基板清洗裝置的製作方法
2023-04-25 03:31:41
專利名稱：基板清洗裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種基板清洗裝置，屬於顯示技術領域。
背景技術：
在液晶面板製造和半導體領域的生產工藝中，清洗工序是必然要用到的工藝之一。白玻璃(Bare Glass)從包裝箱中開封後,要經過最初始的清洗,稱作初步清洗(InitialClean),以保證其在基板製造過程中的表面潔淨度。如圖1 所不，TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜電晶體液晶顯示器)陣列玻璃基板製造過程中，玻璃初步清洗時，玻璃在基板清洗裝置的輸送機構作用下，沿一定輸送方向，自玻璃入口 A進入清洗箱100，在清洗箱100內進行玻璃清洗工藝後，再從玻璃出口 N出來。其中，清洗箱100包括沿玻璃輸送方向依次設置的第一緩衝區間B、第二緩衝區間C、第一噴淋區間D、第一清洗劑區間E、第二清洗劑區間F、第二噴淋區間G、第三噴淋區間H、第四噴淋區間1、第五噴淋區間J、第六噴淋區間K、氣刀區間L和第三緩衝區間M等。其中，在各清洗劑區間內，玻璃是利用設置於清洗箱100內的轉動的清洗刷來刷洗玻璃表面以達到清洗目的。如圖2所示，基板清洗裝置的清洗箱100內的清洗刷200，是在傳動軸400、馬達500等驅動下轉動，其中，傳動軸400 —端與清洗箱100內部的清洗刷200連接，另一端穿過清洗箱100的擋板101上的過孔102，通過螺栓、絲扣等與位於清洗箱100外部的馬達500進行連接。傳動軸400與馬達500的連接部位位於清洗箱100外部的乾燥區間Z，要求乾燥區間Z的環境越乾燥越好。但是，由於TFT (Thin Film Transistor,薄膜電晶體)行業中所涉及到的絕大多數清洗過程(包括溼法刻蝕、溼法剝離)都需要傾斜輸送(傾斜約15°角)玻璃。TFT-1XD陣列玻璃基板製造過程中，玻璃在初步清洗時，也需要傾斜輸送，清洗刷200的傳動軸400也是傾斜一定角度設置。這樣，在玻璃輸送過程中，會有大量液體沿著玻璃的傾斜方向流下。由於現有的基板清洗裝置中在傳動軸400與清洗箱100的擋板101上的過孔102之間的空隙沒有設置密封組件，液體會沿著清洗刷200的傳動軸400，從擋板101上的過孔102流出至清洗箱100外部的乾燥區間；同時，在對玻璃300表面噴淋液體時，也會有部分液體賤到擋板101的過孔102與傳動軸400的間隙處；這樣，就會造成傳動軸400、馬達500等金屬部件長時間在溼度很大的環境中工作，嚴重的話會影響馬達500的穩定性，對馬達500造成損害。
實用新型內容為了解決上述現有技術中基板製造過程中，會有液體從基板清洗裝置的清洗箱滲透出來，而導致傳動軸與驅動馬達連接部位在溼度很大的環境中運行的問題，本實用新型提供了一種基板清洗裝置，能夠防止液體從清洗箱滲漏至清洗箱外部的乾燥區間。本實用新型所提供的技術方案為[0008]一種基板清洗裝置，包括用於為基板表面清洗工藝提供作業空間的清洗箱，所述清洗箱包括用於將所述作業空間與外部隔開的擋板，所述擋板上設有過孔；用於在基板表面接觸並旋轉，以清洗基板表面的清洗刷，設置於所述清洗箱的內部;用於帶動所述清洗刷旋轉的傳動軸，一端通過所述過孔伸出所述擋板外，另一端與所述清洗箱內部的所述清洗刷連接；以及，用於阻止所述清洗箱內部的液體從所述擋板上的過孔流出的阻止機構，設於所述擋板的過孔處。進一步的，所述阻止機構包括一用於阻止液體順著所述傳動軸向所述過孔處流動的內套，所述內套套設於所述傳動軸上並位於所述清洗刷與所述擋板之間。