一種彩膜基板的製備方法
2023-05-22 09:58:01 1
一種彩膜基板的製備方法
【專利摘要】本發明公開了一種彩膜基板的製備方法，該方法包括：在基板上沉積光阻層，經過曝光、顯影，將光阻層形成圖形並紫外固化；或者，在基板上形成保護層，所述保護層材料為光固化型材料，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射；或者，在基板上分別沉積黑矩陣光阻、紅色光阻、綠色光阻和藍色光阻，並分別經過曝光、顯影，形成對應的圖形並紫外固化。本發明可抑制BM的線寬變寬，適應高解析度顯示屏對BM窄線寬的要求，且可縮短固化時間，提高生產效率。
【專利說明】一種彩膜基板的製備方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及液晶顯示【技術領域】，尤其涉及一種彩膜基板的製備方法。
【背景技術】
[0002]目前，彩膜(CF)基板的製作過程中，黑矩陣(BM)、紅、綠、藍(R、G、B)亞像素以及柱形隔墊物(PS)的製作都是在顯影之後，採用熱固化的後固化方式進行的。高解析度的顯示屏要求具有較小的BM線寬，BM是採用光阻膠經旋塗、曝光、顯影后製備的，製備所得的BM結構如圖1所示，所述BMl整體呈現為倒梯形結構，上硬下軟。進行熱固化的後固化工藝時，由於光阻膠(PR)，也就是光刻膠受熱軟化而向下流，會導致BMl的線寬變寬，如圖2所示，無法滿足高解析度顯示屏的要求。而且，熱固化時間較長，生產效率低。
[0003]為了解決所述BM線寬變寬的問題，現有的背曝光技術可在一定程度上加強BM下部PR的固化，將顯影后形成的倒梯形結構進行保持，但經過熱烘烤之後仍會變形，導致BM線寬變寬，因此不能很好的解決BM線寬變寬的問題。
【發明內容】
[0004]有鑑於此，本發明的主要目的在於提供一種彩膜基板的製備方法，可抑制BM的線寬變寬，且可縮短固化時間。
[0005]為達到上述目的，本發明的技術方案是這樣實現的:
[0006]本發明提供了一種彩膜基板的製備方法，該方法包括:
[0007]在基板上塗覆光阻膠形成光阻層，經過曝光、顯影，將光阻層形成圖形並紫外固化。
[0008]其中，所述將光阻層形成圖形並紫外固化，具體包括:
[0009]所述光阻層為黑矩陣光阻層，形成黑矩陣圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
[0010]其中，所述將光阻層形成圖形並紫外固化，具體包括:
[0011]所述光阻層為紅色光阻層，形成紅色亞像素的圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
[0012]其中，所述將光阻層形成圖形並紫外固化，具體包括:
[0013]所述光阻層為綠色光阻層，形成綠色亞像素的圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
[0014]其中，所述將光阻層形成圖形並紫外固化，具體包括:
[0015]所述光阻層為藍色光阻層，形成藍色亞像素的圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
[0016]其中，所述將光阻層形成圖形並紫外固化，具體包括:
[0017]所述光阻層為柱形隔墊物的光阻層，形成柱形隔墊物的圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
[0018]上述方案中，所述紫外固化在傳送帶式紫外光固化機、或烤箱式紫外光固化機中進行。
[0019]優選的，採用所述傳送帶式紫外光固化機對所述基板進行紫外固化時，傳送帶的傳送速度、固化時間以及紫外光固化段的長度之間滿足如下關係:
[0020]傳送速度=紫外光固化段長度/固化時間。
[0021]優選的，所述烤箱式紫外光固化機設置為多層結構，每層之間各設置至少一個紫外光源。
[0022]優選的，所述光阻膠中添加有對紫外光的i線敏感的感光劑。
