生產管理系統和生產管理方法
2023-04-27 21:32:16 4
專利名稱：生產管理系統和生產管理方法
技術領域：
本發明涉及例如在對LSI製造工廠的化合物半導體工廠等的再開發、手動工廠中，對使用至少包含離線(off Iine)裝置的一個或多個處理裝置來製造發光二極體(LED)、 半導體雷射器元件等的半導體發光元件等的半導體元件時的生產進行管理的生產管理系統以及使用其的生產管理方法。
背景技術：
在現有的LSI製造工廠等中，在專利文獻I中，具有根據在半導體製造裝置中設定的晶片處理條件，計算出晶片處理所需要的時間的功能；基於相同條件的實際結果值的統計，計算出未以程式(recipe)設定的晶片搬運時間、室(chamber)的處理條件穩定化時間的功能；根據由該2個功能求取的時間，計算出晶片處理的結束預測時刻的功能；在預測時刻由於半導體製造裝置的問題而從最初預測偏離的情況下，校正預測時刻的功能；以與有無校正無關的該結束預測時刻起追溯了半導體製造裝置的用戶指定的一定時間的定時向MES (Manufacturing Execution System :製造執行系統)或MCS通知特別指定的信號的功能，或者通過信號塔的點亮狀態的變化或裝置附帶的蜂鳴器的鳴動來對用戶進行通知的功能。此外，為了對離線裝置進行在線(on line)管理，以往如圖5所示那樣使用如下方法對離線裝置103編入能與進行工序管理的主機裝置101在線的個人計算機102，經由個人計算機102讀取離線裝置103的裝置狀態信息。現有技術文獻專利文獻
專利文獻I :日本特開2009-43950號公報。在上述現有的結構中，為了對離線裝置103編入個人計算機102等的在線設備， 會伴隨裝置的改造，不僅花費開發費用，而且在每個裝置中需要開發的部分多，對離線裝置 103多的生產工序的應用是困難的。在對LSI工廠的化合物半導體工廠的再開發、手動工廠的有效利用時，要求有如下技術以低投資對離線的手動處理進行以在線為標準的管理，實現省人工化、防止操作錯誤。
發明內容
本發明解決了上述現有問題，其目的在於，提供一種在手動搬運/離線裝置存在的生產線中，通過對裝置狀態進行在線管理，以低投資進行面向裝置管理、省人工化的導航功能，從而即使是存在離線裝置的生產線，也能實現利用生產管理系統的偽在線管理的生產管理系統以及使用其的生產管理方法。用於解決課題的單元
本發明的生產管理系統是，在使用至少包含離線裝置的一個或多個處理裝置來製造半導體元件的半導體製造工序中，具有主機裝置，其對該一個或多個處理裝置具有批次的處理流程進展管理功能；以及管理個人計算機，讀取以點亮/非點亮通知對該離線裝置附加的裝置運轉狀況的信號塔信號，向該主機裝置發送該離線裝置的裝置狀態信息，該主機裝置基於該至少包含離線裝置的一個或多個處理裝置的裝置狀態信息，經由對應的該處理裝置的該管理個人計算機，使包含該離線裝置的一個或多個處理裝置的各批次的操作指示信息輸出，由此實現上述目的。此外，優選在本發明的生產管理系統中，在從所述至少包含離線裝置的一個或多個處理裝置中同時檢測出需要操作的信號時，所述主機裝置綜合判斷批次的處理優先順序、操作者當前的地點等的生產條件，經由該至少包含離線裝置的一個或多個處理裝置的各自的管理個人計算機，使操作指示信息輸出。進而，優選在本發明的生產管理系統中，所述主機裝置根據從所述至少包含離線裝置的一個或多個處理裝置中分別讀取的處理開始信號和預先註冊的處理時間來預測處理結束時刻，經由該至少包含離線裝置的一個或多個處理裝置的各自的管理個人計算機， 使操作預約指示信息輸出。