一種法拉第筒的製作方法
2023-04-27 15:28:46 1
專利名稱:一種法拉第筒的製作方法
技術領域:
本實用新型涉及一種加速器設備,尤其是一種法拉第筒。
背景技術:
由於大面積時電位下垂和低能束在表面的反射係數大,而且反射電子能量很大,所以低能大面積電子束的測量不能採用常規的入射光蘭-抑制極光蘭-測量靶的方法進行測量。
實用新型內容本實用新型提供了一種實現低能大面積電子束測量的法拉第筒。實現本實用新型目的的法拉第筒,包括本體,位於本體上方的前柵網,位於前柵網下方的抑制極柵網,位於本體底部的多個小孔深筒。所述小孔深筒長度和本體筒長之比可用導出的公式進行優化設計,使測量誤差最小。本實用新型的法拉第筒的有益效果如下:本實用新型的法拉第筒,前柵網用來屏蔽外場幹擾,抑制極柵網用來抑制二次電子,解決了大面積時電位下垂問題;同時,底部小孔深筒用來抑制反射電子對測量的影響,從而實現低能大面積電子束的測量;根據小孔深筒的小孔的佔空比優化設計所述小孔深筒長度和本體筒長之比,可使測量誤差最小。
圖1為本實用新型的法拉第筒的結構示意圖。
具體實施方式
如圖1所示,本實用新型的法拉第筒,包括本體4,位於本體4上方的前柵網1,位於前柵網I下方的抑制極柵網2,位於本體4底部的多個小孔深筒3。所述小孔深筒長度和本體筒長之比可用公式進行優化設計,使測量誤差最小。本實用新型的法拉第筒的優點如下:本實用新型的法拉第筒,前柵網用來屏蔽外場幹擾,抑制極柵網用來抑制二次電子,底部小孔深筒用來抑制反射電子對測量的影響,從而實現低能大面積電子束的測量。上面所述的實施例僅僅是對本實用新型的優選實施方式進行描述,並非對本實用新型的範圍進行限定,在不脫離本實用新型設計精神前提下,本領域普通工程技術人員對本實用新型技術方案做出的各種變形和改進,均應落入本實用新型的權利要求書確定的保護範圍內。
權利要求1.一種法拉第筒,其特徵在於:包括本體,位於本體上方的前柵網,位於前柵網下方的抑制極柵網,位於本體底部的多個小孔深筒。
專利摘要本實用新型提供了一種實現低能大面積電子束測量的法拉第筒,包括本體,位於本體上方的前柵網,位於前柵網下方的抑制極柵網,位於本體底部的多個小孔深筒。本實用新型的法拉第筒,前柵網用來屏蔽外場幹擾,抑制極柵網用來抑制二次電子,底部小孔深筒用來抑制反射電子對測量的影響,從而實現低能大面積電子束的測量。
文檔編號G01T1/29GK202995047SQ20122058167
公開日2013年6月12日 申請日期2012年11月7日 優先權日2012年11月7日
發明者張華順, 趙濤 申請人:北京高能科迪科技有限公司