的通常時，第2接點部24相對第1接點部23b，沿基部23a的長度方向突出。此時，由於止動部23e與第2接點部24中的鉤搭部24a相接觸，這樣便防止第2接點部24相對孔部23c拔落。另外，如果第2接點部24與基部23b通過彈簧部件25連接，則也可不設置第2接點部24中的鉤搭部24a與止動部23e。
在測定電特性時，如果使電極探頭23按照基本上與被測定物的端子部保持垂直的方式靠近該端子部，則電極探頭23首先在最初在第2接點部24，與被測定物的端子部相接觸。此時，電極探頭23或被測定物上所攜帶的電荷通過第2接點部24，在電極探頭23與被測定物之間移動。這樣的電荷移動因高電阻材料形成的第2接點部24而緩慢，不產生大電流。
如果在電荷移動完成，電極探頭23與被測定物處於相同電位之後，將電極探頭23壓靠於被測定物的端子部上，則由於彈簧部件25的彈性，第2接點部24從突出狀態後退，第1接點部23a的前端與被測定物的端子部相接觸。另外，由於由良導電體形成的第1接點部23a與被測定物之間以導通方式連接，故在測定裝置中的內部電阻很小的狀態，可正確地對被測定物的電特性進行測定。
此時，由於第2接點部24接納於第1接點部23a中的中空部23d，故即使在被測定物的端子部的面積較小的情況下，在第2接點部24與被測定物相接觸的狀態，第1接點部23a仍可與被測定物相接觸，由此，可防止下述情況，該情況指因第2接點部24的接觸而除電的被測定物再次帶電，直至與第1接點部23a相接觸。
下面通過圖5，對本發明的第4實施例進行描述。第4實施例中的主體部1和測定電纜2與圖1所示的第1實施例的相同，如圖5所示，安裝於測定電纜2的前端上的電極探頭33包括基部33b，該基部33b由以鎳為基體，進行了鍍金處理的黃銅等的良導電體形成；第1接點部33a，該第1接點部33a為基部33b的一部分，其呈從基部33b的前端部，沿基部33b的長度方向延伸的前端較細的杆狀；第2接點部34，該第2接點部34由導電性塑料或導電性陶瓷等的高電阻材料形成，上述第2接點部34與第1接點部33a相同，呈前端較細的杆狀，該第2接點部34在第1接點部33a附近，固定安裝於基部33b上，第1接點部33a的前端與第2接點部34的前端的位置按照與基部33b的長度方向保持一致的方式設置。
在測定電特性時，如圖5中的實線所示，在電極探頭33傾斜的狀態，首先在最初，使第2接點部34與被測定物的端子部相接觸。此時，即使在電極探頭33或被測定物帶電的情況下，由於電荷在電極探頭33與被測定物之間的移動因由高電阻材料形成的第2接點部34而緩慢，故大電流不會流過被測定物。
另外，在電荷移動完成，電極探頭23與被測定物處於相同電位之後，如圖5中的虛線所示，使電極探頭33中的基部33b旋轉，使第1接點部33a，與和第2接點部34接觸的被測定物的端子部相接觸。另外，如果沿相同方向使基部33b旋轉，第2接點部34與被測定物的端子部離開，僅僅第1接點部33a處於與被測定物的端子部相接觸的狀態。此外，由於由良導電體形成的第1接點部33a與被測定物之間以導通方式連接，故在測定裝置中的內部電阻很小的狀態，可正確對被測定物的電特性進行測定。
此時，由於在第2接點部34與被測定物的端子部離開之前，第1接點部33a與被測定物的端子部相接觸，故不發生下述情況，該情況指因第2接點部34的接觸而除電的被測定物再次帶電，直至與第1接點部33a相接觸。另外，當通過第1接點部33a與被測定物之間的導通式連接進行測定時，由於第2接點部34與端子部離開，故可更加正確地進行測定。