進而，優選在本發明的生產管理系統中，所述管理個人計算機向所述主機裝置上載所述裝置狀態信息，基於上載的裝置狀態信息，該主機裝置將批次的操作指示信息下載到與其對應的管理個人計算機中。本發明的生產管理方法是使用了本發明的所述生產管理系統的生產管理方法，其中，讀取以點亮/非點亮通知對所述離線裝置附加的裝置運轉狀況的信號塔信號，管理個人計算機向該主機裝置轉送該離線裝置的裝置狀態信息，該主機裝置基於該離線裝置的裝置狀態信息，經由該管理個人計算機，使該離線裝置的批次的操作指示信息輸出，由此實現上述目的。採用上述結構，以下，說明本發明的作用。在本發明中，具有主機裝置，其對一個或多個處理裝置具有批次的處理流程進展管理功能；以及管理個人計算機，讀取以點亮/非點亮通知對離線裝置附加的裝置運轉狀況的信號塔信號，向主機裝置發送離線裝置的裝置狀態信息，主機裝置基於至少包含離線裝置的一個或多個的處理裝置的裝置狀態信息，經由對應的處理裝置的管理個人計算機， 輸出包含離線裝置的一個或多個處理裝置的各批次的操作指示信息。由此，能讀出離線裝置的信號塔信號(包含警告信號)，從管理個人計算機向進行工序管理的主機裝置發送裝置狀態信息，在主機裝置中也包含離線裝置進行生產管理，即使是存在離線裝置的生產線，也能實現利用生產管理系統的偽在線管理。因此，在低投資、 小規模線/局部的分散線中，能高效可靠地進行和在線控制同等的生產管理。如上所述，根據本發明，由於讀出離線裝置的信號塔信號(包含警告信號)，從管理個人計算機向進行工序管理的主機裝置發送裝置狀態信息，在主機裝置中也包含離線裝置來進行生產管理，所以即使是存在離線裝置的生產線，也能實現利用生產管理系統的偽在線管理，在低投資、小規模線/局部的分散線中，能高效可靠地進行和在線控制同等的生產管理。
圖I是表示本發明的實施方式中的生產管理系統的主要部分結構例以及其動作的框圖。圖2是表示圖I的生產管理系統中的管理個人計算機和主機裝置的軟結構例的框圖。圖3是表示在使用圖I的生產管理系統來進行生產處理的情況下的包含操作者的操作處理的生產管理系統的動作例的流程圖。圖4是圖I的生產管理系統中的作為離線裝置的多個處理裝置、管理個人計算機以及主機裝置的配置圖。圖5是用於說明即使是在現有的生產管理系統中存在離線裝置的生產線也能實現偽在線管理的情況的說明圖。
具體實施例方式以下，針對本發明的生產管理系統以及使用其的生產管理方法的實施方式，一邊參照附圖一邊詳細地進行說明。圖I是表示本發明的實施方式中的生產管理系統的主要部分結構例以及其動作的框圖。在圖I中，本實施方式的生產管理系統I具有各管理個人計算機2，對包含離線裝置的多個處理裝置的各自附加固有的ID ;主機裝置3，能與各管理個人計算機2分別進行信息交換；以及讀卡器4，能從數據卡給予裝置(未圖示)向操作者給予對多個生產工件 (work)(多個生產批次)分別附加固有的ID以及處理信息(流程)的數據卡(RF-ID)，能從該數據卡中讀取每個操作者的生產信息。在數據卡中埋入有被稱為標籤晶片的搭載有存儲器的IC晶片以及天線，在卡表面記載有「將哪個儲存庫(stocker)的哪個生產工件即盒(cassette)(批次(lot))手動搬運到哪個處理裝置並進行操作」以使操作者用眼睛看便知。在數據卡中，以避免在處理裝置中的輸入錯誤的方式將數據註冊在IC晶片內並能通過讀卡器4容易並且可靠地進行讀取、或以條形碼來標記生產條件並能通過條形碼讀碼器容易並且可靠地進行讀取。