玻璃基板承載系統的製作方法
2023-05-17 00:53:01
專利名稱：玻璃基板承載系統的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及顯示器件製造領域，尤其涉及一種用於玻璃基板生產的玻璃基板承載系統。
背景技術：
目前，在顯示器件生產領域，輕、薄、環保等因素已經成為顯示領域的市場需求。因此，玻璃基板採用薄化產品(如0.3T Glass)也就成為顯示器生產行業的ー種必然的趨
勢。在現有技術中，採用O. 3T玻璃基板生產TFT側基板時，如圖I所示，現有玻璃基板承載臺中，4個升降器(Lifter Pin2) 101分別位於基臺100邊緣，通過其手臂的支撐面承載
O.3T玻璃基板102。由於O. 3T玻璃基板比原來O. 5T玻璃基板更薄，其本身形變量較O. 5T玻璃基板要大得多，在4個升降器101的承載作用下，中間嚴重向下彎曲，如圖2所示的模擬形變量結果，最大可達到18. 486mm。因此，在顯示器件生產過程中O. 3T玻璃基板無法正常傳片，O. 3T玻璃基板的破片率甚至高達100%，且由於形變量的影響，採用O. 3T玻璃基板生產TFT側基板時，成膜的均一性也嚴重受到影響，下垂量大的地方膜層厚，下垂量小的地方膜層薄，影響等離子刻蝕(Plasma Etch)和灰化(Ash)等エ藝的效果,使得產品不良率100%。
實用新型內容本實用新型提出ー種玻璃基板承載系統，能將O. 3T玻璃基板的下垂量減少到可接受範圍，使O. 3T玻璃基板在玻璃基板承載系統內部能夠正常的傳片和成膜，並提高O. 3T玻璃基板的成膜均一性。為了達到上述目的，本實用新型提出ー種玻璃基板承載系統，包括並承載玻璃基板的升降器，其特徵在於，所述升降器包括位於水平面上的固定手臂以及連接所述固定手臂並在所述玻璃基板下方的豎直面內圍繞所述固定手臂轉動的轉動手臂。進ー步的，所述固定手臂的底部設有安置槽，所述轉動手臂在初始狀態下折回並置於所述安置槽中。進ー步的，所述固定手臂連接一定子，所述轉動手臂連接ー轉子。進ー步的，所述定子和轉子連接一 PLC控制器。進ー步的，所述轉動手臂連接ー步進電機。進一步的,所述轉動手臂的長度為60mm 140mm。 進ー步的，所述升降器為多個，均勻分布在所述基臺的周圍。進ー步的，所述基臺為矩形，所述升降器為四個，分別位於所述基臺的四角。進ー步的，所述轉動手臂和所述固定手臂上均設有吸附墊。與現有技術相比，本實用新型的玻璃基板承載系統，通過原升降器的手臂基礎上増加ー轉動手臂，使之能夠從O. 3T玻璃基板底部向上轉動並延伸到O. 3T玻璃基板下垂的部分，將O. 3T玻璃基板的下垂量減少到可接受範圍，使O. 3T玻璃基板在玻璃基板承載系統內部能夠正常的傳片和成膜，並提高O. 3T玻璃基板成膜均一性；進ー步的，將轉動手臂摺疊放回固定手臂的安置槽中，節約了升降器佔用空間；同時，利用PLC控制器控制轉動手臂的旋轉，有效地降低升降器和機器人手臂的幹渉。
圖I所不為現有技術的玻璃基板承載系統的俯視圖；圖2所不為現有技術的玻璃基板承載系統中O. 3T玻璃基板下垂量模擬圖；圖3所不為本實用新型具體實施例的玻璃基板承載系統的俯視圖；圖4所示為本實用新型具體實施例的升降器的剖面結構示意圖；圖5A和5B所示為本實用新型具體實施例的定子和轉子與PLC電路連接圖；圖6所示為本實用新型具體實施例的轉動手臂的旋轉邏輯流程圖；圖7所示為本實用新型具體實施例的PLC控制轉動手臂旋轉的狀態邏輯圖；圖8A至圖SC所示為在升降器各個狀態下的玻璃基板承載系統的俯視圖。
具體實施方式
