用於切片工廠的模塊化切片概念的製作方法

2023-05-24 22:33:36 3

專利名稱：用於切片工廠的模塊化切片概念的製作方法
技術領域：
本發明的實施例涉及線鋸設備、線鋸集群、具有兩個或多個線鋸集群的工廠(plant)以及用於操作線鋸設備和/或集群的方法。更具體而言，它們涉及具有改善的鋸絲操縱(wire management)特性以及規模擴大特性的線鋸設備，以及用於切割或鋸切諸如矽或石英塊體等的堅硬材料的、例如用於切割矽晶圓、用於木方鋸、用於收割機等的線鋸集群。
背景技術：
線鋸設備存在來用於從諸如矽等的一塊堅硬材料上切割塊狀體或磚狀體、薄片例如半導體晶圓等。在這樣的設備中，拉伸的鋸絲從線軸進給，並且由用於在切割區域中引導鋸絲的輪來引導和張緊。用於鋸切的鋸絲一般設置有研磨材料。作為一種選擇，研磨材料可作為料漿提供。這可以在鋸絲接觸要被切割的材料之前不久來完成。因此，研磨劑被鋸絲帶到切割位置用於切割材料。作為另一種選擇，研磨劑可利用塗覆而設置在鋸絲上。例如，金剛石顆粒可例如通過塗覆設置在金屬鋸絲上，其中金剛石顆粒嵌入在鋸絲的塗層中。從而，研磨劑與鋸絲穩固地地連接。一般地，線鋸設備的生產量已經在先進的水平上。然而，期望進一步提高、特別是期望對於光伏(PV)應用具有高吞吐量的高生產量。因此，必須考慮張緊用於鋸切PV晶圓等的鋸絲並且使鋸絲以非常高的速度移動。鋸絲經由提供鋸絲操縱和/或鋸絲張緊的一個或多個帶輪、從線軸進給到線軸。帶輪例如能夠改變鋸絲的方向。然而，改變鋸絲的方向也可導致鋸絲的扭曲。此外，帶輪數目的增加例如在其中帶輪的慣性可能阻礙帶輪的立即停止的緊急停止期間，可導致鋸絲斷裂的可能性增加。對於兆千瓦工廠的切片PV容量的需求、以及降低PV模塊的美元/瓦的值的持續期望，需要提高製造能力。通過提供用於切片PV晶圓的多個線鋸設備，過去已經實現了製造大量晶圓的工廠。然而，除非通過工藝改進或通過線鋸設備的改進來實現一個線鋸設備的產量的增大，否則該策略不能得到足夠的提高。現在多鋸絲料漿線鋸是標準的並且是用於PV應用的晶圓製造的最具生產力的工具。其通常被設計為獨立的工具。該工具具有五個主要功能組:切頭、料漿操縱、鋸絲操縱、冷卻組以及電器櫃/控制單元。需要進行範式的改變以實現用於製造PV晶圓的以工廠的
高吞吐量的期望的產量。

發明內容
鑑於上述內容，提供了根據獨立權利要求1的用於鋸切堅硬材料的多個切片的線鋸設備、根據獨立權利要求10的用於鋸切堅硬材料的多個切片的鋸集群、根據獨立權利要求14的用於鋸切堅硬材料的多個切片的鋸切工廠以及根據獨立權利要求15的操作具有至少兩個線鋸設備和至少兩個維護保養位置的線鋸集群的方法。根據從屬權利要求、說明書和附圖，本發明的其他方法、優勢和特徵將變得明顯。根據一個實施例，提供了一種用於鋸切工件的多個切片的線鋸設備。線鋸設備包括:鋸絲導向組件，其具有用於引導鋸絲以形成具有至少一個工作區域的至少一個鋸絲網的至少兩個鋸絲導向輪，其中至少兩個鋸絲導向輪各個具有旋轉軸線；第一室，其容納所述鋸絲導向組件；第二室，其容納用於提供新鋸絲的線軸，其中第二室被設置為與第一室的第一側面相鄰；以及第三室，其容納用於卷取使用過的鋸絲的另一個線軸，其中第三室被設置為與第一室的第二側面相鄰，其中第二側面基本上與第一側面相對。根據另一個實施例，提供了一種用於鋸切工件的多個切片的線鋸設備。線鋸設備包括:鋸絲導向組件，其具有用於引導鋸絲以形成具有至少一個工作區域的至少一個鋸絲網的至少兩個鋸絲導向輪，其中至少兩個鋸絲導向輪具有旋轉軸線；第一室，其容納鋸絲導向組件並且具有室的第一側部，第一側部基本平行於旋轉軸線，其中第一室還包括室的第二側部，第二側部與第一側部相對並且基本平行於旋轉軸線；第二室，其容納用於提供新鋸絲的線軸，其中第二室被設置為與第一側部相鄰；以及第三室，其容納用於卷取使用過的鋸絲的另一個線軸，其中第三室被設置為與第二側部相鄰。根據另個實施例，提供了一種用於鋸切工件的多個切片的線鋸設備。線鋸設備包括:鋸絲導向組件，其具有用於引導鋸絲以形成具有至少一個工作區域的至少一個鋸絲網的至少兩個鋸絲導向輪，其中至少兩個鋸絲導向輪具有旋轉軸線；第一室，其容納鋸絲導向組件並且具有室的第一側部，第一側部基本平行於旋轉軸線，其中第一室還包括室的第二側部，第二側部與第一側部相對並且基本平行於旋轉軸線；第二室，其容納用於提供新鋸絲的線軸，其中第二室被設置為與第一側部相鄰，其中線軸和另一個線軸中的至少一者具有基本平行於至少兩個鋸絲導向輪的旋轉軸線的線軸旋轉軸線。根據另一個實施例，提供了一種用於鋸切工件的多個切片的線鋸集群。線鋸集群包括第一線鋸設備和至少第二線鋸設備。第一線鋸設備和至少第二線鋸設備各個包括:鋸絲導向組件，其具有用於引導鋸絲以形成具有至少一個工作區域的至少一個鋸絲網的至少兩個鋸絲導向輪，其中至少兩個鋸絲導向輪具有旋轉軸線；第一室，其容納鋸絲導向組件並且具有室的第一側部，第一側部基本平行於旋轉軸線，其中第一室還包括室的第二側部，第二側部與第一側部相對並且基本平行於旋轉軸線；第二室，其容納用於提供新鋸絲的線軸，其中第二室與第一側部相鄰，其中線軸和另一個線軸中的至少一者具有基本平行於至少兩個鋸絲導向輪的旋轉軸線的線軸旋轉軸線。根據又一實施例，提供了一種線鋸工廠。線鋸工廠包括工廠的第一層次、設置在工廠的第一層次上方的工廠的第二層次、設置在工廠的第二層次上方的工廠的第三層次，以及根據權利要求8至11中的任一項的至少一個線鋸集群。其中至少一個線鋸集群設置在工廠的第二層次或第三層次上，通常設置在工廠的第二層次上。根據又一實施例，提供了一種操作具有至少兩個線鋸設備和至少兩個維護保養位置的線鋸集群的方法。該方法包括以下步驟:將新鋸絲從至少兩個維護保養位置中的第一維護保養位置裝載在至少兩個線鋸設備的第一線鋸設備中；以及將新鋸絲從至少兩個維護保養位置中的第一維護保養位置裝載在至少兩個線鋸設備中的第二線鋸設備中。實施例還針對用於實現所公開的方法的裝置，並且包括用於執行各個所述方法步驟裝置部件。這些方法步驟可以硬體組件、通過適當的軟體編程的計算機、兩者的任意組合的方式或以任何其他方式來執行。此外，根據本發明的實施例還針對所述裝置的運行方法。其包括用於實現裝置的每個功能的方法步驟。