IC晶片內的註冊數據例如是知曉需要處理的批次是什麼、需要怎樣的處理的數據。作為生產工件的盒(批次)的操作指示信息顯示在管理個人計算機2的顯示畫面上、或通過與管理個人計算機2連接的數據卡給予裝置對數據卡的內容進行重寫並顯示。例如設置在離線裝置等的處理裝置附近的管理個人計算機2與主機裝置3和讀卡器4分別連接。管理個人計算機2向主機裝置3上載每個操作者的生產信息，基於上載的生產信息，主機裝置3將操作指示信息下載到與其對應的管理個人計算機2中。總之，管理個人計算機2是，通過操作者在處理開始/結束時將寫入了生產批次信息(批次ID /流程信息)的操作者的數據卡與讀卡器4接觸或靠近，從而讀取該數據卡的內容，並經由管理個人計算機2向主機裝置3發送。主機裝置3基於該發送的數據卡的內容(生產批次信息)， 把握各批次的處理狀況(進展管理、正常處理的查對)，使管理個人計算機2的顯示畫面顯示配合該批次進展狀況的操作指示、盒(批次)的取出指示、下一工序的處理裝置選定和其搬運指示，並且在主機裝置3的資料庫中自動收集操作歷史。圖2是表示圖I的生產管理系統I中的管理個人計算機2和主機裝置3的軟結構例的框圖。如圖2所示那樣，本實施方式的生產管理系統I中的管理個人計算機2具有作為進行整體的控制的控制部的CPU (中央運算處理裝置)21 ;作為用於對CPU21進行輸入指令的鍵盤、滑鼠、觸摸面板以及筆輸入裝置、進而經由通信網絡(例如網際網路、內聯網)來進行接收輸入的輸入裝置22 ;在顯示畫面上對初始畫面、選擇場面、利用CPU21的控制結果畫面以及操作輸入畫面等進行顯示的顯示部23 ;存儲有控制程序以及其數據等的作為計算機可讀出的可讀記錄介質的R0M24 ;以及作為存儲部的RAM25，其作為在起動時讀出控制程序以及其數據等、對每個利用CPU21的控制讀出數據並進行存儲的工作存儲器而起作用。本實施方式的生產管理系統I中的主機裝置3具有作為進行整體的控制的控制部的CPU (中央運算處理裝置)31 ;除了作為計算機可讀出的可讀記錄介質的ROM以及作為存儲部的RAM之外的、存儲龐大的生產信息的資料庫32，其中上述ROM存儲有控制程序以及其數據等，上述RAM作為在起動時讀出控制程序以及其數據等、對每個利用CPU31的控制讀出數據並進行存儲的工作存儲器而起作用。作為可讀記錄介質的ROM除了硬碟之外，通過自由攜帶的光碟、磁光碟、磁碟以及 IC存儲器等構成也可。該控制程序以及其數據等存儲在ROM中，但該控制程序以及其數據從其他的可讀記錄介質、或者經由無線、有線或網際網路等下載到ROM中也可。管理個人計算機2中的CPU21具有數據輸入單元211，基於控制程序以及其數據，對通過讀卡器4讀取的批次ID和其工序內容進行數據輸入；流程核對單元212，對將數據輸入單元211進行數據輸入了的批次ID和其工序內容作為生產信息是否正確進行流程核對；核對結果顯示控制單元213，使流程核對單元212進行的核對結果以及下一處理內容 (處理程式)顯示在顯示畫面上；程式號碼發放單元214，如果核對結果作為操作指示是正確的話，則發放對應於批次ID的程式號碼；處理結束通知單元215，向主機裝置3通知結束了對該批次ID的處理；處理歷史轉送單元216，在處理歷史寫入後，向主機裝置3轉送該處理裝置的處理歷史數據；以及下一工序內容顯示控制單元217，在顯示畫面上對「盒的取出」 的消息進行顯示控制，並且顯示「入庫儲存庫」或「下一工序的處理裝置」。如果核對結果作為操作指示不正確的話，則核對結果顯示控制單元213在顯示畫面上對「警告」以及其「搬運目的地」進行顯示控制。