平板玻璃表面的異物檢測裝置的製作方法

2023-04-24 19:26:31 2

專利名稱：平板玻璃表面的異物檢測裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種平板玻璃(flat glass plate)表面的異物檢測裝置，更具體而 言，涉及一種可對蒸鍍著微電路(micro-circuit)的圖案的面的異物進行準確檢測的平板 玻璃表面的異物檢測裝置。
背景技術：
用於平板顯示器(plat display)的平板玻璃，只在一面上蒸鍍著微電路的圖案， 玻璃業界將該面稱作「A面」，而另一面上並未蒸鍍著微電路的圖案，且玻璃業界將該另一面 稱作「B面」。在平板玻璃的A面的表面有異物的情況下，如果將微電路的圖案蒸鍍在此異物之 上，則容易引起微電路的圖案不良。因此，必須在蒸鍍微電路的圖案之前，準確檢查出玻璃 基板(特別是應蒸鍍著電路的A面)上是否有異物。圖1是現有的平板玻璃表面的異物檢測裝置的示意圖。現有的平板玻璃表面的異 物檢測裝置使用雷射束(laser beam)照射部20將具有較小厚度的雷射束從傾斜方向射入 至平板玻璃。所射入的雷射束31的一部分在通過平板玻璃後會透過該平板玻璃而形成一 種透過雷射束35，而所射入的雷射束31的剩餘部分則被平板玻璃所反射，從而形成反射激 光束33。如圖1所示，當使雷射束以與平板玻璃的面形成較大角度的方式而從傾斜方向射 入時，所射入的雷射束31到達平板玻璃的A面的部位與投射雷射束3 5到達平板玻璃的B 面的部位之間會存在SL程度的水平距離上的差異。當在A面的上部使用A面攝像裝置11來對異物進行拍攝時，能夠對只存在於平面 玻璃的A面上的異物進行拍攝。此時的原理中利用了如下現象，即，當A面攝像裝置11進 行拍攝時，僅到達平板玻璃的A面的雷射束因A面的異物81而產生散射並朝向透鏡(lens) 射入，而到達平板玻璃的B面的雷射束在偏離了 δ L程度的位置處到達平板玻璃的B面，因 此不會射入至A面攝像裝置11的透鏡中。然而，圖1的現有的平板玻璃表面的異物檢測裝 置中存在如下問題如果所使用的雷射束的厚度不是非常薄，則無法只對平板玻璃的A面 的異物進行檢測，而根據現實中能夠使用的雷射束的厚度，存在於平板玻璃的B面上的一 部分異物91也會一同被檢測到。因平板玻璃的A面與平板玻璃的B面上附著有異物不過是普通的現象，所以在如 圖1所示的現有的異物檢測裝置中會檢測到位於平板玻璃的B面上的一部分異物，因而如 果使用該檢測結果，則無法獲取與平板玻璃的A面上的異物相關的準確信息。此外，目前的 現狀為，如果平板玻璃的厚度越薄，則射入雷射束31到達平板玻璃的A面的部位與投射激 光束35到達平板玻璃的B面部位之間的水平距離上的差異即δ L減少，從而檢測結果更不 準確。另一問題則為當平板玻璃的移送裝置上下振動時，準確地區分A面的異物與B面 的異物將變得更加困難。因而存在如下問題，即為了解決如上所述的問題，必須在現有的平板玻璃的異物檢測裝置中使用高價的精密搬送設備。

發明內容
本發明是為了解決所述問題而完成的，其目的在於提供一種平板玻璃表面的異物 檢測裝置，其即便使用上下振動的相對廉價的搬送裝備，也能夠對附著於蒸鍍著微電路的 圖案的平板玻璃的表面的A面上的異物進行準確檢測。