物理量傳感器、電子設備、以及移動體的製作方法
2023-05-09 17:08:11
物理量傳感器、電子設備、以及移動體的製作方法
【專利摘要】本發明提供一種能夠防止可動體貼附於基板上的物理量傳感器、電子設備以及移動體。本發明所涉及的物理量傳感器包括：基板(10)；具備可動電極部(21、22)的；以能夠圍繞第一軸(Q)進行位移的方式對可動體(20)進行支承的支承部(30、32)；第一固定電極部(50)和第二固定電極部(52)，在以第一軸(Q)為界將可動體(20)劃分為第一部分(20a)以及第二部分(20b)的情況下，第一固定電極部(50)以與第一部分(20a)對置的方式而被配置於基板(10)上，第二固定電極部(52)以與第二部分(20b)對置的方式而被配置於基板(10)上，在基板(10)上設置有，在第一固定電極部(50)與第二固定電極部(52)之間的電極間區域(14a)內對可動體(20)與基板(10)之間所產生的靜電力進行抑制的保護部(60)。
【專利說明】物理量傳感器、電子設備、以及移動體
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種物理量傳感器、電子設備、以及移動體。
【背景技術】
[0002]近年來，例如，開發出了一種使用娃MEMS (Micro ElEctro MEchanical SystEms:微機電系統)技術來對加速度等物理量進行檢測的物理量傳感器。
[0003]物理量傳感器例如具有:基板；固定電極部，其被固定於基板上；可動體，其具備相對於固定電極部而被對置配置的可動電極部，並且所述物理量傳感器根據固定電極部與可動電極部之間的靜電電容，而對加速度等的物理量進行檢測。
[0004]在這種物理量傳感器中，例如，在製造物理量傳感器時，有時會在可動體和基板之間產生電位差，可動體由於靜電力而被拉向基板側，從而使可動體貼附於基板上。特別是，由於在用於密封可動體的蓋體(蓋)與基板進行陽極接合時，可動體與基板之間產生較大的電位差，因此將成為問題。
[0005]為了防止可動體貼附於基板上，例如在專利文獻I中，公開了一種在固定電極與可動體(試驗質量)接觸之前，與屏蔽構件接觸的物理量傳感器。
[0006]然而，在專利文獻I所公開的技術中，由於在兩個固定電極之間的區域中露出了基板，因此存在通過該露出的區域與可動體之間的靜電力，而使可動體貼附於基板上的情況。特別是，在專利文獻I的物理量傳感器中，由於基板所露出的區域與剛度較低的扭杆對置，因此存在可動體容易貼附於基板上的這類問題。
[0007]專利文獻1:美國專利第7,121,141號說明書
【發明內容】
[0008]本發明的幾個方式所涉及的目的之一在於，提供一種能夠防止可動體貼附於基板上的物理量傳感器。此外，本發明的幾個方式所涉及的目的之一還在於，提供一種包括上述物理量傳感器的電子設備以及移動體。
[0009]本發明是為了解決上述的課題的至少一部分而完成的發明，並且能夠作為以下的方式或應用例來實現。
[0010]應用例一
[0011]本應用例所涉及的物理量傳感器，具有:基板；可動體，其具備可動電極部；支承部，其以能夠圍繞第一軸進行位移的方式對所述可動體進行支承；第一固定電極部和第二固定電極部，在以所述第一軸為界將所述可動體劃分為第一部分以及第二部分的情況下，所述第一固定電極部以與所述第一部分對置的方式而被配置於所述基板上，所述第二固定電極部以與所述第二部分對置的方式而被配置於所述基板上；在所述基板上設置有保護部，所述保護部在所述第一固定電極部與所述第二固定電極部之間的電極間區域內對所述可動體與所述基板之間所產生的靜電力進行抑制。
[0012]根據這種物理量傳感器，能夠對作用於可動體與基板之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體貼附於基板上的情況。
[0013]應用例二
[0014]在本應用例所涉及的物理量傳感器中，可以採用如下方式，S卩，所述保護部被設置於所述基板上的在俯視觀察時與所述支承部重疊的位置上。
[0015]根據這種物理量傳感器，能夠對作用於支承部與基板之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體貼附於基板上的情況。
[0016]應用例三
[0017]在本應用例所涉及的物理量傳感器中，可以採用如下方式，即，所述保護部被設置於在俯視觀察時與所述可動體重疊的位置上、且被設置於所述第一固定電極部、所述第二固定電極部、以及所述電極間區域的外側處。
[0018]根據這種物理量傳感器，能夠對作用於可動體和基板之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體貼附於基板上的情況。
[0019]應用例四
[0020]在本應用例所涉及的物理量傳感器中，可以採用如下方式，S卩，所述保護部為與所述可動體電連接的電極。
[0021]根據這種物理量傳感器，能夠對作用於可動體與基板之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體貼附於基板上的情況。
[0022]另外，在本發明所涉及的記載中，「電連接」這一書面語以如下方式使用，S卩，例如「與特定的部件(以下稱為『A部件』)『電連接』的其他的特定的部件(以下稱為『B部件』)」等。在本發明所涉及的記載中，在該示例的這種情況下，包括A部件與B部件以直接連接方式電連接的情況、和A部件與B部件經由其他部件而電連接的情況下，使用「電連接」這一書面語。
[0023]應用例五
[0024]在本應用例所涉及的物理量傳感器中，可以採用如下方式，S卩，所述保護部的所述電極被設置於在所述基板上所設置的槽部的內底面上。
[0025]根據這種物理量傳感器，能夠對作用於可動體與基板之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體貼附於基板上的情況。
[0026]應用例六
[0027]在本應用例所涉及的物理量傳感器中，可以採用如下方式，S卩，在所述基板的所述電極與所述第一固定電極部之間的區域、以及所述基板的所述電極與所述第二固定電極部之間的區域內設置有槽部。
[0028]根據這種物理量傳感器，能夠對作用於可動體與基板之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體貼附於基板上的情況。
[0029]應用例七
[0030]在本應用例所涉及的物理量傳感器中，可以採用如下方式，S卩，與所述第一固定電極部相鄰的所述電極的數量和與所述第二固定電極部相鄰的所述電極的數量相等。