進一步的，所述內套包括一套設於所述傳動軸上的環狀的墊片，所述墊片的外徑大於所述擋板上的過孔的內徑。進一步的，所述阻止機構還包括一套設於所述傳動軸上的環狀的軸套，與環狀的墊片固連為一體，其中，所述墊片位於靠近所述過孔的一端。進一步的，所述阻止機構還包括遮擋密封蓋，用於遮擋所述傳動軸與所述擋板之間的空隙以阻止液體由所述空隙流出。進一步的，所述遮擋密封蓋為蓋形結構，具有呈開口狀的第一端和中心具有通孔的第二端，所述第一端的開口面積大於所述第二端的通孔面積，所述第一端和所述第二端之間為容腔；其中，並且所述第一端的開口的邊沿與所述擋板固定地或可拆卸地連接，所述第二端的通孔的內緣直徑大於所述傳動軸外徑，且所述第二端的通孔內穿裝所述傳動軸；或者，所述遮擋密封蓋的第一端的開口朝向所述擋板，且所述第一端的開口的邊沿圍繞所述擋板的過孔的周圍，並且所述第一端的開口的邊沿與所述擋板相離，所述第二端的通孔的內緣與所述傳動軸固定地或可拆卸地連接；或者，所述遮擋密封蓋的第一端的開口朝向所述清洗刷，所述遮擋密封蓋的第二端的通孔內穿裝所述傳動軸，且所述第二端的通孔內緣與所述擋板或與所述傳動軸固定地或可拆卸地連接。進一步的，所述遮擋密封蓋的容腔壁上設有至少一個引流口，所述引流口的水平位置低於所述擋板的過孔。進一步的，所述阻止機構包括風扇裝置，所述風扇裝置用於在所述擋板的過孔處產生吹向所述清洗箱內部的氣流，以阻止液體從所述擋板的過孔流出的風扇裝置。進一步的，所述風扇裝置設置在所述過孔處，且固定在所述擋板上或者固定在所述傳動軸上。進一步的，所述風扇裝置包括能夠在所述傳動軸帶動下旋轉的多個風扇葉輪，所述多個風扇葉輪沿所述傳動軸周向均勻分布於所述傳動軸上。[0028]進一步的，所述基板清洗裝置還包括用於帶動所述傳動軸旋轉的馬達，所述馬達與所述傳動軸伸出所述過孔外的一端連接。本實用新型的有益效果為本實用新型的基板清理裝置在清洗箱的擋板的過孔處設置有一阻止機構，阻止清洗箱內的液體從擋板的過孔處流出至清洗箱外，從而保證了傳動軸和馬達連接部位處於乾燥環境中運行，保證了設備運行穩定性，提高設備壽命。
圖1表示現有技術中基板清洗裝置的整體示意圖；圖2表示現有技術中基板清洗裝置的內部結構示意圖；圖3表示本實用新型的基板清洗裝置的第一種實施例的結構示意圖；圖4表示本實用新型的基板清洗裝置的第二種實施例的結構示意圖；圖5表示本實用新型的基板清洗裝置的第二種實施例中的阻止機構的結構示意圖；圖6表示本實用新型的基板清洗裝置的第六種實施例的結構示意圖；圖7表示本實用新型的基板清洗裝置的第十種實施例的結構示意圖；圖8表示本實用新型的基板清洗裝置的第十一種實施例的結構示意圖；圖9表示本實用新型的基板清洗裝置的第十二種實施例的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的原理和特徵進行描述，所舉實例只用於解釋本實用新型，並非用於限定本實用新型的範圍。在TFT-1XD陣列基板製造過程中，用於對玻璃進行初步清洗的基板清洗裝置主要包括清洗箱100，清洗箱100的內部設有作業空間，該作業空間內可進行基板(玻璃)的初步清洗作業。如圖1所不，清洗箱100內部設有用於輸送玻璃300的輸送機構(圖中未不出)，並根據玻璃的清洗工藝要求，將清洗箱100沿玻璃輸送方向(圖中箭頭所示即為玻璃輸送方向)依次分為第一緩衝區間B、第二緩衝區間C、第一噴淋區間D、第一清洗劑區間E、第二清洗劑區間F、第二噴淋區間G、第三噴淋區間H、第四噴淋區間1、第五噴淋區間J、第六噴淋區間K、氣刀區間L和第三緩衝區間M等多個工藝區間。當然，以上各工藝區間也可以根據需要進行調整，如更多/少的噴淋區間、更多/少的緩衝區間等。