本發明的所述目的可通過平板玻璃表面的異物檢測裝置而達成，所述平板玻璃表 面的異物檢測裝置對附著於平板玻璃的表面上的異物進行檢測，所述平板玻璃包括由A面 與B面構成的兩面，其特徵在於包括A面雷射束照射裝置，從平板玻璃的A面的上部朝向 所述A面，以A面的法線向量(normalvector)為基準且以第一角度照射已向S方向偏光的 第1波長的雷射束；A面攝像裝置，對將雷射束照射至平板玻璃的A面上的部位進行拍攝， 所述雷射束是從A面雷射束照射裝置而照射；B面雷射束照射裝置，從平板玻璃的A面的上 部，以A面的法線向量為基準且以比第一角度更小的第二角度朝向所述A面而照射第2波 長的雷射束，所述第2波長的雷射束是被照射的雷射束的大部分在平板玻璃的厚度方向上 透過後所得；B面攝像裝置，對將雷射束照射至平板玻璃的B面上的部位進行拍攝，所述激 光束是從B面雷射束照射裝置而照射；以及檢測信號處理部，對從A面攝像裝置及B面攝像 裝置所輸入的影像圖像進行分析，通過對哪個攝像裝置更清晰地輸出異物來進行判別，而 對附著異物的面進行判別。[發明的效果]根據本發明的平板玻璃表面的異物檢測裝置，即便使用發生上下振動的精度低 的平板玻璃的移送裝置，也可對存在於平板玻璃基板上的異物附著於A面與B面中的哪 一面進行準確檢測，因此使用該異物檢測裝置，能夠使生產液晶顯示器(Liquid Crystal Display, LCD)、有機電致發光(electroluminescence，EL)等的平板顯示器時有可能發生 的微圖案的不良現象減少。上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段， 並可依照說明書的內容予以實施，以下以本發明的較佳實施例並配合附圖詳細說明如後。


為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現 有技術描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發 明的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根 據這些附圖獲得其他的附圖。圖1是現有的平板玻璃表面的異物檢測裝置的示意圖。圖2是示意地表示本發明的平板玻璃表面的異物檢測裝置的較佳實施方式的結 構圖。圖3是圖2的A-A'方向的局部剖面圖。圖4是表示相對於S偏光波對玻璃的射入角的透過率(transmittance)及反射率 (reflectance)的圖表。圖5是說明相對於雷射束的射入角的反射角及透過角的波形圖。
圖6是表示相對於P偏光波對玻璃的射入角的透過率及反射率的圖表。圖7是用於說明P偏光及S偏光的波形圖。圖8是用於說明由A面雷射照射裝置所照射的雷射束在因附著於玻璃基板上的異 物而產生散射後，由A面攝像裝置進行檢測的過程的說明圖。圖9是表示經由本發明的平板玻璃表面的異物檢測裝置來對附著於玻璃基板上 的異物進行檢測，且視覺上顯示出該檢測結果的實施方式。圖10是用於說明即便在玻璃基板的移送裝置垂直移動的情況下，也可通過本發 明的平板玻璃表面的異物檢測裝置來準確進行異物的檢測的說明圖。圖11是用於說明本發明中所使用的雷射束的形狀的說明圖。[符號的說明]11 :A面攝像裝置11-81、13-91 異物檢測圖像的畫面11-91:圖像的畫面13 =B面攝像裝置13-81 :A面異物的拍攝圖像20 雷射束照射部30 平板玻璃31 雷射束32 玻璃基板33 反射雷射束35 透過雷射束50 =A面攝像裝置照射至玻璃基板30的上部的區域51 :A面雷射束照射裝置53 =B面雷射束照射裝置53i、55:射入光53r、57 反射光53t、59 透過光59 雷射束81:A 面異物90 檢測信號處理部91 :B 面異物83 散射光100:平板玻璃移送方向G :A面的法線向量S 雷射束照射至平面玻璃30的A面上的區域T 雷射束59的厚度t 玻璃基板30的厚度w 玻璃基板30的寬度方向x、y、z:軸