為了能夠詳細理解本發明的上述特徵的方式，可參考實施例更具體地描述上面簡要概述的發明。附圖涉及本發明的實施例並且描述如下:圖1A和IB示出了具有重新布局的功能組的圖示了這裡所述的實施例的線鋸設備的俯視圖和側視圖；圖2A和2B示出了圖示了這裡所述的實施例並且具有被包括的鋸絲跟蹤和鋸絲張緊組件的線鋸設備的俯視圖和側視圖；圖3示出了圖示了這裡所述的實施例並且具有功能組的另一個重新布局的又一線鋸設備；圖4示出了圖示了這裡所述的實施例並且具有另一個鋸絲操縱系統的另一個線鋸設備的一部分；圖5示出了圖示了這裡所述的實施例的線鋸設備；圖6示出了根據這裡所述的實施例所描述的切片工廠的示圖；圖7示出了根據這裡所述的實施例並且圖示了料漿分配系統的線鋸設備或線鋸集群的一部分；以及圖8示出了圖示操作根據這裡所述的實施例線鋸集群的方法的流程圖。
具體實施例方式現在將具體地提及本發明的各種實施例，其一個或多個示例在圖中示出。在下面的

中，相同的附圖標記指的是相同的組件。一般地，僅描述相對於各個的實施例的差別。各個示例以本發明的說明的方式提供，並且不意味著作為本發明的限制。此外，作為一個實施例的一部分圖示或說明的特徵可用在其他實施例上或與其他實施例結合使用，以產生另外的實施例。本說明書意圖包括這樣的修改和變體。圖1A和圖1B示出了線鋸設備100的俯視圖和側視圖。線鋸設備100包括用於不同功能組的室(compartment)。作為這裡所述的實施例的一部分提供的室僅在圖1中示出。線鋸設備100包括用於容納鋸絲導向組件的第一室102。鋸絲導向組件包括至少兩個導向輪。通常，如圖1B所示，鋸絲導向組件可包括四個鋸絲導向輪122。鋸絲導向輪122形成鋸絲網24從而提供了一個或多個工作區域22。工件10在工作區域22中被切分成晶圓。如圖1A所示，鋸絲20從第二室104供給到室102中。第二室104容納用於向工作區域22提供新鋸絲的線軸112。形成鋸絲網24的鋸絲導向輪122由電動機150驅動，電動機150被設置在另一個室108中。因此，鋸絲導向輪繞它們各自的旋轉軸線旋轉。根據典型的實施例，鋸絲導向輪形成有溝槽，使得鋸絲在第一溝槽處且在第一方向上進入鋸絲導向組件。鋸絲隨後被從鋸絲導向輪的一個溝槽引導至下一個溝槽，從而通過多個基本平行的鋸絲形成鋸絲網。從而，工件10可被切分成晶圓。根據這裡所述的實施例，室102具有側面或具有側部102a，其基本平行於鋸絲導向輪122的旋轉軸線。第二室104設置在側部102a處或者鄰近第一室、Btt連側部102a，其中新鋸絲從第二室104被引導至第一室102中。通常，對於矩形室，一個側面可基本平行於導向輪的旋轉軸線。對於其他形狀的室102，對於其他形狀的室102，室102的至少一部分可基本平行於導向輪的旋轉軸線，其中室的側面102a平行於旋轉軸線。如這裡所述，線軸112的旋轉軸線也基本平行於鋸絲導向輪122的旋轉軸線。因此，功能組被重新布置為使得，鋸絲20能夠被儘可能直接地導向工作區域。因此，可利用直線鋸絲路徑相對於鋸絲張緊、鋸絲跟蹤、或例如用於減小振動的其他鋸絲操縱單元的一些偏差。相對於圖2A，這可以在圖4中更好地理解。根據能夠與這裡所述的其他實施例組合的又一實施例，功能組的重新布置能夠額外地或替換地通過這樣的事實來描述，即，線軸的軸線或多個線軸的軸線到下一個鋸絲導向輪的軸線(例如，鋸絲導向輪的軸線中最近的一者)的距離可以大於等於網的尺寸的I倍、是網的尺寸的至少2倍、或者甚至是網的尺寸的4倍。因此，通常網的尺寸可限定為兩個鋸絲導向輪之間(即，鋸絲接觸導向輪的兩個相鄰點之間)沿鋸絲的距離。鋸絲通常從第一室102中導出，並且被供給經過例如帶輪160、到達線軸114上。線軸114設置來用於卷取使用過的鋸絲。根據能夠與這裡所述的其他實施例組合的典型實施例，線軸112和114具有邊緣部分115和中間部分116。通常，中間部分116可以是圓柱形或圓錐形，並且鋸絲從中間部分116供給或被供給到中間部分116上。根據能夠與這裡所述的其他實施例組合的又一實施例，線軸114可以設置在另一個、例如第三室106中。第三室設置為鄰近室102的側部102b，其中側部102b與側部102a相對。因此，可提供室102、104和106的T形或Z形布局。根據能夠與這裡所述的其他實施例組合的某些實施例，線鋸設備還可包括一個或多個料漿噴嘴182。料漿噴嘴182將料漿和/或冷卻流體提供到工作區域22中的鋸絲上，使所提供的料漿和/或冷卻流體用於工件10的切割。如圖1A所示，第一室102、第二室104和第三室106以T形布局設置。或者，如圖3所示，第一室、第二室和第三室以Z形布局設置。這些布局形成本發明的實施例，並且能夠與這裡所述的其他實施例組合。這些布局允許在線鋸設備中功能組的重新布置。因此，用於提供新的或新鮮的鋸絲的鋸絲操縱以及用於卷取使用過的鋸絲的鋸絲操縱被分別相對於工作區域或切頭重新布置。