高穩定性ito玻璃刻蝕系統的製作方法

2023-05-22 17:06:51

高穩定性ito玻璃刻蝕系統的製作方法
【專利摘要】本發明涉及一種高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，它包括相連接的刻蝕組件和水洗組件，所述刻蝕組件和所述水洗組件安裝有多個分離式傳動組件，所述分離式傳動組件包括安裝在所述刻蝕組件或所述水洗組件外的第一磁力輪、安裝在所述刻蝕組件或所述水洗組件內且與所述第一磁力輪相對應的第二磁力輪、端部與所述第二磁力輪相連接的滾軸以及安裝在所述滾軸上且間隔設置的滾輪以及用於帶動所述第一磁力輪轉動的傳動機構。從而可以將第一磁力輪設置在系統內部而第二磁力輪設置在系統外部，避免了磨損而產生顆粒物，從根本上杜絕了顆粒物對工藝槽內環境的汙染；而且有利於提高整個系統運行的穩定性，提高使用壽命生產效率。
【專利說明】高穩定性ITO玻璃刻蝕系統

【技術領域】
[0001]本發明涉及一種刻蝕系統，具體地涉及一種高穩定性ITO玻璃刻蝕系統。

【背景技術】
[0002]目前，在平板顯示行業大世代線體中，如3.5代線以上，ITO玻璃在清洗工藝製程中會經過刻蝕、高低壓噴淋、液切、風切等製程。在這些製程中，為了保持基板行進的穩定性，必須在基板的上表面邊緣5mm範圍內使用壓片滾輪壓住玻璃基板，且這種壓力必須均勻、穩定。在目前所知的所有清洗設備中，所有設備製造商均採用固定式的壓片滾輪對基板進行壓緊。這種滾輪在使用前必須根據基板的厚度調出合適的間隙，而且每次間隙調整均極其耗時，且調整完畢後，受機械振動，材料蠕變等因素影響，長時間使用依然會有卡片、碎片、打滑等風險。而且現有的ITO玻璃刻蝕系統均採用噴淋式的刻蝕方式，即在基板上方設置多組搖擺噴管，該種方式在使用傳統刻蝕液時效果良好，而在使用活性較強的新式刻蝕液(如HCl)時，往往產生嚴重的刻蝕不均現象(原因)。因此有必要在此基礎上開發出具有更高性能和更高穩定性的ITO玻璃刻蝕系統。


【發明內容】

[0003]本發明目的是為了克服現有技術的不足而提供一種高穩定性ITO玻璃刻蝕系統。
[0004]為達到上述目的，本發明所採用的技術方案為:一種高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，它包括相連接的刻蝕組件和水洗組件，所述刻蝕組件和所述水洗組件安裝有多個分離式傳動組件，所述分離式傳動組件包括安裝在所述刻蝕組件或所述水洗組件外的第一磁力輪、安裝在所述刻蝕組件或所述水洗組件內且與所述第一磁力輪相對應的第二磁力輪、端部與所述第二磁力輪相連接的滾軸以及安裝在所述滾軸上且間隔設置的滾輪以及用於帶動所述第一磁力輪轉動的傳動機構。
[0005]優化地，所述水洗組件設置於所述刻蝕組件的下方，所述刻蝕組件通過安裝在其端部的升降組件與所述水洗組件相連接。
[0006]進一步地，所述刻蝕組件和所述水洗組件內安裝有設置在所述分離式傳動組件上方且與其相配合的多個間隙自適應壓片滾輪，所述間隙自適應壓片滾輪包括:
滾輪外套，所述滾輪外套內圈設置有間隔的多個凸起；
卡套，所述卡套設置有與所述凸起相配合的多個卡齒，它通過所述卡齒卡合於所述滾輪外套的一側；
支撐件，所述支撐件包括設置於所述滾輪外套另一側的第一柱體以及與所述第一柱體側面相連接且插入所述滾輪外套和所述卡套的第二柱體，所述第一柱體的直徑大於所述凸起內端形成的圓形直徑；
彈性件，所述彈性件放置在被所述支撐件和所述卡套圍住的所述凸起之間，所述彈性件向所述滾輪外套中心軸的方向延伸。