φ 雷射束59的寬度θ 1 第一角度θ 2 第二角度θ 2t、θ 2r 角度δ L 水平距離上的差異
具體實施例方式以下，參考附圖來對本發明的平板玻璃表面的異物檢測裝置的較佳實施方式進行 詳細說明。圖2是示意地表示本發明的平板玻璃表面的異物檢測裝置的較佳實施方式的結 構圖，圖3是圖2的A-A'方向的局部剖面圖。在進行說明之前，將分別設置著A面雷射束照射裝置51與B面雷射束照射裝置53 的一側面定義為如下含義形成為長方形的平板玻璃基板30的四個角部中的處於與平板 玻璃基板30的移送方向平行位置處的角部。參考圖2及圖3，本發明的平板玻璃表面的異物檢測裝置包括:Α面雷射束照射裝 置51，從平板玻璃基板30的上部的一側面朝向A面，照射已向S方向偏光的第1波長的激 光束；A面攝像裝置11，接收因存在於A面上的異物而產生散射的雷射束；B面雷射束照射 裝置53，從平板玻璃基板30的側面對B面照射第2波長的雷射束；B面攝像裝置13，接收 因存在於B面上的異物而產生散射的雷射束；以及檢測信號處理部90，根據從A面攝像裝 置11及B面攝像裝置13所輸入的影像信號，而對該異物附著於A面或B面中的哪一面上 進行檢測。玻璃基板30是用於如IXD這樣的顯示器裝置的面板中的薄玻璃材質的基板，一般 來說，由0. 5mm至0. 7mm的厚度構成，A面是指蒸鍍形成著微電路的圖案的面，B面是指未形 成著微電路的圖案的面。參考編號「 100，，表示玻璃基板30的移送方向，符號S表示將由A 面的雷射照射部51與B面的雷射照射部53所照射的雷射束照射至平面玻璃30的A面上 的區域。由雷射束照射裝置51、53照射至玻璃基板的A面及B面的雷射束優選具有大致 IOOmm的寬度及0. 65mm至0. 95mm的厚度。此時，雷射束的寬度尺寸(約100mm)適合於具 有大致Im寬的玻璃基板30，而如果玻璃基板大型化，則也必須隨之使用寬度相應變大的激 光束。例如，如果工序中的玻璃基板30是具有大於等於Im的寬度的玻璃基板30，則雷射束 優選具有大於等於IOOmm的寬度，而如果工序中的玻璃基板30具有小於等於Im的寬度，則 所述雷射束優選具有小於等於IOOmm的寬度。A面雷射束照射裝置51是用於對附著於玻璃基板30的A面上的異物進行檢測的 裝置，優選使從A面雷射束照射裝置51輸出的雷射束儘可能不透過平板玻璃基板30以便 產生反射。其理由在於當將從A面雷射束照射裝置51照射的雷射束與平板玻璃30的A 面的法線向量G所成的角度定義為「第一角度」(圖3的Θ1)時，第一角度θ 1較佳為盡可 能維持為接近90度。圖4是表示S偏光波相對於玻璃的射入角的透過率及反射率的圖表。如圖4所示 可知當從A面雷射束照射裝置51照射的雷射束與A面的法線向量形成75度(也就是，θ 1=75度)而射入時，射入光的約45%會被反射。在大氣中，從A面雷射束照射裝置51照射 至A面的光會在包括如下的邊界面在內的兩個邊界面發生反射，即，所述光到達A面的邊界 面及已透過A面的光到達B面的邊界面。因此，理論上可知，如果第一角度θ 1達到75度， 則射入光的約65%左右的光會被反射，本申請案的發明人發現當可達成此種程度的反射 率時，便可適用於實際的A面的異物檢測。更優選為，若將第一角度θ 1維持為大於等於80 度且小於等於90度之間，則可將反射率維持為大於等於85%，因此能夠更有效地進行A面 的異物檢測。B面雷射束照射裝置53是用於對附著於玻璃基板30的B面上的異物進行檢測而 照射雷射束的裝置。如圖5所示，從B面雷射束照射裝置53照射的雷射束，如果作為射入光 53i而以θ 2的角度射入，則射入光53i中的一部分會以Θ2 的角度而形成透過光53t，其 剩餘部分會以Θ2γ的角度形成反射光53r。