如下面將詳細描述的，這使得線鋸設備改善，並且提供了用於線鋸設備的設計以及以集群和製造車間整合線鋸設備的選項的在程序範例方面的變化。從而，可提供改善的鋸絲導向特性、協同效果、車間設計的簡化以及改進的可操作性。如這裡所述，鋸絲操縱單元將被理解為處理到線鋸設備(例如，晶圓線鋸設備)的切割區域或工作區域的鋸絲的供給、以及從線鋸設備的切割區域或工作區域的鋸絲的供給的設備。通常，線鋸包括用於在鋸絲移動方向上輸送和引導鋸絲的至少兩個導向輪，然而鋸絲操縱單元提供鋸絲張力的控制。此外，由鋸絲操縱單元提供的鋸絲在切割區域中形成鋸絲網。通常，鋸絲網的一部分將被認為是由單個鋸絲操縱單元形成的網。根據某些實施例，可設置多於一條鋸絲，使得整個鋸絲網由鋸絲網的多於一個的部分形成。應該理解，鋸絲網可包含多於一個的工作區域部分，其中工作區域部分限定為在其中執行鋸切過程的區域。因此，根據這裡所述的某些實施例，鋸絲網可具有各個由來自不同的鋸絲操縱單元的鋸絲形成的多個區域。此外，圖1B所示的示示了上部工作區域22和下部工作區域22。在各個工作區域22中可切割工件10或多於一個的工件。對於現代的線鋸設備例如晶圓鋸切設備等，期望以較高的速度切割諸如半導體材料(例如矽、石英等)等的堅硬材料。鋸絲速度，即鋸絲分別移動通過線鋸設備、鋸絲操縱單元以及要被鋸切的材料的速度，可以是例如lOm/s或者更高。通常，鋸絲速度可以在8至20m/s的範圍內。然而，25m/s或30m/s、或者甚至是大於等於40m/s的更高的鋸絲速度也是期望的，並且可以在一定條件下實現。為了以期望的鋸絲速度展開和卷繞鋸絲，線軸以高達幾千轉每分鐘的旋轉速度轉動。例如，對於展開和卷繞鋸絲，可設置1000至2000rpm。在以線鋸方式的切割過程期間，機器從線軸112展開新鋸絲20。在鋸絲20從線軸112的展開期間，鋸絲離開鋸絲承載區域中間部分116處的位置沿線軸的軸線移動，SP，在平行於軸線的方向上移動。隨著線軸退繞，鋸絲交替地從線軸的一側移動到另一側(從凸緣到凸緣)。如上所述，為了以期望的鋸絲速度展開鋸絲，線軸以高達幾千轉每分鐘的轉速轉動。例如，1000至2000rpm可被設置來用於展開鋸絲。因此，鋸絲20離開線軸112處的不同位置也以相當大的速度變化，並且鋸絲被導向切割區域的角度也相應地變化。在線軸處的鋸絲與隨後的固定鋸絲位置之間的角度從而周期性地變化。該變化在鋸絲中產生振動以及影響摩擦的與隨後的帶輪的接觸角度的變化。這些變化對過程是有害的，這是因為，它們由於例如隨著鋸絲適應振幅以及在例如隨後的帶輪的溝槽上的上下運動的、鋸絲內的張力峰值，而導致高風險的鋸絲斷裂。此外，當需要較小的鋸絲直徑和金剛石塗覆鋸絲時這可能尤其重要，因為在這些情況下鋸絲甚至更容易斷裂。為此，如圖2A和圖2B所示，第一帶輪262可設置為可移動帶輪，其在平行於線軸軸線的方向上可縱向地移動。該移動由圖2A中的箭頭261指示。可移動帶輪可裝備有跟蹤系統，該系統允許其跟隨從線軸的一側到移動另一側的鋸絲的位置，使得鋸絲總是相切地進入帶輪。例如，在歐洲專利申請N0.EP 09153051.9中描述了這樣的帶輪，該申請通過引用結合於此，具體參見圖3A和圖3B上的跟蹤系統的描述以及在歐洲專利申請N0.EP09153051.9中的相應描述。然而，鑑於鋸絲的有時相當大的張力，很難足夠穩固地支撐帶輪以使得帶輪能夠承受高鋸絲張力。如果可移動帶輪沒有被足夠穩固地支撐，可能發生帶輪支撐件、可移動帶輪以及鋸絲的有害的變形和振動。這些振動可以再導致鋸絲的有害的振蕩，並且有些情況下甚至可導致鋸絲斷裂。因此，可設置如參考圖4更加詳細地說明的鋸絲操縱單元。在線鋸設備100中存在鋸絲操縱單元。根據不同的實施例，線鋸設備可以是收割機、木方鋸、線鋸或多個線鋸。然而，如這裡所述的功能組的重新布置具體地有益於將磚塊體鋸切為多個晶圓的晶圓鋸切設備。圖2A和圖2B的鋸絲操縱單元包括具有線軸軸線的線軸112。線軸軸線通常基本平行於鋸絲導向輪122的旋轉軸線。基本平行從而可理解為旋轉軸線能夠以+-5°偏離。線軸由芯軸承載。芯軸可轉動地安裝到線鋸設備的框架部分。在線軸112上，將要被供給到鋸絲網的新鮮的或新鋸絲20在線軸112的鋸絲承載區域或中間部分116中裝載。鋸絲承載區域具有沿著線軸軸線的方向的鋸絲承載長度。第一帶輪262在圖2A中示出。在這裡以及在通常情況下，帶輪具有適用於引導鋸絲的溝槽。此外，帶輪一般可以具有用於在帶輪中即在帶輪溝槽中引導一條鋸絲的鋸絲引導位置。第一帶輪262適用於從線軸112、具體地直接從線軸112接收鋸絲20，並且然後改變鋸絲的方向。第一帶輪可轉動地安裝到帶輪承載單元，使得第一帶輪262繞第一帶輪軸線旋轉。帶輪承載單元反過來連接到線鋸設備，更具體而言連接到線鋸設備的框架部分，使得帶輪承載單元可沿著帶輪運動軌跡縱向地移動，即第一帶輪262所沿的軌跡是縱向可移動的。此外，作為總體方面，第一帶輪運動軌跡可具有中間部分116的帶輪承載區域的長度的至少90%的長度。這裡，帶輪承載區域或中間部分116是線軸112的鋸絲可從線軸出現的縱向部分，即一般地是線軸的從凸緣到凸緣或從邊緣部分到邊緣部分的長度。帶輪262的帶輪運動軌跡基本平行於線軸112的線軸軸線。根據能夠與這裡所述的任何其他實施例組合的實施例，其他方向的運動可疊加到上述運動。例如，可設置相對於線軸軸線的曲線軌跡和/或傾斜軌跡。第一帶輪262的軸線定向為相對於線軸軸線基本90°的角度。這裡，該角度限定為空間角度，即多條軸線所跨越的平面中的軸線之間的角度(如果需要，多條軸線中的一者平行移動之後使得軸線交叉並且從而跨越平面)。