[0007]進一步地，所述刻蝕組件包括依次相連接的預處理單元、刻蝕單元和水洗單元，所述預處理單元包括分別安裝於其兩端部的第一離子泵、安裝在所述第一離子泵之間的紫外燈以及用於向其內導入氧氣的氧氣閥，所述刻蝕單元包括設置於其內部用於對ITO玻璃進行上下噴淋的多個第一噴淋管、設置於其內部並位於所述第一噴淋管上遊的第一液刀以及設置於其內部並位於所述第一噴淋管下遊的一組第一風刀以及用於收集刻蝕液並將再導入所述第一噴淋管和所述第一液刀中的循環機構，所述水洗單元包括設置於其內部用於對ITO玻璃進行上下噴淋的多個第二噴淋管、設置於其內部並位於所述第二噴淋管上遊的第二液刀以及設置於其內部並位於所述第二噴淋管下遊的第一超級液刀。
[0008]進一步地，所述第一液刀和所述第二液刀的結構相同，它們均包括相對應合蓋的兩塊液刀板、形成於兩塊所述液刀板之間的第一腔體、形成於兩塊所述液刀板下端部的出液條縫，兩塊所述液刀板之間還形成有與所述第一腔體相連通的第二腔體，所述第二腔體與所述出液條縫相連通，所述第二腔體的截面為圓形或者橢圓形。
[0009]進一步地，所述刻蝕組件還包括連接於所述預處理單元和所述刻蝕單元之間的第一緩衝單元以及連接於所述刻蝕單元和所述水洗單元之間的第二緩衝單元，所述第一緩衝單元的兩端分別安裝有一組第二風刀，所述第二緩衝單元內設有一組第三風刀，所述第一緩衝單元在其與所述刻蝕單元的連接處以及所述第二緩衝單元在其與所述刻蝕單元的連接處設有防結晶機構。
[0010]進一步地，所述防結晶機構包括用於對應遮擋住所述刻蝕單元進料口和出料的擋板、與所述擋板相連接用於帶動其轉動的把手、用於盛放浸潤液從而浸泡所述擋板和所述把手的浸潤槽、與所述浸潤槽相連通的流量計和閥門。
[0011]進一步地，所述水洗組件包括依次相連接的多個大流量水洗單元和風乾單元。
[0012]進一步地，所述大流量水洗單元包括設置於其內部用於對ITO玻璃進行上下噴淋的多個第三噴淋管以及設置於所述第三噴淋管下遊的第二超級液刀；所述風乾單元設置於其內部用於對ITO玻璃進行風乾的一對抗負壓風刀和設置於所述抗負壓風刀下遊的第二離子泵。
[0013]進一步地，所述抗負壓風刀包括相對應合蓋的第一風刀板和第二風刀板、形成於所述第一風刀板和所述第二風刀板之間的腔體、形成於所述第一風刀板和所述第二風刀板之間且與所述腔體相連通的進風口、形成於所述第一風刀板和所述第二風刀板之間的出風口，所述第一風刀板下表面與所述第二風刀板下表面處於同一平面內，所述第一風刀板下表面與經過此處的ITO玻璃上表面形成銳角，所述出風口與所述ITO玻璃相垂直。
[0014]由於上述技術方案運用，本發明與現有技術相比具有下列優點:本發明高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，通過設置分離式傳動組件，該分離式傳動組件第一磁力輪、第二磁力輪、滾軸以及用於帶動所述第一磁力輪轉動的傳動機構，從而可以將第一磁力輪設置在系統內部而第二磁力輪設置在系統外部，避免了磨損而產生顆粒物，從根本上杜絕了顆粒物對工藝槽內環境的汙染；而且有利於提高整個系統運行的穩定性，提高使用壽命生產效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]附圖1是本發明高穩定性ITO玻璃刻蝕系統的結構示意圖；
附圖2是本發明高穩定性ITO玻璃刻蝕系統刻蝕組件的結構示意圖；
附圖3是本發明高穩定性ITO玻璃刻蝕系統水洗組件的結構示意圖； 附圖4是本發明高穩定性ITO玻璃刻蝕系統分離式傳動組件的結構示意圖；
附圖5是本發明高穩定性ITO玻璃刻蝕系統間隙自適應壓片滾輪的爆炸圖；