下面通過圖6，對本發明的第5實施例進行描述。第5實施例中的主體部1與圖1所述的第1實施例相同，其包括與主體部1以導通方式連接的電極探頭43。
如圖6所示，電極探頭43包括筒狀基部43b，該基部43b由導電體形成，設置有通孔；一對第1接點部43a，該對第1接點部43a由以鎳為基體，進行了鍍金處理的黃銅等的良導電體形成，其呈前端較細的杆狀；螺旋狀的彈簧部件45，該彈簧部件45由鈹銅或磷青銅等形成；第2接點部44，該第2接點部44由導電性塑料或導電性陶瓷等的高電阻材料形成，上述第2接點部44平行地設置有兩個通孔，該第2接點部44呈筒狀。
基部43b與第2接點部44通過彈簧部件45連接，藉助彈簧部件45，第2接點部44與基部43b實現導通。一對第1接點部43a在基部43b的通孔內部，相互保持平行，分別插入第2接點部44中的兩個通孔中，一對第1接點部43a的外周各自處於圍繞第2接點部44的狀態。此時，第2接點部44藉助彈簧部件45的彈性，處於可相對第1接點部43a，沿基部43b的長度方向移動的狀態。
一對接點部43a分別與主體部1的正負極以導通方式連接。
在測定前的通常時，第2接點部44處於相對第1接點部43a，沿基部43b的長度方向突出的狀態，並且從該突出狀態，抵抗彈簧部件45的彈性，可朝向基部43a一側後退。
在測定電特性時，如果使電極探頭43的前端部靠近被測定物的端子部，則電極探頭43首先在最初，在第2接點部44上，與被測定物的端子部相接觸。此時，即使在電極探頭43或被測定物帶電的情況下，由於在電極探頭43與被測定物之間的電荷移動因由高電阻材料形成的第2接點部44緩慢，大電流仍不流過被測定物。
還有，由於一對第1接點部43a的相應外周為第2接點部44包圍，故該對第1接點部43a不先於第2接點部44，與被測定物的端子部相接觸，另外，第1接點部43a之間不相接觸。
如果在電荷移動完成，電極探頭43與被測定物處於相同電位之後，將電極探頭43壓靠於被測定物的端子部上，則由於彈簧部件45的彈性，第2接點部44從突出狀態後退，一對第1接點部43a的相應前端與被測定物的端子部相接觸，主體部1的正負極同時與被測定物之間以導通方式接觸。這樣，在測定裝置中的內部電阻很小的狀態，可正確對被測定物的電特性進行測定。
按照上述方式，通過將電極探頭3壓靠於被測定物的端子部上，主體部1的正負極同時與被測定物之間以導通方式接觸。由於此時，可通過一隻手保持電極探頭3，對其進行測定，故與下述場合相比較，可更容易進行測定，該場合指分別設置正，負極的一對電極探頭，分別通過兩隻手保持一對電極探頭，對其進行測定。
在本發明的電特性測定裝置中，在由高電阻材料形成的第2接點部與被測定物以導通方式接觸之後，由良導電體形成的第1接點部與被測定物以導通方式接觸。
在這樣的電特性測定裝置中，即使在電極探頭或被測定物帶電的情況下，由於電荷在電極探頭與被測定物之間的移動因由高電阻材料形成的第2接點部而緩慢，大電流仍不流過被測定物，可防止被測定物的靜電破壞。另外，在電荷移動完成之後，第1接點部與被測定物以導通方式接觸，在內部電阻較小的狀態，可正確地測定被測定物的電特性。
另外，在本發明的電特性測定裝置中，上述第2接點部可移動，並且上述第2接點部可相對第1接點部，沿上述基部的長度方向突出，相對該突出狀態後退。
在這樣的電特性測定裝置中，由於上述第2接點部相對第1接點部突出，故在測定時，第1接點部不先於第2接點部，與被測定物相接觸，可防止被測定物的靜電破壞。