該角度限定為絕對值，即總是正值。根據某些實施例，可設置帶輪行動裝置。帶輪行動裝置由圖2A中的箭頭261指出，並且適用於使帶輪承載單元以雙向模式沿著帶輪運動軌跡移動。帶輪行動裝置適用於帶輪262。此外可設置鋸絲位置檢測設備，其也可以隨著運動跟蹤命令被移動以將帶輪定位至線軸112上希望的位置處。帶輪行動裝置可以是例如諸如線性電機、氣缸、具有蝸杆傳動的電機、機架齒輪齒條機構等的線性執行器，使得帶輪行動裝置能夠沿著帶輪運動軌跡至少在直線方向上移動帶輪。因此，可通過相對於線鋸設備的框架部分移動帶輪承載單元來移動帶輪。根據能夠與這裡所述的其他實施例組合的又一實施例，可設置鋸絲位置檢測設備。鋸絲位置檢測設備沿著運動路徑的方向(這裡:沿著線軸軸線)檢測帶輪位置，更具體地，其檢測鋸絲經過鋸絲位置檢測設備的檢測區域處的鋸絲位置。因此，能夠得到鋸絲離開線軸112或者鋸絲承載區域處的位置(若需要，通過三角測量)。鋸絲位置檢測設備可連接到帶輪行動裝置。因此，例如，可在鋸絲位置檢測設備與帶輪行動裝置之間的連接中設置信號接收單元、控制器、用於計算正確的帶輪位置的計算機等。在具體的實施例中，控制器可操作地連接到鋸絲位置檢測裝置以接收檢測到的鋸絲位置。控制器確定目標位置，並且將移動命令發送到第一帶輪行動裝置，以使得第一帶輪行動裝置將第一帶輪移動到目標位置。具體而言，目標位置可以是與鋸絲離開線軸處的位置對應的位置。根據能夠與這裡所述的其他實施例組合的又一實施例，帶輪行動裝置和/或其各個控制器可包括教學能力，使得控制器從先前的錯位檢測中學習怎樣從線軸提供鋸絲。根據目標位置，鋸絲以相對於帶輪262成直角的角度離開線軸。第一帶輪行動裝置(261)、帶輪位置檢測設備271以及第一帶輪位置控制器可總稱為鋸絲跟蹤系統。鋸絲從移動帶輪被導向第二帶輪264，其提供位置使得帶輪可以在沒有在至少一個方向或屏幕上的其他偏差的情況下進入鋸絲導向組件，即鋸絲導向輪。即，鋸絲保持在至少一個平面上。第二帶輪264適用於從第一帶輪262、具體地直接從第一帶輪接收鋸絲，並且改變鋸絲的方向。可設置容納線軸112的室、線軸及其定向的布局以允許在鋸絲進入切割區域之前降低鋸絲的偏差。
在第二帶輪264之後，設置了另外兩個帶輪266和268。另外的帶輪可具有相比於帶輪262和/264或的旋轉軸線基本垂直的旋轉軸線。如圖2A和圖2B所示的帶輪266和268提供了用於鋸絲20的張緊系統。因此，如圖2B所示，張力臂可以如箭頭271所示的那樣移動，使得可調整鋸絲的張力。如圖2A和圖2B進一步示出的，帶輪160和262可設置在至少一個工作區域22和用於卷取使用過的鋸絲的線軸114之間。通過使可移動帶輪帶輪262也用於使用過的鋸絲，可改善使用過的鋸絲在線軸上的捲起。雖然在圖2A和圖2B中未示出，與通過帶輪266和268設置的相似的張緊系統也可設置來用於使用過的鋸絲。這可以幫助在工作區域中以及在線軸114上提供期望的鋸絲張力，並且還可用在雙向鋸切、即也包括鋸絲在反方向上移動的鋸切的情況。此外，作為總體方面，第一帶輪262的帶輪運動軌跡可被布置為使得，對於鋸絲20退出線軸112或進入線軸114處的任何位置、在帶輪運動軌跡上存在第一帶輪的至少一個位置使得鋸絲與帶輪軸線基本垂直地進入第一帶輪。該布局允許無扭鋸絲。這裡，「無扭」指的是鋸絲基本相切地進入和退出鋸絲操縱單元的卷或帶輪。圖4示出了根據能夠與這裡所述的其他實施例組合的某些實施例的另一鋸絲操縱單元400。圖4的實施例包括安裝在芯軸上的線軸112，並且帶輪420、430和440被布置成具體地通利用鋸絲跟蹤系統引導鋸絲。在2009年2月17日提交的、題為「Wire sawdevice and method for operating same」 的歐洲專利申請 N0.09153051.9 中描述了鋸絲跟蹤系統的示例，該申請以與本公開不牴觸的程度通過引用結合於此。鋸絲通過第一帶輪420以90°的第一方向改變角、並且通過第二帶輪430以180°的第二方向改變角改變方向，其中第一帶輪420連接到鋸絲移動系統或可移動地跟蹤鋸絲位置。由於較大的第二方向改變角，鋸絲張力的主要部分(特別是在張力峰值的情況下)被第二帶輪吸收，其中第二帶輪由線鋸設備100的框架部分穩固地支撐。由於通過框架部分的穩固支撐，第二帶輪430能夠比可移動的第一帶輪420更容易並且更穩定地承受張力。因此減小了可移動帶輪420以及鋸絲的有害的變形和振動。所以，也能夠減小鋸絲本身、鋸絲操縱單元的組件或者線鋸設備的其他組件的振蕩。此外，降低了鋸絲斷裂的風險。因此，能夠實現更高的鋸絲速度以及更高的鋸絲吞吐量。一般地，如果鋸絲以不大於120°的第一方向改變角通過第一帶輪改變方向，並且如果鋸絲以不小於60°的第二方向改變角通過第二帶輪改變方向，則鋸絲張力一定程度可被穩固地連接的第二帶輪430吸收。在圖4的示例中，方向改變角與第一帶輪420在第一運動軌跡上的位置無關，但是更普遍地，第一帶輪420在第一運動軌跡上的至少一個位置應該滿足上述條件。根據能夠與這裡所述的其他任何實施例組合的某些實施例，甚至第一帶輪42在第一運動軌跡上O的任何位置均滿足上述條件。在某些實施例中，第一方向改變角小於等於100°，或者甚至小於等於90°。此外，在某些實施例中，第二方向改變角不小於90°，不小於120°甚至180°。這裡，方向改變角被限定為鋸絲偏轉的偏轉角的積分。因此，例如，四分之一轉產生90°的偏轉角，並且三個四分之一轉產生270°的偏轉角。