[0031]根據這種物理量傳感器，能夠很容易地使在第一固定電極部與電極之間產生的寄生電容、與在第二固定電極部與電極之間產生的寄生電容相等。因此，能夠使用差動檢測方式，來消除在第一固定電極部中的寄生電容的影響與在第二固定電極部中的寄生電容的影響。
[0032]應用例八
[0033]在本應用例所涉及的物理量傳感器中，可以採用如下方式，S卩，在所述電極、所述第一固定電極部、以及所述第二固定電極部中的至少一個上，設置有朝向所述可動體而突出的突起部。
[0034]根據這種物理量傳感器，能夠防止可動體貼附於基板上的情況。
[0035]應用例九
[0036]在本應用例所涉及的物理量傳感器中，可以採用如下方式，S卩，所述保護部為槽部。
[0037]根據這種物理量傳感器，能夠對作用於可動體與基板之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體貼附於基板上的情況。
[0038]應用例十
[0039]本應用例所涉及的物理量傳感器具有:基板；可動體，其具備可動電極部；支承部，其以能夠圍繞第一軸進行位移的方式對所述可動體進行支承；固定電極部，其以與所述可動電極部對置的方式而被配置於所述基板上；在所述基板上設置有保護部，所述保護部於在俯視觀察時與所述支承部重疊的區域內對所述支承部與所述基板之間所產生的靜電力進行抑制。
[0040]根據這種物理量傳感器，能夠對作用於支承部與基板之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體貼附於基板上。
[0041]應用例^^一
[0042]本應用例所涉及的電子設備包括本應用例中的任意一個應用例所涉及的物理量傳感器。
[0043]根據這種電子設備，由於包括了本應用例中的任意一個應用例所涉及的物理量傳感器，因此具有較高的可靠性。
[0044]應用例十二
[0045]本應用例所涉及的移動體包括本應用例中的任意一個應用例所涉及的物理量傳感器。
[0046]根據這種移動體，由於包括了本應用例中的任意一個應用例所涉及的物理量傳感器，因此具有較高的可靠性。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0047]圖1為模式化地表示第一實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0048]圖2為模式化地表示第一實施方式所涉及的物理量傳感器的剖視圖。
[0049]圖3為模式化地表示第一實施方式所涉及的物理量傳感器的製造工序的剖視圖。
[0050]圖4為模式化地表示第一實施方式所涉及的物理量傳感器的製造工序的剖視圖。
[0051]圖5為模式化地表示第一實施方式所涉及的物理量傳感器的製造工序的剖視圖。
[0052]圖6為模式化地表示第一實施方式的第一改變例所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0053]圖7為模式化地表示第一實施方式的第一改變例所涉及的物理量傳感器的剖視圖。
[0054]圖8為模式化地表示第一實施方式的第二改變例所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0055]圖9為模式化地表示第一實施方式的第二改變例所涉及的物理量傳感器的剖視圖。
[0056]圖10為模式化地表示第一實施方式的第三改變例所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0057]圖11為模式化地表示第一實施方式的第三改變例所涉及的物理量傳感器的剖視圖。
[0058]圖12為模式化地表示第二實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0059]圖13為模式化地表示第二實施方式所涉及的物理量傳感器的剖視圖。
[0060]圖14為模式化地表示第二實施方式的改變例所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0061]圖15為模式化地表示第二實施方式的改變例所涉及的物理量傳感器的剖視圖。
[0062]圖16為模式化地表示第三實施方式所涉及的電子設備的立體圖。
[0063]圖17為模式化地表示第三實施方式所涉及的電子設備的立體圖。
[0064]圖18為模式化地表示第三實施方式所涉及的電子設備的立體圖。
[0065]圖19為模式化地表示第四實施方式所涉及的移動體的立體圖。
【具體實施方式】
[0066]以下，使用附圖對本發明的優選的實施方式進行詳細說明。另外，在下文中說明的實施方式並非對權利要求中所記載的本發明的內容進行不當限定。此外，在下文中所說明的結構的全部內容不一定為本發明的必須結構要件。
[0067]1、第一實施方式
[0068]1.1.物理量傳感器
[0069]首先，參照附圖對第一實施方式所涉及的物理量傳感器進行說明。圖1為模式化地表示第一實施方式所涉及的物理量傳感器100的俯視圖。圖2為模式化地表示第一實施方式所涉及的物理量傳感器100的、圖1中的I1-1I線剖視圖。另外，為了便於說明，在圖1中，省略了蓋體70的圖示。此外，在圖1以及圖2中，作為互相垂直三個軸，而圖示了 X軸、Y軸、以及Z軸，即使在下文所示的各個圖中也同樣圖示了 X軸、Y軸、以及Z軸。
[0070]如圖1以及圖2所示,物理量傳感器100包括:基板10、可動體20、支承部30、固定部40、固定電極部50、52、保護部60、62、電極64、蓋體70。在下文中，對於物理量傳感器100為檢測鉛直方向(Z軸方向)上的加速度的加速度傳感器(靜電電容型MEMS加速度傳感器)的示例進行說明。
[0071]基板10的材質為，例如玻璃等的絕緣材料。例如通過使基板10採用玻璃等的絕緣材料、使可動體20採用矽等的半導體材料，從而能夠很容易地使兩者電絕緣，並能夠簡化傳感器結構。
[0072]在基板10上，形成有凹部12。在凹部12的上方處，隔著間隙而設置有可動體20、以及支承部30、32。在圖1所示的示例中，凹部12的平面形狀(從Z軸方向觀察時的形狀)為長方形。
[0073]基板10具有柱部16，所述柱部16被設置於凹部12的底面(對凹部12進行規定的基板10的面)14上。柱部16與底面14相比向上方(+Z軸方向)突出。柱部16的高度與凹部12的深度例如相等。在柱部16上，設置有用於向可動體20施加預定的電位的配線(未圖示)。