此外，本發明的電特性測定裝置在上述第2接點部與基部之間，設置彈簧部件。
在這樣的電特性測定裝置中，由於第2接點部的移動藉助彈簧部件的彈性進行，故第2接點部容易移動，可防止因壓靠於第2接點部上造成的端子部的破壞。
還有，在本發明的電特性測定裝置中，上述彈簧部件將上述基部和第2接點部連接。
在這樣的電特性測定裝置中，由於第2接點部不相對基部拔動，無需第2接點部的止拔結構，故可使結構簡單。
再有，在本發明的電特性測定裝置中，上述第1接點部與第2接點部以相互接近的方式設置。
在這樣的電極探頭結構中，即使在被測定物的端子部的面積較小的情況下，由於在第2接點部與被測定物相接觸的狀態，可使第1接點部與被測定物相接觸，故可防止通過第2接點部的接觸而除電的被測定物再次帶電，直至與第1接點部相接觸。
另外，在本發明的電特性測定裝置中，上述第2接點部呈包圍第1接點部的外周的筒狀。
在這樣的電特性測定裝置中，由於第1接點部為第2接點部包圍，故即使在電極探頭在傾斜於被測定物的狀態接近的情況下，第1接點部仍不先於第2接點部，與端子部相接觸。
另外，在本發明的電特性測定裝置中，上述第1接點部的長度方向的中間部設置有中空部，該中空部接納於第2接點部。
在這樣的電極探頭結構中，即使在被測定物的端子部的面積較小的情況下，由於在第2接點部與被測定物相接觸的狀態，可使第1接點部與被測定物相接觸，故可防止因第2接點部的接觸而除電的被測定物再次帶電，直至與第1接點部相接觸。
此外，在本發明的電特性測定裝置中，第2接點部的表面電阻在106～1012Ω/□的範圍內。
在這樣的電特性測定裝置中，可使第2接點部接觸時的電荷的移動形成的電流更小。
還有，在本發明的電特性測定裝置中，第2接點部由導電性塑料形成。
即使在絕緣材料的表面上附著表面活性劑或水分的情況下，仍可使表面電阻在106～1012Ω/□的範圍內，而第2接點部由導電性塑料形成，從而可獲得穩定的表面電阻值。
或者，在本發明的電特性測定裝置中，第2接點部由導電性陶瓷形成。
即使絕緣材料的表面上附著表面活性劑或水分的情況下，仍可使表面電阻在106～1012Ω/□的範圍內，而第2接點部由導電性陶瓷形成，從而可獲得穩定的表面電阻值。
另外，在本發明的電特性測定裝置中，彈簧部件由鈹銅形成。在這樣的電特性測定裝置中，可使第2接點部接觸時的電荷的移動形成的電流更小。
再有，在本發明的電特性測定裝置中，彈簧部件由磷青銅形成。在這樣的電特性測定裝置中，可使第2接點部接觸時的電荷的移動形成的電流更小。
另外，在本發明的電特性測定裝置中，第1接點部的前端與第2接點部的前端的位置按照與上述基部的長度方向保持一致的方式設置。
在這樣的電特性測定裝置中，由於在第1接點部與第2接點部接觸時的狀態的被測定物接觸後，第2接點部與被測定物的端子部離開，僅僅第1接點部處於與被測定物的端子部相接觸的狀態，故不發生下述情況，即通過第2接點部的接觸而除電的被測定物再次帶電，直至與第1接點部33相接觸。此外，由於當通過第1接點部與被測定物以導通方式連接，進行測定時，第2接點部與被測定物的端子部離開，故可進行更加正確的測定。
另外，本發明的電特性測定裝置中的第2接點部的表面電阻在106～1012Ω/□的範圍內。
在這樣的電特性測定裝置中，可使第2接點部接觸時的電荷的移動形成的電流更小。
此外，本發明的電特性測定裝置中的第2接點部由導電性塑料形成。
即使在絕緣材料的表面上附著表面活性劑或水分的情況下，仍可使表面電阻在106～1012Ω/□的範圍內，而第2接點部由導電性塑料形成，從而可獲得穩定的表面電阻值。