附圖6是本發明高穩定性ITO玻璃刻蝕系統間隙自適應壓片滾輪的組裝圖；
附圖7是本發明高穩定性ITO玻璃刻蝕系統液刀的結構示意圖；
附圖8是本發明高穩定性ITO玻璃刻蝕系統防結晶機構的結構示意圖；
附圖9是本發明高穩定性ITO玻璃刻蝕系統抗負壓風刀的結構示意圖；
其中，1、刻蝕組件；11、預處理單元；111、紫外燈；112、氧氣閥；113、第一離子泵；12、刻蝕單元；121、第一噴淋管；122、第一液刀；123、第一風刀；124、循環機構；13、水洗單元；131、第二噴淋管；132、第二液刀；133、第一超級液刀；134、液刀板；135、第一腔體；136、螺釘；137、第二腔體；138、出液條縫；14、第一緩衝單元；141、第二風刀；142、防結晶機構；143、擋板；144、把手；145、流量計；146、閥門；147、浸潤槽；15、第二緩衝單元；151、第三風刀；2、水洗組件；21、大流量水洗單元；211、第三噴淋管；212、第二超級液刀；22、風乾單元；221、抗負壓風刀；222、第二離子泵；223、第一風刀板；224、第二風刀板；225、腔體；226、出風口 ；227、進風口 ；3、升降組件；4、分離式傳動組件；41、傳動機構；411、第一斜齒輪；412、傳動齒輪；413、第二斜齒輪；421、第一磁力輪；422、第二磁力輪；43、滾軸；44、滾輪；5、間隙自適應壓片滾輪；51、滾輪外套；511、凸起；52、卡套；521、卡齒；522、插孔；53、彈性件；54、支撐件；541、第一柱體；542、第三柱體；543、第二柱體；55、支撐套環；56、螺帽；57、限位螺釘。

【具體實施方式】
[0016]下面將結合附圖對本發明優選實施方案進行詳細說明。
[0017]如圖1至圖9所示的高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，主要包括相連接的刻蝕組件I和水洗組件2，刻蝕組件I和水洗組件2安裝有多個分離式傳動組件4。
[0018]其中，分離式傳動組件4主要包括傳動機構41、第一磁力輪421、第二磁力輪422、滾軸43和滾輪44。第一磁力輪421與傳動機構41相連接，它們設置在刻蝕組件I或水洗組件2的外部，當傳動機構41轉動時同步帶動第一磁力輪421轉動。第二磁力輪422與第一磁力輪421相對應設置，當第一磁力輪421轉動時同步帶動第二磁力輪422轉動；滾軸43的端部與第二磁力輪422相連，它安裝在兩個第二磁力輪422之間，並且它的上面安裝有多個間隔設置的滾輪44，當第二磁力輪422轉動時同步帶動滾軸43轉動；第二磁力輪422、滾軸43和滾輪44設置在刻蝕組件I或水洗組件2內。這樣避免了傳統齒輪和皮帶在應用中因磨損產生顆粒物，從根本上杜絕了顆粒物對工藝槽內環境的汙染；而且有利於提高整個系統運行的穩定性，提高使用壽命生產效率。在本實施例中，由於滾軸43需要水平設置，傳動機構41包括與第一磁力輪421相連接的第一斜齒輪411、與第一斜齒輪411相配合的傳動齒輪412以及與傳動齒輪412相配合的第二斜齒輪413，這樣利用第一斜齒輪411、傳動齒輪412以及第二斜齒輪413之間的配合能夠實現將水平方向上的轉動轉化為垂直方向上的轉動。
[0019]可以將刻蝕組件I和水洗組件2設置在同一水平面上，並將水洗組件2設置在刻蝕組件I的下遊(上下遊的判斷是根據該系統中ITO玻璃傳輸的方向進行定義的，ITO玻璃由上遊向下遊傳輸)。在本實施例中，將水洗組件2設置於刻蝕組件I的下方，刻蝕組件I通過安裝在其端部的升降組件3與水洗組件2相連接，這樣可以將ITO玻璃的進料和出料設置在同一端，從而在自動化生產過程中可以少用一臺機械手，從而有效地節約了成本。
