光學濾波器的製作方法

2023-05-11 23:01:36

專利名稱：光學濾波器的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種設置在攝像設備中的光學濾波器。
背景技術：
在以一般的攝像機、數字靜像照相機等為代表的電子照相機的光學系統中，沿著光軸從被攝體側起依次配設有耦合光學系統、紅外線截止濾波器、光學低通濾波器、 CCD (Charge Coupled Device 電荷耦合器件)、MOS (Metal Oxide kmiconductor 金屬氧化物半導體)等攝像元件(例如，參照專利文獻1)。此外，這裡所說的攝像元件具有對於比人眼能夠視覺辨認的波長帶寬的光線(可見光線)還寬的波長帶寬的光線進行響應的靈敏度特性。因此，攝像元件除了可見光線之外，對於紅外區(infrared region)、紫外區 (ultraviolet region)的光線也進行響應。人眼在暗處對400nm 620nm程度的範圍的波長的光線進行響應，在明處對 420nm 700nm程度的範圍的波長的光線進行響應。與此相對，例如在CXD中，對於400nm 700nm範圍的波長的光線，高靈敏度地進行響應，而且對於小於400nm的波長的光線、超過 700nm的波長的光線也進行響應。因此，在下述的專利文獻1所述的攝像設備中，除了作為攝像元件的C⑶之外還設置紅外線截止濾波器，而使紅外區的光線不會到達攝像元件，獲得接近人眼的攝像圖像。專利文獻1 日本特開2000-209510號公報

發明內容
另外，在攝像設備中，除了一般的攝像機、數字靜像照相機以外，還有監視照相機等的在與通常的攝影不同的其它用途中使用的攝像設備。例如，在監視照相機中，不僅是白天，而且還需要進行夜間的夜視(night vision) 下的監視攝影。在夜間等的夜視下的攝影中，是人眼看不到的狀態下的攝影，因此在將通常的可見區(visible region)設為攝影帶寬的照相機中無法進行夜視下的攝影。因此，當前使用紅外區的光線來進行夜間等的夜視下的攝影，但是在上述專利文獻1記載的攝像設備中，由於設置了截去紅外區的光線的紅外線截止濾波器，因此無法用於夜視下的攝影中。因此，為了解決上述課題，本發明的目的在於提供一種不僅在自然光進入的白天、 而且在夜間等的夜視下也能夠使光透過的光學濾波器。為了達到上述目的，本發明的設置在攝像設備中的光學濾波器的特徵在於，具備 透明基板；以及濾波器群，形成在所述透明基板上，在可見區和紅外區這2個波長帶寬中具有透過特性，所述濾波器群是組合第1濾波器和多個濾波器而構成的，其中，所述第1濾波器在可見區以及與可見區連續的紅外區的預先設定的一個帶寬中具有透過特性，所述多個濾波器在可見區以及與可見區分離的紅外區的預先設定的另一帶寬中具有透過特性，在可見區與紅外區的另一帶寬之間的帶寬中具有隔斷特性，在所述多個濾波器中，具有所述隔斷特性的帶寬分別為約150nm以下，並且，具有所述隔斷特性的帶寬重複。
根據本發明，能夠在可見區以及所期望的紅外區中具有透過特性，其結果，不僅在自然光進入的白天，而且在夜間等的夜視下也能夠進行拍攝。另外，根據本發明，在所述多個濾波器中，具有所述隔斷特性的帶寬分別為約 150nm以下，並且，具有所述隔斷特性的帶寬重複，因此能夠僅在可見區以及紅外區的所期望的帶寬中具有透過特性。另外，通過本發明中所說的第1濾波器與其它以往的一個濾波器的組合，能夠在與可見區不同的紅外區中具有透過特性，但是在這種情況下，除了可見區以外，在可見區附近的約900nm以下的帶寬中不具有透過特性。然而，根據本發明，能夠在可見區、以及與可見區分離的可見區附近的包含約900nm以下的帶寬、或者僅在約900nm以下的帶寬中具有透過特性。