[0023]優選的，所述光阻膠中還添加有對紫外光的h線或g線敏感的感光劑。
[0024]本發明還提供了一種彩膜基板的製備方法，該方法包括:
[0025]在基板上塗覆光固化型材料形成保護層，並紫外固化。
[0026]其中，所述紫外固化具體包括:
[0027]分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
[0028]優選的，所述紫外固化過程在傳送帶式紫外光固化機、或烤箱式紫外光固化機中進行。
[0029]優選的，採用所述傳送帶式紫外光固化機對所述基板進行紫外固化時，傳送帶的傳送速度、固化時間以及紫外光固化段的長度之間滿足如下關係:
[0030]傳送速度=紫外光固化段長度/固化時間。
[0031]優選的，所述烤箱式紫外光固化機設置為多層結構，每層之間各設置至少一個紫外光源。
[0032]優選的，所述光固化型材料中添加有對紫外光的i線敏感的感光劑。
[0033]優選的，所述光固化型材料中還添加有對紫外光的h線或g線敏感的感光劑。
[0034]本發明還提供了一種彩膜基板的製備方法，該方法包括:
[0035]在基板上塗覆黑矩陣光阻膠形成黑矩陣光阻層，經過曝光、顯影，形成黑矩陣圖形並紫外固化；
[0036]在基板上塗覆紅色光阻膠形成紅色光阻層，經過曝光、顯影，形成紅色亞像素圖形並紫外固化；
[0037]在基板上塗覆綠色光阻膠形成綠色光阻層，經過曝光、顯影，形成綠色亞像素圖形並紫外固化；
[0038]在基板上塗覆藍色光阻膠形成藍色光阻層，經過曝光、顯影，形成藍色亞像素圖形並紫外固化。
[0039]優選的，該方法還包括:
[0040]在基板上塗覆光固化型材料形成保護層，並紫外固化。
[0041 ] 優選的，該方法還包括:
[0042]在基板上塗覆柱形隔墊物光阻膠形成柱形隔墊物的光阻層，經過曝光、顯影，形成柱形隔墊物圖形並紫外固化。
[0043]優選的，該方法還包括:
[0044]對形成有黑矩陣、紅、綠、藍亞像素、保護層以及柱形隔墊物的基板進行退火。
[0045]其中，所述紫外固化具體為:
[0046]分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
[0047]優選的，所述紫外固化在傳送帶式紫外光固化機、或烤箱式紫外光固化機中進行。
[0048]優選的，採用所述傳送帶式紫外光固化機對所述基板進行紫外固化時，傳送帶的傳送速度、固化時間以及紫外光固化段的長度之間滿足如下關係:
[0049]傳送速度=紫外光固化段長度/固化時間。
[0050]優選的，所述烤箱式紫外光固化機設置為多層結構，每層之間各設置至少一個紫外光源。
[0051]優選的，所述黑矩陣光阻膠、紅色光阻膠、綠色光阻膠、藍色光阻膠、光固化型材料、或柱形隔墊物光阻膠中添加有對紫外光的i線敏感的感光劑。
[0052]優選的，所述黑矩陣光阻膠、紅色光阻膠、綠色光阻膠、或藍色光阻膠、光固化型材料、或柱形隔墊物光阻膠中還添加有對紫外光的h線或g線敏感的感光劑。
[0053]本發明提供的彩膜基板的製備方法，在基板上形成黑矩陣，紅、綠、藍亞像素以及柱形隔墊物的圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。由於本發明的紫外光固化的方式不會造成PR軟化塌下，BM的倒梯形結構得以保持，可抑制BM的線寬變大，因此適應高解析度顯示屏對BM窄線寬的要求，也可提高開口率。
[0054]本發明通過將後固化工藝所採用的熱固化方式更改為紫外光固化方法，既縮短了光刻工序進行的時間，又有效保證CF基板在進行製作時不被各種揮發物所汙染，可更好的保證CF基板的品質。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0055]圖1為BM經過顯影刻蝕後、且在後固化之前的剖面結構示意圖；
[0056]圖2為BM經過熱固化的後固化工藝後的剖面結構示意圖；
[0057]圖3為本發明實施例一的傳送帶式紫外光固化機的結構示意圖；