偏轉角取作絕對值，並且因此不考慮偏振方向的情況下總是正值。此外，替代的和通常有用的配置可表示如下:在配置中，第二方向改變角大於第一方向改變角。在該配置中，由第二帶輪由於鋸絲的鋸絲張力所接收的負載可以大於由第一帶輪所接收的負載。再一次，這可以幫助避免在可移動第一帶輪上的過大負載。另一個替代的和通常有用的配置可表示如下:在配置中，方向改變角被選擇為使得第二帶輪430由於鋸絲20的鋸絲張力比第一帶輪420接收更大的負載。在圖4中，第一和第二方向改變角指向彼此相對的卷繞方向。這允許特別地緊縮布局並且還允許由第二帶輪進行的特別有效地鋸絲張力的吸收。此外，第一帶輪軸線422和第二帶輪軸線432相互基本平行。更一般地，在實施例中，第一帶輪軸線422和第二帶輪軸線432可以相對於彼此具有小於90°的角度。此外，圖4中的帶輪運動軌跡與在第一帶輪420與第二帶輪430之間20的的鋸絲20的鋸絲部分平行，其中第一帶輪420是沿著線軸軸線可移動的。因此，對於第一帶輪420的任何位置，第一和第二帶輪之間的鋸絲在帶輪運動軌跡的方向上(即平行於帶輪運動軌跡)延伸。這意味著鋸絲20的定向不受第一帶輪420在帶輪運動軌跡上的位置的影響。此夕卜，對於第一帶輪的任何位置，第一帶輪和第二帶輪相互被布置成使得，鋸絲從第一帶輪相切地退出，並且相切的進給到第二帶輪，或者無扭。此外，示出了第三帶輪440和第四帶輪450。第四帶輪450從第三帶輪440接收鋸絲並且以第四方向改變角改變鋸絲的方向。第四帶輪450可轉動地安裝到框架以繞第四帶輪軸線旋轉。因此，第四方向改變角約為90°。在其他實施例中，第四方向改變角可以在60°與120°之間。第四帶輪軸線基本平行於線軸軸線。此外，第四帶輪軸線基本垂直於第一帶輪軸線、第二帶輪軸線和第三帶輪軸線。在其他實施例中，第四帶輪軸線可基本平行於這些軸線中的至少一者。圖4的實施例還包括用於控制鋸絲的張力的鋸絲張力裝置。鋸絲張力裝置包括可轉動地安裝到框架以繞第五帶輪軸線旋轉的第五帶輪266，以及可轉動地安裝到框架以繞第六帶輪軸線旋轉的第六帶輪268。可移動元件271可移動地安裝在線鋸設備的框架部分上。可移動元件271的移動通過電動機來控制,或者可移動元件271例如通過彈簧預偏置，以控制鋸絲張力。在圖4中，可移動元件271被示出為預偏置的旋轉杆。鋸絲張力裝置從第四帶輪450接收鋸絲20並且將鋸絲20提供到鋸絲網或第一工作區域22 (提供到圖4中所示的鋸絲操縱單元的右側)。更精確地，第五帶輪266從第四帶輪450接收鋸絲20並且以第五方向改變角使鋸絲偏轉，並且然後第六帶輪268從第五帶輪26接收鋸絲20並且以第六方向改變角使鋸絲偏轉。可在新鋸絲所接觸的第一鋸絲導向輪的附近設置第七帶輪，以避免鋸絲操縱單元400與工作區域22之間的振動。繼續圖4的描述，除了下面還將被稱為初級鋸絲處理部分300的鋸絲處理部分400以外，圖4的鋸絲操縱單元還具有次級鋸絲處理部分。這裡，為了便於識別引入「初級」和「次級」，並且不意味著鋸絲處理部分、線軸等的等級或功能順序。次級鋸絲處理部分可被構造為與初級鋸絲處理部分類似。次級鋸絲處理部分或鋸絲操縱單元設置在鋸絲導向組件和用於卷取使用過的鋸絲的線軸之間。在操作的示例模式(此後稱為初級到次級線軸的鋸切)中，初級鋸絲處理部分將鋸絲從初級第一線軸112提供到鋸絲網，使得鋸絲可用於在網中的鋸切。然後，次級鋸絲處理部分接收來自網的鋸絲。因此，鋸絲20被從網輸送到次級鋸絲張力裝置，被輸送到另外的帶輪並且從帶輪最終卷繞到線軸114上(參見，例如圖2A和圖2B)。一般地，提供新鋸絲的線軸(例如，第一線軸類型)與使用過的鋸絲卷繞到其上的線軸(例如，第二線軸類型)是不同的類型。例如，提供新鋸絲的線軸是來自鋸絲製造商的一次性線軸。另一方面，這樣的線軸由於有時不能承受使用過的鋸絲的高鋸絲張力，因此不適合用於接收使用過的鋸絲。為了在初級到次級線軸的鋸切期間支持不同的線軸類型，初級芯軸(即初級鋸絲處理部分的芯軸)適用於承載第一類型的線軸，並且次級芯軸(即次級鋸絲處理部分的芯軸)適用於承載第二類型(即，不同於第一類型的第二類型)的線軸。此外，在能夠與這裡的其他任何實施例組合的某些實施例中，鋸絲操縱單元可以支持雙向鋸切。這裡，雙向鋸切被理解為這樣的鋸切過程，即在鋸切期間，鋸絲首先被從初級線軸輸送到次級線軸，並且然後從次級線軸被輸送回初級線軸，並且再從初級線軸輸送到次級線軸。因此，對於雙向鋸切，(初級)線軸112適用於將鋸絲提供到鋸絲網，並且還適用於從鋸絲網接收使用過的鋸絲。類似地，次級線軸114可適用於將鋸絲提供到鋸絲網並且還適用於從鋸絲網接收使用過的鋸絲。對於雙向鋸切，控制器適用於發送致動命令到初級芯軸和次級芯軸，所述致動命令在第一步驟中使得第一芯軸展開鋸絲並卷繞到第二線軸上，並且在第二步驟中使得第二芯軸展開鋸絲並卷繞到第一線軸上。如果使用例如具有料漿的較細鋸絲或具有塗層(例如金剛石塗層)的鋸絲，則上述鋸絲操縱單元特別有用。因此，對於切片，在能夠與這裡所述的其他實施例組合的實施例中，這裡所述的鋸絲處理部分和線鋸設備適用於具有小於約200 μ m、諸如約80 μ m到約150 μ m之間的直徑等的較細的鋸絲。此外，這裡所述的鋸絲處理部分和線鋸設備適用於塗覆的鋸絲，例如具有其中嵌有金剛石顆粒的鎳塗層的鋸絲。這樣的鋸絲通常可具有直徑在諸如約80 μ m到約150 μ m之間的小於約200 μ m的芯線。對於較細的鋸絲，鋸絲的扭曲可增大鋸絲斷裂或者損害塗層的風險，因此無扭操作是有利的。