在所述結構中，所述濾波器群也可以是交替地層疊多個由高折射率材料構成的第 1薄膜和由低折射率材料構成的第2薄膜而成的，在所述高折射率材料中使用Ti02、Nb205或者Ta2O5，在所述低折射率材料中使用S^2或者MgF2。此外，在高折射率材料中使用了 Ti02、Nb2O5或者Ta2O5、並在低折射率材料中使用了 S^2或者MgF2的具有隔斷特性的光學濾波器的情況下，其隔斷帶寬的寬度基本上是 250nm左右，難以變更。這關係到根據光學材料的折射率來決定隔斷帶的寬度。因此，使用這些光學材料，在可見區和紅外區這2個帶寬中具有透過特性的光學濾波器的情況下，紅外區的透過帶寬會超過約900nm，無法任意地設定紅外區的透過帶寬的上升波長。然而，根據本結構，具備所述透明基板和所述濾波器群，所述濾波器群組合所述第 1濾波器和所述多個濾波而構成、且交替地層疊多個由所述高折射率材料構成的第1薄膜和由所述低折射率材料構成的第2薄膜而成，在所述高折射率材料中使用Ti02、Nb2O5或者 Ta2O5，在所述低折射率材料中使用S^2或者MgF2，在所述多個濾波器中，具有所述隔斷特性的帶寬分別為150nm以下，並且，具有所述隔斷特性的帶寬重複，因此能夠在可見區、以及與可見區分離的可見區附近的包含約900nm以下的帶寬、或者僅在約900nm以下的帶寬中具有透過特性。其結果，不僅在自然光進入的白天，而且在夜間等的夜視下也能夠使用於夜間攝影的紅外線照明的LED燈的光的波長透過。在所述結構中，所述濾波器群也可以是交替地層疊多個由高折射率材料構成的第 1薄膜和由低折射率材料構成的第2薄膜而成的，在所述多個濾波器各自中，所述第1薄膜的層疊合計的光學膜厚與第2薄膜的層疊合計的光學膜厚的光學膜厚比被設定為大致 1 0. 5 至大致 1 0. 75。在這種情況下，能夠將所述多個濾波器各自的具有隔斷特性的帶寬設為約150nm 以下，能夠僅在可見區以及紅外區的期望的帶寬中具有透過特性。其結果，能夠在可見區、 以及與可見區分離的可見區附近的包含約900nm以下的帶寬、或者僅在約900nm以下的帶寬中具有透過特性。在所述結構中，所述濾波器群也可以是交替地層疊多個由高折射率材料構成的第 1薄膜和由低折射率材料構成的第2薄膜而成的，在所述多個濾波器各自中，所述第1薄膜的層疊合計的光學膜厚與第2薄膜的層疊合計的光學膜厚的光學膜厚比被設定為大致 0. 45 1 至大致 0. 7:1。在這種情況下，能夠將所述多個濾波器各自的具有隔斷特性的帶寬設為約150nm以下，能夠僅在可見區以及紅外區的期望的帶寬中具有透過特性。其結果，能夠在可見區、 以及與可見區分離的可見區附近的包含約900nm以下的帶寬、或者僅在約900nm以下的帶寬中具有透過特性。在所述結構中，所述濾波器群的具有透過特性帶寬也可以是可見區以及約 800nm 約 lOOOnm。在這種情況下，通過所述第1濾波器和所述多個濾波器的組合，來實現通常通過組合2個濾波器不可能實現的僅可見區和該可見區附近的近紅外區的約800nm 約IOOOnm 的帶寬中的透過。因此，能夠應對用於夜間攝影的紅外線照明的LED燈的主要的中心波長 (例如約840nm、約950nm等)，能夠可靠地進行這些波長帶寬外的不需要的近紅外光、遠紅外光的隔斷。其結果，能夠實現使用了 LED燈等LED光源的在紅外區中的透過，適用於夜間等的夜視下的拍攝。在所述結構中，所述多個濾波器也可以是具有所述隔斷特性的帶寬被設定在約 600nm 約750nm之間的第2濾波器、和具有所述隔斷特性的帶寬被設定在約700nm 約 900nm之間的第3濾波器。