如圖2所示，在清洗箱100的各清洗劑區間內，設置有清洗刷200，清洗刷200可與玻璃300表面接觸，並在玻璃300表面旋轉，在玻璃300表面的上方還設有向玻璃300表面噴淋液體的噴淋裝置(圖中未示出)，從而清洗刷200在旋轉過程中，達到清洗玻璃300表面的目的。如圖2所示，清洗刷200是在傳動軸400和馬達500的驅動下進行旋轉，其中，馬達500設置於清洗箱100的外部，傳動軸400的一端與清洗箱100外部的馬達500連接，另一端穿過清洗箱100的擋板101上的過孔102與清洗箱100內部的清洗刷200連接。由於玻璃300在初步清洗過程中，需要傾斜一定的角度輸送，如圖2所示，用於清洗玻璃300表面的清洗刷200也傾斜一定角度設置。[0044]現有技術中的基材清理裝置玻璃300表面的液體會沿著清洗刷200的傳動軸400而經過清洗箱100擋板101上的過孔102流向清洗箱100的外部，同時，在對玻璃300清潔過程中，部分液體也會濺落到過孔102，從而導致傳動軸400與馬達500等的連接部位處於潮溼環境中運動，影響設備穩定性。如圖3至9所示，本實用新型所提供的基材清洗裝置，在清洗箱100的擋板101上的過孔102處設置有阻止機構，以阻止清洗箱100內部的液體從擋板101上的過孔102流出至清洗箱100外部，保證了傳動軸400與馬達500的連接部位的乾燥環境，保證了設備運行穩定性，提聞設備壽命。如圖3所示，在本實用新型所提供的第一種實施例中，該阻止機構包括一套設於傳動軸400上的內套602，且該內套602位於清洗刷200與擋板101之間。該內套602套設於傳動軸400上，起到改變液體流動方向的作用。當玻璃300表面的液體由於重力作用順著傳動軸400向下流動時，液體受到內套602的阻擋，不再順著傳動軸400流下，而直接滴落至清洗箱100內，從而避免了從玻璃300表面流下的液體進入到擋板101的過孔102處。如圖3所示，該內套602可以至少包括一個套設在傳動軸400上的直徑大於或等於擋板101上的過孔102的內徑的環狀的墊片6021，且墊片6021與擋板101之間的距離應較為貼近為宜，大約在2 3mm之間。如圖3所示，該內套602還可以包括一套設於傳動軸400上的環狀的軸套6022，該軸套6022可以與環狀的墊片6021固連為一體，並且墊片6021位於靠近擋板101的過孔102的一端。當然，在實際應用中，該內套602不限於包括墊片6021和軸套6022的形式，還可以採用其他結構形式，在此不再一一列舉。此外，在本實用新型所提供的第二種實施例中，為了阻止液體由傳動軸400與擋板101之間的空隙經過孔102流出，而流到傳動軸400與馬達500連接部位，如圖4和圖5所示，在本實用新型所提供的第一種實施例的基礎上，該阻止機構還包括一遮擋密封蓋601，用於遮擋傳動軸400與擋板101之間的空隙以阻止液體流出。優選的，如圖4和圖5所示，該遮擋密封蓋601為蓋形結構，具有呈開口狀的第一端和中心具有通孔6012的第二端，第一端的開口面積大於第二端的通孔6012的面積，且第一端和第二端之間為容腔；其中，遮擋密封蓋601的第一端的開口朝向擋板101，且開口的邊沿圍繞擋板101的過孔102的周圍，並與擋板101連接；遮擋密封蓋601的第二端的通孔6012的內緣直徑大於傳動軸400的外徑，該通孔6012內穿裝傳動軸400 ;內套602置於容腔內；且該內套602的環狀的墊片6021的最大外徑小於遮擋密封蓋601容腔的內徑，並大於遮擋密封蓋601的第二端的通孔6012的內徑。上述結構的遮擋密封蓋601，由於遮擋密封蓋601的第一端的開口邊沿圍繞擋板101的過孔102周圍，並與擋板101連接，而第二端的通孔6012直徑小於內套602的外徑，因此，遮擋密封蓋601可以罩設於內套602外，並扣裝在擋板101的過孔102處，很好地防止液體由內套602和擋板101之間空隙進入到過孔102處。