蔭罩架的製造方法及製造裝置的製作方法
2023-05-09 07:50:21
專利名稱：蔭罩架的製造方法及製造裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及用於陰極射線管的蔭罩架的製造方法及製造裝置。尤其是，本發明涉及蔭罩安裝端面的加工方法及其所用裝置，當例如將與框架相對向地平行設置的雙邊支架的端部加工成曲線形狀地架設蔭罩時，能以極高的精度製成由蔭罩表面形成的圓筒面的圓筒度和曲率度。
蔭罩一般通過焊接等方式架設在組裝成矩形的框架上，並安裝在陰極射線管內。框架通常被設置成在一對分開地垂直設置的短側架的上下端部上水平固定著一對長側架。因此，蔭罩架設在一對長側架的光屏側端上。
架設蔭罩的一對長側架的蔭罩安裝端面通常被如此加工成預定的曲線形狀(例如半徑為R的圓弧狀)，即中央部向光屏側凸起。
過去，蔭罩安裝端面的曲線加工是在將短側架與長側架組裝成矩形框架後通過切削加工或磨削加工進行的。
在上述方法中，被加工件的框架必須被牢固的固定住。而在牢固地固定框架的時候，框架發生變形地被固定住。另外，焊接相連的框架大多具有很小的應變，當如此被牢牢地固定在加工裝置上時，則是在由應變引起的變形的狀態下將框架固定住。在加工後，上述任何變形都在取消固定時被釋放了。因此，無論怎樣用加工裝置高精度地加工蔭罩安裝端面，一旦在加工後取消固定，則在加工部位產生所謂的反應變。由於存在這樣的反應變，所以很難實現蔭罩面的圓筒度和曲率度的高精度化。而且，為了防止反應變發生，儘管利用三點支承方式精確地定位了框架，但是在固定方法上仍然要求極其熟練，因而生產率低下。
而且，在切削加工或磨削加工中，當為了防止上述反應變的發生而降低向框架加工裝置上的固定強度，則由於不得不採用輕負荷加工，加工時間增加。
另外，框架與加工裝置之間的裝卸費時費力，工作效率很低。
本發明的目的是，提供一種解決以上現有問題的、提高框架蔭罩安裝端面的加工精度且大幅度縮短加工時間、簡化框架與加工裝置之間的裝卸並且加工精度和生產率優良的蔭罩架的製造方法及製造裝置。
為達成上述發明目的，本發明的結構如下。
與本發明第一構想有關的蔭罩架製造方法的特點是，通過剪斷加工將構成大致組裝成矩形狀的框架的相對向兩邊的框架光屏側端部切斷成預定形狀，從而獲得架設蔭罩的蔭罩安裝端面。
與本發明第二構想有關的蔭罩架製造方法的特徵是，它包括組裝出大致成矩形的框架的工序；磨削所述框架的底面而形成基準面的工序；通過剪斷加工將構成所述框架的相對向兩邊的側架中與所述基準面相反的側端部切斷成預定形狀，從而獲得架設蔭罩的蔭罩安裝端面。
根據所述第一、第二構想，架設蔭罩的蔭罩安裝端面的加工通過剪斷加工來進行，剪斷加工時間只有幾秒鐘，由此能大幅度縮短加工時間並尤其是提高了蔭罩架生產率。
在上述第二構想中，所述框架底面的磨削工序最好是這樣的，即將所述框架放置在運動的磨削麵上，一邊限制所述框架在所述磨削麵運動方向上的運動，一邊對所述框架的底面進行磨削。根據這樣的構想，能迅速地在底面上得到用於在隨後剪斷工序時將框架擠壓固定在裝置上的基準面。
在上述構想中，在與所述磨削麵垂直的方向上最好只施加由框架自重引起的壓力，磨削所述框架的底面。根據這樣的構想，在形成基準面時，由於除自重外沒有別的力作用在框架上，所以沒有在加工後出現反應變並因此能獲得平面度極高的基準面。
在上述第二構想中，最好是以所述基準面作為抵接面地固定所述框架，進行所述剪斷加工。根據這樣的結構，在剪斷加工後沒有發生所謂的反應變。另外，能提高從基準面到被剪斷的蔭罩安裝端面之間的距離精度。而且，能防止發生蔭罩安裝端面相對基準面的傾斜。