主機裝置3中的CPU31具有程式註冊單元311，基於控制程序以及其數據，接受管理個人計算機2的對應於批次ID的程式號碼的發放，將對應於程式號碼的程式(工序內容)註冊到資料庫32中；處理開始指示單元312，在利用程式註冊單元311的對應於程式號碼的程式內容(工序內容)的註冊後，對處理裝置經由管理個人計算機2指示「處理開始」; 處理歷史寫入指示單元313，接受處理結束通知，以對該處理裝置的管理個人計算機2寫入該處理裝置的處理歷史數據的方式進行指示；處理歷史註冊單元314，接受來自管理個人計算機2的轉送處理歷史數據，在資料庫32中註冊該處理裝置的處理歷史數據；以及下一工序內容顯示指示單元315，在管理個人計算機2中進行下一工序內容的顯示指示。採用上述結構，針對在操作者使用本實施方式的生產管理系統I來進行生產處理的情況下的一個例子進行說明。圖3是表示在使用圖I的生產管理系統I進行生產處理的情況下的包含操作者的操作處理的生產管理系統I的動作例的流程圖。
首先，如圖3所示那樣，在步驟SI中，由操作者對構成數據卡給予裝置5的儲存庫管理個人計算機51進行操作，選擇「卡輸出信息」。對操作者，指示作為「卡輸出信息」的從哪個儲存庫取出哪個盒(批次)、手動搬運到哪個處理裝置。接下來，在步驟S2中，操作者對儲存庫管理個人計算機51進行操作，從數據卡印表機52中列印輸出數據卡53。接著，在步驟S3中，操作者根據列印輸出的數據卡53的內容，使該被指示的盒(批次)從源儲存庫54中出庫。之後，在步驟S4中，操作者將出庫的盒(批次)手動搬運到規定的處理裝置中。
進而，在步驟S5中，操作者在裝置加載器中設置手動搬運來的盒(批次)，並且通過讀卡器4來讀取數據卡53的內容。即，作為「盒的設置」，操作者在該處理裝置中設置盒(批次)。通過使數據卡與設置在該處理裝置中的讀卡器4接近，從而進行「批次ID /工序讀取」，讀卡器4能無誤地讀取即正確地讀取在該處理裝置中進行處理的批次ID和其工序內容。以上的步驟SI S5是操作者執行由儲存庫管理個人計算機51以及數據卡53指示的事項並且使讀卡器4讀取數據卡53的內容的操作者的操作。接下來，在步驟S6中，在管理個人計算機2中，數據輸入單元211對以讀卡器4讀取的在該處理裝置中進行處理的批次ID和其工序內容進行數據輸入，流程核對單元212進行每個該處理裝置的流程核對，進行「盒驗證、程式查對」，核對結果顯示控制單元213將該核對結果以及下一操作內容顯示在顯示部23中。即，設置在該處理裝置中的管理個人計算機2確認讀卡器4讀取的批次ID以及其工序內容作為操作指示是否正確。如果讀卡器4 讀入的批次ID以及其工序內容(流程)正確的話，則管理個人計算機2在其顯示畫面上對操作者進行受理確認。即，如果該批次ID以及其工序內容正確的話，則作為受理確認，操作者對處理裝置指示處理開始也可，管理個人計算機2的程式號碼發放單元214發放對應於批次ID的程式號碼，在步驟S7中，主機裝置3受理對應於該批次ID的程式號碼，主機裝置3 的程式註冊單元311在資料庫32中註冊盒(批次)以及程式(工序內容)。在步驟S8中，在利用主機裝置3的程式註冊單元311的對應於批次ID的程式號碼的註冊後，處理開始指示單元312對處理裝置自動指示「處理開始」。在步驟S6中，如果作為流程核對單元212核對後的結果是該批次ID以及其工序內容不正確的話(否)，則核對結果顯示控制單元213在該管理個人計算機2的顯示畫面上對「警告」以及其「搬運目的地」進行顯示控制。