在這種情況下，不使該鄰接的近紅外的光(例如，到光量的中心波長為約840nm的 LED燈15的中心波長的加減部分為止)從人眼的靈敏度特性(中的明處)中的響應部分進行波動，能夠在2個透過帶寬之間的具有隔斷特性的帶寬中設透過率為3%以下。此外，具體地說，在所述第2濾波器的具有所述隔斷特性的帶寬設定在約650nm 約750nm之間、所述第3濾波器的具有所述隔斷特性的帶寬設定在約750nm 約900nm之間的情況下，能夠高效地拍攝光量的中心波長為約950nm的LED燈的光。在所述結構中，在所述濾波器群中，也可以在折射率變化的位置處包括調整層。在這種情況下，由於在所述濾波器群中包含所述調整層，因此能夠抑制波動的產生，特別是能夠抑制想透過的波長區域中的波動的產生，還能夠抑制急劇變化的透過率的
變化量。在所述結構中，紅外區中的透過寬度也可以是約65nm 約200nm。在這種情況下，能夠將紅外區中的透過寬度設定為短的所期望的寬度，具體地說， 能夠僅使用於夜間攝影的紅外線照明的LED燈的光的波長(約IOOnm左右的照射波長寬度)透過，能夠高效地拍攝從LED燈照射並由被攝體所反射的光。另外，為了達到上述目的，本發明的設置在攝像設備中的光學濾波器的特徵在於， 具備透明基板；以及濾波器群，形成在所述透明基板上，在可見區和紅外區這2個波長帶寬中具有透過特性，所述濾波器群是組合第1濾波器和多個濾波器而構成的，並且，交替地層疊多個由高折射率材料構成的第1薄膜和由低折射率材料構成的第2薄膜而成，其中，所述第1濾波器在可見區以及與可見區連續的紅外區的預先設定的一個帶寬中具有透過特性，所述多個濾波器在可見區以及與可見區分離的紅外區的預先設定的另一帶寬中具有透過特性，在可見區與紅外區的另一帶寬之間的帶寬中具有隔斷特性，在所述多個濾波器各自中，所述第1薄膜的層疊合計的光學膜厚與第2薄膜的層疊合計的光學膜厚的光學膜厚比被設定為大致1 0.5至大致1 0.75，並且，具有所述隔斷特性的帶寬重複。根據本發明，在所述多個濾波器各自中，所述第1薄膜的層疊合計的光學膜厚與第2薄膜的層疊合計的光學膜厚的光學膜厚比被設定為大致1 0.5至大致1 0.75，並且，具有所述隔斷特性的帶寬重複，因此能夠僅在可見區以及紅外區的所期望的帶寬中具有透過特性。或者，為了達到上述目的，本發明的設置在攝像設備中的光學濾波器的特徵在於， 具備透明基板；以及濾波器群，形成在所述透明基板上，在可見區和紅外區這2個波長帶寬中具有透過特性，所述濾波器群是組合第1濾波器和多個濾波器而構成的，並且，交替地層疊多個由高折射率材料構成的第1薄膜和由低折射率材料構成的第2薄膜而成，其中，所述第1濾波器在可見區以及與可見區連續的紅外區的預先設定的一個帶寬中具有透過特性，所述多個濾波器在可見區以及與可見區分離的紅外區的預先設定的另一帶寬中具有透過特性，在可見區與紅外區的另一帶寬之間的帶寬中具有隔斷特性，在所述多個濾波器各自中，所述第1薄膜的層疊合計的光學膜厚與第2薄膜的層疊合計的光學膜厚的光學膜厚比被設定為大致0.45 1至大致0.7 1，並且，具有所述隔斷特性的帶寬重複。根據本發明，在所述多個濾波器中，在所述多個濾波器各自中，所述第1薄膜的層疊合計的光學膜厚與第2薄膜的層疊合計的光學膜厚的光學膜厚比被設定為大致0.45 1至大致0.7 1， 並且，具有所述隔斷特性的帶寬重複，因此能夠僅在可見區以及紅外區的所期望的帶寬中具有透過特性。如上所述，根據本發明，能夠在可見區以及所期望的紅外區中具有透過特性，其結果，不僅在自然光進入的白天，而且在夜間等的夜視下也能夠進行拍攝。另外，通過本發明中所說的第1濾波器與其它以往的一個濾波器的組合，能夠在與可見區不同的紅外區中具有透過特性，但是在這種情況下，除了可見區以外，在可見區附近的包含約900nm以下的帶寬、或者僅在約900nm以下的帶寬中不具有透過特性。然而，根據本發明，能夠將所述多個濾波器各自的具有隔斷特性的帶寬設為約150nm以下，能夠僅在可見區以及紅外區的所期望的帶寬中具有透過特性。其結果，能夠在可見區、以及與可見區分離的可見區附近的包含約900nm以下的帶寬、或者僅在約900nm以下的帶寬中具有透過特性。根據本發明，能夠提供一種不僅在自然光進入的白天、而且在夜間等的夜視下也能夠拍攝的光學濾波器以及攝像設備。