[0074]可動體20能夠圍繞支承軸(第一軸)Q進行位移。具體而言，當施加有鉛直方向(Z軸方向)上的加速度時，可動體20將以由支承部30、32決定的支承軸Q為旋轉軸(擺動軸)而進行槓桿式擺動。支承軸Q例如與Y軸平行。可動體20的平面形狀例如為長方形。可動體20的厚度(Z軸方向上的大小)例如是固定的。
[0075]可動體20具有第一槓桿片(第一部分)20a和第二槓桿片(第二部分)20b。第一槓桿片20a為，在俯視觀察時，通過支承軸Q而被劃分成的可動體20的兩個部分中的一個部分(在圖1中位於左側的部分)。第二槓桿片20b為，在俯視觀察時，通過支承軸Q而被劃分成的可動體20的兩個部分中的另一個部分(在圖1中位於右側的部分)。即，可動體20以支承軸Q為界而被劃分為第一槓桿片20a以及第二槓桿片20b。
[0076]例如，在向可動體20施加了鉛直方向上的加速度(例如重力加速度)的情況下，將分別在第一槓桿片20a與第二槓桿片20b上生成轉矩(力矩)。在此，在第一槓桿片20a的轉矩(例如逆時針方向的轉矩)與第二槓桿片20b的轉矩(例如順時針方向的轉矩)平衡的情況下，可動體20的傾斜度不會發生變化，從而無法對加速度進行檢測。因此，可動體20被設計為，當施加了鉛直方向上的加速度時，第一槓桿片20a的轉矩與第二槓桿片20b的轉矩不平衡，從而使可動體20產生預定的傾斜度。
[0077]在物理量傳感器100中，通過將支承軸Q配置於從可動體20的中心(重心)偏離了的位置(通過使從支承軸Q到各個槓桿片20a、20b的頂端的距離不同)，從而使槓桿片20a、20b具有互不相同的質量。S卩，可動體20以支承軸Q為界,在一側(第一槓桿片20a)與另一側(第二槓桿片20b)質量有所不同。在圖示的示例中,支承軸Q到第一槓桿片20a的端面24的距離大於從支承軸Q到第二槓桿片20b的端面25的距離。此外，第一槓桿片20a的厚度與第二槓桿片20b的厚度相等。因此，第一槓桿片20a的質量大於第二槓桿片20b的質量。如此，通過使槓桿片20a、20b具有互不相同的質量，從而能夠在施加了鉛直方向上的加速度時，使第一槓桿片20a的轉矩與第二槓桿片20b的轉矩不平衡。因此，能夠在施加了鉛直方向上的加速度時，使可動體20產生預定的傾斜度。
[0078]另外，雖然未圖示，但也可以採用如下方式，即，通過將支承軸Q配置於可動體20的中心處，且使槓桿片20a、20b的厚度互不相同，從而使槓桿片20a、20b具有互不相同的質量。即使在這種情況下，也能夠在施加了鉛直方向上的加速度時，使可動體20產生預定的傾斜度。
[0079]可動體20以與基板10分離的方式而被設置。可動體20被設置於凹部12的上方處。在圖示的示例中，在可動體20與基板10之間，設置有間隙。此外，可動體20通過支承部30、32而以與固定部40分離的方式被連接。由此，可動體20能夠進行槓桿式擺動。
[0080]可動體20具備以支承軸Q為界而被設置的第一可動電極部21以及第二可動電極部22。第一可動電極部21被設置於第一槓桿片20a上。第二可動電極部22被設置於第二槓桿片20b上。
[0081]第一可動電極部21為，可動體20中的、在俯視觀察時與第一固定電極部50重疊的部分。在第一可動電極部21與第一固定電極部50之間形成靜電電容Cl。S卩,通過第一可動電極部21和第一固定電極部50而形成了靜電電容Cl。
[0082]第二可動電極部22為，可動體20中的、在俯視觀察時與第二固定電極部52重疊的部分。在第二可動電極部22與第二固定電極部52之間形成靜電電容C2。S卩，通過第二可動電極部22和第二固定電極部52而形成了靜電電容C2。在物理量傳感器100中，通過以導電性材料(摻雜了雜質的矽)構成可動體20，從而設置可動電極部21、22。S卩，第一槓桿片20a作為第一可動電極部21而發揮功能，第二槓桿片20b作為第二可動電極部22而發揮功能。
[0083]靜電電容Cl以及靜電電容C2被構成為，例如，在圖2所示的可動體20為水平狀態下變為彼此相等。可動電極部21、22的位置根據可動體20的動作而發生變化。靜電電容C1、C2根據該可動電極部21、22的位置而發生變化。在可動體20上，經由支承部30、32而被施加有預定的電位。
[0084]在可動體20上，形成有貫穿可動體20的狹縫部26。由此，能夠降低可動體20進行擺動時的空氣的影響(空氣的阻力)。在圖示的示例中，狹縫部26被設置了多個。
[0085]在可動體20上，設置有開口部28。在開口部28中，設置有支承部30、32以及固定部40。可動體20經由支承部30、32而與固定部40連接。
[0086]支承部30、32以能夠圍繞支承軸Q進行位移的方式對可動體20進行支承。支承部30、32作為扭轉彈簧(扭簧)而發揮功能。由此，支承部30、32能夠通過可動體20進行槓桿式擺動從而相對於在支承部30、32中產生的扭轉變形而具有較強的復原力。
[0087]支承部30、32在俯視觀察時，被配置於支承軸Q上。支承部30、32連接固定部40與可動體20。支承部30、32沿著支承軸Q而延伸。支承部30從固定部40起向+Y軸方向延伸。支承部32從固定部40起向-Y軸方向延伸。
[0088]固定部40被設置於開口部28中。固定部40在俯視觀察時，被設置於支承軸Q上。固定部40與基板10的柱部16接合。在圖示的示例中，固定部40的中央部與柱部16接合。
[0089]在固定部40的與基板10分離的部分上，設置有貫穿孔46。貫穿孔46在俯視觀察時被配置於支承軸Q上。通過在固定部40中設置貫穿孔46，從而能夠降低因基板10的熱膨脹率與結構體2的熱膨脹率之差而產生的應力、或安裝時施加於裝置上的應力等對支承部30,32的影響。
[0090]可動體20、支承部30、32、以及固定部40被設置為一體。可動體20、支承部30、32、以及固定部40，例如通過對一塊基板(矽基板)進行圖案形成從而被設置為一體。在圖示的示例中，可動體20、支承部30、32、以及固定部40構成了一個結構體(矽結構體)2。結構體2的材質為，例如通過摻雜了磷、硼等的雜質而被賦予了導電性的矽。在基板10的材質為玻璃、結構體2的材質為娃的情況下,基板10與固定部40例如通過陽極接合而被接合。
[0091]在物理量傳感器100中，結構體2通過一個固定部40而被固定於基板10上。SP，結構體2通過一點(一個固定部40)被固定在基板10上。因此，例如與結構體2通過兩點(兩個固定部40)而被固定在基板10上的情況(例如參照圖12、13)相比，能夠降低因基板10的熱膨脹率與結構體2的熱膨脹率之差而產生的應力、或安裝時施加於裝置上的應力等對支承部30、32的影響。