對於木方應用(squaringapplications)鋸絲直徑可以小於等於約400 μ m,例如250 μ m至Ij 350 μ m。圖3圖示了根據這裡所述的實施例的另一線鋸設備100。線鋸設備100包括用於不同功能組的室。線鋸設備100包括用於容納鋸絲導向組件的第一室102。鋸絲導向組件包括至少兩個鋸絲導向輪。鋸絲導向輪122形成鋸絲網從而提供一個或多個工作區域22。工件在工作區域中被切分成晶圓。如圖3所示，鋸絲20從第二室104被供給到第一室102中。第二室104容納用於向工作區域22供給新鋸絲的線軸112。形成鋸絲網24的鋸絲導向輪122由電動機150驅動，其中電動機150設置在另一個室108中。因此，鋸絲導向輪繞它們各自的旋轉軸線旋轉。第二室104和另一個室108被設置為與參考圖1A和圖1B所述的實施例類似。根據這裡所述的實施例，第一室102具有側面或側部102a，側部102a基本平行於鋸絲導向輪122的旋轉軸線。第二室104設置在側部102a處或者鄰近第一室、Btt連側部102a，其中新鋸絲從第二室104被引導至第一室102中。通常，對於矩形室，一個側面可基本平行於導向輪的旋轉軸線。對於其他形狀的室102，室102的至少一部分可基本平行於導向輪的旋轉軸線，其中室的側面102a平行於旋轉軸線。如這裡所述，線軸112的旋轉軸線也基本平行於鋸絲導向輪122的旋轉軸線。因此，功能組被重新布置為使得，鋸絲20能夠被儘可能直接地導向工作區域。鋸絲通常被從第一室102引出並且引導至室306中。室306被布置為使得，線軸114能夠基本上從使用過的鋸絲離開最後的鋸絲導向輪122的位置卷取鋸絲。線軸114設置來用於卷取使用過的鋸絲。第三室被設置為鄰近室102的側部102b，其中側部102b與側部102a相對。因此，在圖3所示的實施例中，可提供室102、104和106的Z形布局。如圖1A和圖3所示，第一室102、第二室104和第三室106以T形布局或Z形布局設置。這些布局形成本發明的實施例，並且能夠與這裡所述的其他實施例組合。這些布局允許在線鋸設備中的功能組的重新布置。因此，用於提供新的或新鮮的鋸絲的鋸絲操縱以及用於卷取使用過的鋸絲的鋸絲操縱被分別相對於工作區域或切頭重新布置。具有與用於提供至少一個工作區域的鋸絲導向組件的室的相對側部相鄰的、用於供給新鋸絲的室和用於卷取使用過的鋸絲的室，可以使帶輪的數目和鋸絲改變方向(其可以導致鋸絲扭曲)的次數減少。在沒有鋸絲跟蹤的情況下以及在沒有鋸絲張緊的情況下，理論上不需要帶輪。如果在鋸絲操縱單元中需要鋸絲跟蹤和鋸絲張緊，則根據這裡所述的實施例設置了至少三個帶輪，通常可設置四個帶輪(參見例如圖2A和圖2B)。根據能夠與這裡所述的其他實施例組合的又一實施例、如圖4所示的甚至更複雜的鋸絲操縱單元可僅具有7個帶輪，或者甚至僅具有6個帶輪(假設去除僅出於安全原因而設置的圖4所示的帶輪467)。因此，根據這裡所述的實施例，在功能組被重新布置的鋸絲操縱單元中，可設置7個或更少的帶輪(或者甚至是6個帶輪或更少)。例如，可設置甚至是4個帶輪或更少或者3個帶輪或更少，即甚至4個或3個帶輪將足以提供跟蹤系統和鋸絲張緊。根據這裡所述的實施例的功能組的新布局能夠改善在工作區域中的鋸絲的引導。此外，功能組的新布局能夠改善線鋸設備的規模擴大的特性。因此，PV(光伏)應用的用於切片的工廠不是工具數量的簡單擴充，除非單獨的工具將具有生產力的飛躍，否則這將不會產生生產力的顯著飛躍。根據能夠與這裡所述的其他實施例組合的又一實施例，工具的設計可使得以綜合的方式在製造工廠中的集成得到改善。因此，可以更好地考慮協同目的。圖5示出了線鋸集群500。例如，線鋸集群500包括四個線鋸設備100。各個線鋸設備100包括配置為容納鋸絲導向組件的第一室102，其中鋸絲導向組件提供一個或多個工作區域22。此外，各個線鋸設備100包括配置來容納具有新的或新鮮的鋸絲的線軸的第二室104、以及用於容納卷取使用過的鋸絲的線軸的第三室106。根據功能組的重新布局，用於驅動鋸絲導向輪的電動機150可布置在共用室508中。此外，線鋸集群可被重新布置為使得，與線鋸設備100鄰近的第二室104和第三室106被布置成彼此相鄰。因此，設置了維護保養區510。維護保養區510被設置成使得，新鋸絲可設置在來自一個維護保養區510的第二室104的兩個當中。此外，使用過的鋸絲可從來自一個維護保養區510的第三室106當中的線鋸設備的兩個中去除。這樣的布局允許兆千瓦的集成的製造工廠，其中可更有效地進行用於PV應用的切片和/或晶圓分切。具有功能組的重新布局的線鋸設備100，具有改善的模塊性，並且能夠形成線鋸集群500。因此，可實現功能的協同效果。根據能夠與這裡所述的其他實施例組合的又一實施例，可利用圖3所示的Z形線鋸設備100類似地進行圖5所示的集群500的布局。因此，室106的尺寸可能需要更改。根據能夠與這裡所述的其他實施例組合的某些實施例，線鋸設備100的基本單元可包括具有用於工件的單一位置的雙重工作檯，其支撐一個或多個工件，使得工件可設置在上部工作區域22和下部工作區域22中(參見例如圖1B)。鋸絲導向輪122具有在軸線方向上的長度，該長度足以使得兩個或三個磚狀體可相鄰地設置在鋸絲導向輪的軸向方向上。例如，鋸絲導向輪的長度可以是400mm到800mm和/或每個位置的可用長度可以是450到650mm。因此，圖5所示的集群包括四個基本單元。從而，能夠以減小的佔地面積實現約20麗的年生產量。能夠以減小的佔地面積實現約每年五百萬到六百萬片晶圓(156mmX 156mm)的年生產量。