一種除去氧硫化碳中水分的設備的製作方法

2023-05-24 14:43:06 1

專利名稱：一種除去氧硫化碳中水分的設備的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於一種提純氣體的設備，具體涉及一種除去氧硫化碳中水分的乾燥設備。
背景技術：
氧硫化碳(COS)又名羰基硫或羰醯硫。它是合成硫代氨基甲酸酯類農藥和殺蟲劑的重要原料，是一種重要的醫藥中間體和糧食燻蒸劑。近年來，氧硫化碳被發現在集成電路刻蝕工藝中有特殊的功效，世界上最領先的集成電路製造商已建立了以氧硫化碳為原料的晶片刻蝕生產線，並且該工藝有向所有集成電路製造商擴散的趨勢。目前，除去氧硫化碳中水分的方法有多種，主要有低溫冷凍法和乾燥吸附法。低溫冷凍法是在低溫條件下，將氧硫化碳中大量飽和的水分除去。乾燥吸附法是氧硫化碳以一定的流速通過特定的乾燥吸附劑，達到除去氧硫化碳中痕量水分的目的。除去氧硫化碳中水分的方法不同，乾燥設備的結構形式也不同。現有乾燥吸附技術的設備結構複雜，操作困難，乾燥效果不易控制和監測。
發明內容本實用新型為了克服現有技術存在的缺點，其目的在於提供一種除去氧硫化碳中水分的設備。本實用新型的技術方案是一種除去氧硫化碳中水分的設備，包括筒體，筒體的頂部開口、並通過上法蘭與頂蓋密封連接，筒體的底部開口、並通過下法蘭與底蓋密封連接。在筒體內部的上端設置有上篩板，在筒體內部的下端設置有下篩板，在筒體外壁的上部設置有氧硫化碳出口和加料口，在筒體外壁的下部設置有氧硫化碳入口和卸料口。 在頂蓋上分別設置氮氣口和抽氣口，在底蓋上設置有放氣口，在筒體的外壁周圍設置有加熱裝置。 在所述的氧硫化碳入口上設置有流量測量口。在所述的在氧硫化碳出口上設置有水分在線監測口。所述的上篩板和下篩板上形成多個小孔，多個小孔規則排列，或者非規則排列。所述的上篩板和下篩板上的小孔直徑要小於筒體內部裝填乾燥劑的直徑。本實用新型具有乾燥程度高，設備結構簡單，操作方便，乾燥效果易於控制和監測，設備使用壽命長等優點。