以上的步驟S6 S8是管理個人計算機2以及主機裝置3進行的動作。接下來，在步驟S9中，在顯示畫面上發出「警告」的情況下，操作者從該處理裝置中取下盒(批次)，將該盒(批次)手動搬運到正規的搬運目的地的處理裝置中。進而，在步驟S8中，根據處理開始指示單元312的「處理開始指示」，處理裝置開始處理，在一定時間後，處理裝置結束該處理。在處理裝置中，在步驟SlO中，管理個人計算機 2的處理結束通知單元215對主機裝置3通知結束了對該盒(批次)的處理，主機裝置3的處理歷史寫入指示單元313接受該處理結束通知，在步驟Sll中，以對該處理裝置的管理個人計算機2寫入處理歷史的數據的方式進行指示，管理個人計算機2的處理歷史轉送單元 216向主機裝置3轉送該處理裝置的處理歷史數據。在主機裝置3中，接受來自管理個人計算機2的處理歷史數據，主機裝置3的處理歷史註冊單元314在資料庫32中註冊該處理裝置的處理歷史數據。進而，在步驟S12中，主機裝置3判斷是否對該盒(批次)結束了處理，如果對該盒 (批次)結束了處理的話(是)，則主機裝置3的下一工序內容顯示指示單元315在步驟S13中向管理個人計算機2進行下一工序內容的顯示指示，管理個人計算機2的下一工序內容顯示控制單元217在其顯示畫面上對「盒的取出」的消息進行顯示控制，並且使管理個人計算機2的顯示畫面顯示「入庫儲存庫」。按照該指示，操作者從裝置加載器中取下該盒(批次) 並搬運到規定指示儲存庫中，使該盒(批次)向規定指示儲存庫入庫。此外，在步驟S12中，如果對該盒(批次)沒有結束處理的話(否)，則主機裝置3的下一工序內容顯示指示單元315在步驟S14中向管理個人計算機2進行下一工序內容的顯示指示，管理個人計算機2的下一工序內容顯示控制單元217在其顯示畫面上顯示「盒的取出」的消息，並且在管理個人計算機2的顯示畫面上顯示「下一工序的處理裝置」。按照該指示，操作者從裝置加載器中取下該盒(批次)並搬運至下一工序的處理裝置中，在步驟S5 中，操作者在裝置加載器中設置該盒(批次)，並且使數據卡靠近讀卡器4，讀卡器4讀取卡信息。以上的步驟SlO S14是管理個人計算機2以及主機裝置3進行的動作。再有，操作者在該處理裝置的處理期間進行其他的工作，如果在管理個人計算機2 的顯示畫面上顯示出「盒的取出」以及「向下一工序的搬運」的指示的話，則從該處理裝置中進行「盒的取出」，向下一工序手動搬運該盒(批次)。總之，在管理個人計算機2中，具有數據輸入工序，數據輸入單元211對通過讀卡器4讀取的批次ID和其工序內容進行數據輸入；流程核對工序，流程核對單元212對將輸入的批次ID和其工序內容作為生產信息是否正確進行流程核對；核對結果顯示控制工序，核對結果顯示控制單元213在顯示畫面上對流程核對單元212進行的核對結果以及下一操作內容進行顯示控制；程式號碼發放工序，如果核對結果作為操作指示是正確的話，程式號碼發放單元214發放對應於批次ID的程式號碼；處理結束通知工序，處理結束通知單元215向主機裝置3通知對批次ID結束了處理裝置的處理；處理歷史轉送工序，在處理裝置的處理歷史寫入後，處理歷史轉送單元216向主機裝置3轉送該處理裝置的處理歷史數據；以及下一工序內容顯示控制工序，下一工序內容顯示控制單元217在顯示畫面上對「盒的取出」的消息進行顯示控制，並且對「入庫儲存庫」或「下一工序的處理裝置」進行顯示控制。