更嚴格來說，還存在被玻璃基板30吸收的光， 但由於該光量非常少所以可忽視。與圖2相同，當從A面的上部的側面使用B面雷射束照射 裝置53進行照射時，優選從B面雷射束照射裝置53輸出的雷射束儘可能在平板玻璃基板 30的厚度方向上透過。根據所述理由，在將從B面雷射束照射裝置53照射的雷射束與平板 玻璃30的A面的法線向量G所成的角度定義為「第二角度」(圖3的Θ2)的情況下，優選 將第二角度θ 2儘可能維持為接近0度。當並未使用偏光的光來作為B面雷射束時，根據 實驗，第二角度θ 2儘可能小於等於40度較佳，更優選小於等於10度。當將未偏光的雷射 束照射至玻璃時，相對於射入角的透過率及反射率表示在與圖4相同的圖表中，從而可知 當第二角度θ 2為40度時，射入光中的85%左右得以透過，而當第二角度θ 2為10度時， 射入光中的97%左右得以透過。圖6是表示相對於P偏光波相對於玻璃的射入角的透過率及反射率的圖表。如圖 6所示可知在使用P偏光波來作為從B面雷射束照射裝置53照射的雷射束的情況下，如 果與A面的法線向量形成70度(也就是，Θ2 = 70度)而射入，則射入光的約90%得以 透過。因此，理論上說，在使用P偏光的雷射束來作為B面雷射的情況下，如果將第二角度 θ 2維持為小於等於70度，則可使射入光的約大於等於90%的光透過，本申請案的發明人 發現當可達成此種程度的透過率時，便可適用於實際的B面的異物檢測。更優選為，使從B面雷射束照射裝置53射出的雷射束作為已向P方向偏光的第 2波長的雷射束而形成，且優選使該雷射束以布儒斯特角(Brewsterangle)射入。如果已 向P方向偏光的光在玻璃基板30上形成布儒斯特角而射入，則不會產生反射波，而是能夠 100%透過，參考圖6，可知布儒斯特角在約55度附近成立。此外，優選A面攝像裝置11與B面攝像裝置13分別包括僅使第1波長通過的濾 光片(filter)、及僅使第2波長透過的濾光片。另外，對P偏光方向與S偏光方向進行如下說明。前進的光在與前進方向垂直的 方向上形成著具有正弦波形狀的電場及磁場，但一般來說，將形成著電場的方向規定為偏 光方向。以下參考圖7來對偏光方向進行說明。具有固定寬度及厚度的雷射束朝向進入地 面的方向前進，當將與地面接觸的面設為S面時，如果所述雷射束在y軸方向上形成電場， 則將該現象稱作P偏光，而如果在χ軸方向上形成電場，則將該現象稱作S偏光。參考圖2 進行說明，如果從A面雷射束照射裝置51所照射的雷射束在與照射至平板玻璃30的A面上 的區域S平行的面上形成著電場，則將該現象稱作P偏光，而如果在垂直的面上形成電場，則將該現象稱作S偏光。圖8是用於說明由A面雷射照射裝置所照射的雷射束在因附著於玻璃基板上的異 物而產生散射後，由A面攝像裝置進行檢測的過程的說明圖。圖9是表示經由本發明的平 板玻璃表面的異物檢測裝置來對附著於玻璃基板上的異物進行檢測，且視覺上顯示出該檢 測結果的實施方式。在進行說明之前，假設在玻璃基板30的A面與B面上分別附著有A面 異物81與B面異物91，對本發明的平板玻璃表面的異物檢測裝置的作用進行說明。由A面 雷射束而照射至玻璃基板30的A面的射入光55在到達A面之後，大部分被反射而形成反 射光57，而少量的剩餘部分則形成可透過該玻璃基板30的透過光59。以下參考圖8及圖9，對存在於玻璃基板上的異物的檢測、及用於掌握所檢測的異 物存在於玻璃基板中的哪一面上的具體方法進行說明。當將由A面雷射束的照射裝置所照 射的雷射束照射至A面異物81上時，A面雷射束的射入光55或反射光57中的一部分會因 A面異物81而以任意的角度產生散射，且被配設於玻璃基板30的上部的A面攝像裝置11 所接收。