圖1是本實用新型的除去氧硫化碳中水分的設備剖面圖。其中[0018]1頂蓋2 氮氣ロ3抽氣ロ4測溫裝置5上法蘭6上篩板7加熱裝置8支座9下篩板10支架11流量監測ロ12氧硫化碳入口13下法蘭14底蓋15放氣ロ16卸料ロ17加料ロ18氧硫化碳出口19水分在線監測ロ 20筒體。
具體實施方式
下面，參照附圖和實施例對本實用新型的除去氧硫化碳中水分的設備進行詳細說 明如圖1所示，ー種除去氧硫化碳中水分的設備，包括筒體20，頂蓋1，底蓋14，上篩 板6和下篩板9。筒體20的頂部開ロ、並通過上法蘭5與頂蓋1密封連接，筒體20的底部 開ロ、並通過下法蘭13與底蓋14密封連接。在筒體20內部的上端設置有上篩板6，在筒體20內部的下端設置有下篩板9。上 篩板6和下篩板9上形成多個小孔，多個小孔可以規則排列，如正三角形，也可以非規則排 列。在下篩板9的上方放置乾燥劑，小孔的直徑要小於筒體內部裝填乾燥劑的直徑。上篩 板6焊於筒體20內壁，下篩板9由支架10支撐，支架10由三根以上的立柱組成。在筒體20外壁的上部設置有氧硫化碳出ロ 18和加料ロ 17，在氧硫化碳出ロ 18上 設置有水分在線監測ロ 19。在筒體20外壁的下部設置有氧硫化碳入口 12和卸料ロ 16，在 氧硫化碳入口 12上設置有流量測量ロ 11。在筒體20的頂蓋1上分別設置氮氣ロ 2和抽氣 ロ 3，筒體20的底蓋14設置放氣ロ 15。在筒體20的外壁周圍設置有加熱裝置7，通過加熱 裝置7可以對筒體20內部的乾燥劑進行加熱，加熱裝置7可以選擇電加熱器。通過抽氣ロ 3可以對筒體20抽空。測溫裝置4通過頂蓋1插入到筒體20的下部。設備採用不鏽鋼材質，有強的耐腐蝕性能。整個設備由支座8安裝固定。本實用新型的工作過程如下首先，通過氮氣ロ 2向筒體20內通入氮氣，對其內腔進行吹洗，然後通過加料ロ 17 向筒體20內加入一定量的乾燥劑，加熱並抽空筒體20，對筒體20內乾燥劑進行預處理。處 理完畢，開啟氧硫化碳入口 12，通過流量測量ロ 11使含有水分的氧硫化碳氣體以一定的流 量通過筒體20。氧硫化碳氣體中的水分被乾燥劑吸收。然後通過水分在線監測ロ 19檢測氧硫化碳中的水分含量。通過實驗，經過乾燥後 的氧硫化碳中的水分含量在15 23ppm範圍內。本實用新型具有乾燥程度高，設備結構簡單、操作方便、乾燥效果易於控制和監 測，設備使用壽命長等優點。
權利要求1.一種除去氧硫化碳中水分的設備，包括筒體(20)，筒體(20)的頂部開口、並通過上法蘭(5 )與頂蓋(1)密封連接，筒體(20 )的底部開口、並通過下法蘭(13 )與底蓋(14 )密封連接，其特徵在於在筒體(20)內部的上端設置有上篩板(6)，在筒體(20)內部的下端設置有下篩板(9)，在筒體(20)外壁的上部設置有氧硫化碳出口(18)和加料口(17)，在筒體 (20)外壁的下部設置有氧硫化碳入口(12)和卸料口(16)，在頂蓋(1)上分別設置氮氣口 (2)和抽氣口(3)，在底蓋(14)上設置有放氣口(15)，在筒體(20)的外壁周圍設置有加熱裝置(7)。
2.根據權利要求1所述的除去氧硫化碳中水分的設備，其特徵在於在所述的氧硫化碳入口( 12)上設置有流量測量口( 11)。
3.根據權利要求1所述的除去氧硫化碳中水分的設備，其特徵在於在所述的在氧硫化碳出口(18)上設置有水分在線監測口(19)。
4.根據權利要求1所述的除去氧硫化碳中水分的設備，其特徵在於所述的上篩板(6) 和下篩板(9)上形成多個小孔，多個小孔規則排列，或者非規則排列。
5.根據權利要求4所述的除去氧硫化碳中水分的設備，其特徵在於所述的上篩板(6) 和下篩板(9)上的小孔直徑要小於筒體(20)內部裝填乾燥劑的直徑。
專利摘要本實用新型公開了一種除去氧硫化碳中水分的設備，包括筒體，筒體的頂部開口、並通過上法蘭與頂蓋密封連接，筒體的底部開口、並通過下法蘭與底蓋密封連接。在筒體內部的上端設置有上篩板，在筒體內部的下端設置有下篩板，在筒體外壁的上部設置有氧硫化碳出口和加料口，在筒體外壁的下部設置有氧硫化碳入口和卸料口。在頂蓋上分別設置氮氣口和抽氣口，在底蓋上設置有放氣口，在筒體的外壁周圍設置有加熱裝置。本實用新型具有乾燥程度高，設備結構簡單，操作方便，乾燥效果易於控制和監測，設備使用壽命長等優點。
文檔編號B01D53/26GK202263510SQ20112037302
公開日2012年6月6日 申請日期2011年10月8日 優先權日2011年10月8日
發明者侯姝, 張春芳, 李於教, 趙娜, 陳光華 申請人:核工業理化工程研究院華核新技術開發公司