此外，在本實用新型所提供的第二種實施例中，優選的，遮擋密封蓋601的第一端的開口的邊沿與擋板101可以採用可拆卸地連接方式進行連接，比如，在遮擋密封蓋601的第一端的開口的邊沿上設置外螺紋，擋板101的過孔102的周圍相應設置內螺紋，遮擋密封蓋601通過外螺紋與內螺紋的配合，而可拆卸地連接於擋板101上，方便拆卸和維修。當然可以理解的是，在實際應用中，擋板101與遮擋密封蓋601之間還可以採用焊接等方式直接固連。應當理解的是，在實際應用中，該遮擋密封蓋601還可以採用其他結構形式，比如該遮擋密封蓋601為環繞內套602外周設置的筒形結構，該筒形結構一端與擋板101固連，另一端直徑與內套602直徑相等。此外，在本實用新型所提供的第二種實施例中，玻璃300表面的液體順著傳動軸400向下流動，並有部分液體會經過遮擋密封蓋601的第二端的通孔6012流向遮擋密封蓋601的容腔內，這部分液體在順著傳動軸400向下流動時被內套602阻止而直接滴落於遮擋密封蓋601的容腔下方，為了防止該遮擋密封蓋601的容腔內的液體在積累過多，而從擋板101的過孔102處溢出，優選的，在遮擋密封蓋601的容腔壁上還設置有至少一個引流口6011，且引流口 6011的水平位置低於擋板101的過孔102水平位置。由於引流口 6011的設置，遮擋密封蓋601內的液體可以直接回流至清洗箱100。此外，在本實用新型所提供的第二種實施例中，優選的，如圖4和圖5所示，內套602的環狀的軸套6022能夠設置在遮擋密封蓋601的第二端的通孔6012內這樣，一方面環狀的軸套6022進一步的阻止液體進入遮擋密封蓋601的容腔內，另一方面，環狀的墊片6021直徑大於環狀的軸套6022的外徑，可以起到改變液體流向的作用，阻止液體順著傳動軸400流動，而落入遮擋密封蓋601的容腔下部，環狀的墊片6021還由於直徑大於遮擋密封蓋601第二端的通孔6012直徑，還可以起到迷宮密封的作用，而進一步對遮擋密封蓋601第二端的通孔6012良好密封。此外，在本實用新型所提供的第三種實施例中，相對於第二種實施例，遮擋密封蓋601還可以是採用以下方式裝配於該基板清洗裝置上遮擋密封蓋601的第一端的開口朝向擋板101，且第一端的開口的邊沿圍繞擋板101的過孔102的周圍，並且第一端的開口的邊沿與擋板101相離，第二端的通孔6012的內緣與傳動軸400固定地或可拆卸地連接，也即是，相較於第二種實施例，將遮擋密封蓋601的第一端開口與擋板101分開，而使得遮擋密封蓋602能夠隨傳動軸400旋轉。此外，在本實用新型所提供的第四種實施例中，相對於第二種實施例，遮擋密封蓋601還可以是採用以下方式裝配於該基板清洗裝置上遮擋密封蓋601的第一端的開口朝向清洗刷200，其第二端的通孔6012內穿裝傳動軸400，並且第二端的通孔6012的內緣與擋板101採用固連方式或者可拆卸地方式進行連接。也即是，相較於第二種實施例，將遮擋密封蓋601的第一端和第二端進行對調，並使得遮擋密封蓋601能夠隨傳動軸400轉動。此外，在本實用新型所提供的第五種實施例中，相對於第四種實施例，遮擋密封蓋601還可以是採用以下方式裝配於該基板清洗裝置上遮擋密封蓋601的第一端的開口朝向清洗刷200，其第二端的通孔6012內穿裝傳動軸400，並且第二端的通孔6012的內緣與傳動軸400採用固連方式或者可拆卸地方式進行連接。也即是，相較於第二種實施例，將遮擋密封蓋601的第一端和第二端對調，並使得遮擋密封蓋601第二端固定於擋板101上。