[0020]在本實施例中，刻蝕組件I和水洗組件2內安裝有設置在分離式傳動組件4)方且與其相配合的多個間隙自適應壓片滾輪5，該間隙自適應壓片滾輪5能夠適用於壓住不同厚度的ITO玻璃，這樣在產線上刻蝕不同厚度的ITO玻璃時不再需要調節其高度以適應不同厚度。它包括主要包括滾輪外套51、卡套52、支撐件54以及彈性件53 ;其中，滾輪外套51的內圈間隔設置有多個凸起511，這些凸起511沿滾輪外套51軸心線的方向延伸，且相鄰兩個凸起511之間形成凹部。卡套52設置在滾輪外套51的一側，它通過其上設置且與凸起511相配合的多個卡齒521與滾輪外套51卡合。支撐件54是空心的，用於插設在固定軸或者轉軸上，包括第一柱體541和第二柱體543 ;第一柱體541設置在滾輪外套51的另一側，第二柱體543則與第一柱體541的側面相連接，且插入滾輪外套51和卡套52中，需要注意的是第一柱體541的直徑大於凸起511內端形成的圓形直徑；這樣就能夠用第一柱體541和卡套52在第二柱體543和滾輪外套51的凸起511之間圍成一容置空間。彈性件53 (本實施例中為彈簧)就放置在這個容置空間內，即彈性件53放置在被支撐件54和卡套52圍住的凸起511之間，它的延伸方向指向滾輪外套51的中心軸方向，即彈性件53的一端抵住第二柱體543，另一端抵住滾輪外套51的內壁，這樣當玻璃的厚度發生變化時，擠壓滾輪外套51從而使得對應處的彈性件53被壓縮而能自動調節滾輪外套51，在避免壓碎玻璃的同時還能大幅提高生產效率。支撐件54還包括與第一柱體541另一側面相連接的第三柱體542，第三柱體542外套接有螺帽56，螺帽56與第三柱體542之間設置有支撐套環55，從而方便與轉軸或者固定軸的連接。滾輪外套51和支撐套環55均為聚四氟乙烯材料製成，主要是能夠起到緩衝的作用，防止其本身材質過硬而導致緩衝力不足壓碎玻璃。彈性件53的數目也非常重要，優選為6~15個，個數太多或太少均容易引起玻璃的破損率上升。卡齒521設置在卡套52的側面，從而方便卡套52與滾輪外套51的卡合。該間隙自適應壓片滾輪還包括限位螺釘57，卡套52的外周面設置多個插孔522用於插入該限位螺釘57，從而實現間隙自適應壓片滾輪的快速組裝和拆卸。
[0021]刻蝕組件I包括依次相連接的預處理單元11、刻蝕單元12和水洗單元13，預處理單元11包括分別安裝於其兩端部的第一離子泵113，用於向其內導入去離子風，從而確保預處理單元11的高度清潔，防止外界粉塵等雜質的引入；紫外燈111安裝在兩個第一離子泵113之間，並且需要通過氧氣閥112向其內導入氧氣，紫外燈111發出的紫外線波長為172nm，這樣可以將導入的氧氣部分轉化為氧自由基和臭氧，從而可以去除ITO玻璃表面的有機汙染物，可以確保ITO玻璃在被噴淋水後使水滴表面張力角降低至5°以下。
[0022]刻蝕單元12包括設置於其內部用於對ITO玻璃進行上下噴淋的多個第一噴淋管121、設置於其內部並位於第一噴淋管121上遊的第一液刀122以及設置於其內部並位於第一噴淋管121下遊的一組第一風刀123以及用於收集刻蝕液並將再導入所述第一噴淋管121和所述第一液刀122中的循環機構124 ;水洗單元13包括設置於其內部用於對ITO玻璃進行上下噴淋的多個第二噴淋管131、設置於其內部並位於第二噴淋管131上遊的第二液刀132以及設置於其內部並位於第二噴淋管131下遊的第一超級液刀133。