[0058]圖4為本發明實施例一紫外光對基板進行照射的局部結構示意圖；
[0059]圖5為本發明實施例二的烤箱式紫外光固化機的結構示意圖；
[0060]圖6為本發明實施例BM經過紫外光固化工藝後的剖面結構示意圖。
[0061]附圖標記說明:
[0062]IBM ；2基板；3紅外加熱單元；4紫外光；5傳送裝置；6紫外光源；7傳送帶式紫外光固化機；8烤箱式紫外光固化機。
【具體實施方式】
[0063]紫外光固化技術由於其快速及無汙染的特點，固化後成膜性能優良，已廣泛應用於塗料、半導體等行業。本發明則將傳統的後固化工藝由熱固化方法更改為紫外光固化的方法，BM及RGB亞像素等的製作過程採用紫外光固化方法可以使各自的線寬更加均勻，且可抑制BM的線寬變大，可有效減小由於線寬不均勻引發的漏光及混色現象，提高解析度。
[0064]下面結合附圖及具體實施例對本發明作進一步詳細說明。
[0065]本發明實施例提供一種彩膜基板的製備方法，該方法包括:在基板上塗覆光阻膠形成光阻層，經過曝光、顯影，將光阻層形成圖形並紫外固化。
[0066]其中，所述將光阻層形成圖形並紫外固化，具體包括:
[0067]所述光阻層為黑矩陣光阻層，形成黑矩陣圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射；或者，
[0068]所述光阻層為紅色光阻層，形成紅色亞像素的圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射；或者，
[0069]所述光阻層為綠色光阻層，形成綠色亞像素的圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射；或者，
[0070]所述光阻層為藍色光阻層，形成藍色亞像素的圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射；或者，
[0071]所述光阻層為柱形隔墊物的光阻層，形成柱形隔墊物的圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
[0072]優選的，所述紫外固化過程可在傳送帶式紫外光固化機、或烤箱式紫外光固化機中進行。關於傳送帶式紫外光固化機與烤箱式紫外光固化機的結構及使用參見後續具體實施例的詳細描述。
[0073]其中，採用所述傳送帶式紫外光固化機對所述基板進行紫外固化時，傳送帶的傳送速度、固化時間以及紫外光固化段的長度之間滿足如下關係:
[0074]傳送速度=紫外光固化段長度/固化時間。
[0075]優選的，所述烤箱式紫外光固化機設置為多層結構，每層之間各設置至少一個紫外光源。
[0076]上述方案中，所述形成所述光阻層的光阻膠中添加有對紫外光的i線敏感的感光齊U，所述i線對應波長為λ =365nm，還添加有對紫外光的h線，對應波長為λ =405nm、或g線，對應波長為λ =436nm敏感的感光劑。
[0077]本實施例的紫外光固化的方式不會造成PR軟化塌下，BM的倒梯形結構得以保持，可抑制BM的線寬變大，因此適應高解析度顯示屏對BM窄線寬的要求，且可縮短固化時間。
[0078]本發明還提供了另一種彩膜基板的製備方法，該方法包括:
[0079]在基板上塗覆光固化型材料形成保護層，並紫外固化。
[0080]所述紫外固化具體包括:分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
[0081]其中，所述紫外固化可在紫外光固化機中進行，如在傳送帶式紫外光固化機、或烤箱式紫外光固化機中進行。關於傳送帶式紫外光固化機與烤箱式紫外光固化機的結構及使用參見後續具體實施例的詳細描述。
[0082]其中，採用所述傳送帶式紫外光固化機對所述基板進行紫外固化時，傳送帶的傳送速度、固化時間以及紫外光固化段的長度之間滿足如下關係:
[0083]傳送速度=紫外光固化段長度/固化時間。
