真空鍍膜設備的基片支架的製作方法

2023-05-24 16:03:36 2

專利名稱：真空鍍膜設備的基片支架的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種用於在光學基片例如塑料眼鏡片表面上蒸鍍鍍膜的真空鍍膜設備的基片支架，光學基片可被夾緊在多個這樣的支架上，支架本身裝在一個可抽成真空的容器內在可更換的蒸發源上方。
在此類已知的用於在真空中在光學基片尤其是眼鏡片上至少蒸鍍一層鍍膜層的設備中，預定數量的這種基片在通常蒸鍍多層後，從基片表面在其中經受可更換的蒸發源作用的平面中移出，並再次將同樣數量的基片表面移入此平面中，以便接著同樣為它們蒸鍍一次或多次。
為此例如常用一種可置於真空下的轉臺，在轉臺的圓周上設有多個工位，用於可拆式地固定基片。此設備還至少包括一個與相對的基片表面建立工作聯繫的蒸發源。其中每一個工位配備有一個基片支架，可拆式地固定各個基片的固定裝置位於基片支架上。若在一側的基片表面上已連續蒸鍍了各個鍍膜層，則通過旋轉轉臺迴轉基片支架，接著蒸鍍另一些基片表面。
此外還已知設計為所謂球形罩的基片支架，以便將多個基片裝在扁平的圓弧形支架上。多個這樣的球形罩在容器上部圓頂狀延伸並可以旋轉，因此通過每一個球形罩總是可以同時迴轉多個基片。
在這類結構中存在的問題是，在容器中心呈錐形上升的蒸鍍電子束，要求要蒸鍍的那些基片表面相對於電子束錐體有一個準確的角向位置，以便能在每一個表面上獲得最佳的均勻的沉積。
這一要求在一種沿徑向從轉臺伸出並可繞一根軸迴轉180°的各帶有一個基片的基片支架結構中，通過軸的傾斜定位可以毫無問題地滿足。
但是，對於在扁平的圓弧形支架上可以安裝多個基片的半球形的基片支架不能毫無問題地充分滿足上述要求。
因此，在這種半球形基片支架中已經有人在支架上設基片固定裝置，它們帶著基片可從支承板平面出發向兩側自由擺動直到一個預定的角度。
但是，在支架上的這種基片固定裝置非常複雜和容易產生故障。
因此本發明的目的是，設計上述類型的基片支架，使它們能用非常簡單的辦法將要蒸鍍的基片表面始終置於一個相對於在容器中央呈錐形上升的蒸鍍電子束的準確角向位置，以便在每個表面上獲得最佳的均勻的沉積。
在一種用於在光學基片例如塑料眼鏡片表面上蒸鍍鍍膜的真空鍍膜設備的基片支架中，其中光學基片可被夾緊在多個這樣的支架上，支架本身裝在一個可抽成真空的容器內在可更換的蒸發源上方，為達到上述目的，在基片支架的徑向延伸段至少設有兩個各用於一個基片的安裝區，在這些個安裝區之間總有一個將基片支架分成段的活動關節或鉸鏈，帶著基片的基片支架段可圍繞著鉸鏈彼此相對地向兩側方向自由擺動直到一個預定的角度。
因此，與基片支架的形狀無關和與通過活動關節或鉸鏈將它分成裝基片的分段數量無關地可以在基片支架每旋轉180°後，將要蒸鍍的基片表面始終置於一個相對於在容器中央呈錐形上升的蒸鍍電子束的新的準確角向位置，由此可以在每個基片表面上獲得最佳的均勻的沉積。
一種最佳結構形式是可以採用至少兩個沿徑向延伸並連接在轉軸上的支架段，它們由用於基片的圓形固定件構成並通過活動關節或鉸鏈連接，帶著基片的基片支架段可圍繞著鉸鏈彼此相對地向兩側方向自由擺動直至預定的角度；或可以採用一種半球形的板，它被鉸鏈分成至少兩段，帶著基片的基片支架段可圍繞著鉸鏈彼此相對地向兩側方向自由擺動到一個預定的角度，其中，至少中央段具有用於安裝至少兩個並列基片的裝置；或可以採用一種條狀的結構，它被分為至少兩個用於各一個基片的安裝區，在這些安裝區之間總有一個將基片支架分成段的活動關節或鉸鏈，帶著基片的基片支架段可圍繞著鉸鏈彼此相對地向兩側方向自由擺動直至一個預定的角度。
下面藉助於附圖詳細說明作為舉例的本發明技術內容的實施形式。其中