在本實施例中，第一液刀122和第二液刀132的結構相同，它們均為高均勻性液刀，包括相對應合蓋的兩塊液刀板134 (它們通過螺釘136固定)、形成於兩塊液刀板134之間的第一腔體135、形成於兩塊液刀板134下端部的出液條縫138，兩塊所述液刀板134之間還形成有與第一腔體135相連通的第二腔體137，第二腔體137與出液條縫138相連通，第二腔體137的截面為圓形或者橢圓形，從而能夠向ITO玻璃的表面均勻噴灑刻蝕液或者去離子水。第一風刀123起到阻隔氣體的作用，用於防止刻蝕單元12中的酸氣向下遊組件中擴散。循環機構124用於收集刻蝕單元12中的刻蝕液並將其經由第一噴淋管121和第一液刀122噴出，從而確保刻蝕液濃度的穩定；而且循環機構124可以根據需要設置成相併聯且相互連通的兩臺(一備一用)，並賦予其加熱的功能，從而能夠對刻蝕液進行加熱，從而能夠提高刻蝕效率和刻蝕質量。
[0023]刻蝕組件I還包括連接於預處理單元11和刻蝕單元12之間的第一緩衝單元14以及連接於刻蝕單元12和水洗單元13之間的第二緩衝單元15，第一緩衝單元14的兩端分別安裝有一組第二風刀141，第二緩衝單元15內設有一組第三風刀151，這樣這兩個緩衝單元可以起到緩衝的作用，進一步避免了刻蝕單元12中酸氣向其它單元的擴散。並且第一緩衝單元14在其與刻蝕單元12的連接處以及第二緩衝單元15在其與刻蝕單元12的連接處設有防結晶機構142，該防結晶機構142包括用於對應遮擋住刻蝕單元12進料口和出料口(實際上ITO玻璃刻蝕系統的每個組成單元均具有用於引入和引出ITO玻璃的進料口和出料口)的擋板143、與擋板143相連接用於帶動其轉動的把手144、用於盛放浸潤液從而浸泡擋板143和把手144的浸潤槽147、與浸潤槽147相連通的流量計145和閥門146，這樣能夠有效避免結晶物的積留。
[0024]水洗組件2包括依次相連接的多個大流量水洗單元21和風乾單元22。大流量水洗單元21包括設置於其內部用於對ITO玻璃進行上下噴淋的多個第三噴淋管211以及設置於第三噴淋管211下遊的第二超級液刀212，第三噴淋管211用於對ITO玻璃進行噴射去離子水，以去除其表面殘留的刻蝕液；而第二超級液刀212則噴射流量較大、噴射力較大的離子水，以徹底清洗ITO玻璃表面。需要注意的是與風乾單元22相連接的大流量水洗單元21中，其內安裝的第二超級液刀212中噴出的水中含有二氧化碳，起到除去ITO玻璃表面靜電的作用。風乾單元22包括設置於其內部用於對ITO玻璃進行風乾的一對抗負壓風刀221和設置於抗負壓風刀221下遊的第二離子泵222。抗負壓風刀221包括相對應合蓋的第一風刀板223和第二風刀板224、形成於第一風刀板223和第二風刀板224之間的腔體225、形成於第一風刀板223和第二風刀板224之間且與腔體225相連通的進風口 227、形成於第一風刀板223和第二風刀板224之間的出風口 226，第一風刀板223下表面與第二風刀板224下表面處於同一平面內，第一風刀板223下表面與經過此處的ITO玻璃上表面形成銳角，出風口 226與ITO玻璃相垂直。這樣氣流垂直噴射，部分垂直氣流阻止了負壓區的形成，從而避免了負壓效應的產生，這種結構的抗負壓風刀221由於其氣流的穩定性，氣流波動較小，不易產生氣體回流，解決了部分產品無法徹底吹乾的現象。
[0025]上述實施例只為說明本發明的技術構思及特點，其目的在於讓熟悉此項技術的人士能夠了解本發明的內容並據以實施，並不能以此限制本發明的保護範圍。凡根據本發明精神實質所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本發明的保護範圍之內。