[0084]優選的，所述烤箱式紫外光固化機設置為多層結構，每層之間各設置至少一個紫外光源。
[0085]優選的，所述所使用的光固化型材料中添加有對紫外光的i線敏感的感光劑，還添加有對紫外光的h線或g線敏感的感光劑。
[0086]本實施例的紫外光固化的方式不會造成PR軟化塌下，BM的倒梯形結構得以保持，可抑制BM的線寬變大，因此適應高解析度顯示屏對BM窄線寬的要求，且可縮短固化時間。
[0087]本發明實施例還提供了另一種彩膜基板的製備方法包括:
[0088]在基板上塗覆黑矩陣光阻膠形成黑矩陣光阻層，經過曝光、顯影，形成黑矩陣圖形並紫外固化；
[0089]在基板上塗覆紅色光阻膠形成紅色光阻層，經過曝光、顯影，形成紅色亞像素圖形並紫外固化；
[0090]在基板上塗覆綠色光阻膠形成綠色光阻層，經過曝光、顯影，形成綠色亞像素圖形並紫外固化；
[0091]在基板上塗覆藍色光阻膠形成藍色光阻層，經過曝光、顯影，形成藍色亞像素圖形並紫外固化。
[0092]上述方法中還包括:在基板上塗覆光固化型材料形成保護層，並紫外固化。
[0093]上述方法中還包括:在基板上塗覆柱形隔墊物光阻膠形成柱形隔墊物的光阻層，經過曝光、顯影，形成柱形隔墊物圖形並紫外固化。
[0094]上述方法中還包括:對形成有黑矩陣、紅、綠、藍亞像素、保護層以及柱形隔墊物的基板進行退火。
[0095]上述方法中，所述紫外固化具體為:分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
[0096]優選的，所述紫外固化過程可在傳送帶式紫外光固化機、或烤箱式紫外光固化機中進行。關於傳送帶式紫外光固化機與烤箱式紫外光固化機的結構及使用參見後續具體實施例的詳細描述。
[0097]其中，採用所述傳送帶式紫外光固化機對所述基板進行紫外固化時，傳送帶的傳送速度、固化時間以及紫外光固化段的長度之間滿足如下關係:
[0098]傳送速度=紫外光固化段長度/固化時間。
[0099]優選的，所述烤箱式紫外光固化機設置為多層結構，每層之間各設置至少一個紫外光源。
[0100]優選的，所述所使用的黑矩陣光阻膠、紅色光阻膠、綠色光阻膠、藍色光阻膠、光固化型材料、或柱形隔墊物光阻膠中添加有對紫外光的i線敏感的感光劑。
[0101]優選的，所述黑矩陣光阻膠、紅色光阻膠、綠色光阻膠、或藍色光阻膠、光固化型材料、或柱形隔墊物光阻膠中還添加有對紫外光的h線或g線敏感的感光劑。
[0102]具體的，所述彩膜基板的製備過程如下:
[0103]步驟一、在基板上形成一層BM光阻膠，並經構圖工藝形成BM的圖形，之後從所述形成有BM的基板正反兩面對所述基板進行紫外光照射，完成BM的固化過程，所述固化過程可在紫外光固化機中進行，如傳送帶式紫外光固化機、或烤箱式紫外光固化機，具體見後續具體實施例的描述；
[0104]其中，所述基板正反兩面均受到紫外光照射，可以抑制單面紫外光照射時光阻膠對紫外光的光阻效應，增加了紫外光照射到光阻膠內部的能量，確保紫外光固化後的彩膜基板具有與傳統熱固化後的彩膜基板具有相當的物理化學性能。
[0105]步驟二、在基板上繼續沉積R、G、B亞像素的光阻膠，並經構圖工藝形成對應的R、G、B亞像素的圖形，之後分別從基板正反兩面對所述基板進行紫外光照射，完成R、G、B亞像素的固化過程；
[0106]該方法還包括:步驟三、在基板上繼續沉積柱形隔墊物的光阻膠，並經曝光、顯影等構圖工藝形成柱形隔墊物的圖形，之後分別從基板正反兩面對所述基板進行紫外光照射，完成柱形隔墊物的固化過程。
[0107]優選的，在所述步驟二和步驟三之間，該方法還包括:在基板上塗覆光固化型材料形成保護層(OC)之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
[0108]具體的，在對形成有R、G、B亞像素的基板進行紫外光固化後，通過基板清洗、光固化型材料的塗布、以及軟烘的工藝形成保護層，之後分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