圖9的「11-81」表示異物檢測圖像的畫面，該畫面是在A面攝像裝置11對因所述 玻璃基板30的A面異物81而被散射反射的A面雷射束進行感知後所顯示者。如圖8及圖 9所示，被散射反射的光越多，則所檢測到的圖像得以更清晰地顯示，從而將玻璃基板30的 A面上存在異物81的情況顯示給作業人員看。即便一部分被透過的A面雷射束到達B面異物91，也會因A面雷射束的大部分已 被A面所反射，而到達B面異物91上的A面雷射束的量相對較少，因此其影響(也就是，散 射及反射)較少。因此，根據由A面攝像裝置11所檢測到的影像信號生成而提供的圖像的 畫面(圖9的「11-91」)整體顯示為較暗的空白狀態，或者被檢測到的異物的影像的解析度 被顯示成非常低且不清晰的圖像形態。實際上，A面攝像裝置11拍攝出一張影像圖像，該 影像的圖像中同時顯示出清晰拍攝到的A面異物、及以相對較少的光量進行拍攝而模糊拍 攝到的B面異物。另一方面，對附著於玻璃基板30的B面上的B面異物91進行以下說明。當由B面 雷射束照射裝置53所照射的B面雷射束到達A面異物81時，會相對於所射入的所有光產 生散射及反射，因此由B面攝像裝置13拍攝到的A面異物的拍攝圖像(圖9的「13-81」) 以清晰的圖像形態來顯示。另一方面，當附著於玻璃基板30的B面上的B面異物91被照 射了由B面雷射束的照射裝置53所照射的雷射束時，B面雷射束的大部分會因B面異物91 而以任意的角度產生散射，且被配設於玻璃基板30的上部的B面攝像裝置13所接收。圖 9的「13-91」表示異物檢測圖像的畫面，該畫面是B面檢測裝置13對因附著於玻璃基板30 的B面上的異物91而被散射反射的B面雷射束進行感知後所顯示者。實際上，B面攝像裝 置13拍攝出一張影像圖像，因而該影像圖像中顯示了清晰拍攝到的A面異物與清晰拍攝到 的B面異物。本發明的檢測信號處理部可利用由A面攝像裝置所拍攝的影像圖像及由B面攝像 裝置所拍攝的影像圖像中所表示的各異物的清晰度，而檢測出該異物附著於哪個面上。以下，假設如下情況，即，利用A面雷射束照射裝置51使S方向偏光的第一頻率激 光束維持為與A面的法線向量成80度而射入，且利用B面雷射束照射裝置53使P方向偏 光的第二頻率雷射束維持為與A面的法線向量成布儒斯特角而射入，從而對本發明的A面 異物81與B面異物91的檢測方法進行定量說明。此時，假設為如下情況A面雷射束及B面雷射束具有100程度的射入量，A面雷射束在大氣中被反射的反射率為85%，且B面雷射 束可100%透過，而且，照射至異物的光產生100%的散射。表 1
A面異物B面異物A面雷射束10015B面雷射束100100相對於各面的異物 的合計光量200115此時，如表1所示，利用由A面雷射束照射裝置所照射的A面雷射束，A面異物產生 了 100程度的散射，而另一方面，對於B面異物而言只產生了 15程度的散射。與其相比，如 果假設B面攝像裝置的焦點在A面與B面被同等識別出，則由B面雷射束照射裝置所照射的 B面雷射束在照射至A面後會100%透過B面，因此對於A面異物與B面異物雙方均產生了 100程度的散射。因此，由A面攝像裝置及B面攝像裝置所檢測到的、相對於A面異物而散 射的光量總計為200，與此相對，由A面攝像裝置及B面攝像裝置所檢測到的、相對於B面異 物而散射的整體的光量為115。如果檢測信號處理部對由A面攝像裝置所拍攝到的影像圖 像、與由B面攝像裝置所拍攝到的影像圖像加以比較，則能夠檢測出各自的異物是存在於A 面上的異物、還是存在於B面上的異物。根據表1的比較，當難以進行異物的檢測時，如果將A面雷射束的強度設定為比B 面雷射束的強度大2倍，則能夠更容易地進行檢測。如果假設為如下情況則所述表1的數 值變為如表2所示A面雷射束具有射入量200，B面雷射束具有射入量100，A面雷射束在 大氣中被反射的反射率為85%，B面雷射束100%透過，此外，照射至異物的光產生100%的散射。表2