在主機裝置3中，具有程式註冊工序，程式註冊單元311接受程式號碼的發放，在資料庫中註冊對應於程式號碼的程式內容；處理開始指示工序，在程式內容的註冊後，處理開始指示單元312對處理裝置指示「處理開始」;處理歷史寫入指示工序，處理歷史寫入指示單元313接受處理結束通知，以對管理個人計算機2寫入處理歷史數據的方式進行指示；處理歷史註冊工序，處理歷史註冊單元314接受來自管理個人計算機2的轉送處理歷史數據， 在資料庫32中註冊處理裝置的處理歷史數據；以及下一工序內容顯示指示工序，下一工序內容顯示指示單元315向管理個人計算機2進行下一工序內容的顯示指示。以上，針對作為主機裝置3和操作者的操作接口的管理個人計算機2以及讀卡器4 進行了說明，接下來，針對即使是作為處理裝置而存在離線裝置的生產線，也可實現利用生產管理系統I的偽在線管理的管理個人計算機2的其他功能，使用圖4詳細地進行說明。採用以上的本實施方式的生產管理系統1，通過作為操作人員的操作者按決定的周期以手動搬運的方式在預先決定的路線中巡迴，從而按照在管理個人計算機3的顯示畫面或數據卡(RF-ID標籤)的操作指示用畫面中顯示的生產信息，即使是未由離線裝置自動接受批次的處理裝置也能可靠地進行正確的操作處理和批次搬運/下一工序處理。由此， 在手動搬運/離線裝置存在的生產線中，進行面向操作管理以及省人工化的導航，能可靠地實現操作的高效化以及操作錯誤的防止。圖4是圖I的生產管理系統中的作為離線裝置的多個處理裝置、管理個人計算機 2以及主機裝置3的配置圖。在圖4中，在離線裝置6中設置有以能確認處理裝置異常(報警)、運轉/非運轉(維護(強制停止)、能處理、處理中、處理結束、處理等待)等的方式進行點亮顯示的信號塔61。 該離線裝置6的信號塔61在作為本來目的的運轉/非運轉等裝置狀態的感測中被廣泛使用。管理個人計算機2讀取包含該裝置狀態信息的信號塔信號/警告信號(以下，僅稱為信號塔信號)，對離線裝置6進行偽在線化，能實時得到離線裝置6的裝置狀態信息。在和該信號塔61連接的信號線62設置有讀取各種信號的解碼裝置63，以管理個人計算機2的能進行在線通信的電子設備來讀取，由此不改造離線裝置6的裝置主體地從管理個人計算機 2向進行工序管理的主機裝置3發送離線裝置6的裝置狀態信息。該生產管理系統I具有主機裝置3，其對至少包含一個或多個離線裝置6的一個或多個處理裝置具有批次的處理流程進展管理功能；以及各管理個人計算機2，讀取以點亮/非點亮通知對離線裝置6附加的裝置運轉狀況的信號塔信號(包含報警信號)，將離線裝置6的裝置狀態信息(異常(報警)、運轉/非運轉狀態信息；裝置是否空閒的信息)向主機裝置3進行發送，主機裝置3基於至少包含離線裝置6的一個或多個處理裝置的各裝置狀態信息(異常(報警)、運轉/非運轉狀態信息；裝置是否空閒的信息)，經由各管理個人計算機2，輸出批次的操作指示信息。在該情況下，在主機裝置3中，在從多個離線裝置6中同時檢測出需要操作的信號時，綜合判斷批次的處理優先順序、操作者當前的地點等，向每個離線裝置6的管理個人計算機2輸出操作指示信息。即，在從至少包含離線裝置6的一個或多個處理裝置中同時檢測出需要操作的信號時，主機裝置3綜合判斷批次的處理優先順序、操作者當前的地點等的生產條件，經由至少包含離線裝置6的一個或多個處理裝置的各自的各管理個人計算機 2使操作指示信息輸出。此外，根據從離線裝置6讀取的信號塔信號中包含的處理開始信號和預先註冊的離線裝置6的處理時間來預測處理結束時刻，向每個離線裝置6的管理個人計算機2輸出操作預約指示。