為了更了解本實用新型的技術內容，特舉具體實施例並配合所附圖示說明如下。如圖3所示，本實用新型提出ー種玻璃基板承載系統，包括一基臺200和位於所述基臺200周圍並承載玻璃基板202的的升降器201，其中，所述升降器201為多個，均勻分布在所述基臺200的周圍，每個升降器201包括固定手臂201a和連接所述固定手臂201a並圍繞所述固定手臂201a轉動的轉動手臂201b，玻璃基板202可以被多個固定手臂201a構成水平面(即支撐面)的或者多個固定手臂201a以及轉動到合適位置的轉動手臂201b構成的支撐面承載。本實施例中，所述基臺200為矩形，為730mm*920mm*0. 3mm，升降器201為四個，位於所述基臺200的四角，呈對稱分布，固定手臂201a的始端離基臺200邊緣的距離分別為15mm、169mm,末端離基臺兩中線的距離分別為258mm, 265mm,轉動手臂201b的長度為60mm 140mmo請參考圖4，本實施例中，升降器201的固定手臂201a和轉動手臂201b上均設有吸附墊201c，用於吸附玻璃基板202，升降器201的固定手臂201a的底部設有安置槽，四個升降器201的固定手臂201a所在的平面為平行於基臺200的水平面，轉動手臂201b可以在玻璃基板下方且垂直於固定手臂201a所在的水平面的豎直面內，由下往上轉動，通過其切面以及固定手臂201a —起承載並吸附玻璃基板200，，轉動手臂201b垂直玻璃基板，20底部轉入，以支撐玻璃基板200，不會造成玻璃基板200的損壞。本實施例中同時定義了轉動手臂201b的三個狀態初始狀態P10，所述轉動手臂201b折回並置於所述安置槽中；中間狀態P11，所述轉動手臂20 Ib離開所述安置槽且未與固定手臂20 Ia在同一直線上；最長狀態P12，所述轉動手臂201b離開所述安置槽且與固定手臂201a在同一直線上。[0030]請參考圖5A和圖5B，本實施例中，所述固定手臂201a連接一定子204，所述轉動手臂201b連接ー轉子205，定子204和轉子205連接ー PLC控制器206，所述轉動手臂201b還連接一步進電機(圖中未示出)，轉動手臂201b在PLC控制器206和步進電機的控制下，在Pll狀態下按一定角度或相位步進旋轉。需要說明的是，為了配合轉動手臂201b在Pll狀態下對玻璃基板200的支撐和吸附，轉動手臂201b上的吸附墊201c可以設置於轉動手臂201b按照角度或相位步進時的切點，也可以設置於轉動手臂201b沿固定手臂所在直線伸展開的整個支撐面上，還可以僅設置與轉動手臂201b遠離固定手臂201a的一端的端部。請參考圖6，PLC控制器206對升降器的自動控制流程圖，開始後先初始化參數，然後讀取I、II、III三個開關的狀態，判斷轉子205旋轉的方向，OK後則設定旋轉方向信號，再進行旋轉速度開關信號判定，OK後設定速度常量，設定旋轉延吋，設置輸出地址，設定相位，存儲相位，相位輸出。若不符合需求，則返回讀開關狀態，進行重新設定。圖7是本實施例中的轉動手臂201b的狀態邏輯值設定表，P12邏輯值為「0」，標示轉動手臂201b順時針旋轉(即圖7中正轉)；P12邏輯值為「1」，標示轉動手臂201b逆時針旋轉(即圖7中反轉)。在圖6和圖7所示的PLC控制器206對升降器201的自動控制下，升降器201實現對O. 3T玻璃基板的承載以及下垂量的減少，具體的包括請參考圖8A所示，開始時，所述轉動手臂201b處於初始狀態P10，折回井置於所述