[0092]第一固定電極部50被設置於基板10上。第一固定電極部50以與第一可動電極部21對置的方式而被配置。第一可動電極部21隔著間隙而位於第一固定電極部50的上方。在將可動體20以支承軸Q為界而劃分為第一槓桿片20a以及第二槓桿片20b的情況下，第一固定電極部50以與第一槓桿片20a對置的方式而被配置於基板10上。
[0093]第二固定電極部52被配置於基板10上。第二固定電極部52以與第二可動電極部22對置的方式而被配置。第二可動電極部22隔著間隙而位於第二固定電極部52的上方。在將可動體20以支承軸Q為界而劃分為第一槓桿片20a及第二槓桿片20b的情況下，第二固定電極部52以與第二槓桿片20b對置的方式而被配置於基板10上。
[0094]第一固定電極部50的與可動體20對置的部分的面積、和第二固定電極部52的與可動體20對置的部分的面積相等。第一固定電極部50的平面形狀與第二固定電極部52的平面形狀，例如關於支承軸Q而互相對稱。
[0095]第一固定電極部50被設置於保護部60與保護部62之間。S卩，與第一固定電極部50相鄰的電極61的數量為兩個。此外，第二固定電極部52被設置於保護部60與電極64之間。即，與第二固定電極部52相鄰的電極61、64的數量為兩個。如此，在物理量傳感器100中，與第一固定電極部50相鄰的電極61的數量、和與第二固定電極部52相鄰的電極
61、64的數量相等。
[0096]另外，雖然未圖示，但也可以在蓋體70的、與第一可動電極部21對置的位置上設置有第一固定電極部50，在蓋體70的、與第二可動電極部22對置的位置上設置有第二固定電極部52。
[0097]保護部60、62為，用於抑制作用於可動體20與基板10之間的靜電力以及作用於支承部30、32與基板10之間的靜電力的部件。在圖示的示例中，保護部60、62為，與可動體20電連接的電極61。
[0098]保護部60在俯視觀察時，被設置於基板10的第一固定電極部50與第二固定電極部52之間的區域(第一區域、電極間區域)14a內。在圖示的示例中，基板10的區域14a在俯視觀察時，包含與可動體20 (第一槓桿片20a以及第二槓桿片20b)重疊的區域、以及與支承部30、32重疊的區域(第二區域)。
[0099]構成保護部60的電極61以與可動體20以及支承部30、32對置的方式而被配置。即，構成保護部60的電極61在俯視觀察時，與可動體20 (第一槓桿片20a以及第二槓桿片20b)以及支承部30、32重疊。可動體20 (第一槓桿片20a以及第二槓桿片20b)以及支承部30、32隔著間隙而位於構成保護部60的電極61上方。
[0100]保護部62為，在俯視觀察時基板10的與第一槓桿片20a重疊的區域，且被設置於第一固定電極部50的-X軸方向上的區域14b內。保護部62位於基板10上的在俯視觀察時與可動體20重疊的位置，且被設置於第一固定電極部50、第二固定電極部52、以及第一區域14a的外側。保護部62位於基板10上的在俯視觀察時與可動體20重疊的位置，且以避開第一固定電極部50、第二固定電極部52、以及第一區域14a的方式而被設置。構成保護部62的電極61以與第一槓桿片20a對置的方式而被配置。即，構成保護部62的電極61在俯視觀察時，與第一槓桿片20a重疊。第一槓桿片20a隔著間隙而位於構成保護部62的電極61上方。
[0101]電極64被設置於第二固定電極部52的+X軸方向上的區域14C內。在圖示的示例中，電極64被設置於不與可動體20重疊的區域內。在圖示的示例中，基板10的區域14a、14b、14C為，凹部12的底面14的一部分。
[0102]構成保護部60的電極61，例如經由被設置於柱部16的表面上的配線(未圖示)、固定部40、以及支承部30、32而與可動體20電連接。此外，構成保護部62的電極61以及電極64通過未圖示的配線而與保護部60的電極61電連接。另外，也可以通過接合線(未圖示)等來對可動體20與各電極61、64進行電連接。在物理量傳感器100中，由於各個電極61與可動體20電連接，因此能夠將各個電極61與可動體20設為等電位。由此，能夠抑制作用於結構體2 (可動體20)與基板10之間的靜電力。
[0103]構成固定電極部50、52、保護部60、62的電極61以及電極64的材質為，例如鋁、金、IT0(IndIum Tin OxIdE:銦錫氧化物)等。構成固定電極部50、52、保護部60、62的電極61以及電極64的材質，優選為ITO等透明電極材料。其理由為，通過使用透明電極材料來作為構成固定電極部50、52、保護部60、62的電極61以及電極64的材質，從而在基板10為透明基板(玻璃基板)的情況下，能夠很容易地目視確認存在於構成固定電極部50、52、保護部60、62的電極61及電極64上的異物等。
[0104]蓋體70被設置於基板10上。蓋體70與基板10接合。蓋體70以及基板10形成了收納可動體20的空腔72。空腔72例如為惰性氣體(例如氮氣)環境。蓋體70的材質例如為矽。在蓋體70的材質為矽、基板10的材質為玻璃的情況下，基板10與固定部40例如通過陽極接合而被接合。
[0105]接下來，對物理量傳感器100的動作進行說明。
[0106]在物理量傳感器100中，可動體20根據加速度、角速度等的物理量而圍繞支承軸Q進行擺動。伴隨於該可動體20的移動，第一可動電極部21與第一固定電極部50之間的距離、以及第二可動電極部22與第二固定電極部52之間的距離將發生變化。
[0107]具體而言，例如當鉛直朝上(+Z軸方向)的加速度被施加於物理量傳感器100上時，可動體20將向逆時針方向旋轉，從而第一可動電極部21與第一固定電極部50之間的距離變小，第二可動電極部22與第二固定電極部52之間的距離變大。其結果為，靜電電容Cl變大、靜電電容C2變小。
[0108]此外，例如當鉛直朝下(-Z軸方向)的加速度被施加於物理量傳感器100上時，可動體20將向順時針方向旋轉，從而第一可動電極部21與第一固定電極部50之間的距離變大，第二可動電極部22與第二固定電極部52之間的距離變小。其結果為，靜電電容Cl變小、靜電電容C2變大。因此，能夠根據靜電電容Cl與靜電電容C2之差(通過所謂的差動檢測方式)，來對加速度或角速度等的朝向或大小等的物理量進行檢測。
[0109]如上所述，物理量傳感器100能夠作為加速度傳感器或陀螺傳感器等的慣性傳感器使用，具體而言，例如，能夠作為用於對鉛直方向(Z軸方向)上的加速度進行測定的靜電電容型加速度傳感器來使用。
[0110]物理量傳感器100例如具有以下特徵。