主機裝置3根據從至少包含離線裝置6的一個或多個處理裝置中分別讀取的處理開始信號和預先註冊的處理時間來預測處理結束時刻，經由至少包含離線裝置6的一個或多個處理裝置的各自的各管理個人計算機2使操作預約指示信息輸出。經由了該各管理個人計算機2的批次的操作指示信息在各管理個人計算機2的顯示部23的顯示畫面上以語句、圖案等進行顯示輸出，或在異常(報警)時等通過蜂鳴器等輸出聲音，或可以考慮對操作者的各種的指示輸出。作為使用了該生產管理系統I的生產管理方法，讀取以點亮/非點亮通知對離線裝置6附加的裝置運轉狀況的信號塔信號(包含報警信號)，管理個人計算機2向主機裝置3 轉送離線裝置6的裝置狀態信息，主機裝置3基於離線裝置6的裝置狀態信息，經由管理個人計算機2，輸出離線裝置的批次的操作指示信息。即，在本實施方式的生產管理方法中，讀取以點亮/非點亮通知對離線裝置6附加的裝置運轉狀況的信號塔信號(包含報警信號)， 各管理個人計算機2分別向主機裝置3轉送至少包含離線裝置6的一個或多個處理裝置的裝置狀態信息，主機裝置3基於至少包含離線裝置6的一個或多個處理裝置的裝置狀態信息，經由對應的各管理個人計算機2，輸出至少包含離線裝置6的一個或多個處理裝置的批次的操作指示信息。在該情況下，管理個人計算機2向主機裝置3上載裝置狀態信息，基於上載的裝置狀態信息，主機裝置3將批次的操作指示信息分別下載到與其對應的各管理個人計算機2中。如上所述，根據包含離線裝置6的裝置狀態信息(運轉/非運轉狀態信息)的信號塔信號，實時地把握裝置的運轉/非運轉狀態，由此進行工序管理的主機裝置3，能在每個離線裝置6的管理個人計算機2的顯示畫面上對裝設的生產工件(批次)搬運/處理指示正確地進行顯示指示。此外，即使對於處在無法看見信號塔61的位置的操作者，也能通過對每個離線裝置6的管理個人計算機2的顯示畫面的顯示來可靠地通知處理結束。與此同時地，在產生操作所需要的信號的情況下，進行工序管理的主機裝置3判斷優先順序，通過向每個離線裝置6的管理個人計算機2的顯示畫面的顯示指示，從而能管理操作的優先順序。進而，由於能根據處理開始時刻預測處理結束時刻，所以通過編入向操作者顯現先行 (預定)操作指示等的功能，從而能提高操作者的操作效率(省人工化)。進而，主機裝置3能自動合計離線裝置6的裝置運轉狀況數據，能實時並且正確地進行現有手合計的運轉率管理，能改善線平衡等的工序。如以上那樣，使用本發明的優選的實施方式來對本發明進行了例示，但本發明並不應當被該實施方式所限定地進行解釋。可以理解本發明應當僅通過權利要求書來解釋其範圍。可以理解本領域技術人員根據本發明的具體的優選的實施方式的記載，基於本發明的記載以及技術常識，能實施等價的範圍。可以理解在本說明書中引用的專利、專利申請以及文獻的內容本身與在本說明書中具體記載的內容同樣地，其內容應當作為對本說明書的參考而進行引用。產業上的可利用性
在對LSI製造工廠的化合物半導體工廠等的再開發、手動工廠中，對使用包含離線裝置的一個或多個處理裝置來製造發光二極體(LED)、半導體雷射器元件等半導體發光元件等的半導體元件時的生產進行管理的生產管理系統和生產管理方法的領域中，讀出離線裝置的信號塔信號(包含警告信號)，從管理個人計算機向進行工序管理的主機裝置發送裝置狀態信息，在主機裝置中也包含離線裝置進行生產管理，因此即使是存在離線裝置的生產線，也能實現利用生產管理系統的偽在線管理，在低投資、小規模線/局部的分散線中，能高效可靠地進行和在線控制同等的生產管理。附圖標記的說明 I生產管理系統；
2管理個人計算機；
