一種用於多晶矽鑄錠的氬氣供給裝置製造方法

2023-05-12 22:02:01 3

一種用於多晶矽鑄錠的氬氣供給裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種用於多晶矽鑄錠的氬氣供給裝置。氬氣在汽化過程中會吸收大量的熱量，而這些冷量通常不會進行利用。本實用新型提供一種用於多晶矽鑄錠的氬氣供給裝置，包括爐區、氬氣罐、蒸發器和冷水空調機組，所述氬氣罐與蒸發器通過一號管路連接，所述一號管路上設有控制閥，所述蒸發器與爐區通過二號管路連接，所述冷水空調機組與蒸發器通過三號管路連接，其特徵在於：還包括保溫水池和一號水泵，所述保溫水池位於蒸發器的下方，所述保溫水池與冷水空調機組通過四號管路連接，所述一號水泵設置在四號管路上。本實用新型結構簡單，設計合理，保證氬氣正常供應，有效利用能量，有效降低裝置整體的能耗。
【專利說明】-種用於多晶矽鑄錠的氬氣供給裝置

【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及一種用於多晶矽鑄錠的氬氣供給裝置。

【背景技術】
[0002] 多晶鑄錠爐是當今用於多晶矽鑄錠生產的主要設備，因其產量高、成本低的優勢， 目前已取代單晶爐設備，是光伏行業上遊產品生產製造的主要設備。
[0003] 多晶矽鑄錠爐的生產工藝是：將多晶矽原料裝入經過氮化矽噴塗處理過的石英陶 瓷坩堝裡面，送入多晶矽鑄錠爐，抽掉爐腔內的空氣後加熱，在惰性氣體氬氣的保護下加熱 至1550度熔化，待熔化結束後降溫至一定溫度，緩慢提升隔熱籠，通過定向凝固塊散熱使 坩堝中的液態多晶矽料形成垂直溫度梯度，由坩堝底部開始自下向上結晶凝固，至液態矽 料全部結晶凝固完畢後經過退火、冷卻等過程，完成多晶矽鑄錠生產。其中，氬氣通常採用 氬氣罐進行供氣，而氬氣罐內的氬氣為液態氬氣，因而需要將液態氬氣汽化後才能使用，而 在汽化過程中會吸收大量的熱量，而這些冷量通常不會進行利用，造成了浪費。 實用新型內容
[0004] 本實用新型的目的在於克服現有技術中存在的上述不足，而提供一種結構設計合 理，保證氬氣正常供應，有效利用能量，有效降低裝置整體的能耗的用於多晶矽鑄錠的氬氣 供給裝置。
[0005] 本實用新型解決上述問題所採用的技術方案是：該用於多晶矽鑄錠的氬氣供給裝 置，包括用於多晶矽鑄錠的爐區、用於存放液態氬氣的氬氣罐、用於將液態氬氣汽化的蒸發 器和用於對爐區進行冷卻的冷水空調機組，所述氬氣罐與蒸發器通過一號管路連接，所述 一號管路上設有控制閥，所述蒸發器與爐區通過二號管路連接，所述冷水空調機組與蒸發 器通過三號管路連接，其特徵在於：還包括保溫水池和用於將保溫水池中的水供給冷水空 調機組的一號水泵，所述保溫水池位於蒸發器的下方，所述保溫水池與冷水空調機組通過 四號管路連接，所述一號水泵設置在四號管路上。液態氬氣在蒸發器內汽化，從而吸收大 量的熱量，冷水空調機組排出的熱水經過蒸發器時，其熱量被蒸發器吸收，從而變成冷水， 並從蒸發器滴入到保溫水池中，一號水泵將保溫水池中的冷水抽到冷水空調機組進行熱交 換，冷水空調機組對爐區進行冷卻，從而可充分利用液態氬氣汽化時產生的冷量，有效利用 能量，降低裝置整體的能耗。
[0006] 本實用新型還包括二號水泵，所述二號水泵設置在四號管路上，所述二號水泵與 一號水泵並聯設置。由於水泵需持續工作，因而經常需要檢修，一號水泵和二號水泵可交替 使用，從而可保證裝置整體持續工作，提高生產效率。
[0007] 本實用新型與現有技術相比，具有以下優點和效果：結構簡單，設計合理，液態氬 氣在蒸發器內汽化，從而吸收大量的熱量，冷水空調機組排出的熱水經過蒸發器時，其熱量 被蒸發器吸收，從而變成冷水，並從蒸發器滴入到保溫水池中，水泵將保溫水池中的冷水抽 到冷水空調機組進行熱交換，冷水空調機組對爐區進行冷卻，從而可充分利用液態氬氣汽 化時產生的冷量，有效利用能量，降低裝置整體的能耗。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008] 圖1是本實用新型實施例中用於多晶矽鑄錠的氬氣供給裝置的結構示意圖。