在上述第二構想中，最好在所述框架內設置一個定位基準點，在分別剪斷構成所述相對向兩邊的側架的端部時，利用所述基準點進行被剪斷側架的長度方向的定位。根據這樣的結構，能使在相對向兩邊上進行加工的兩個蔭罩安裝端面的該邊的長度方向位置保持一致，由例如在被加工成曲線形狀的蔭罩安裝端面上架設的蔭罩形成的圓筒面能實現很高的圓筒度和曲率。
另外，本發明的蔭罩架的磨削裝置的特點是，它具有運動的磨削麵、當在所述磨削麵上放置框架時防止所述框架在所述磨削麵運動方向上移動的止動件。根據這樣的結構，能迅速地獲得在隨後的剪斷工序時將框架擠壓固定在裝置上的基準面。
在上述蔭罩架磨削裝置中，最好在與所述磨削麵垂直的方向上只施加由所述框架自重引起的壓力。根據這樣的結構，由於在形成基準面時除自重外沒有其它的力作用在框架上，所以沒有在加工後出現反應變並因此能獲得平面度極高的基準面。
在上述磨削裝置中，所述運動的磨削麵最好是迴轉的磨削帶，所述磨削帶在平板狀底盤上滑動，所述框架被設置成與所述底盤對峙。根據這樣的結構，能在結構簡單的情況下獲得平面度高的基準面。
另外，本發明的蔭罩架剪斷裝置的特點是，它包括組裝成大致矩形的、並通過剪斷加工而將構成其底面成基準面的框架的相對向兩邊的側架中與所述基準面相對的側端部切斷成預定形狀的金屬模；決定被剪斷框架的長度方向位置的框架限位機構；抵靠所述基準面的框架擋架底座；將所述框架擠壓固定在所述擋架底座上的夾持器。根據這樣的結構，由於通過剪斷進行架設蔭罩的蔭罩安裝端面的加工，所以能大幅度縮短加工時間並尤其是提高生產率。另外，由於將框架的基準面擠壓固定在擋架底座上地進行剪斷加工，所以框架在擠壓固定時沒有變形。因此，即使在剪斷加工後取消擠壓固定，也不會發生所謂的反變形，由此能高精度地加工蔭罩安裝端面。
在上述剪斷裝置中，所述框架限位機構最好在分別剪斷加工構成所述相對向兩邊的側架時利用設置在所述框架上的共同基準點來決定位置。根據這樣的結構，由於能使在相對向兩邊上進行加工的兩個蔭罩安裝端面的該邊的長度方向位置保持一致，所以由例如在被加工成曲線形狀的蔭罩安裝端面上架設的蔭罩形成的圓筒面能實現很高的圓筒度和曲率度。
如上所述，根據本發明，用於加工框架端部蔭罩安裝端面的基準面的加工是通過對框架不施加任何壓力，在自由狀態下磨削框架底面的方式進行的。沒有發生加工後的反變形，由此能形成具有在1毫米/100以內的高精度平面度的基準面。
如果保持這樣的基準面精度，則在蔭罩安裝端面加工中，即使用必要的固定力將基準面抵靠在裝置上地進行緊固，在加工後也不發生反變形。因而，可以通過利用通用壓力機的金屬模的剪斷加工進行高精度的加工。而且，因為進行剪斷加工，所以加工時間只有幾秒鐘，所以能迅速地進行加工。
這樣一來，由於可以高精度並通過迅速的剪斷加工而獲得蔭罩安裝端面，所以能減少因投入專用加工設備而帶來的高額的設備投資並且能實現設備投資最小化和加工時間與過去相比提高十倍以上的高效化，並且能在品質和生產率方面獲得許多有益效果。
另外，在進行基準面磨削加工的砂帶磨削式基準面磨削裝置中，兩個砂帶狀砂紙與底盤接觸地運轉，由此能獲得上述平面度高的磨削平面並且可以迅速且高精度地形成框架的基準面。另外，除了設置了防止框架在砂帶運動方向上的移動的夾具外，沒有必要設置固定框架的夾具，因此能降低設備成本。
另外，在將成為蔭罩安裝端面的框架端部加工成例如曲線狀的剪斷裝置中，通過將限位銷插入一個設置在框架上的中心孔中而實現了兩次剪斷加工時的位置重合，所以能使在兩邊上形成的圓弧曲線的中心線彼此重合。另外，進行框架固定的夾持器採用了用凸輪緊固的方式，所以能用預定的緊固力進行緊固，並且在防止發生因緊固力偏差引起的反應變的同時，可以簡化框架的裝卸。這樣一來，能使金屬模的圓弧曲線的中心線與框架兩邊的圓弧曲線的中心線高精度地重合，並且能提高通過兩邊的蔭罩安裝端面形成的圓筒面的圓筒度。另外，可以在通用壓力機上安裝上必要裝置而構成本發明的剪斷裝置。因此，能進行通過所安裝的金屬模快速地進行預定形狀的剪斷加工。