[0111]在物理量傳感器100中，包括:基板10 ;可動體20，其具備可動電極部21、22 ;支承部30，其以能夠圍繞繞支承軸Q進行位移的方式對可動體20進行支承；第一固定電極部50和第二固定電極部52，在以支承軸Q為界而將可動體20劃分為第一槓桿片20a以及第二槓桿片20b的情況下，所述第一固定電極部50以與第一槓桿片20a對置的方式而被配置於基板10上，所述第二固定電極部52以與第二槓桿片20b對置的方式而被配置於基板10上，在基板10上,於第一固定電極部50與第二固定電極部52之間的電極間區域14a內設置有保護部60，所述保護部60對在可動體20與基板10之間所產生的靜電力進行抑制。由此，能夠對作用於可動體20與基板10之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體20貼附於基板10上。因此，不會產生如下問題，即，例如在製造物理量傳感器100時，在可動體20與基板10之間產生電位差，可動體20因靜電力而被拉向基板10 —側從而使可動體20貼附於基板10上的問題。
[0112]在物理量傳感器100中，保護部60被設置於，基板10上的在俯視觀察時與支承部30,32重疊的位置上。因此，能夠可對作用於支承部30、32與基板10之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體20貼附於基板10上。
[0113]在物理量傳感器100中，保護部62被設置於在俯視觀察時與可動體20重疊的位置，且被設置於第一固定電極部50、第二固定電極部52、以及電極間區域14a的外側的區域14b內。因此，能夠對作用於可動體20與基板10之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體貼附於基板上。
[0114]在物理量傳感器100中，保護部60、62為與可動體20電連接的電極61。因此，能夠減小可動體20以及支承部30、32與電極61之間的電位差(或不產生電位差)。因此，能夠對作用於可動體20及支承部30、32與基板10之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體20貼附於基板10上。
[0115]在物理量傳感器100中，與第一固定電極部50相鄰的電極61的數量、和與第二固定電極部52相鄰的電極61、64的數量相等。因此，能夠很容易地使在第一固定電極部50與電極61之間產生的寄生電容、與在第二固定電極部52與電極61、64之間產生的寄生電容相等。因此，使用差動檢測方式，能夠消除第一固定電極部50中的寄生電容的影響與第二固定電極部52中的寄生電容的影響。
[0116]1.2.物理量傳感器的製造方法
[0117]接下來，參照附圖，對第一實施方式所涉及的物理量傳感器的製造方法進行說明。圖3至圖5為，模式化地表示第一實施方式所涉及的物理量傳感器100的製造工序的剖視圖。
[0118]如圖3所示，例如對玻璃基板進行圖案形成從而形成具有凹部12以及柱部16的基板10。玻璃基板的圖案形成例如通過光刻以及蝕刻而被實施。
[0119]接下來，在凹部12的底面14上，形成構成固定電極部50、52、保護部60、62的電極61以及電極64。構成固定電極部50、52、保護部60、62的電極61以及電極64，在通過濺射法等而於底面14上使導電層成膜之後，通過利用光刻以及蝕刻來對該導電層進行圖案形成而被形成。
[0120]如圖4所示，在基板10上接合矽基板102。基板10與矽基板102的接合，例如通過陽極接合而被實施。
[0121]如圖5所示，在例如通過研磨機對矽基板102進行研磨而使其薄膜化之後，進行圖案形成,從而使可動體20、支承部30、32以及固定部40—體形成。圖案形成通過光刻以及蝕刻(幹蝕刻)而被實施，作為更加具體的蝕刻技術，能夠使用博世(Bosch)法。
[0122]如圖2所示，在基板10上接合蓋體70，並將可動體20收納於通過基板10以及蓋體70而形成的空腔72中。基板10與蓋體70的接合，例如通過陽極接合而被實施。通過在惰性氣體環境下實施本工序，從而能夠在空腔72中填充惰性氣體。
[0123]在本工序中，在基板10上接合蓋體70之時，在包括可動體20、支承部30、32、以及固定部40在內的結構體2與基板10之間，將產生較大的電位差。但是，通過保護部60、62從而能夠抑制作用於可動體20以及支承部30、32與基板10之間的靜電力。因此，能夠防止可動體20貼附於基板10上。
[0124]通過以上的工序，能夠製造出物理量傳感器100。
[0125]1.3.改變例
[0126]接下來，參照附圖，對第一實施方式所涉及的物理量傳感器的改變例進行說明。在下文所示的各個改變例所涉及的物理量傳感器200、300、400中，對於與上文所述的物理量傳感器100的結構部件具有同樣的功能的部件標記相同的符號，並省略其說明。
[0127](I)第一改變例
[0128]首先，對第一改變例進行說明。圖6為模式化地表示第一改變例所涉及的物理量傳感器200的俯視圖。圖7為模式化地表示第一改變例所涉及的物理量傳感器200的、圖6中的VI1-VII線剖視圖。另外，為了便於說明，在圖6中省略了蓋體70的圖示。
[0129]在上文所述的物理量傳感器100的示例中，如圖1以及圖2所示，保護部60、62是由與可動體20電連接的電極61構成的。
[0130]相對於此，在物理量傳感器200中，如圖6以及圖7所示，保護部60、62包括與可動體20電連接的電極61、和被設置於基板10上的槽部18。
[0131]在圖示的示例中，保護部60由一個電極61和兩個槽部18構成。在保護部60中，槽部18在俯視觀察時被設置於如下區域內，即，基板10的第一固定電極部50與構成保護部60的電極61之間的區域、以及基板10的第二固定電極部52與構成保護部60的電極61之間的區域。
[0132]槽部18被設置於凹部12的底面14上。槽部18具有與凹部12的底面14相比、與可動體20之間的距離較大的底面(與可動體20對置的面、內底面)。通過設置槽18從而能夠增大基板10與可動體20之間的距離。
[0133]在此，靜電力的大小與距離的平方成反比。因此，通過設置槽部18從而能夠抑制作用於基板10與可動體20之間的靜電力。另外，槽部18的深度只要為基板10與可動體20不因靜電力而貼合的深度即可，並未被特別限定。
[0134]在圖示的示例中，保護部62由一個電極61和一個槽部18構成。在保護部62中，槽部18在俯視觀察時，被設置於基板10的第一固定電極部50與構成保護部62的電極61之間的區域內。