[0109]需要說明的是，現有的OC製作工藝既有光固化方法，又有熱固化方法，這主要取決於所使用的保護層的材料。所述材料分為兩類:一類為熱固性OC膠，其所用的引發劑為熱敏性引發劑，對紫外光不敏感，不能採用光固化方法；另一類為光固化型OC膠，其所用的引發劑為光敏性引發劑，光敏性引發劑既可採用光固化也可採用熱固化，光固化型OC膠主要為光固化方式OC工藝所設計，一般光固化型OC膠不採用熱固化方式。傳統TFT-LCD中彩膜基板中OC的製作基本採用熱固化方式，但由於目前已成功研製出光固化型的OC膠，因此，只要引入紫外光固化機及光固化型OC膠後，彩膜基板中的OC固化過程便可以採用所述紫外光固化方法。
[0110]優選的，該方法還包括:對形成有黑矩陣，紅、綠、藍亞像素、保護層以及柱形隔墊物的基板進行退火，以消除保證R、G、B亞像素、PS的內部熱應力，保證其正常形貌；此外，還可以對光刻膠進行徹底的固化，提高光刻膠的耐高溫性能。
[0111]本實施例的紫外光固化的方式不會造成PR軟化塌下，BM的倒梯形結構得以保持，可抑制BM的線寬變大，因此適應高解析度顯示屏對BM窄線寬的要求，且可縮短固化時間。
[0112]下面結合具體實施例再對本發明的方法進行詳細描述。
[0113]實施例一:利用傳送帶式紫外光固化機進行紫外光固化
[0114]該實施例以D0NGW00 FINE-CHEM所生產的一種BM光阻膠，型號為BK-410為例，說明本發明採用紫外光固化的實施方法及原理。塗布完光阻膠後的基板經過減壓真空乾燥及熱盤軟烘之後經過現有的曝光機，曝光機經過對位以後所發出的紫外光短時間照射到基板正面，負性光阻膠中的光敏性引發劑由於紫外光的作用而發生分解產生活化的自由基，弓丨發光阻膠交聯反應後不被顯影液所溶解掉，形成我們所需要的圖形。曝光過程由於時間短暫(一般5?6s)及光阻膠對光的阻擋作用，光阻膠中的光敏性引發劑，尤其是接近基板處的不會被完全消耗掉，剩下的光阻膠光敏性引發劑為顯影之後的後固化過程提供活性自由基，保證後固化過程的進行。大部分光阻膠光敏性引發劑既可以在紫外光的照射下發生分解，也可以在熱的作用下發生分解，因此後固化工序既可以採用熱固化工藝，又可以採用紫外光固化工藝。
[0115]此法所述紫外光固化方法優選一種如圖3所示的傳送帶式紫外光固化機7，基板2進入紫外光固化機後，入口單元有紅外加熱單元3，兼具對基板2進行預熱和對膜面進行平坦化的作用，經過紅外預熱的基板2再經過正反兩面均帶有紫外光4照射的傳送裝置5便可以進行紫外光固化。所述紫外光對基板2進行照射的局部結構示意圖如圖4所示。傳送裝置5可以控制傳送速度及傳送速度的均一性。通過控制該紫外光固化機的傳送速度可以控制紫外光固化的時間，從而控制固化程度。基板2在傳送過程中正反兩面均受到紫外光源6發出的紫外光的照射，可以抑制單面紫外光照射時光阻膠對紫外光的光阻效應，增加了紫外光照射到光阻膠內部的能量，確保紫外光固化後的彩膜基板具有與傳統熱固化後的彩膜基板具有相當的物理化學性能。
[0116]彩膜基板採用紫外光全曝光方式進行固化，固化的時間根據固化效果進行調整，與現在的曝光機曝光能量選擇方法相同，應根據對膜層物理化學性能的要求決定固化程度，再根據紫外光固化機紫外光源的照度確定所需要的固化時間，該固化時間再轉換為紫外光固化機傳送帶的傳送速度，即:
[0117]傳送速度=紫外光固化段長度/固化時間。
[0118]其中，所述紫外光固化段長度為紫外光照射區域的長度，具體對應傳送式紫外光固化機中紫外光照射區的傳送帶的長度。
[0119]實施例二:利用烤箱式紫外光固化機進行紫外光固化
[0120]本實施例中採用與實施例一相同的BM光阻膠，彩膜基板中BM的顯影刻蝕及其之前的工藝與實施例一相同，顯影之後仍採用紫外光全曝光。此法選擇一種如圖5所示的與現有烘烤爐相似的烤箱式紫外光固化機8，該固化機設置多層結構，為保證紫外光照射的均一性，在每層之間各設置至少一個紫外光源6，分別對基板的正反兩面進行紫外光照射。由於紫外光全曝光方法快速清潔，固化時間短，因此在滿足生產節奏前提下不需要太多的段數。圖5以四層結構為例，示意烤箱式紫外光固化機的結構與固化方法。