根據以上特點，能以最少的費用提供品質穩定且生產率提高的裝置。
圖1是表示通過本發明獲得的蔭罩架結構的斜視草圖。
圖2是表示通過本發明獲得的蔭罩架結構的圖，圖2(A)是仰視圖，圖2(B)是左側視圖，圖2(C)是主視圖。
圖3是表示用本發明的磨削裝置對框架基準面進行磨削時的結構草圖。
圖4是表示將框架裝在本發明的剪斷裝置上時的側視圖。
圖5是從框架底面(基準面)一側看本發明的剪斷裝置的主視圖。
圖6是表示本發明剪斷裝置的夾持器的結構的局部放大視圖。
以下，參見圖1-圖6來說明本發明的實施例。
圖1是表示蔭罩架結構的斜視草圖。而在圖2也示出了蔭罩架結構，圖2(A)是仰視圖，圖2(B)是左側視圖，圖2(C)是主視圖。
如圖所示，蔭罩架(框架，以下簡稱為框架)10由一對平行設置的短側架11a、11b和一對平行設置的長側架12a、12b構成，短側架11a、11b和長側架12a、12b在端部被焊接在一起。短側架11a、11b是通過將金屬平板彎曲成斷面大致成字形而形成的。而長側架12a、12b是通過將金屬平板彎曲成端面大致成三角形而形成的。製成長側架12a、12b的金屬平板延伸於短側架11a、11b的相反側(在陰極射線管中是光屏一側)，而蔭罩就架設在構成其端部的蔭罩安裝端面13a、13b上。蔭罩安裝端面13a、13b被加工成具有預定的曲率半徑R的圓弧曲線，以使其向短側架11a、11b的相反側(在陰極射線管中是光屏一側)凸起。
在本實施例中，由平行對向的蔭罩安裝端面13a、13b形成的圓筒面(蔭罩表面)15的圓筒度的扭轉度在0.05毫米以下，蔭罩安裝端面13a、13b的各圓筒度在±0.05毫米以內。在這裡，蔭罩安裝端面13a、13b的圓筒度不同於通過蔭罩安裝端面13a、13b形成的圓筒面(蔭罩表面)15的圓筒度。即使蔭罩安裝端面13a、13b是完整的圓筒面，例如在兩個圓筒面的中心軸線不一致的情況下，所架設的蔭罩表面也不會成為完整的圓筒面。通過使用本實施例所述的本發明的製造方法及製造裝置，能在這樣的公差範圍內高精度地將蔭罩安裝端面13a、13b加工成曲線形狀。
以下說明本實施例的製造方法及製造裝置。
首先，通過壓制金屬平板而得到的短側架11a、11b與長側架12a、12b如圖1、2所示地被一體焊裝成矩形框架並經退火消除掉由壓制和焊接帶來的內應力。此時，長側架12a、12b的蔭罩安裝端面13a、13b尚未進行加工，並且如圖2(C)中雙點劃線14a、14b所示，處於金屬平板延伸於短側架11a、11b的相反側的狀態。
接著，使用圖3所示的砂帶磨削式磨削裝置50而給如此獲得的框架磨削出構成基準面的底面(短側架中未與長側架接合一側的面)。磨削所得的基準面17在後續剪斷工序中構成了固定於剪斷裝置時的基準。
在圖3中，51是驅動電動機，52是把驅動電動機的動力傳給驅動輪53的V形皮帶，54a、54b是從動輪，55a、55b是通過驅動輪53和從動輪54a、54b而循環運動的兩條帶狀砂紙，56是上表面的平面精度在1毫米/100以內地進行精密加工的底盤，57a、57b是一對作為止動件的支承件。
框架10以短側架11a、11b的基準面17分別對應於高速運轉的砂紙55a、55b的方式置於其上。由於兩條砂紙55a、55b緊貼著共同的底盤56滑動，並與底盤56相對置地裝設框架10，所以即便安裝了框架10，砂紙55a、55b面也不降低，因此維持了與底盤56相同的高精度平面。通過支承件57a、57b制止框架10在砂紙55a、55b運動方向上移動。