根據能夠與這裡所述的其他實施例組合的又一實施例，線鋸集群500可被布置在如圖6所示的製造工廠中。通常，通過是線鋸集群在一個諸如切片層等的層710上、使料漿和/或冷卻流體在另一個層720上，以及通過將諸如電力、控制設備或其他冷卻水等的其他裝備設置在另一個層730上，能夠進一步提高協同效果。將理解，該布局不一定涉及建築物的不同的樓層，而是也可以涉及設置在建築物的一個樓層內的不同的車間。因此，具有特定技能的維護人員在一個層上工作也是可以的，並且能夠實現在一個層上的人員的專門化。通常，層不僅理解為建築物的樓層，而且也可以涉及不同的等級。如圖6所示，電力可從用於提供電力的中央單元762提供，用於電機驅動器的冷卻水等可從用於冷卻水的中央單元764提供，並且諸如壓縮空氣、壓縮乾燥空氣等的其他供應裝置還可從中央單元766提供。對於使用料漿的切片過程，料漿可由罐752提供。新鮮的料漿通過管道753供應到線鋸集群500。根據能夠與這裡所述的其他實施例組合的又一實施例，還可針對每個線鋸集群500設置具有新鮮料漿的罐(未示出)。根據又一其他的或替換的實施方式，料漿的質量檢查可以分別在罐752與用於每個線鋸集群500或多個集群的罐之間檢查。例如可以對密度、黏度、切縫含量、粒度分布(PSD)和/或水含量等進行質量檢查。使用過的料漿由篩758收集(其中圖6僅示出了一個篩)。使用過的料漿可從所述篩供給到用於使用過的料漿的罐754。額外地或替換地，可針對每個線鋸集群500設置單獨的罐754。根據某些實施例，可設置過濾器用於使用過的料漿。例如，過濾器可設置在管道755中。使用過的料漿可再生或處理以全部或部分地重複使用。這通過管道755的、被改向用於新鮮料漿的罐752的部分指出。根據能夠與這裡所述的其他實施例組合的又一實施例，如上所述的針對料漿所述的實施例，在使用金剛石鋸絲的情況下還可被設置來用於冷卻流體。對於功能組的上述重新布局，如參考圖7所更加詳細地描述的，能夠改善料漿分配。圖7示出了具有四個鋸絲導向輪122、兩個工作區域22和四個料漿噴嘴182的一個切割單元。然而，這僅用於說明的目的，並且圖7所示的概念還可用於線鋸集群500(參見例如圖5)。用於一個集群的料漿分配包括用於新鮮料漿的罐752。料漿噴嘴182設置在料漿分配系統中的最高點，使得料漿在恆壓下分配。根據典型的實施例，每個集群可具有一個料漿罐752以及例如一個料漿攪拌器。根據某些實施例，可對每個料漿噴嘴182設置泵757，使得可單獨地控制每個噴嘴。因此，到每個噴嘴的流動都是在恆壓下進行的。由於噴嘴在分配系統中的最高點，因此僅提供了來自泵的壓力。可對於每個料漿分配管道753設置熱交換器756。因此，可改善用於切割過程的料漿的質量和控制。料漿通過篩758收集，其中可對於一個、兩個或更多個料漿噴嘴182設置篩758。料漿利用料漿過濾器759過濾並且可供給到罐754中，或也部分地供給到罐752中。根據又一替換的實施方式，料漿可供給到罐754中，並且可進行使用過的料漿的再生或處理，使得使用過的料漿可全部或部分地重新插入到罐752中。在切片工廠600的情況下，來自罐754的使用過的料漿在再生之後，還可供給到用於整個製造工廠的新鮮料漿罐中。
如圖7所示，用於將料漿從罐752分配到料漿噴嘴182的分配線路管道753被設置為針對每個噴嘴182的單獨的管道。在質量可以有些折中的情況下，一些料漿噴嘴182也可以共用泵757和熱交換器756。例如，圖7中的上面兩個和/或下面兩個料漿噴嘴182可以共享一個料漿分配。然而，根據對質量有益的實施方式，在線鋸設備或線鋸集群中的各個料漿噴嘴182具有相應的泵757和相應的熱交換器756，以將新鮮料漿從罐752供給到一個料漿噴嘴。因此，通常針對一個集群來設置罐。如圖6所示，額外地或替換地，還可以對切割製造工廠設置共用罐，該共用罐可以例如將新鮮料漿分配到針對各個集群所設置的罐或者分配到各個集群。因此，根據典型的實施例，圖5所示的集群可以具有一個料漿罐、一個料漿攪拌器、沒有回流罐、對於到噴嘴的流動是恆壓、具有對每個噴嘴的溫度控制、根據在分配系統的最高點的噴嘴沒有沉積點、沒有料漿分配器(即用於每個噴嘴的分開的管道)、具有16個料漿噴嘴、具有16個料漿泵、例如具有一個密度和/或黏度計、和/或具有熱交換器單元。在各個工作區域22中、以單個磚塊位置在四個室中進行切割，並且使用四條過的鋸絲，其中鋸絲操縱在分開的室中被分成新鋸絲和使用過的鋸絲。新鋸絲和使用過的鋸絲的分離減少了由使用過的鋸絲造成的新鋸絲部分的汙染。此外，如上所述，能夠改善維護保養。這也可以根據圖8理解，圖8圖示了操作鋸絲集群的方法的流程圖。在步驟802中，將新鋸絲從第一維護保養區510供給到線鋸設備100中。在步驟804中，將新鋸絲從相同的維護保養區510供給到線鋸集群的第二線鋸設備中。並且在步驟806中，操作線鋸以切割晶圓等。如上所述，重新布局能夠提供以下優勢中的一項或多項:減少帶輪的數量並且從而減少鋸絲扭曲，分離鋸絲操縱以及 用於新鋸絲和使用過的鋸絲的線軸，以及改善料漿分配系統。因此，根據能夠與這裡所述的其他實施例組合的實施例，具體地可設置分開的腔或室以用於鋸絲操縱以及用於新(新鮮)鋸絲和使用過的鋸絲的線軸。特別是對於這裡所述的喜愛那句集群，能夠改善用於切割的磚塊體的裝載、切割的晶圓的卸載以及鋸絲線軸的裝載和卸載。例如，還可以通過用於相似的維護保養任務的共用維護保養區和/或通過用於電動機(即驅動器和/或執行器)的共用室，改善可達性。因此，這裡所述的集群對於每■ PV製造減小了佔地面積，這使得所有者的成本降低。因此，必須考慮到，所有者的成本以及由其造成的每MW光伏功率的成本是PV製造工廠的關鍵方面。此外，晶圓製造工廠的垂直布局使得佔地面積進一步降低，並且可基於良好的可控壓力和諸如均勻性等的料漿狀態減少了料漿分配。雖然前述內容針對本發明的實施例，但可以在不脫離其基本範圍的情況下設計本發明的其他和另外的實施例，並且本發明的範圍由隨後的權利要求確定。