圖1是與本實施方式有關的攝像設備的概要結構圖。圖2是表示與本實施方式有關的光學濾波器的結構的概要結構圖。圖3是表示與本實施方式有關的光學濾波器的透過特性的概要圖。圖4是表示與本實施方式有關的第1濾波器的透過特性的概要圖。圖5是表示與本實施方式有關的第2濾波器的透過特性的概要圖。圖6是表示與本實施方式有關的第3濾波器的透過特性的概要圖。圖7是表示與本實施例有關的光學濾波器的透過特性的圖。圖8是表示與本實施例2有關的光學濾波器的透過特性的圖。圖9是表示與本實施例3有關的光學濾波器的透過特性的圖。圖10是表示與本實施例4有關的光學濾波器的透過特性的圖。附圖標記說明1 攝像設備；11 光軸；12 透鏡；13 光學濾波器；14 攝像元件；15 =LED燈；2 晶體板(quartz plate) ；21 一個主面；22 另一主面；3 濾波器群；31 第1薄膜；32 第2 薄膜；33 第1濾波器；34 調整層；35 第2濾波器；36 第3濾波器。
具體實施例方式下面，參照

本發明的實施方式。如圖1所示，在與本實施方式有關的攝像設備1中，沿著光軸11，從外部的被攝體側起依次至少配設有作為從外部入射光的耦合光學系統的透鏡12、光學濾波器13、CCD、 CMOS等攝像元件14。此外，在該攝像設備1中設置有LED燈15，夜間通過將LED燈15照向被攝體，輔助夜間的攝影。在本實施方式中，從LED燈照射峰值波長為850nm的光。如圖1、2所示，在光學濾波器13中，設置有作為透明基板的晶體板2、形成在該晶體板2的一個主面21上且在可見區和紅外區這2個波長帶寬中具有透過特性的濾波器群3、以及形成在晶體板2的另一主面22上的AR塗層(省略圖示)。此外，濾波器群3與頂截止濾波器相對應，但是在紅外區中具有透過特性，因此實際上是與頂截止濾波器不同的濾波器。如圖2所示，濾波器群3是交替地層疊多個由高折射率材料構成的第1薄膜31、和由低折射率材料構成的第2薄膜32而成的濾波器群。因此，從晶體板2的一個主面21側起數數時，第奇數個層由第1薄膜31構成，第偶數個層由第2薄膜32構成。此外，在本實施方式中，在第1薄膜中使用TiO2，在第2薄膜中使用SiO2，濾波器群3由從晶體板2的一個主面21側起依次以序數詞定義的多個層構成，在本實施方式中由1層、2層、3層…49層構成。這些1層、2層、3層…49層各自的層是層疊第1薄膜31和第2薄膜32而構成的。 並且，根據所層疊的第1薄膜31和第2薄膜32的光學膜厚不同，1層、2層、3層…49層各自的厚度會不同。此外，這裡所說的光學膜厚是通過下述的式1來求出的。式 1Nd = λ /4 (Nd 光學膜厚，d 物理膜厚，N 折射率，λ 中心波長)關於該濾波器群3的製造方法，通過公知的真空蒸鍍裝置(省略圖示)，對晶體板 2的一個主面21交替地真空蒸鍍T^2和SiO2,形成如圖2所示的濾波器群3。此外，通過一邊監視膜厚一邊進行蒸鍍動作，在剛好達到規定的膜厚時關閉設置在蒸鍍源(省略圖示) 附近的閘門(shutter)(省略圖示)等而停止蒸鍍物質(Ti02、SiO2)的蒸鍍，由此進行第1 薄膜31以及第2薄膜32的膜厚調整。