21,31 CPU (中央運算處理裝置)；22輸入裝置；
23顯示部；
24ROM ；
25RAM ；
32資料庫；
211數據輸入單元；
212流程核對單元；
213核對結果顯示控制單元；
214程式號碼發放單元；
215處理結束通知單元；
216處理歷史轉送單元；
217下一工序內容顯示控制單元； 3主機裝置；
311程式註冊單元；
312處理開始指示單元；
313處理歷史寫入指示單元；
314處理歷史註冊單元；
315下一工序內容顯示指示單元； 4讀卡器；
5數據卡給予裝置；
51儲存庫管理個人計算機；
52數據卡印表機；
53數據卡；
54源儲存庫；
6離線裝置；
61信號塔；
62信號線；
63解碼裝置。
權利要求
1.一種生產管理系統,其中，在使用至少包含離線裝置的一個或多個處理裝置來製造半導體元件的半導體製造工序中，所述生產管理系統具有主機裝置，其對該一個或多個處理裝置具有批次的處理流程進展管理功能；以及管理個人計算機，讀取以點亮/非點亮通知對該離線裝置附加的裝置運轉狀況的信號塔信號，向該主機裝置發送該離線裝置的裝置狀態信息，該主機裝置基於該至少包含離線裝置的一個或多個處理裝置的裝置狀態信息，經由對應的該處理裝置的該管理個人計算機，使包含該離線裝置的一個或多個處理裝置的各批次的操作指示信息輸出。
2.根據權利要求I所述的生產管理系統，其中，在從所述至少包含離線裝置的一個或多個處理裝置中同時檢測出需要操作的信號時， 所述主機裝置綜合判斷批次的處理優先順序、操作者當前的地點等的生產條件，經由該至少包含離線裝置的一個或多個處理裝置的各自的管理個人計算機，使操作指示信息輸出。
3.根據權利要求I所述的生產管理系統，其中，所述主機裝置根據從所述至少包含離線裝置的一個或多個處理裝置中分別讀取的處理開始信號和預先註冊的處理時間來預測處理結束時刻，經由該至少包含離線裝置的一個或多個處理裝置的各自的管理個人計算機，使操作預約指示信息輸出。
4.根據權利要求I所述的生產管理系統，其中，所述管理個人計算機向所述主機裝置上載所述裝置狀態信息，基於上載的裝置狀態信息，該主機裝置將批次的操作指示信息下載到與其對應的管理個人計算機中。
5.一種生產管理方法，使用了權利要求I 4的任一項所述的生產管理系統，其中， 讀取以點亮/非點亮通知對所述離線裝置附加的裝置運轉狀況的信號塔信號，管理個人計算機向該主機裝置轉送該離線裝置的裝置狀態信息，該主機裝置基於該離線裝置的裝置狀態信息，經由該管理個人計算機，使該離線裝置的批次的操作指示信息輸出。
全文摘要
本發明涉及生產管理系統和生產管理方法。在手動搬運／離線裝置存在的生產線中，對裝置狀態進行在線管理，以低投資進行面向裝置管理、省人工化的導航功能，由此即使是存在離線裝置的生產線也能實現利用生產管理系統的偽在線管理。具有主機裝置(3)，具有批次的處理流程進展管理功能；以及管理個人計算機(2)，讀取以點亮通知對離線裝置(6)附加的裝置運轉狀況的信號塔信號，將離線裝置(6)的裝置狀態信息(異常(報警)、運轉/非運轉狀態信息；裝置是否空閒的信息)向主機裝置(3)發送，主機裝置(3)基於離線裝置(6)的裝置狀態信息(異常(報警)、運轉/非運轉狀態信息；裝置是否空閒的信息)，對各管理個人計算機(2)進行離線裝置(6)的批次的操作指示。
文檔編號G06Q10/08GK102592188SQ20111042919
公開日2012年7月18日 申請日期2011年12月20日 優先權日2010年12月20日
發明者南出昌彥 申請人:夏普株式會社