權利要求
1.一種用於鋸切工件(10)的多個切片的線鋸設備(100)，所述線鋸設備包括: 鋸絲導向組件，其具有用於引導鋸絲(20)以形成具有至少一個工作區域(22)的至少一個鋸絲網的至少兩個鋸絲導向輪(122)，其中所述至少兩個鋸絲導向輪各個具有旋轉軸線.第一室(102)，其容納所述鋸絲導向組件； 第二室(104)，其容納用於提供新鋸絲的線軸(116)，其中所述第二室被設置為與所述第一室的第一側面相鄰；以及 第三室(106)，其容納用於卷取使用過的鋸絲的另一個線軸(116)，其中所述第三室被設置為與所述第一室的第二側面相鄰，其中所述第二側面基本上與所述第一側面相對。
2.根據權利要求1所述的線鋸設備，還包括 其中所述線軸和所述另一個線軸中的至少一者(112)具有線軸旋轉軸線，所述線軸旋轉軸線基本平行於所述至少兩個鋸絲導向輪的旋轉軸線。
3.根據權利要求2所述的線鋸設備，其中所述鋸絲導向組件被配置來用於沿著第一方向在所述至少一個工作區域內移動所述鋸絲，並且其中所述鋸絲基本上沿著所述第一方向被弓I導至所述第一室，並且所述鋸絲基本上沿著所述第一方向被從所述第一室引出。
4.根據權利要求1所述的線鋸設備，其中所述鋸絲在被引導至所述第一室中時具有鋸絲位置，所述鋸絲位置允許所述鋸絲以鋸絲方向的一個偏轉角或更小的角度、被引導至所述鋸絲導向組件上。
5.根據權利要求2所述的 線鋸設備，其中所述鋸絲在被引導至所述第一室中時具有鋸絲位置，所述鋸絲位置允許所述鋸絲以鋸絲方向的一個偏轉角或更小的角度、被引導至所述鋸絲導向組件上。
6.根據權利要求1至5中的任一項所述的線鋸設備，還包括設置在所述第二室中的鋸絲操縱單元。
7.根據權利要求1至5中的任一項所述的線鋸設備，還包括鋸絲跟蹤系統和鋸絲張緊系統。
8.根據權利要求1至5中的任一項所述的線鋸設備，其中在所述線軸與所述鋸絲導向組件之間設置三至七個帶輪(262、264、266、268 ;420、430、440、450、467)。
9.根據權利要求1至5中的任一項所述的線鋸設備，其中所述第一室(102)具有室的第一側部(102a)以及室的第二側部(102b)，所述第一側部基本平行於旋轉軸線，所述第二側部與所述第一側部相對並且基本平行於旋轉軸線，其中所述第二室與所述第一側部相鄰，並且其中所述第三室與所述第二側部相鄰。
10.一種用於鋸切工件的多個切片的線鋸集群(500)，所述線鋸集群包括: 根據權利要求1至8中的任一項的第一線鋸設備(100);以及 根據權利要求1至8中的任一項的至少第二線鋸設備(100)。
11.根據權利要求10所述的線鋸集群，還包括: 驅動器室(508)，其用於容納用於驅動所述第一線鋸設備的所述至少兩個鋸絲導向輪的至少第一驅動器，並且用於容納用於驅動所述至少第二線鋸設備的所述至少兩個鋸絲導向輪的至少第二驅動器。
12.根據權利要求10所述的線鋸集群，其中所說第一線鋸設備的所述第二室與所述第二線鋸設備的所述第二室相鄰。
13.根據權利要求10所述的線鋸集群，其中設置了根據權利要求1至5中的任一項的第四線鋸設備。
14.一種線鋸工廠，其包括: 所述工廠的第一層次(720)，設置在所述工廠的所述第一層次上方的工廠的第二層次(710)，以及設置在所述工廠的所述第二層次上方的所述工廠的第三層次(730);以及 根據權利要求10的至少一個線鋸集群(500)，其中所述至少一個線鋸集群設置在所述工廠的所述第二層次或第三層次上，通常設置在所述工廠的所述第二層次上。
15.一種操作線鋸集群(500)的方法，所述線鋸集群具有至少兩個線鋸設備(100)和至少兩個維護保養位置(510)，所述方法包括以下步驟: 將新鋸絲從所述至少兩個維護保養位置中的第一維護保養位置裝載在所述至少兩個線鋸設備的第一線鋸設備中；以及 將新鋸絲從所述至少兩個維護保養位置中的所述第一維護保養位置裝載在所述至少兩個線鋸設備中的第二線鋸設備中。
16.根據權利要求15所述的方法，還包括以下步驟: 維持來自所述線鋸集群的一個室(508)的所述至少兩個線鋸設備的第一線鋸設備和第二線鋸設備的鋸絲導向組件驅動器。
17.根據權利要求15至16中的任一項所述的方法，還包括以下步驟: 將料漿和/或冷卻流體從一個罐供給到所述至少兩個線鋸設備。
全文摘要
本公開涉及用於切片工廠的模塊化切片概念，描述了一種用於鋸切工件10的多個切片的線鋸設備100。線鋸設備包括鋸絲導向組件，其具有用於引導鋸絲20的至少兩個鋸絲導向輪122、以形成具有至少一個工作區域22的至少一個鋸絲網，其中所述至少兩個鋸絲導向輪具有旋轉軸線；第一室102，其容納鋸絲導向組件並且具有室的第一側部，其中第一側部與旋轉軸線基本平行，其中第一室還包括室的第二側部，第二側部與第一側部相對並且基本平行於旋轉軸線，第二室104，其容納用於提供新鋸絲的線軸，其中第二室與第一側部相鄰。
文檔編號B23D57/00GK103084664SQ201110462149
公開日2013年5月8日 申請日期2011年12月22日 優先權日2011年10月27日
發明者菲利普·那斯卡, 格雷戈裡·范·沃特伯 申請人:應用材料瑞士有限責任公司