另外，如圖2所示，上述濾波器群3是組合如下部分而構成的第1濾波器33，在可見區以及與可見區連續的紅外區的預先設定的一個帶寬中具有透過特性；多個濾波器， 在可見區以及與可見區分離的紅外區的預先設定的另一帶寬中具有透過特性，在可見區與紅外區的另一帶寬之間的帶寬中具有隔斷特性；以及調整層34，配置在折射率變化的位置處。此外，本實施方式中的調整層34的折射率變化的位置是多個濾波器與晶體板2的界面， 調整層34存在於多個濾波器與晶體板2之間。如圖3所示，具有該濾波器群3的透過特性的帶寬(也稱作透過帶寬)是可見區 (在本實施例中為約420nm 約650nm)和靠近可見區的近紅外區的近紅外帶寬(在本實施方式中為約SOOnm 約900nm的約IOOnm)。此外，濾波器群3的透過帶寬與隔斷帶寬中的臨界值(上限值和下限值)分別如附加「約」那樣，並非是分別被嚴格限定的值。
接著，分別詳細說明濾波器群3的第1濾波器33和多個濾波器。第1濾波器33在與可見區連續的紅外區的預先設定的一個帶寬(在本實施方式中為約380nm 約900nm)中具有透過特性。具體地說，如圖4所示，第1濾波器33在約 380nm 約900nm中具有透過特性，在小於約380nm和超過約900nm時具有隔斷特性。該第1濾波器33的第1薄膜31以及第2薄膜32被設計成如下。此外，第1濾波器33的透過帶寬和隔斷帶寬中的臨界值(上限值和下限值)如分別附加「約」那樣，沒有分別被嚴格限定。在第1薄膜31中使用作為高折射率材料的TiO2，在第2薄膜32中使用作為低折射率材料的Si02。第1濾波器33中的第1薄膜31的層疊合計的光學膜厚、與第2薄膜32 的層疊合計的光學膜厚的光學膜厚比被設定為大致1 1。此外，這裡所說的光學膜厚比如附加「大致」那樣，沒有被嚴格地限定於1 1。在多個濾波器中，具有隔斷特性的帶寬分別為約IOOnm以下，並且，具有隔斷特性的帶寬重複。在本實施方式中，多個濾波器由具有隔斷特性的帶寬設定在約650nm 約 740nm之間的第2濾波器35、以及具有隔斷特性的帶寬設定在約700nm 約SOOnm之間的第3濾波器36構成。另外，如圖2所示，在第2濾波器35上層疊了第3濾波器36。此外， 在與本實施方式有關的多個濾波器中，具有隔斷特性的帶寬分別為約IOOnm以下，但這是優選例，不限於此，只要是約150nm以下即可。此外，第2濾波器35、第3濾波器36的透過帶寬和隔斷帶寬中的臨界值(上限值和下限值)如分別附加「約」那樣，沒有分別被嚴格限定。第2濾波器35在可見區以及與可見區分離的紅外區的預先設定的另一帶寬(在本實施方式中超過約740nm)中具有透過特性，在可見區與紅外區的另一帶寬之間的帶寬 (在本實施方式中為約650nm 約740nm)中具有隔斷特性。具體地說，如圖5所示，第2 濾波器35在約380nm 約650nm和超過約740nm時具有透過特性，在小於約380nm和約 650nm 約740nm中具有隔斷特性。該第2濾波器35的第1薄膜31以及第2薄膜32被設計成如下。在第2濾波器35的第1薄膜31中使用作為高折射率材料的TiO2，在第2薄膜32 中使用作為低折射率材料的Si02。在第2濾波器35的多個第1薄膜31之中，位於第2濾波器35的最上層(圖2所示的左側)的第1薄膜31的物理膜厚被設定成其它第1薄膜31 的約一半。另外，第2濾波器35中的第1薄膜31的層疊合計的光學膜厚、與第2薄膜32 的層疊合計的光學膜厚的光學膜厚比被設定為大致1.000 0.500至大致1.000 0.750。 具體地說，在本實施方式中，第1薄膜31的層疊合計的光學膜厚與第2薄膜32的層疊合計的光學膜厚的光學膜厚比被設定為大致1.000 0.538。此外，這裡所說的光學膜厚比如附加「大致」那樣，沒有被嚴格地限定。第3濾波器36在可見區以及與可見區分離的紅外區的預先設定的另一帶寬(在本實施方式中超過約800nm)中具有透過特性，在可見區與紅外區的另一帶寬之間的帶寬 (在本實施方式中為約700nm 約SOOnm)中具有隔斷特性。具體地說，如圖6所示，第3 濾波器36在小於約380nm和約420nm 約700nm和超過約800nm時具有透過特性，在約 380nm 約420nm和約700nm 約800nm時具有隔斷特性。該第3濾波器36的第1薄膜 31以及第2薄膜32被設計成如下。