[0135]在物理量傳感器200中，保護部60包含電極61和槽部18,所述電極61被設置於第一區域14a內、且與可動體20電連接，所述槽部18在俯視觀察時，被設置於基板10的構成保護部60的電極61與第一固定電極部50之間的區域內、以及基板10的構成保護部60的電極61與第二固定電極部52之間。由此，通過電極61以及槽部18來對作用於可動體20以及支承部30、32與基板10之間的靜電力進行抑制，從而能夠防止可動體20貼附於基板10上。
[0136]物理量傳感器200的製造方法，除了追加通過在凹部12的底面14上蝕刻而形成槽部18的工序之外，均與上文所述的物理量傳感器100的製造方法相同，因此省略其說明。
[0137]另外，雖然未圖示，但也可以僅通過槽部18來構成保護部60。即，在圖6以及圖7中，也可以將構成保護部60的電極61作為槽部18。具體而言，將第一區域14a的整體(除柱部16之外)作為槽部18。即使在該情況下，也能夠對作用於可動體20及支承部30、32與基板10之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體20貼附於基板10上。同樣地，也可以僅通過槽部18來構成保護部62。
[0138]此外，雖然未圖示，但也可以在槽部18的底面(內底面)上設置電極61。此外，也可以在第一區域14a的整體(除柱部16之外)上設置槽部18，並在該槽部18的內底面上設置電極61來作為保護部60。此外，同樣地，也可以在第二區域14b的整體上設置槽部18，並在該槽部18的內底面上設置電極61來作為保護部62。即使在該情況下，也能夠對作用於可動體20以及支承部30、32與基板10之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體20貼附於基板10上。
[0139](2)第二改變例
[0140]接下來，對第二改變例進行說明。圖8為模式化地表示第二改變例所涉及的物理量傳感器300的俯視圖。圖9為模式化地表示第二改變例所涉及的物理量傳感器300的、圖8中的IX-1X線剖視圖。此外，為了便於說明，在圖8中，省略了蓋體70的圖示。
[0141]在物理量傳感器300中，如圖8及圖9所示，在固定電極部50、52以及電極61上分別設置有突起部65。
[0142]突起部65從各個電極50、52、61起向可動體20—側突出。突起部65的形狀為例如錘狀。突起部65在俯視觀察時，被設置於與可動體20重疊的區域內。突起部65的數量與位置並未被特別限定。在圖示的示例中，突起部65被設置於基板10的底面14露出的區域(未形成有電極50、52、61的區域)的兩側處。
[0143]具體而言，在圖示的示例中，突起部65被設置於第一固定電極部50以及第二固定電極部52的四角處、構成保護部60的電極61的四角處、構成保護部62的電極61的第一固定電極部50側的端部處。
[0144]在物理量傳感器300中，在電極61、第一固定電極部50、以及第二固定電極部52的至少一個上，設置有朝向可動體20而突出的突起部65。由此，能夠防止可動體20貼附於基板10上。
[0145]物理量傳感器300的製造方法，除了在形成凹部12時以在底面14上形成突起的方式而進行蝕刻並在該突起上使成為各個電極50、52、61的導電層成膜從而形成突起部65這點之外，均與上文所述的物理量傳感器100的製造方法相同，因此省略其說明。
[0146](3)第三改變例
[0147]接下來，對第三改變例進行說明。圖10為模式化地表示第三改變例所涉及的物理量傳感器400的俯視圖。圖11為模式化地表示第三改變例所涉及的物理量傳感器400的、圖10中的X1-XI線剖視圖。另外，為了便於說明，在圖10中，省略了蓋體70的圖示。
[0148]在物理量傳感器400中，如圖10及圖11所示，在可動體20上，設置有與基板10的、構成保護部60的電極61和第一固定電極部50之間的區域14d對置的狹縫部26。此夕卜，在可動體20上，設置有與基板10的、構成保護部60的電極61和第二固定電極部52之間的區域對置的狹縫部26。
[0149]在可動體20上，還設置有與基板10的、構成保護部62的電極61和第一固定電極部50之間的區域14f對置的狹縫部26。
[0150]在物理量傳感器400中，在可動體20上，設置有與基板10露出的區域14d、14E、14f對置的狹縫部26。由此，能夠對作用於可動體20與基板10之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體20貼附於基板10上。
[0151](4)第四改變例
[0152]接下來，對第四改變例進行說明。雖然未圖示，但第四改變例所涉及的物理量傳感器被構成為，包括上文所述的圖6以及圖7所示的槽部18、圖8以及圖9所示的突起部65、圖10以及圖11所示的狹縫部26。由此，能夠可靠地防止可動體20貼附於基板10上。
[0153]2.第二實施方式
[0154]2.1.物理量傳感器
[0155]接下來，參照附圖，對第二實施方式所涉及的物理量傳感器進行說明。圖12為模式化地表示第二實施方式所涉及的物理量傳感器500的俯視圖。圖13為模式化地表示第二實施方式所涉及的物理量傳感器500的、圖12中的XII1-XIII線剖視圖。另外，為了便於說明，在圖12中，省略了蓋體70的圖示。
[0156]以下，在第二實施方式所涉及的物理量傳感器500中，對於具有與第一實施方式所涉及的物理量傳感器100的結構部件相同的功能的部件標記相同的符號，並省略其說明。
[0157]如圖12及圖13所示，在物理量傳感器500中，支承部30、32連接被設置於可動體20的周圍的固定部40a、40b與可動體20，並且保護部60包括被設置於如下區域中的電極61，即，基板10的第一固定電極部50與第二固定電極部52之間的區域(第一區域、電極間區域)14a、以及在俯視觀察時基板10的與支承部30重疊的區域(第二區域)14h、14i。
[0158]如圖12所不,物理量傳感器500具有被設置於可動體20周圍的第一固定部40a以及第二固定部40b。在圖示的示例中，固定部40a、40b被設置於基板10的框部19上。固定部40a、40b與框部19,例如通過陽極接合而被接合。第一固定部40a被設置於可動體20的+Y軸方向上，第二固定部40b被設置於可動體20的-Y軸方向上。g卩，可動體20被配置於第一固定部40a與第二固定部40b之間。
[0159]基板10的框部19以包圍凹部12的方式而被設置。框部19的側面為，對凹部12的側面進行規定的面。框部19與固定部40a、40b，例如通過陽極接合而被接合。