此外，在本實用新型所提供的第六種實施例中，如圖6所示，該阻止機構還可以僅為扣裝於擋板101的過孔102處，並套設於傳動軸400上的遮擋密封蓋601，其設置在清洗箱100的內部，且至少一部分遮擋住擋板101的過孔102，以阻止清洗箱100內的液體濺落至擋板101的過孔102處。在本實用新型所提供的第六種實施例中，優選的，如圖6所示，該遮擋密封蓋601為蓋形結構，具有呈開口狀的第一端和中心設通孔6012的第二端，其內部具有容腔。其中，遮擋密封蓋601的第一端的開口朝向擋板101，且開口的邊沿圍繞擋板101的過孔102的周圍，並與擋板101結合，從而將遮擋密封蓋601扣裝於擋板101的過孔102處；遮擋密封蓋601的第二端的通孔6012內穿裝傳動軸400。通過在清洗箱100的擋板101的過孔102處扣裝一具有容腔的遮擋密封蓋601，玻璃300表面上的液體沿傳動軸400向下流動時，遮擋密封蓋601起到阻止液體流向擋板101的過孔102處的作用；同時，遮擋密封蓋601扣裝在擋板101的過孔102的周圍，阻止液體濺落至過孔102處。在本實用新型所提供的第六種實施例中，優選的，遮擋密封蓋601的第一端的開口的邊沿與擋板101採用可拆卸地連接方式進行連接，比如，在遮擋密封蓋601的第一端的開口的邊沿上設置外螺紋，擋板101的過孔102的周圍相應設置內螺紋，遮擋密封蓋601通過外螺紋與內螺紋的配合，而可拆卸地連接於擋板101上，方便拆卸和維修。當然可以理解的是，在實際應用中，擋板101與遮擋密封蓋601之間還可以採用焊接等方式直接固連。此外，本實施例中，如圖3所示，優選的，在遮擋密封蓋601的容腔壁上開設有至少一個引流口 6011，引流口 6011的水平位置低於過孔102的水平位置，用於將進入到遮擋密封蓋601的容腔內的液體回流至清洗箱100的內部。這樣，即使有部分液體沿傳動軸400流動時，會經過遮擋密封蓋601的第二端的通孔6012進入遮擋密封蓋601內，由於遮擋密封蓋601的第一端的開口邊沿圍繞擋板101上的過孔102設置，在過孔102的下方與遮擋密封蓋601之間會形成一液體的收集腔，收集腔內的液體會通過引流口 6011回流至清洗箱100內部。同樣的，在本實用新型所提供的第七種實施例中，相對於第六種實施例，遮擋密封蓋601還可以是採用以下方式裝配於該基板清洗裝置上遮擋密封蓋601的第一端的開口朝向擋板101，且第一端的開口的邊沿圍繞擋板101的過孔102的周圍，並且第一端的開口的邊沿與擋板101相離，第二端的通孔6012的內緣與傳動軸400固定地或可拆卸地連接。也即是，相較於第六種實施例，將遮擋密封蓋601的第一端開口與擋板101分開，而使得遮擋密封蓋602能夠隨傳動軸400旋轉。此外，在本實用新型所提供的第八種實施例中，相對於第六種實施例，遮擋密封蓋601還可以是採用以下方式裝配於該基板清洗裝置上遮擋密封蓋601的第一端的開口朝向清洗刷200，其第二端的通孔6012內穿裝傳動軸400，並且第二端的通孔6012的內緣與擋板101採用固連方式或者可拆卸地方式進行連接。也即是，相較於第六種實施例，將遮擋密封蓋601的第一端和第二端進行對調，並使得遮擋密封蓋601能夠隨傳動軸400轉動。此外，在本實用新型所提供的第九種實施例中，相對於第六種實施例，遮擋密封蓋601還可以是採用以下方式裝配於該基板清洗裝置上遮擋密封蓋601的第一端的開口朝向清洗刷200，其第二端的通孔6012內穿裝傳動軸400，並且第二端的通孔6012的內緣與傳動軸400採用固連方式或者可拆卸地方式進行連接。也即是，相較於第六種實施例，將遮擋密封蓋601的第一端和第二端對調，並使得遮擋密封蓋601第二端固定於擋板101上。