【權利要求】
1.一種高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，它包括相連接的刻蝕組件(I)和水洗組件(2)，其特徵在於:所述刻蝕組件(I)和所述水洗組件(2)安裝有多個分離式傳動組件(4)，所述分離式傳動組件(4)包括安裝在所述刻蝕組件(I)或所述水洗組件(2)外的第一磁力輪(421)、安裝在所述刻蝕組件(I)或所述水洗組件(2)內且與所述第一磁力輪(421)相對應的第二磁力輪(422)、端部與所述第二磁力輪(422)相連接的滾軸(43)以及安裝在所述滾軸(43)上且間隔設置的滾輪(44)以及用於帶動所述第一磁力輪(421)轉動的傳動機構(41)。
2.根據權利要求1所述高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，其特徵在於:所述水洗組件(2)設置於所述刻蝕組件(I)的下方，所述刻蝕組件(I)通過安裝在其端部的升降組件(3)與所述水洗組件(2)相連接。
3.根據權利要求1或2所述高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，其特徵在於:所述刻蝕組件(I)和所述水洗組件(2)內安裝有設置在所述分離式傳動組件(4)上方且與其相配合的多個間隙自適應壓片滾輪(5)，所述間隙自適應壓片滾輪(5)包括: 滾輪外套(51)，所述滾輪外套(51)內圈設置有間隔的多個凸起(511); 卡套(52)，所述卡套(52)設置有與所述凸起(511)相配合的多個卡齒(521)，它通過所述卡齒(521)卡合於所述滾輪外套(51)的一側； 支撐件(54)，所述支撐件(54)包括設置於所述滾輪外套(51)另一側的第一柱體(541)以及與所述第一柱體(541)側面相連接且插入所述滾輪外套(51)和所述卡套(52)的第二柱體(543)，所述第一柱體(541)的直徑大於所述凸起(511)內端形成的圓形直徑； 彈性件(53)，所述彈性件(53)放置在被所述支撐件(54)和所述卡套(52)圍住的所述凸起(511)之間，所述彈性件(53)向所述滾輪外套(51)中心軸的方向延伸。
4.根據權利要求1或2所述高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，其特徵在於:所述刻蝕組件(I)包括依次相連接的預處理單元(11)、刻蝕單元(12)和水洗單元(13)，所述預處理單元(II)包括分別安裝於其兩端部的第一離子泵(113)、安裝在所述第一離子泵(113)之間的紫外燈(111)以及用於向其內導入氧氣的氧氣閥(112)，所述刻蝕單元(12)包括設置於其內部用於對ITO玻璃進行上下噴淋的多個第一噴淋管(121)、設置於其內部並位於所述第一噴淋管(121)上遊的第一液刀(122)以及設置於其內部並位於所述第一噴淋管(121)下遊的一組第一風刀(123)以及用於收集刻蝕液並將再導入所述第一噴淋管(121)和所述第一液刀(122)中的循環機構(124)，所述水洗單元(13)包括設置於其內部用於對ITO玻璃進行上下噴淋的多個第二噴淋管(131)、設置於其內部並位於所述第二噴淋管(131)上遊的第二液刀(132)以及設置於其內部並位於所述第二噴淋管(131)下遊的第一超級液刀(133)0