[0160]支承部30連接第一固定部40a與可動體20。支承部30與可動體20的+Y軸方向側的側面連接。支承部32連接第二固定部40b與可動體20。支承部32與可動體20的-Y軸方向側的側面連接。
[0161]在物理量傳感器500中，結構體2通過兩個固定部40而被固定於基板10上。SP,結構體2相對於基板10而以兩點(兩個固定部40)被固定。
[0162]保護部60由被設置於基板10的區域14a以及基板10的區域14h、14i中的電極61構成。基板10的區域14h為，在俯視觀察時與支承部30重疊的區域。基板10的區域14i為，在俯視觀察時與支承部32重疊的區域。基板10的區域14h、14i為凹部12的底面14的一部分。雖然在圖示的示例中，一個電極61以遍及基板10的區域14a、14h、14i的方式而被設置，但也可以在基板10的各個區域14a、14h、14i內分別設置電極61。
[0163]構成保護部60的電極61，例如也可以向凹部12的側面以及框部19的上表面延伸並與固定部40a、40b電連接。由此，該電極61經由第一固定部40a、支承部30 (或第二固定部40b、支承部32)而與可動體20電連接。另外，也可以通過接合線(未圖示)等而對各個電極61與可動體20進行電連接。
[0164]在物理量傳感器500中，保護部60包括被設置於如下區域內的電極61，即，在俯視觀察時，基板10的第一固定電極部50與第二固定電極部52之間的區域14a、以及基板10的與支承部30、32重疊的區域14h、14i。由此，能夠對作用於可動體20以及支承部30、32與基板10之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體20貼附於基板10上。
[0165]物理量傳感器500的製造方法，除了在基板10的區域14h、14i內形成電極61這一點、以及形成兩個固定部40a、40b這一點外，均與上文所述的物理量傳感器100的製造方法相同，因此省略其說明。
[0166]2.2.改變例
[0167]接下來，參照附圖，對第二實施方式所涉及的物理量傳感器的改變例進行說明。圖14為模式化地表示第二實施方式的改變例所涉及的物理量傳感器600的俯視圖。圖15為模式化地表示第二實施方式的改變例所涉及的物理量傳感器600的、圖14中的XV-XV線剖視圖。另外，為了便於說明，在圖14中，省略了蓋體70的圖示。
[0168]以下,在本改變例所物理量傳感器600中，對於具有與上文所述的物理量傳感器500的結構部件相同的功能的部件標記相同的符號，並省略其說明。
[0169]在上文所述的物理量傳感器500的示例中，如圖12及圖13所示，保護部60被構成為，包括被設置於如下區域內的電極61，S卩，在俯視觀察時，基板10的第一固定電極部50與第二固定電極部52之間的區域(第一區域)14a、以及基板10的與支承部30重疊的區域(第二區域)14h、14i。
[0170]相對於此,在物理量傳感器600中，如圖14及圖15所示,保護部60包括槽部18和電極61,在俯視觀察時,所述槽部18被設置於基板10的第一固定電極部50與第二固定電極部52之間的區域(第一區域、電極間區域)14a內，所述電極61被設置於與基板10的支承部30、32重疊的區域(第二區域)14h、14i內。電極61被電連接於可動體20。
[0171]在物理量傳感器600中，能夠通過電極61來對作用於支承部30、32與基板10之間的靜電力進行抑制，且能夠通過槽部18來對作用於可動體20與基板10之間的靜電力進行抑制，從而防止可動體20貼附於基板10上。另外，雖然未圖示，但也可以在槽部18的內底面上設置電極61。
[0172]3、第三實施方式
[0173]接下來，參照附圖，對第三實施方式所涉及的電子設備進行說明。第三實施方式所涉及的電子設備包括本發明所涉及的物理量傳感器。在下文中，作為本發明所涉及的物理量傳感器而對包括物理量傳感器100的電子設備進行說明。
[0174]圖16為模式化地表示作為第三實施方式所涉及的電子設備的移動型(或者筆記本型)的個人計算機1100的立體圖。
[0175]如圖16所示，個人計算機1100由具備鍵盤1102的主體部1104和具有顯示部1108的顯示單元1106構成，並且顯示單元1106經由鉸鏈結構部而被支持為能夠相對於主體部1104進行轉動。
[0176]在這種個人計算機1100中，內置有物理量傳感器100。
[0177]圖17為模式化地表示作為第三實施方式所涉及的電子設備的可攜式電話機(也包含PHS:個人手持式電話系統)1200的立體圖。
[0178]如圖17所示，可攜式電話機1200具備多個操作按鈕1202、聽筒1204以及話筒1206，在操作按鈕1202與聽筒1204之間，配置有顯示部1208。
[0179]這種可攜式電話機1200中，內置有物理量傳感器100。
[0180]圖18為模式化地表示作為第三實施方式所涉及的電子設備的數位照相機1300的立體圖。另外，在圖18中，簡單地圖示了與外部設備的連接。
[0181]在此，通常的照相機通過被拍攝物體的光像而使氯化銀照片膠捲感光，與此相對，數位照相機1300則通過CCD (ChargE CouplEd DEvIcE:電荷稱合裝置)等的攝像元件而對被拍攝物體的光像進行光電變換從而生成攝像信號(圖像信號)。
[0182]在數位照相機1300的殼體(機體)1302的背面上設置有顯示部1310，並且成為了根據由CCD發出的攝像信號而進行顯示的結構，顯示部1310作為將被拍攝物體以電子圖像顯示的取景器而發揮功能。
[0183]此外，在殼體1302的正面側(圖中背面側)，設置有包括光學透鏡(攝像光學系統)與CXD等的受光單元1304。
[0184]當攝影者對被顯示在顯示部1310上的被拍攝物體圖像進行確認，並按下快門按鈕1306時，該時間點的CXD攝像信號將被傳送並存儲於存儲器1308中。
[0185]此外，在數位照相機1300中，在殼體1302的側面上設置有視頻信號輸出端子1312、和數據通信用輸入輸出端子1314。而且，分別根據需要，在視頻信號輸出端子1312上連接有電視監視器1430，在數據通信用的入出力端子1314上連接有個人計算機1440。並且，成為如下的構成，即，通過預定的操作而使存儲於儲存器1308中的攝像信號向電視監視器1430或個人計算機1440輸出。
[0186]在這種數位照相機1300中，內置有物理量傳感器100。
[0187]由於以上這種電子設備1100、1200、1300包含了能夠防止可動體20貼附於基板10
上的物理量傳感器100，因此能夠具有較高的可靠性。