【具體實施方式】
[0009] 下面結合附圖並通過實施例對本實用新型作進一步的詳細說明，以下實施例是對 本實用新型的解釋而本實用新型並不局限於以下實施例。
[0010] 實施例。
[0011] 參見圖1，本實施例中的用於多晶矽鑄錠的氬氣供給裝置包括用於多晶矽鑄錠的 爐區1、用於存放液態氬氣的氬氣罐2、用於將液態氬氣汽化的蒸發器3、用於對爐區1進行 冷卻的冷水空調機組4、一號管路5、二號管路6、三號管路7、四號管路8、保溫水池9、一號 水泵10和二號水泵11。
[0012] 本實施例中的氬氣罐2與蒸發器3通過一號管路5連接，一號管路5上設有控制閥 51，控制閥51可控制氬氣的供給及氬氣供給流量，蒸發器3與爐區1通過二號管路6連接， 冷水空調機組4與蒸發器3通過三號管路7連接，保溫水池9位於蒸發器3的下方，保溫水 池9與冷水空調機組4通過四號管路8連接，一號水泵10設置在四號管路8上，液態氬氣在 蒸發器3內汽化，從而吸收大量的熱量，冷水空調機組4排出的熱水經過蒸發器3時，其熱 量被蒸發器3吸收，從而變成冷水，並從蒸發器3滴入到保溫水池9中，一號水泵10將保溫 水池9中的冷水抽到冷水空調機組4進行熱交換，冷水空調機組4對爐區1吹冷風進行冷 卻，從而可充分利用液態氬氣汽化時產生的冷量，有效利用能量，降低裝置整體的能耗。本 實施例中的保溫水池9具有保溫作用，防止冷量流失。
[0013] 本實施例中的二號水泵11設置在四號管路8上，二號水泵11與一號水泵10並聯 設置，由於水泵需持續工作，因而經常需要檢修，一號水泵10和二號水泵11可交替使用，從 而可保證裝置整體持續工作，提高生產效率。
[0014] 此外，需要說明的是，本說明書中所描述的具體實施例，其零、部件的形狀、所取名 稱等可以不同，本說明書中所描述的以上內容僅僅是對本實用新型結構及附圖所作的舉例 說明。凡依據本實用新型專利構思所述的構造、特徵及原理所做的等效變化或者簡單變化， 均包括於本實用新型專利的保護範圍內。本實用新型所屬【技術領域】的技術人員可以對所描 述的具體實施例做各種各樣的修改或補充或採用類似的方式替代，只要不偏離本實用新型 的結構或者超越本權利要求書所定義的範圍，均應屬於本實用新型的保護範圍。
【權利要求】
1. 一種用於多晶矽鑄錠的氬氣供給裝置，包括用於多晶矽鑄錠的爐區、用於存放液態 氬氣的氬氣罐、用於將液態氬氣汽化的蒸發器和用於對爐區進行冷卻的冷水空調機組，所 述氬氣罐與蒸發器通過一號管路連接，所述一號管路上設有控制閥，所述蒸發器與爐區通 過二號管路連接，所述冷水空調機組與蒸發器通過三號管路連接，其特徵在於：還包括保溫 水池和用於將保溫水池中的水供給冷水空調機組的一號水泵，所述保溫水池位於蒸發器的 下方，所述保溫水池與冷水空調機組通過四號管路連接，所述一號水泵設置在四號管路上。
2. 根據權利要求1所述的用於多晶矽鑄錠的氬氣供給裝置，其特徵在於：還包括二號 水泵，所述二號水泵設置在四號管路上，所述二號水泵與一號水泵並聯設置。
【文檔編號】C30B29/06GK203999912SQ201420443449
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年8月7日 優先權日:2014年8月7日
【發明者】黃賢強, 沈達軍, 何建軍, 吳林霞 申請人:浙江溢閎光電科技有限公司