此外，在本實用新型所提供的第十種實施例中，如圖7所示，在本實用新型的第一種實施例的基礎上，該阻止機構還可以包括一風扇裝置603，該風扇裝置603設置於擋板101的過孔102處，並位於清洗箱100的外部，可以固定在擋板101上，也可以固定在傳動軸400上，用於在擋板101的過孔102處產生吹向清洗箱100內部的氣流，以阻止液體從擋板101的過孔102流出。在本實用新型所提供的第十種實施例中，優選的，風扇裝置603包括能夠在傳動軸400帶動下旋轉的多個風扇葉輪，在傳動軸400上靠近擋板101的過孔102位置處設置有軸承，多個風扇葉輪直接插入到傳動軸400的軸承上，並通過螺栓固定即可；且多個風扇葉輪沿傳動軸400周向均勻分布，最好是選擇重量較輕、均一性好的風扇葉輪，風扇葉輪的風力儘量大，以獲得更好的阻止液體滲漏的效果。此外，在本實用新型所提供的第i^一種實施例中，如圖8所示，在本實用新型的第二種實施例的基礎上，該阻止機構還可以包括一風扇裝置603，該風扇裝置603設置於擋板101的過孔102處，並位於清洗箱100的外部，可以固定在擋板101上，也可以固定在傳動軸400上，用於在擋板101的過孔102處產生吹向清洗箱100內部的氣流，以阻止液體從擋板101的過孔102流出。在本實用新型所提供的第i^一種實施例中，優選的，風扇裝置603包括能夠在傳動軸400帶動下旋轉的多個風扇葉輪，在傳動軸400上靠近擋板101的過孔102位置處設置有軸承，多個風扇葉輪直接插入到傳動軸400的軸承上，並通過螺栓固定即可；且多個風扇葉輪沿傳動軸400周向均勻分布，最好是選擇重量較輕、均一性好的風扇葉輪，風扇葉輪的風力儘量大，以獲得更好的阻止液體滲漏的效果。此外，在本實用新型所提供的第十二種實施例中，如圖9所示，在本實用新型的第六種實施例的基礎上，該阻止機構還可以包括一風扇裝置603，該風扇裝置603設置於擋板101的過孔102處，並位於清洗箱100的外部，可以固定在擋板101上，也可以固定在傳動軸400上，用於在擋板101的過孔102處產生吹向清洗箱100內部的氣流，以阻止液體從擋板101的過孔102流出。在本實用新型所提供的第十二種實施例中，優選的，風扇裝置603包括能夠在傳動軸400帶動下旋轉的多個風扇葉輪，在傳動軸400上靠近擋板101的過孔102位置處設置有軸承，多個風扇葉輪直接插入到傳動軸400的軸承上，並通過螺栓固定即可；且多個風扇葉輪沿傳動軸400周向均勻分布，最好是選擇重量較輕、均一性好的風扇葉輪，風扇葉輪的風力儘量大，以獲得更好的阻止液體滲漏的效果。應該理解的是，在本實用新型的其他實施例中，也可以在本實用新型所提供的第三、第四、第五、第七、第八或第九實施例的基礎上，設置如第十一、第十二和第十三實施例中的風扇裝置603 ;以及，本實用新型的上述各實施例所提供的基板清洗裝置還可以包括用於給傳動軸提供旋轉動力的馬達500 ;在此不再一一列舉，本領域技術人員在本實用新型所提供的各實施例基礎上，都可以作出相應改進。以上所述是本實用新型的優選實施方式， 應當指出，對於本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護範圍。
權利要求1.一種基板清洗裝置，包括用於為基板表面清洗提供作業空間的清洗箱，所述清洗箱包括用於將所述作業空間與外部隔開的擋板，所述擋板上設有過孔；位於所述清洗箱內部、與基板表面接觸並旋轉以清洗基板表面的清洗刷；用於帶動所述清洗刷旋轉的傳動軸，所述傳動軸的一端通過所述過孔伸出所述擋板外，另一端與所述清洗刷連接；其特徵在於，所述基板清洗裝置還包括用於阻止所述清洗箱內部的液體從所述擋板上的過孔流出的阻止機構，設於所述擋板的過孔處。