[0121]實施例三:使用改進的光阻膠進行紫外光固化
[0122]本實施例採用與實施例一相同的BM光阻膠。進行紫外光固化的固化設備可選擇傳送帶式紫外光固化機或烤箱式紫外光固化機。該實施例為提高固化效果，對光阻膠進行引發劑成分的改進。目前彩膜曝光機基本採用紫外光的i線，對應波長為λ=365ηπι，因此PR中的光敏性引發劑也為對i線敏感的感光劑，為了採用顯影之後紫外光全曝光，在PR中除了添加對i線敏感的感光劑以外，再引入對紫外光其餘波段，如h線，對應波長為λ =405nm、或g線，對應波長為λ =436nm敏感的感光劑，其中，所述對i線敏感的感光劑可選用2，2- 二甲氧基-2-苯基苯乙酮，所述對h線敏感的感光劑可選用硫雜蒽酮，所述對g線敏感的感光劑可選用芘茂鐵鹽，此法可確保在曝光機曝光之後有足夠的光敏性引發劑進行紫外光全曝光固化。
[0123]本發明還提供了一種彩膜基板的製備方法，其中，所述彩膜基板的後固化方法採用上文所述的紫外光固化方法。
[0124]圖6為本發明實施例BM經過紫外光固化工藝後的剖面結構示意圖，由於紫外光固化的方式不會造成PR軟化塌下，BM的倒梯形結構得以保持，可抑制BM的線寬變大，因此適應高解析度顯示屏對BM窄線寬的要求，也可提高開口率。
[0125]彩膜基板製作過程中的軟烘之後的曝光過程就是使用紫外光使PR發生交聯反應達到固化的目的，因此本發明通過將後固化工藝所採用的熱固化方式更改為紫外光固化方法，既縮短了光刻工序進行的時間，又有效保證CF基板在進行時不被各種揮發物所汙染，可更好的保證CF基板的品質。採用紫外光固化方法不會破壞BM在顯影之後形成的倒梯形結構，使得倒梯形結構得到保持，抑制了 BM線寬的變寬，更利於BM窄線寬的製作。
[0126]以上所述，僅為本發明的較佳實施例而已，並非用於限定本發明的保護範圍。
【權利要求】
1.一種彩膜基板的製備方法，其特徵在於，該方法包括: 在基板上塗覆光阻膠形成光阻層，經過曝光、顯影，將光阻層形成圖形並紫外固化。
2.如權利要求1所述的製備方法，其特徵在於，所述將光阻層形成圖形並紫外固化，具體包括: 所述光阻層為黑矩陣光阻層，形成黑矩陣圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
3.如權利要求1所述的製備方法，其特徵在於，所述將光阻層形成圖形並紫外固化，具體包括: 所述光阻層為紅色光阻層，形成紅色亞像素的圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
4.如權利要求1所述的製備方法，其特徵在於，所述將光阻層形成圖形並紫外固化，具體包括: 所述光阻層為綠色光阻層，形成綠色亞像素的圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
5.如權利要求1所述的製備方法，其特徵在於，所述將光阻層形成圖形並紫外固化，具體包括: 所述光阻層為藍色光阻層，形成藍色亞像素的圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
6.如權利要求1所述的製備方法，其特徵在於，所述將光阻層形成圖形並紫外固化，具體包括: 所述光阻層為柱形隔墊物的光阻層，形成柱形隔墊物的圖形之後，分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
7.如權利要求1-6中任一項所述的製備方法，其特徵在於，所述紫外固化在傳送帶式紫外光固化機、或烤箱式紫外光固化機中進行。
8.如權利要求7所述的方法，其特徵在於，採用所述傳送帶式紫外光固化機對所述基板進行紫外固化時，傳送帶的傳送速度、固化時間以及紫外光固化段的長度之間滿足如下關係: 傳送速度=紫外光固化段長度/固化時間。
9.如權利要求7所述的方法，其特徵在於，所述烤箱式紫外光固化機設置為多層結構，每層之間各設置至少一個紫外光源。