或者，本發明的電特性測定裝置中的第2接點部由導電性陶瓷形成。
即使在絕緣材料的表面上附著表面活性劑或水分的情況下，仍可使表面電阻在106～1012Ω/□的範圍內，而第2接點部由導電性陶瓷形成，從而可獲得穩定的表面電阻值。
權利要求
1.一種電特性測定裝置，其特徵在於電極探頭包括由良導電體形成的基部；由良導電體形成的第1接點部；由其電阻大於上述第1接點部的導電體形成的第2接點部，上述基部與第1，第2接點部處於導通的狀態，在第2接點部與被測定物以導通方式連接之後，第1接點部與該被測定物以導通方式連接，第2接點部的表面電阻在106～1012Ω/□的範圍內。
2.根據權利要求
1所述的電特性測定裝置，其特徵在於上述第1接點部由上述基部的一部分形成，上述第2接點部在上述第1接點部的附近，安裝於上述基部上，上述第1接點部的前端與上述第2接點部的前端的位置按照與上述基部的長度保持一致的方式設置。
3.根據權利要求
2所述的電特性測定裝置，其特徵在於上述第2接點部由導電性塑料形成。
4.根據權利要求
2所述的電特性測定裝置，其特徵在於上述第2接點部由導電性陶瓷形成。
5.根據權利要求
1所述的電特性測定裝置，其特徵在於上述電極探頭中的第1接點部由上述基部的一部分形成，第2接點部可沿上述基部的長度方向移動，並且上述第2接點部可相對第1接點部，沿上述基部的長度方向突出，從該突出狀態後退。
6.根據權利要求
5所述的電特性測定裝置，其特徵在於在上述第2接點部與上述基部之間，設置有彈簧部件。
7.根據權利要求
6所述的電特性測定裝置，其特徵在於上述彈簧部件將上述基部和第2接點部連接。
8.根據權利要求
7所述的電特性測定裝置，其特徵在於上述第1接點部與第2接點部按照相互靠近的方式設置。
9.根據權利要求
8所述的電特性測定裝置，其特徵在於上述第2接點部呈包圍第1接點部的外周的筒狀。
10.根據權利要求
9所述的電特性測定裝置，其特徵在於在上述第1接點部的長度方向的中間部，設置有中空部，第2接點部接納於該中空部中。
11.根據權利要求
10所述的電特性測定裝置，其特徵在於上述彈簧部件由鈹銅形成。
12.根據權利要求
10所述的電特性測定裝置，其特徵在於上述彈簧部件由磷青銅形成。
13.根據權利要求
2所述的電特性測定裝置，其特徵在於上述第1接點部與第2接點部按照相互接近的方式設置。
14.根據權利要求
2所述的電特性測定裝置，其特徵在於上述第2接點部呈包圍第1接點部的外周的筒狀。
15.根據權利要求
2所述的電特性測定裝置，其特徵在於在上述第1接點部的長度方向的中間部，設置有中空部，第2接點部接納於該中空部中。
16.根據權利要求
6所述的電特性測定裝置，其特徵在於上述彈簧部件由鈹銅形成。
17.根據權利要求
6所述的電特性測定裝置，其特徵在於上述彈簧部件由磷青銅形成。
專利摘要
本發明提供一種電特性測定裝置。電極探頭包括由良導電體形成的基部；由良導電體形成的第1接點部；由其電阻大於上述第1接點部的導電體形成的第2接點部，上述基部與第1，第2接點部處於導通的狀態，在第2接點部與被測定物以導通方式連接之後，第1接點部與該被測定物以導通方式連接，第2接點部的表面電阻在10
文檔編號G01R1/067GKCN1191477SQ00130257
公開日2005年3月2日 申請日期2000年11月2日
發明者川田貞夫 申請人:阿爾卑斯電氣株式會社導出引文BiBTeX, EndNote, RefMan