在焊接加工後，雖然經過退火而除去內應力的框架10在平面度方面發生一些畸變，但因為框架10的底面跨置在兩條砂紙55a、55b上，除了限制向砂紙55a、55b運動方向上的移動外，對框架不實施任何固定形式，在自由狀態下，只利用框架10的自重來磨削底面，所以在框架10的磨削加工中不會出現扭曲，從而能獲得平面精度高的基準面17。根據上述方法，沒有發生所謂的反應變，並且能在框架10的底面上製作出平面精度精確磨削成1毫米/100以下的基準面。如果能形成這樣的高精度基準面，則在隨後的蔭罩安裝端面曲線加工中，即使要用必需的固定力將基準面抵靠在裝置上，框架10也不會產生變形並且在加工後不會發生所謂的反應變。
基準面17受到加工的框架10採用如圖4-圖6所示的剪斷裝置100，將圖2(C)所示的長側架中用雙點劃線所示的加工前直線狀端部14a、14b通過剪斷加工而被衝掉，從而製成曲線形狀。
圖4是表示框架10設置在剪斷裝置100上時的側視圖。圖5是從框架10底面(基準面)側看剪斷裝置100的主視圖。在圖5中，為了圖示簡化起見而用雙點劃線來表示框架10。
在圖4中，105a是下金屬模，105b是上金屬模，兩者合模而具有剪切刃的作用。為了能以預期曲率半徑R剪斷長側架的直線狀上端面14a、14b，剪切刃的形狀加工成圓弧曲線狀。上金屬模105b可以上下移動地固定在壓力機100的立柱109上，而下金屬模105a被固定在底座上。當上金屬模105b下降進行剪斷加工時，其背面一邊在背撐106的面上滑動一邊移動。這樣一來，防止了上金屬模105b脫開並且使上金屬模105b與下金屬模105a之間的間隙保持一定。
另外，墊塊108的上面與下金屬模105a的上面同平面地將被彈簧107支承的墊塊108設置在下金屬模105a與背撐106之間的位置上。這樣一來，能利用上金屬模105b與墊塊108在夾持切落側材料的狀態下進行剪斷加工，並能防止框架端面的切落材料在剪斷加工時脫出。
如以下所述地將框架10固定在剪斷裝置100上。
在框架10的長側架12a、12b成水平而短側架11a、11b成垂直的狀態下，下長側架12a抵靠在下金屬模105a上，構成框架10底面的基準面17抵靠著沿剪斷裝置100的垂直方向設置的擋架底座103a、103b抵接面103a』、103b』上。
一對左右設置的擋架底座103a、103b中與各側架之間的抵接面103a』、103b』被設計成保持預定精度，從而它們形成了同一平面並且垂直於上下金屬模105a、105b的曲率半徑R的圓弧中心線。由此一來，能利用後述的四角夾持器不使框架10發生變形地將框架固定在擋架底座103a、103b上。而且，當把框架10的長側架12a、12b加工前的直線狀端部14a、14b剪斷成圓弧狀時，能保持所得到的蔭罩安裝端面13a、13b的圓弧頂點與構成框架10底面的基準面之間的距離H(參見圖2(C))的尺寸精度。而且，能使蔭罩安裝端面13a、13b的圓弧中心線C(參見圖2(C))與基準面17垂直相交。另外，能保持由蔭罩安裝端面13a、13b形成的圓筒面與基準面17之間的表面間隔的一致精度。
接著，框架10通過框架限位機構而被限制在框架10的長度方向位置上。框架限位機構是由手柄111、通過手柄111操作而上下連動的連杆機構112、一對上下設置的且被設置成與連杆機構112的上下運動連動地水平移動的兩個限位銷113a、113b構成。連杆機構112成天平式結構，以便通過操作手柄111而將兩個限位銷113a、113b交替地插入設置在框架10的長側架12a、12b的長度方向中央部、且起到定位基準點作用的中心孔16a、16b(參見圖2(A))，在這種情況下，兩個銷113a、113b不同時插入中心孔16a、16b。