10.如權利要求1-6中任一項所述的製備方法，其特徵在於，所述光阻膠中添加有對紫外光的1線敏感的感光劑。
11.如權利要求10所述的方法，其特徵在於，所述光阻膠中還添加有對紫外光的11線或8線敏感的感光劑。
12.—種彩膜基板的製備方法，其特徵在於，該方法包括: 在基板上塗覆光固化型材料形成保護層，並紫外固化。
13.如權利要求12所述的製備方法，其特徵在於，所述紫外固化具體包括: 分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
14.如權利要求12所述的製備方法，其特徵在於，所述紫外固化過程在傳送帶式紫外光固化機、或烤箱式紫外光固化機中進行。
15.如權利要求14所述的製備方法，其特徵在於，採用所述傳送帶式紫外光固化機對所述基板進行紫外固化時，傳送帶的傳送速度、固化時間以及紫外光固化段的長度之間滿足如下關係: 傳送速度=紫外光固化段長度/固化時間。
16.如權利要求14所述的製備方法，其特徵在於，所述烤箱式紫外光固化機設置為多層結構，每層之間各設置至少一個紫外光源。
17.如權利要求12-16中任一項所述的製備方法，其特徵在於，所述光固化型材料中添加有對紫外光的i線敏感的感光劑。
18.如權利要求17所述的製備方法，其特徵在於，所述光固化型材料中還添加有對紫外光的h線或g線敏感的感光劑。
19.一種彩膜基板的製備方法,其特徵在於,該方法包括: 在基板上塗覆黑矩陣光阻膠形成黑矩陣光阻層，經過曝光、顯影，形成黑矩陣圖形並紫外固化； 在基板上塗覆紅色光阻膠形成紅色光阻層，經過曝光、顯影，形成紅色亞像素圖形並紫外固化； 在基板上塗覆綠色光阻膠形成綠色光阻層，經過曝光、顯影，形成綠色亞像素圖形並紫外固化； 在基板上塗覆藍色光阻膠形成藍色光阻層，經過曝光、顯影，形成藍色亞像素圖形並紫夕卜固化。
20.根據權利要求19所述的製備方法，其特徵在於，該方法還包括: 在基板上塗覆光固化型材料形成保護層，並紫外固化。
21.根據權利要求20所述的製備方法，其特徵在於，該方法還包括: 在基板上塗覆柱形隔墊物光阻膠形成柱形隔墊物的光阻層，經過曝光、顯影，形成柱形隔墊物圖形並紫外固化。
22.根據權利要求21所述的製備方法，其特徵在於，該方法還包括: 對形成有黑矩陣、紅、綠、藍亞像素、保護層以及柱形隔墊物的基板進行退火。
23.根據權利要求19、20或21所述的製備方法，其特徵在於，所述紫外固化具體為: 分別從所述基板的正反兩面對所述基板進行紫外光照射。
24.根據權利要求19、20或21所述的製備方法，其特徵在於，所述紫外固化在傳送帶式紫外光固化機、或烤箱式紫外光固化機中進行。
25.根據權利要求24所述的製備方法，其特徵在於，採用所述傳送帶式紫外光固化機對所述基板進行紫外固化時，傳送帶的傳送速度、固化時間以及紫外光固化段的長度之間滿足如下關係: 傳送速度=紫外光固化段長度/固化時間。
26.根據權利要求24所述的製備方法，其特徵在於，所述烤箱式紫外光固化機設置為多層結構，每層之間各設置至少一個紫外光源。
27.根據權利要求21所述的製備方法，其特徵在於，所述黑矩陣光阻膠、紅色光阻膠、綠色光阻膠、藍色光阻膠、光固化型材料、或柱形隔墊物光阻膠中添加有對紫外光的i線敏感的感光劑。
28.根據權利要求27所述的製備方法，其特徵在於，所述黑矩陣光阻膠、紅色光阻膠、綠色光阻膠、或藍色光阻膠、光固化型材料、或柱形隔墊物光阻膠中還添加有對紫外光的匕線或8線敏感的感光劑。
【文檔編號】G02F1/1335GK104423088SQ201310409241
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2013年9月10日 優先權日:2013年9月10日
【發明者】楊澤榮, 隆清德 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 成都京東方光電科技有限公司