等離子體增強化學氣相沉積設備的製作方法
2023-05-25 01:39:01 3
專利名稱：等離子體增強化學氣相沉積設備的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽電池製造領域，尤其是一種矽電池製造過程中用的等離子體增強化學氣相沉積設備。
背景技術：
在矽電池製造過程中，在制絨、擴散、刻蝕步驟後，需要在矽片表面用等離子體增 強氣象化學沉積方法(PECVD)制減反射膜，用到的設備是等離子體增強化學氣相沉積設 備。整個制膜過程在密閉的真空狀態下進行，電池片擴散面朝上放在一個平板放電電極上， 在一定的溫度、壓力下，反應氣體矽烷、氮氣、氨氣在放電狀態下發生複雜的物理化學反應， 生成氮化矽沉積在矽片表面，形成一層緻密的膜結構，這就是減反射膜。在等離子體增強化學氣相沉積設備調試早期，由於其卸料腔的卸料口處經常會出 現矽片碎片現象，碎片停留在卸料腔口處。當關上卸料腔門需要抽真空的時候，由於碎片夾 在卸料腔門的密封圈處，會造成設備真空無法抽下，從而造成堵框現象的發生，產生大量的 返工片的發生，造成較大的損失。
實用新型內容本實用新型的目的是克服現有技術中存在的不足，提供一種有效防止碎片夾在卸 料腔腔門口部上的等離子體增強化學氣相沉積設備。按照本實用新型提供的技術方案，所述等離子體增強化學氣相沉積設備，包括沉 積腔體、氣路控制系統、電控系統、抽真空裝置、加熱裝置及卸料腔；所述卸料腔位於沉積腔 體的出料端；所述抽真空裝置與所述沉積腔體相連；所述加熱裝置位於所述沉積腔體內； 所述氣路控制系統與所述抽真空裝置連接；所述電控系統分別與抽真空裝置及加熱裝置電 連接；所述卸料腔的卸料口部設置有碎片弓I導裝置，所述碎片弓I導裝置具有與所述卸料口 底端光滑過渡的下傾斜面。優選地，所述碎片引導裝置為向下傾斜的滑板。優選地，所述碎片引導裝置由金屬材料製成。與現有技術相比，本實用新型的優點是由於本實用新型在卸料腔的卸料口部設 置有碎片引導裝置，一旦有碎片產生，碎片能夠自動由碎片引導裝置的光滑過渡面掉落下 來，能夠有效防止因為碎片夾在腔門口部的密封圈上造成卸料腔內真空無法抽下的現象， 並且可使用裝機調試廠家的廢料製作碎片引導裝置，材料成本為零。
圖1為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
下面結合具體附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。[0011]如圖所示一種等離子體增強化學氣相沉積設備，包括沉積腔體、氣路控制系統、電控系統、抽真空裝置、加熱裝置及卸料腔1 ；所述卸料腔1位於沉積腔體的出料端；所述抽 真空裝置與所述沉積腔體相連；所述加熱裝置位於所述沉積腔體內；所述氣路控制系統與 所述抽真空裝置連接；所述電控系統分別與抽真空裝置及加熱裝置電連接；所述卸料腔1 的卸料口部2設置有碎片引導裝置，所述碎片引導裝置具有與所述卸料口底端光滑過渡的 下傾斜面。本實施例中，所述碎片引導裝置為向下傾斜的滑板3。所述碎片引導裝置由金屬材料製成。滑板3可使用裝機調試廠家的廢料製作碎片 弓丨導裝置，節約了設備改造的材料成本。與現有技術相比，由於本實用新型在卸料腔的卸料口部設置有碎片引導裝置，如 果碎片產生，碎片能夠自動由碎片引導裝置的光滑過渡面掉落下來，能夠有效防止因為碎 片夾在腔門口部的密封圈上造成卸料腔內真空無法抽下，避免了產生大量的返工電池矽片 的發生，減少了損失。以上實施例僅為本實用新型的示例性實施例，不用於限制本實用新型，本實用新 型的保護範圍由權利要求書限定。本領域技術人員可以在本實用新型的實質和保護範圍 內，對本實用新型做出各種修改或等同替換，這種修改或等同替換也應視為落在本實用新 型的保護範圍內。
權利要求一種等離子體增強化學氣相沉積設備，包括沉積腔體、氣路控制系統、電控系統、抽真空裝置、加熱裝置及卸料腔；所述卸料腔位於沉積腔體的出料端；所述抽真空裝置與所述沉積腔體相連；所述加熱裝置位於所述沉積腔體內；所述氣路控制系統與所述抽真空裝置連接；所述電控系統分別與抽真空裝置及加熱裝置電連接；其特徵是所述卸料腔的卸料口部設置有碎片引導裝置，所述碎片引導裝置具有與所述卸料口底端光滑過渡的下傾斜面。
2.根據權利要求1所述的等離子體增強化學氣相沉積設備，其特徵是所述碎片引導 裝置為向下傾斜的滑板。
3.根據權利要求1或2所述的等離子體增強化學氣相沉積設備，其特徵是所述碎片 引導裝置由金屬材料製成。
專利摘要一種等離子體增強化學氣相沉積設備，包括沉積腔體、氣路控制系統、電控系統、抽真空裝置、加熱裝置及卸料腔；所述卸料腔的卸料口部設置有碎片引導裝置，所述碎片引導裝置具有與所述卸料口底端光滑過渡的下傾斜面。與現有技術相比，由於本實用新型在卸料腔的卸料口部設置有碎片引導裝置，一旦有碎片產生，碎片能夠自動由碎片引導裝置的光滑過渡面掉落下來，能夠有效防止因為碎片夾在腔門口部的密封圈上造成卸料腔內真空無法抽下的現象，避免了產生大量的返工電池矽片的發生，減少了損失。
文檔編號H01L31/18GK201560236SQ20092025549
公開日2010年8月25日 申請日期2009年11月17日 優先權日2009年11月17日
發明者季徐華, 左凱峰, 王根江 申請人:無錫尚德太陽能電力有限公司