A面異物B面異物A面雷射束20030B面雷射束100100相對於各面的異物 的合計光量300130 如以上的表2所示，在使A面雷射束照射裝置與B面雷射束照射裝置的輸出不同 的情況下，更可靠地示出由異物的位置所引起的光量的差，因此檢測信號處理部可使用從A 面攝像裝置及B面攝像裝置接收到的該異物的合計散射光量，而更容易地檢測出該異物附著於哪個面上。圖10是用於說明即便在玻璃基板30的移送裝置垂直移動的情況下，也可通過本 發明的平板玻璃表面的異物檢測裝置來準確進行異物的檢測的說明圖。圖10(a)表示移送 中的玻璃基板30水平地在正常位置進行移送的過程的圖，圖10(b)所示的玻璃基板32是 因移送裝置的垂直偏差而其平坦度(flatness)發生改變的玻璃基板32，且表示了在從正 常的位置30向上部側平坦度改變了「 Δ 」的狀態下進行移送的過程。圖10中，將A面攝像 裝置照射至玻璃基板30的上部的區域表示為參考編號「50」。以前，玻璃表面的異物檢測裝置如所述般，無法適當應對移送中所產生的玻璃基 板30的平坦度改變，從而存在附著於玻璃基板30上的異物的檢測精度降低的問題。然而， 本發明的平板玻璃表面的異物檢測裝置即便在玻璃基板30的平坦度發生改變的情況下， 也能夠利用從與玻璃基板30的移送方向垂直的方向照射而來的雷射束，而將由基板30的 平坦度改變所引起的影響最小化。如果參考圖10(a)及(b)來對A面異物的檢測過程進行討論，則即便已到達被照 射著A面雷射束59的區域的玻璃基板30從完全的平面位置(也就是，玻璃基板「30」的位 置)向上部方向移動「 Δ 」而位於更高的地點(也就是，玻璃基板「32」的位置)，玻璃基板 32的上表面也可維持成依然包含於上部雷射束59的內部的狀態。因此，能夠產生由附著於 玻璃基板30的A面的異物所引起的散射反射，從而能夠可靠進行異物的檢測。其原因在於本發明的平板玻璃表面的異物檢測裝置通過以如下方式而構成從 與玻璃基板30的移送方向垂直的方向照射A面雷射束59，同時將上部雷射束59從玻璃基 板30的上表面以形成規定的傾斜角而從斜方向射入，從而即便在處於移送中的玻璃基板 30上發生平坦度改變了 「 Δ，，的情況下，玻璃基板32的上表面也總是能夠包含在所述雷射 束的寬度方向的內表面。圖11是用於說明本發明中所使用的雷射束的形狀的圖。圖11 (a)是表示從移送中 的玻璃基板30的A面的側面照射雷射束59至紙面的近前側的圖，圖11(b)是表示圖11(a) 的B-B'剖面的圖。如圖11(b)所示，雷射束59具有如下的橢圓形狀在玻璃基板30的寬 度方向w上具有較小的厚度T，在玻璃基板30的厚度t方向上具有較寬的寬度Φ。通過使 用此種雷射形狀，即便在使用了平坦度不固定且相對廉價的移送裝置的情況下也能夠準確 檢測出玻璃基板30上的異物。以上所述，僅是本發明的較佳實施例而已，並非對本發明作任何形式上的限制，雖 然本發明已以較佳實施例揭露如上，然而並非用以限定本發明，任何熟悉本專業的技術人 員，在不脫離本發明技術方案範圍內，當可利用上述揭示的結構及技術內容作出些許的更 動或修飾為等同變化的等效實施例，但是凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明 的技術實質來對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬於本發明技術 方案的範圍內。