圖1 具有按本發明的基片支架的真空鍍膜設備示意簡化的側視圖；以及圖2至4 按本發明的基片支架實施形式比例放大的俯視圖。
圖1中表示的用於在光學基片例如塑料眼鏡片上蒸鍍鍍膜的真空鍍膜設備，包括一個用真空泵可抽成真空的已知容器(圖中未表示)。
在此容器的上部腔室內裝有一個所謂的迴轉架裝置1，它有多個(圖中可看到兩個)沿徑向的圍繞著圓形迴轉架裝置1設置的按本發明的基片支架2，它們分別支承在一根可臨時旋轉180°的轉軸3上，其中，每一個基片支架2包括用於夾緊地固定一個要雙面鍍膜的基片的裝置，或用於固定兩個要單面鍍膜的基片的裝置(圖中未表示)。
下面更詳細地說明按本發明的基片支架2。
在容器下部表示了一個中央蒸發源4，它按已知的方式產生一個圓錐形的蒸鍍電子束5，用於蒸鍍固定在基片支架2上的基片表面。
現在為了使基片的要蒸鍍的基片表面在基片支架每旋轉180°後始終置於一個相對於在容器中央呈錐形上升的蒸鍍電子束準確角向位置，以便能在每個基片表面上獲得最佳的均勻的沉積，按本發明在基片支架2的徑向延伸段中至少設有兩個各用於一個基片的安裝區，在這些安裝區之間總有一個將基片支架分成段12、22的活動關節或鉸鏈6，帶著基片的基片支架段可繞此鉸鏈彼此相對地向兩側方向自由擺動直至一個預定的角度，如圖1用虛線表示的那樣。
因此，與基片支架2的形狀無關和與通過活動關節或鉸鏈6將它分為裝基片的分段12、22數量無關地，可以使要蒸鍍的基片表面始終處於一個相對於在容器中央呈錐狀上升的蒸鍍電子束5的準確角向位置，由此可以在每個基片表面獲得最佳的均勻沉積，如圖1所示。
在按圖2的基片支架2實施方案中，設有三個沿徑向延伸並連接在轉軸3上的分段12、22和23，它們由圓形的基片固定件構成，在這裡它們用兩個活動關節或鉸鏈6連接起來。
在按圖3的基片支架2實施形式中，基片支架2由半球形板組成，它同樣通過鉸鏈6分成三個分段12、22和23，其中，中央分段22在這裡具有用於安裝三個並列基片的裝置。
當然，根據基片相對於半球形基片支架2的相對尺寸，也還可以安裝更多的基片。
在按圖4的基片支架2的實施方案中，條狀的基片支架2分成三個各用於一個基片的安裝區，在這些安裝區之間各有一個將基片支架分成段12、22和23的活動關節或鉸鏈6，帶著基片的基片支架段可圍繞著鉸鏈彼此相對地向兩側方向自由擺動直至一個預定的角度。
由以上所述可知，基片支架的形狀可以是不同的，只要它們允許基片支架段帶著基片一起能彼此相對地向兩側方向自由擺動到一個預定的角度。
權利要求
1.用於在光學基片如塑料眼鏡片表面上蒸鍍鍍膜的真空鍍膜設備的基片支架，光學基片可夾緊在多個這樣的支架上，支架本身裝在一個可抽成真空的容器內在可更換的蒸發源上方，其特徵在於，在基片支架(2)的徑向延伸段中，至少設有兩個各用於一個基片的安裝區，在這些安裝區之間總有一個將基片支架(2)分成段(12、22)的活動關節或鉸鏈(6)，帶著基片的基片支架段可圍繞著鉸鏈(6)彼此相對地向兩側方向自由擺動直至一個預定的角度。
2.按照權利要求1所述的基片支架，其特徵在於，所述支架為至少兩個沿徑向延伸並連接在轉軸(3)上的支架段(12、22和23)，它們由用於基片的圓形固定件構成並通過活動關節或鉸鏈(6)連接，帶著基片的基片支架段可圍繞著鉸鏈(6)彼此相對地向兩側方向自由擺動直到預定的角度。
3.按照權利要求1所述的基片支架，其特徵在於，所述支架為一種半球形的板，它被鉸鏈(6)分成至少兩段(12、22和23)，帶看基片的基片支架段可圍繞著鉸鏈(6)彼此相對地向兩側方向自由擺動直到一個預定的角度，其中，至少中央段(22)具有用於安裝至少兩個並列基片的裝置
4.按照權利要求1所述的基片支架，其特徵在於，所述支架為一種條狀的結構，它被分為至少兩個用於各一個基片的安裝區，在這些安裝區之間總有一個將基片支架分成段(12，22和23)的活動關節或鉸鏈(6)，帶著基片的基片支架段可圍繞著鉸鏈(6)彼此相對地向兩側方向自由擺動直到一個預定的角度。
全文摘要
用於在光學基片表面上蒸鍍鍍膜的真空鍍膜設備的基片支架,光學基片可被夾緊在多個這樣的支架上,支架本身裝在一個可抽成真空的容器內在可更換的蒸發源上方,其中,在基片支架的徑向延伸段中至少設有兩個各用於一個基片的安裝區,在這些安裝區之間總有一個將基片支架分成段的活動關節或鉸鏈,帶著基片的支架段可圍繞著鉸鏈彼此相對地向兩側自由擺動一個預定的角度。
文檔編號G02B1/11GK1170773SQ9711150
公開日1998年1月21日 申請日期1997年5月9日 優先權日1996年5月10日
發明者R·蘇特 申請人:薩蒂斯真空工業銷售股份公司