安置槽中；請參考圖4、圖5A和圖SB所示，當1、11兩開關閉合，III開關開路時，機器人手臂203伸進，接觸並吸附玻璃基板202，升降器201的轉動手臂201b由PlO狀態位置(即摺疊於固定手臂201a的安置槽中)開始順時針旋轉，當旋轉至和玻璃基板202下垂弧線相切位置時暫停(即轉動手臂201b在Pll狀態下按一定角度步進到一特定位置)，此時機器人手臂203鬆開玻璃基板並退出，整張玻璃基板202平放在升降器201固定手臂201a和轉動手臂201b的支撐面上；請參考圖4、圖5A和圖SC所示，緊接著升降器201的轉動手臂201b由Pll位置(即和玻璃基板下垂弧線相切位置)順時針旋轉至P12位置(即與固定手臂201a在同一直線上)，並鎖定；然後，請參考圖4和圖5B圖SB，當II開關閉合，I、III開關開路時，升降器201的轉動手臂201b由P12位置開始逆時針旋轉，當旋轉至所述和玻璃基板202下垂弧線相切位置時暫停(如圖8B所示)，此時機器人手臂203伸進，和玻璃基板202接觸並吸附玻璃基板，緊接著升降器201的轉動手臂201b由Pll位置逆時針旋轉至PlO位置，並鎖定。綜上所述，本實用新型的玻璃基板承載系統，通過原升降器的手臂基礎上増加一轉動手臂，使之能夠從O. 3T玻璃基板底部向上轉動並延伸到O. 3T玻璃基板下垂的部分，將
O.3T玻璃基板下垂量的減少到可接受範圍，使O. 3T玻璃基板在玻璃基板承載系統內部能夠正常的傳片和成膜，並提高O. 3T玻璃基板成膜均一性；進ー步的，將轉動手臂摺疊放回固定手臂的安置槽中，節約了升降器佔用空間；同時利用PLC控制器控制轉動手臂的旋轉，有效地降低升降器和機器人手臂的幹渉。雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本實用新型，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和範圍內，當可作些許的更 動與潤飾，因此本實用新型的保護範圍當視權利要求書所界定者為準。
權利要求1.ー種玻璃基板承載系統，包括一基臺和位於所述基臺周圍並承載玻璃基板的升降器，其特徵在於，所述升降器包括位於水平面上的固定手臂以及連接所述固定手臂並在所述玻璃基板下方的豎直面內圍繞所述固定手臂轉動的轉動手臂。
2.根據權利要求I所述的玻璃基板承載系統，其特徵在於，所述固定手臂的底部設有安置槽，所述轉動手臂在初始狀態下折回井置於所述安置槽中。
3.根據權利要求I所述的玻璃基板承載系統，其特徵在於，所述固定手臂連接一定子，所述轉動手臂連接ー轉子。
4.根據權利要求3所述的玻璃基板承載系統，其特徵在於，所述定子和轉子連接一PLC控制器。
5.根據權利要求I所述的玻璃基板承載系統，其特徵在於，所述轉動手臂連接ー步進電機。
6.根據權利要求I所述的玻璃基板承載系統，其特徵在於，所述轉動手臂的長度為60mm 140mmo
7.根據權利要求I所述的玻璃基板承載系統，其特徵在於，所述升降器為多個，均勻分布在所述基臺的周圍。
8.根據權利要求7所述的玻璃基板承載系統，其特徵在於，所述基臺為矩形，所述升降器為四個，分別位於所述基臺的四角。
9.根據權利要求I所述的玻璃基板承載系統，其特徵在於，所述轉動手臂和所述固定手臂上均設有吸附墊。
專利摘要本實用新型提供一種玻璃基板承載系統，通過原升降器的手臂基礎上增加一轉動手臂，使之能夠從0.3T玻璃基板底部向上轉動並延伸到0.3T玻璃基板下垂的部分，將0.3T玻璃基板下垂量的減少到可接受範圍，使0.3T玻璃基板在玻璃基板承載系統內部能夠正常的傳片和成膜，並提高0.3T玻璃基板成膜均一性；進一步的，將轉動手臂摺疊放回固定手臂的安置槽中，節約了升降器佔用空間；同時利用PLC控制器控制轉動手臂的旋轉，有效地降低升降器和機器人手臂的幹涉。
文檔編號H01L21/683GK202473884SQ201120564469
公開日2012年10月3日 申請日期2011年12月29日 優先權日2011年12月29日
發明者侯東全, 吳勃, 扈映茹, 曾國波 申請人:成都天馬微電子有限公司