在第3濾波器36的第1薄膜31中使用作為高折射率材料的TiO2，在第2薄膜32 中使用作為低折射率材料的Si02。在第3濾波器36的多個第1薄膜31之中，位於第3濾波器36的最下層(圖2所示的右側)的第1薄膜31的物理膜厚被設定為其它第1薄膜31 的約一半。另外，第3濾波器36中的第1薄膜31的層疊合計的光學膜厚、與第2薄膜32 的層疊合計的光學膜厚的光學膜厚比被設定為大致1.000 0.500至大致1.000 0.750。 具體地說，在本實施方式中，第1薄膜31的層疊合計的光學膜厚與第2薄膜32的層疊合計的光學膜厚的光學膜厚比被設定為大致1 0340。此外，這裡所說的光學膜厚比如附加 「大致」那樣，沒有被嚴格地限定。在上述第2濾波器35和第3濾波器36中，將位於第2濾波器35的最上層(圖2 所示的左側)的第1薄膜31、與位於第3濾波器36的最下層(圖2所示的右側)的第1薄膜31進行層疊而形成一個第1薄膜31。通過上述的結構，在與本實施方式有關的光學濾波器13中能夠得到如圖3所示的透過特性。接著，實際地測定與本實施方式有關的光學濾波器13的波長特性，並將該測定結果、結構作為實施例而表示在圖7、表1中。[實施例]在本實施例中，使用大氣中的折射率為1. 54的晶體板2作為透明基板。另外，使用大氣中的折射率為2. 30的TW2作為第1薄膜31，使用大氣中的折射率為1. 46的SW2作為第2薄膜32。另外，濾波器群3由49層構成，通過上述的濾波器群3的製造方法，在進行了最優化的狀態下形成第1薄膜31以及第2薄膜32而構成濾波器群3，得到如圖7所示的透過特性。此外，在本實施例中，使光線的入射角為0度，S卩，使光線垂直入射。[表 1]
層蒸鍍物質光學膜厚中心波長(nm)1SiO21. 47700. 002TiO20. 39700. 003SiO20. 16700. 004TiO20. 82700. 005SiO20. 14700. 006TiO21. 49700. 007SiO21. 30700. 008TiO21. 43700. 00
權利要求
1.一種光學濾波器，設置在攝像設備中，該光學濾波器的特徵在於，具備 透明基板；以及濾波器群，形成在所述透明基板上，在可見區和紅外區這2個波長帶寬中具有透過特性，所述濾波器群是組合第1濾波器和多個濾波器而構成的，其中，所述第1濾波器在可見區以及與可見區連續的紅外區的預先設定的一個帶寬中具有透過特性，所述多個濾波器在可見區以及與可見區分離的紅外區的預先設定的另一帶寬中具有透過特性，在可見區與紅外區的另一帶寬之間的帶寬中具有隔斷特性，在所述多個濾波器中，具有所述隔斷特性的帶寬分別為約150nm以下，並且，具有所述隔斷特性的帶寬重複。
2.根據權利要求1所述的光學濾波器，其特徵在於，所述濾波器群是交替地層疊多個由高折射率材料構成的第1薄膜和由低折射率材料構成的第2薄膜而成的，在所述高折射率材料中使用了 Ti02、Nb2O5或者Tii2O5， 在所述低折射率材料中使用了 S^2或者MgF2。
3.根據權利要求1或者2所述的光學濾波器，其特徵在於，所述濾波器群是交替地層疊多個由高折射率材料構成的第1薄膜和由低折射率材料構成的第2薄膜而成的，在所述多個濾波器各自中，所述第1薄膜的層疊合計的光學膜厚與第2薄膜的層疊合計的光學膜厚的光學膜厚比被設定為大致1 0.5至大致1 0.75。