2.根據權利要求1所述的基板清洗裝置，其特徵在於所述阻止機構包括用於阻止液體順著所述傳動軸向所述過孔處流動的內套，所述內套套設於所述傳動軸上並位於所述清洗刷與所述擋板之間。
3.根據權利要求2所述的基板清洗裝置，其特徵在於所述內套包括套設於所述傳動軸上的環狀的墊片，所述墊片的外徑大於所述擋板上的過孔的內徑。
4.根據權利要求3所述的基板清洗裝置，其特徵在於所述內套還包括套設於所述傳動軸上的環狀的軸套，與環狀的所述墊片固連為一體，其中所述墊片位於靠近所述過孔的一端。
5.根據權利要求1所述的基板清洗裝置，其特徵在於所述阻止機構包括遮擋密封蓋，用於遮擋所述傳動軸與所述擋板之間的空隙以阻止液體由所述空隙流出。
6.根據權利要求5所述的基板清洗裝置，其特徵在於所述遮擋密封蓋為蓋形結構，具有呈開口狀的第一端和中心具有通孔的第二端，所述第一端的開口面積大於所述第二端的通孔面積，所述第一端和所述第二端之間為容腔；其中，所述遮擋密封蓋的第一端的開口朝向所述擋板，且所述第一端的開口的邊沿圍繞所述擋板的過孔的周圍，並且所述第一端的開口的邊沿與所述擋板固定地或可拆卸地連接，所述第二端的通孔的內緣直徑大於所述傳動軸外徑，且所述第二端的通孔內穿裝所述傳動軸；或者，所述遮擋密封蓋的第一端的開口朝向所述擋板，且所述第一端的開口的邊沿圍繞所述擋板的過孔的周圍，並且所述第一端的開口的邊沿與所述擋板相離，所述第二端的通孔的內緣與所述傳動軸固定地或可拆卸地連接；或者，所述遮擋密封蓋的第一端的開口朝向所述清洗刷，所述遮擋密封蓋的第二端的通孔內穿裝所述傳動軸，且所述第二端的通孔內緣與所述擋板或與所述傳動軸固定地或可拆卸地連接。
7.根據權利要求6所述的基板清洗裝置，其特徵在於所述遮擋密封蓋的容腔壁上設有至少一個引流口，所述引流口的水平位置低於所述擋板的過孔。
8.根據權利要求1所述的基板清洗裝置，其特徵在於，所述阻止機構包括風扇裝置，所述風扇裝置用於在所述擋板的過孔處產生吹向所述清洗箱內部的氣流，以阻止液體從所述擋板的過孔流出。
9.根據權利要求8所述的基板清洗裝置，其特徵在於，所述風扇裝置設置在所述過孔處，且固定在所述擋板上或者固定在所述傳動軸上。
10.根據權利要求8或9所述的基板清洗裝置，其特徵在於，所述風扇裝置包括能夠在所述傳動軸帶動下旋轉的多個風扇葉輪，所述多個風扇葉輪沿所述傳動軸周向分布於所述傳動軸上。
11.根據權利要求1所述的基板清洗裝置，其特徵在於，所述基板清洗裝置還包括用於帶動所述傳動軸旋轉的馬達，所述馬達與所述傳動軸伸出所述過孔外的一端連接。
專利摘要本實用新型所提供一種基板清洗裝置，包括用於為基板表面清洗工藝提供作業空間的清洗箱，清洗箱包括用於將作業空間與外部隔開的擋板，擋板上設有過孔；用於在基板表面接觸並旋轉，以清洗基板表面的清洗刷，設置於清洗箱的內部；用於帶動清洗刷旋轉的傳動軸，一端通過過孔伸出清洗箱外，另一端與清洗箱內部的清洗刷連接；用於阻止清洗箱內部的液體從擋板上的過孔流出的阻止機構，設於擋板的過孔處。本實用新型的基板清理裝置在清洗槽的擋板的過孔處設置阻止機構，阻止玻璃表面的液體沿著傳動軸從清洗槽的擋板的過孔處流出至清洗槽外，保證傳動軸和馬達連接部位在乾燥環境中運行，保證設備運行穩定性，提高設備壽命。
文檔編號B08B7/04GK202824004SQ20122052099
公開日2013年3月27日 申請日期2012年10月11日 優先權日2012年10月11日
發明者張磊, 李偉, 宋泳珍, 崔泰城, 古星, 秦剛, 馬迪, 許國梁, 石巖, 趙磊 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 北京京東方顯示技術有限公司