利用如上所述地構成的框架限位機構並操作手柄111，使下方的限位銷113a插入長側架12a的中心孔16a中(參見圖2(A))。
在此狀態下，利用設置在四個角上的夾持器130a、130b、130c、130d將框架10緊緊地固定在擋架底座103a、103b上。
在圖6中示出了圖5右下部的夾持器130a的放大側視圖。設置在四個角上的夾持器具有基本與圖6的夾持器130a相同的結構。
各夾持器是由裝在前端上的且將短側架11a(或11b)擠壓固定在擋架底座103a(或103b)上的夾爪131，產生固定框架10的力的緊固凸輪132，連接夾爪131和緊固凸輪132、並水平移動夾爪131且使之繞軸轉動的圓棒狀連杆133，被固定在緊固凸輪132上的且使緊固凸輪132的動作和夾爪131的水平運動和轉動進行的手柄134，使連杆133可以水平移動和轉動且抵靠緊固凸輪132、產生夾緊力的凸輪支承臺135構成。凸輪支承臺135在通過與連杆133的軸向平行的長孔調整完緊固凸輪132的緊固力後被擰到擋架底座103a(或103b)上。在夾爪131被製成柱狀(如四角柱)的情況下，它在從其長度方向中心部向一側偏斜的位置上與連杆133相連。
夾持器的操作順序是這樣的。在安裝框架10前，使夾爪131處於比擋架底座103a、103b的抵接面103a』、103b』更回縮的狀態下(圖6的雙點劃線所示的狀態)，此時，從剪斷裝置100的橫側將框架10插入到擋架底座103a、103b和立柱109之間。隨後，使框架10的基準面17抵靠著擋架底座103a、103b的抵接面103a』、103b』，使在上述框架限位機構下方的限位銷113a插入長側架12a的中心孔16a中。接著，用手柄134使連杆133向前滑動後使其轉動，將夾爪131掛在框架10的短側架11a、11b上。隨後，使手柄134向上或向下轉動，直到幾乎垂直的狀態，通過使緊固凸輪132抵靠凸輪支承臺135側面而拉近連杆133，從而通過夾爪131將框架10擠壓固定在擋架底座103a、103b上。
另外，解除緊固的順序是這樣的。手柄134向上或向下轉動，使緊固凸輪132在鬆弛方向上轉動，並繞連杆133的軸轉動，從而解除了利用夾爪131掛在短側架11a、11b上，然後向身體一側拉近，使夾爪131比框架抵接面103a』、103b』更回縮，從而抽出框架。
在利用這樣構成的夾持器的框架10固定方法中，框架固定緊固力通常能保持一定並能防止因操作者不同而引起的框架10的緊固力過大或過小。由此一來，能防止由緊固力的不同而引發的框架10變形，即能防止所謂的反應變的發生。而且，能根據槓桿原理地通過輕微的手柄操作而產生很大的緊固力。另外，在結構簡單的情況下，能迅速固定框架並能解除這種固定。
如果如上所述地把框架10定位在剪斷裝置100上，則能使上、下金屬模105a、105b的圓弧曲線的中心線與框架10的中心線、即圖2所示的蔭罩安裝端面13a、13b的圓弧曲線的中心線C重合。
如果降低連接在壓力機100的立柱109上的上金屬模105b並利用上、下金屬模105a、105b按照預定曲線剪切加工框架10的長側架12a的端部14a，則完成了一方的蔭罩安裝端面13a的曲線加工。通過剪斷加工，能在短到只要幾秒鐘的時間裡完成蔭罩安裝端面的曲線加工。