4.根據權利要求1或者2所述的光學濾波器，其特徵在於，所述濾波器群是交替地層疊多個由高折射率材料構成的第1薄膜和由低折射率材料構成的第2薄膜而成的，在所述多個濾波器各自中，所述第1薄膜的層疊合計的光學膜厚與第2薄膜的層疊合計的光學膜厚的光學膜厚比被設定為大致0.45 1至大致0.7 1。
5.根據權利要求1 4中的任意一項所述的光學濾波器，其特徵在於， 所述濾波器群的具有透過特性的帶寬是可見區以及約SOOnm 約lOOOnm。
6.根據權利要求1 5中的任意一項所述的光學濾波器，其特徵在於，所述多個濾波器是具有所述隔斷特性的帶寬被設定在約600nm 約750nm之間的第2 濾波器、和具有所述隔斷特性的帶寬被設定在約700nm 約900nm之間的第3濾波器。
7.根據權利要求1 6中的任意一項所述的光學濾波器，其特徵在於， 在所述濾波器群中，在折射率變化的位置處包括調整層。
8.根據權利要求1 7中的任意一項所述的光學濾波器，其特徵在於， 紅外區中的透過寬度是約65nm 約200nm。
9.一種光學濾波器，設置在攝像設備中，該光學濾波器的特徵在於，具備 透明基板；以及濾波器群，形成在所述透明基板上，在可見區和紅外區這2個波長帶寬中具有透過特性，所述濾波器群是組合第1濾波器和多個濾波器而構成的，並且，交替地層疊多個由高折射率材料構成的第1薄膜和由低折射率材料構成的第2薄膜而成，其中，所述第1濾波器在可見區以及與可見區連續的紅外區的預先設定的一個帶寬中具有透過特性，所述多個濾波器在可見區以及與可見區分離的紅外區的預先設定的另一帶寬中具有透過特性，在可見區與紅外區的另一帶寬之間的帶寬中具有隔斷特性，在所述多個濾波器各自中，所述第1薄膜的層疊合計的光學膜厚與第2薄膜的層疊合計的光學膜厚的光學膜厚比被設定為大致1 0.5至大致1 0.75，並且，具有所述隔斷特性的帶寬重複。
10. 一種光學濾波器，設置在攝像設備中，該光學濾波器的特徵在於，具備 透明基板；以及濾波器群，形成在所述透明基板上，在可見區和紅外區這2個波長帶寬中具有透過特性，所述濾波器群是組合第1濾波器和多個濾波器而構成的，並且，交替地層疊多個由高折射率材料構成的第1薄膜和由低折射率材料構成的第2薄膜而成，其中，所述第1濾波器在可見區以及與可見區連續的紅外區的預先設定的一個帶寬中具有透過特性，所述多個濾波器在可見區以及與可見區分離的紅外區的預先設定的另一帶寬中具有透過特性，在可見區與紅外區的另一帶寬之間的帶寬中具有隔斷特性，在所述多個濾波器各自中，所述第1薄膜的層疊合計的光學膜厚與第2薄膜的層疊合計的光學膜厚的光學膜厚比被設定為大致0.45 1至大致0.7 1，並且，具有所述隔斷特性的帶寬重複。
全文摘要
在攝像設備(1)中設置的光學濾波器(13)中設置有晶體板(2)、以及形成在晶體板(2)上並在可見區與紅外區這2個波長帶寬中具有透過特性的濾波器群(3)。濾波器群(3)是將在可見區及與可見區連續的紅外區的預先設定的一個帶寬中具有透過特性的第1濾波器(33)、和在可見區及與可見區分離的紅外區的預先設定的另一帶寬中具有透過特性並在可見區與紅外區的另一帶寬之間的帶寬中具有隔斷特性的第2濾波器(35)以及第3濾波器(36)組合而構成的。在第2濾波器(35)以及第3濾波器(36)中，具有隔斷特性的帶寬分別為約150nm以下，並且，具有隔斷特性的帶寬重複。
文檔編號H04N5/225GK102334049SQ20108000936
公開日2012年1月25日 申請日期2010年9月9日 優先權日2009年9月15日
發明者大西學 申請人:株式會社大真空