權利要求
1.一種平板玻璃表面的異物檢測裝置，對附著於平板玻璃的表面上的異物進行檢測， 所述平板玻璃包括由A面與B面構成的兩面，其特徵在於包括A面雷射束照射裝置，從所述平板玻璃的A面的上部朝向所述A面，以A面的法線向量 為基準且以第一角度照射已向S方向偏光的第1波長的雷射束；A面攝像裝置，對將雷射束照射至所述平板玻璃的A面上的部位進行拍攝，所述雷射束 是從所述A面雷射束照射裝置而照射；B面雷射束照射裝置，從所述平板玻璃的A面的上部，以A面的法線向量為基準且以比 所述第一角度更小的第二角度朝向所述A面而照射第2波長的雷射束，所述第2波長的激 光束是被照射的雷射束的大部分在平板玻璃的厚度方向上透過後所得；B面攝像裝置，對將雷射束照射至所述平板玻璃的B面上的部位進行拍攝，所述雷射束 是從所述B面雷射束照射裝置而照射；以及檢測信號處理部，對從所述A面攝像裝置及所述B面攝像裝置所輸入的影像圖像進行 分析，而對附著所述異物的面進行判別。
2.根據權利要求1所述的平板玻璃表面的異物檢測裝置，其特徵在於所述A面攝像裝置中設置著可選擇性地透過所述第一波長的濾光片，在所述B面攝像 裝置中設置著可選擇性地透過所述第二波長的濾光片。
3.根據權利要求1所述的平板玻璃表面的異物檢測裝置，其特徵在於 所述第一角度大於等於75度。
4.根據權利要求3所述的平板玻璃表面的異物檢測裝置，其特徵在於 所述第一角度大於等於80度。
5.根據權利要求1所述的平板玻璃表面的異物檢測裝置，其特徵在於 所述B面雷射束照射裝置照射已形成為P偏光的雷射束。
6.根據權利要求5所述的平板玻璃表面的異物檢測裝置，其特徵在於所述第二角度是角度維持為90度的布儒斯特角，所述角度是由所述B面雷射束照射裝 置照射的雷射束被平板玻璃的A面所反射的反射波、與在所述平板玻璃的厚度方向上折射 的折射波而成的角度。
7.根據權利要求5所述的平板玻璃表面的異物檢測裝置，其特徵在於 所述第二角度相對於所述A面的法線向量而小於等於70度。
8.根據權利要求1至7中任一項所述的玻璃表面的異物檢測裝置，其特徵在於 從所述A面雷射束照射裝置及B面雷射束照射裝置照射的雷射束具有由所述玻璃基板的厚度方向而定義的寬度Φ、及由所述玻璃基板的寬度方向而定義的厚度T，所述雷射束 為寬度Φ形成得比厚度T更大的橢圓形狀。
9.根據權利要求1至5中任一項所述的玻璃表面的異物檢測裝置，其特徵在於 所述第二角度為大於等於0度且小於等於40度之間的角度。
全文摘要
本發明涉及平板玻璃表面的異物檢測裝置，包括A面雷射束照射裝置，從平板玻璃的A面的上部朝向A面，以A面的法線向量為基準且以第一角度照射已向S方向偏光的第1波長的雷射束；A面攝像裝置，對將雷射束照射至平板玻璃的A面上的部位進行拍攝，該雷射束是從A面雷射束照射裝置而照射；B面雷射束照射裝置，從平板玻璃的A面的上部，以A面的法線向量為基準且以比第一角度更小的第二角度而朝向所述A面照射第2波長的雷射束，所述第2波長的雷射束是被照射的雷射束的大部分在平板玻璃的厚度方向上透過後所得；B面攝像裝置，對將雷射束照射至平板玻璃的B面上的部位進行拍攝，該雷射束是從B面雷射束照射裝置而照射；以及檢測信號處理部。
文檔編號G01N21/956GK102141526SQ20101014143
公開日2011年8月3日 申請日期2010年3月25日 優先權日2010年1月29日
發明者樸晉弘, 李昌夏, 金臺皓, 金賢祐 申請人:三星康寧精密素材株式會社