5.根據權利要求4所述高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，其特徵在於:所述第一液刀(122)和所述第二液刀(132)的結構相同，它們均包括相對應合蓋的兩塊液刀板(134)、形成於兩塊所述液刀板(134)之間的第一腔體(135)、形成於兩塊所述液刀板(134)下端部的出液條縫(138)，兩塊所述液刀板(134)之間還形成有與所述第一腔體(135)相連通的第二腔體(137)，所述第二腔體(137)與所述出液條縫(138)相連通，所述第二腔體(137)的截面為圓形或者橢圓形。
6.根據權利要求4所述高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，其特徵在於:所述刻蝕組件(I)還包括連接於所述預處理單元(11)和所述刻蝕單元(12)之間的第一緩衝單元(14)以及連接於所述刻蝕單元(12)和所述水洗單元(13)之間的第二緩衝單元(15)，所述第一緩衝單元(14)的兩端分別安裝有一組第二風刀(141)，所述第二緩衝單元(15)內設有一組第三風刀(151 )，所述第一緩衝單元(14)在其與所述刻蝕單元(12)的連接處以及所述第二緩衝單元(15)在其與所述刻蝕單元(12)的連接處設有防結晶機構(142)。
7.根據權利要求6所述高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，其特徵在於:所述防結晶機構(142)包括用於對應遮擋住所述刻蝕單元(12)進料口和出料的擋板(143)、與所述擋板(143)相連接用於帶動其轉動的把手(144)、用於盛放浸潤液從而浸泡所述擋板(143)和所述把手(144)的浸潤槽(147)、與所述浸潤槽(147)相連通的流量計(145)和閥門(146)。
8.根據權利要求1或2所述高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，其特徵在於:所述水洗組件(2 )包括依次相連接的多個大流量水洗單元(21)和風乾單元(22 )。
9.根據權利要求8所述高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，其特徵在於:所述大流量水洗單元(21)包括設置於其內部用於對ITO玻璃進行上下噴淋的多個第三噴淋管(211)以及設置於所述第三噴淋管(211)下遊的第二超級液刀(212);所述風乾單元(22)包括設置於其內部用於對ITO玻璃進行風乾的一對抗負壓風刀(221)和設置於所述抗負壓風刀(221)下遊的第二離子泵(222)。
10.根據權利要求9所述高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，其特徵在於:所述抗負壓風刀(221)包括相對應合蓋的第一風刀板(223)和第二風刀板(224)、形成於所述第一風刀板(223)和所述第二風刀板(224)之間的腔體(225)、形成於所述第一風刀板(223)和所述第二風刀板(224)之間且與所述腔體(225)相連通的進風口(227)、形成於所述第一風刀板(223)和所述第二風刀板(224)之間的出風口(226)，所述第一風刀板(223)下表面與所述第二風刀板(224)下表面處於同一平面內，所述第一風刀板(223)下表面與經過此處的ITO玻璃上表面形成銳角，所述出風口(226)與所述ITO玻璃相垂直。
【文檔編號】C03C15/00GK104496197SQ201410829636
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年12月26日 優先權日:2014年12月26日
【發明者】施利君, 徐鴿 申請人:蘇州晶洲裝備科技有限公司