[0188]另外，具備了物理量傳感器100的電子設備，除了能夠應用於圖16所示的個人計算機(移動個人計算機)、圖17所示的可攜式電話機、圖16所示的數位照相機之外，還能夠應用於如下的電子設備中，例如:噴墨式噴出裝置(例如噴墨式印表機)、膝上型個人計算機、電視機、攝像機、錄像機、各種車輛導航裝置、尋呼機、電子記事本(也包括附帶通信功能)、電子詞典、臺式電子計算機、電子遊戲設備、頭戴式顯示器、文字處理器、工作站、可視電話、防盜用電視監視器、電子雙筒望遠鏡、POS終端、醫療設備(例如電子體溫計、血壓計、血糖計、心電圖計測裝置、超聲波診斷裝置、電子內窺鏡)、魚群探測器、各種測量設備、計量設備類(例如，車輛、飛機、火箭、船舶的計量設備類)、機器人或人體等的姿態控制、飛行模擬器等。
[0189]4.第四實施方式
[0190]接下來，參照附圖，對第四實施方式所涉及的移動體進行說明。第四實施方式所涉及的移動體包含本發明所涉及的物理量傳感器。在下文中，對作為本發明所涉及的物理量傳感器的包含物理量傳感器100的移動體進行說明。
[0191]圖19為模式化地表示作為第四實施方式所涉及的移動體的汽車1500的立體圖。
[0192]在汽車1500中，內置有物理量傳感器100。具體而言，如圖19所示，在汽車1500的車身1502上,搭載了電子控制單元(EQJ:ElEctronic Control Unit),所述電子控制單元內置了對汽車1500的加速度進行檢測的物理量傳感器100並對發動機的輸出進行控制。此外，物理量傳感器100還能夠廣泛地應用於其他的車體姿態控制單元、防抱死制動系統(ABS)、安全氣囊、車胎壓力監測系統(TPMS:TirE PrEssurE Monitoring SystEm)。
[0193]由於汽車1500包括能夠防止可動體20貼附於基板10上的物理量傳感器100，因此能夠具有較高可靠性。
[0194]上文所述的實施方式以及改變例為一個示例，且並不限定這些示例。例如，也能夠對各個實施方式以及各個改變例進行適當組合。
[0195]本發明包括與在實施方式中說明了的結構實質相同的結構(例如，功能、方法以及結果相同的結構、或目的以及效果相同的結構)。此外，本發明包括對在實施方式中說明了的結構的非本質部分進行置換的結構。此外，本發明包括與在實施方式中說明了的結構起到相同作用效果的結構或能夠實現相同目的的結構。此外，本發明包括對在實施方式中說明了的結構附加公知技術的結構。
[0196]符號說明
[0197]2…結構體；10…基板;12...凹部；14…底面；14a、14b、14C、14d、14E、14f、14h、14i…區域；16…柱部；18…槽部；19…框部;20…可動體;20a…第一槓桿片；20b…第二槓桿片；21…第一可動電極部；22…第二可動電極部；24、25…端面；26…狹縫部；28…開口部；30、32…支承部；40...固定部；40a…第一固定部；40b…第二固定部；46...貫穿孔；50...第一固定電極部；52...第二固定電極部；60...保護部；61...電極；62...保護部；64...電極；65…突起部;70…蓋體;72…空腔;100…物理量傳感器;102…矽基板;200、300、400、500、600…物理量傳感器;1100…電子設備;1100…個人計算機;1102…鍵盤;1104…主體部；1106…顯示單元;1108…顯示部;1200…可攜式電話機；1202…操作按鈕;1204…聽筒；1206…話筒;1208…顯不部;1300…數位照相機;1302…殼體;1304…受光單兀;1306…快門按鈕；1308…存儲器；1310…顯不部；1312…視頻信號輸出端子；1314…輸入輸出端子；1430…電視監視器；1440…個人計算機;1500…汽車;1502…車身；1504…電子控制單元。
【權利要求】
1.一種物理量傳感器，其特徵在於，具有: 基板； 可動體，其具備可動電極部； 支承部，其以能夠圍繞第一軸進行位移的方式對所述可動體進行支承；第一固定電極部和第二固定電極部，在以所述第一軸為界將所述可動體劃分為第一部分以及第二部分的情況下，所述第一固定電極部以與所述第一部分對置的方式而被配置於所述基板上，所述第二固定電極部以與所述第二部分對置的方式而被配置於所述基板上；在所述基板上設置有保護部，所述保護部在所述第一固定電極部與所述第二固定電極部之間的電極間區域內對所述可動體與所述基板之間所產生的靜電力進行抑制。
2.如權利要求1所述的物理量傳感器，其特徵在於， 所述保護部被設置於所述基板上的在俯視觀察時與所述支承部重疊的位置上。
3.如權利要求1所述的物理量傳感器，其特徵在於， 所述保護部被設置於在俯視觀察時與所述可動體重疊的位置上、且被設置於所述第一固定電極部、所述第二固定電極部、以及所述電極間區域的外側處。
4.如權利要求1所述的物理量傳感器，其特徵在於， 所述保護部為與所述可動體電連接的電極。
5.如權利要求4所述的物理量傳感器，其特徵在於， 所述保護部的所述電極被設置於在所述基板上所設置的槽部的內底面上。
6.如權利要求4所述的物理量傳感器，其特徵在於， 在所述基板的所述電極與所述第一固定電極部之間的區域、以及所述基板的所述電極與所述第二固定電極部之間的區域內設置有槽部。
7.如權利要求4所述的物理量傳感器，其特徵在於， 與所述第一固定電極部相鄰的所述電極的數量和與所述第二固定電極部相鄰的所述電極的數量相等。
8.如權利要求4所述的物理量傳感器，其特徵在於， 在所述電極、所述第一固定電極部、以及所述第二固定電極部中的至少一個上，設置有朝向所述可動體而突出的突起部。
9.如權利要求1所述的物理量傳感器，其特徵在於， 所述保護部為槽部。
10.一種物理量傳感器，其特徵在於，具有: 基板； 可動體，其具備可動電極部； 支承部，其以能夠圍繞第一軸進行位移的方式對所述可動體進行支承； 固定電極部，其以與所述可動電極部對置的方式而被配置於所述基板上； 在所述基板上設置有保護部，所述保護部於在俯視觀察時與所述支承部重疊的區域內對所述支承部與所述基板之間所產生的靜電力進行抑制。
11.一種電子設備，其特徵在於， 包括權利要求1所述的物理量傳感器。
12.—種移動體，其特徵在於，包括權利要求1所述的物理量傳感器。
【文檔編號】G01P15/125GK104345175SQ201410384431
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年8月6日 優先權日:2013年8月6日
【發明者】田中悟 申請人:精工愛普生株式會社