接著，上下顛倒框架10並進行另一個長側架12b的蔭罩安裝端面13b的曲線加工。框架10的定位方法、順序及加工方法基本上與上述情況相同。但這一次是使框架限位機構上方的限位銷113b插入具有進行了曲線加工的蔭罩安裝端面13a的長側架12a的中心孔16a中。就是說，兩次剪斷加工時的框架限位通常是利用共同的基準點、即成型於同一側的長側架上的中心孔(如在上述例子中的中心孔16a)進行的。這樣一來，即使在框架10被組裝成矩形時在平面內方向上存在一些變形(例如，長側架與短側架未垂直接合，框架10略微偏斜成平行四邊形時)，在進行完一方的蔭罩安裝端面的加工後，上下顛倒框架時，能使已加工的蔭罩安裝端面的圓弧曲線的中心線C(參見圖2(C))與金屬模105a、105b的圓弧曲線的中心線的水平位置保持一致。因此，能使最後所得的兩個蔭罩安裝端面13a、13b的各圓弧曲線的中心線C重合。即，能使兩個圓弧的中心點保持一致。結果，可以製造出保持通過蔭罩安裝端面105a、105b形成的圓筒面的圓筒度的框架。
另外，在框架組裝時根據需要使用如上所述地在長側架13b上設置的中心孔16b、並且在剪斷加工的定位時不使用該中心孔。
儘管在上述說明中舉例描述了長側架的光屏側端部被剪斷加工成曲線形狀的情況，但是本發明不局限於此。本發明也能適用於將長側架端部剪斷成直線狀地製造平面蔭罩的場合。
權利要求
1．一種蔭罩架的製造方法，其特徵在於，通過剪斷加工將構成組裝成大致矩形的框架的相對向兩邊的框架光屏側端部切斷成預定形狀，從而獲得架設蔭罩的蔭罩安裝端面。
2．一種蔭罩架的製造方法，其特徵在於，它包括組裝出大致成矩形的框架的工序；磨削所述框架的底面而形成基準面的工序；通過剪斷加工將構成所述框架的相對向兩邊的側架中與所述基準面相反的側端部切斷成預定形狀，從而獲得架設蔭罩的蔭罩安裝端面。
3．如權利要求2所述的蔭罩架的製造方法，其特徵在於，所述框架底面的磨削工序是這樣進行的，即將所述框架放置在運動的磨削麵上，一邊限制所述框架在所述磨削麵運動方向上的運動，一邊對所述框架的底面進行磨削。
4．如權利要求3所述的蔭罩架的製造方法，其特徵在於，在實際上只由所述框架自重引起的壓力垂直作用在所述磨削麵上的情況下，磨削所述框架的底面。
5．如權利要求2所述的蔭罩架的製造方法，其特徵在於，以所述基準面作為抵接面，固定所述框架，進行所述剪斷加工。
6．如權利要求1或2所述的蔭罩架的製造方法，其特徵在於，在所述框架內設置了一個定位用基準點，在分別剪斷構成所述相對向兩邊的側架的端部時，利用所述基準點進行被剪斷框架的長度方向的定位。
7．一種蔭罩架的磨削裝置，其特徵在於，它具有運動的磨削麵、和當在所述磨削麵上放置框架時防止所述框架在所述磨削麵運動方向上移動的止動件。
8．如權利要求7所述的蔭罩架的磨削裝置，其特徵在於，在與所述磨削麵垂直的方向上實際上只施加由所述框架自重引起的壓力。
9．如權利要求7所述的蔭罩架的磨削裝置，其特徵在於，所述運動的磨削麵是迴轉的磨削帶，所述磨削帶在平板狀底盤上滑動，所述框架被設置成與所述底盤對峙。
10．一種蔭罩架的剪斷裝置，它包括組裝成大致矩形的、並通過剪斷加工而將構成其底面成基準面的框架的相對向兩邊的側架中與所述基準面相對的側端部切斷成預定形狀的金屬模；決定被剪斷框架的長度方向位置的框架限位機構；抵靠所述基準面的框架擋架底座；將所述框架擠壓固定在所述擋架底座上的夾持器。
11．如權利要求10所述的蔭罩架的剪斷裝置，其特徵在於，所述框架限位機構在分別剪斷加工構成所述相對向兩邊的側架時利用設置在所述框架上的共同基準點來決定位置。
全文摘要
在組裝出大致成矩形的框架10後,磨削框架的底面,形成基準面17。隨後,框架的相對向兩邊12a、12b的與基準面相對的側端部經剪斷加工而被切斷成預定曲線形狀。磨削是在將框架裝設在運動的磨削麵上並實際上只施加由框架自重帶來的壓力的情況下進行的。通過這樣的方法,能提高蔭罩架蔭罩安裝端面的曲線加工精度。另外,也能縮短加工時間。
文檔編號H01J9/14GK1287375SQ00126879
公開日2001年3月14日 申請日期2000年9月1日 優先權日1999年9月3日
發明者佐藤憲一, 竹內太造, 奧村耕之助 申請人:松下電子工業株式會社