一種爐體的製作方法
2023-05-04 17:35:51
專利名稱：一種爐體的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及冶煉技術領域，尤其涉及一種爐體。
技術背景多晶矽是提取單晶矽的原材料，多晶矽材料在爐體主室裡，在惰性氣體環 境中，用石墨加熱器將多晶矽材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶，成行後需 要提拉單晶矽爐副室和主室蓋。其原理也適用於多晶矽的生產過程。目前主要使用巻揚機和鋼絲繩來提拉單晶矽爐副室和主室蓋，由於鋼絲繩 是柔性傳動，當提拉時，會產生晃動，使副室裡的單晶矽斷裂，並且兩根鋼絲 繩受力不均，會使副室產生傾斜，同樣會使單晶矽或多晶矽產生斷裂，而且鋼 絲繩沒有行程限制，不能使副室和主室蓋準確定位。實用新型內容本實用新型的目的在於提出一種爐體，用於生產單晶矽或者多晶矽，不但 可以保證單晶矽、多晶矽產品的質量和安全，而且可以很好地控制副室和主室 蓋的行程。為達此目的，本實用新型採用以下技術方案一種爐體，用於生產單晶矽或者多晶矽，包括副室l、主室蓋2、主室3、 副室筒8、主室蓋筒9和電動推桿6，所述副室筒的下半部中空，所述主室蓋 筒為中空的筒件，所述副室通過支撐架和所述副室筒固定，所述主室蓋通過支 撐架與所述主室蓋筒固定，所述電動推桿可以穿過所述主室蓋筒與所述副室筒接觸，所述副室筒、主室蓋筒和電動推桿位於同一條直線上，並與所述副室、主室蓋、主室平行。
所述電動推桿進一步包括頂杆7、電機4和推動裝置5，所述電機和所述 推動裝置連接，用於帶動所述推動裝置，所述頂杆下端連接所述推動裝置，上 端穿在所述主室蓋筒的內部。
所述推動裝置進一步包括減速機、絲槓、螺母和外套筒，所述減速機和所 述電機連接，所述絲槓一端連接所述減速機，另一端安裝所述螺母，所述螺母 與所述頂杆一端通過螺紋連接，用於頂動所述頂杆，所述外套筒位於所述絲槓、 螺母和頂杆的外部。
所述外套筒上安裝第一行程開關10和第二行程開關11，用於限定所述螺 母的位移。
所述頂杆為凸字型杆件，上端直徑小於所述主室蓋筒的內徑和所述副室筒 的下半部內徑，下端直徑大於所述主室蓋筒的內徑。
所述頂杆進一步包括頂杆底座和接杆12，所述頂杆底座和所述接杆通過 卡銷連接，所述頂杆底座直徑大於所述主室蓋筒的內徑，所述接杆直徑小於所 述主室蓋筒的內徑和所述副室筒的下半部內徑。
採用了本實用新型的技術方案，由於電動推桿是剛性傳動，可以使爐體中 副室和主室蓋升起、放下速度平穩，不易產生晃動，且能保持直線升降，多晶 矽和單晶矽產品質量和安全均可以得到保證；電動推桿的行程控制，實現了到 極限位置自動停止運動，提高了多晶矽和單晶矽提拉移動位置的可靠性。
圖l是本實用新型具體實施方式
中爐體的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖並通過具體實施方式
來進一步說明本實用新型的技術方案。 本實用新型的主要思想就在於，將電動推桿運用在單晶矽爐或多晶矽爐上，以推動副室或者主室蓋，因此將電動推桿和單晶矽爐或多晶矽爐相結合都屬於本實用新型的保護範圍之內。圖l是本實用新型具體實施方式
中爐體的結構示意圖。如圖1所示，該用於生產單晶矽或者多晶矽的爐體包括副室l、主室蓋2、主室3、副室筒8、主室蓋 筒9和電動推桿6，電動推桿進一步包括頂杆7、電機4和推動裝置5，推動裝置 進一步包括減速機、絲槓、螺母和外套筒，外套筒上安裝第一行程開關10和第 二行程開關ll。副室、主室蓋和主室從上到下依次安裝，與地面垂直，副室通過支撐架和 副室筒固定在一起，主室蓋通過支撐架與主室蓋筒固定在一起，副室筒為下半 部中空的筒體，主室蓋筒為全部中空的筒件。電動推桿的頂杆為凸字型杆件， 上端直徑小於主室蓋筒的內徑和副室筒的下半部內徑，下端直徑大於主室蓋筒 的內徑；或者頂杆進一步分為頂杆底座和接杆12，頂杆底座和接杆通過卡銷連接，頂杆底座直徑大於所述主室蓋筒的內徑，接杆直徑小於所述主室蓋筒的內 徑和所述副室筒的下半部內徑。這樣電動推桿的頂杆就可以穿過主室蓋筒，插 入副室筒的下半部，副室筒、主室蓋筒和電動推桿位於同一條直線上，與地面 垂直，從而也與副室、主室蓋、主室平行。電動推桿下部是電機和推動裝置，上部是頂杆，電機和推動裝置中的減速 機連接，從而帶動減速機轉動，絲槓的下端連接在加速單元上，上端套著一個 螺母，螺母通過螺紋固定頂杆，外套筒包圍著絲槓、螺母和頂杆，在外套筒的 上面安裝了兩個行程開關，第一行程開關在電動推桿下方，第二行程開關在電 動推桿上方。當電機開動後，減速機轉動帶動絲槓轉動，由於絲槓上的螺母不能和絲槓 同時轉動，只能沿著絲槓的軸方向向上位移，頂動頂杆，頂杆首先穿過主室蓋筒，插入副室筒下半部；或者將接杆事先放在主室蓋筒，頂杆底座首先頂動接 杆，在插入副室筒下半部，副室筒通過支撐架帶動副室向上，直到螺母到達第 一行程開關,第一行程開關通過控制電路可以使電動推桿停止工作，打開副室。 當頂杆繼續向上，頂杆的下半部凸起或者頂杆底座接觸到主室蓋筒，從而通過 支撐架帶動主室蓋也向上移動，直到螺母到達第二行程開關，第二行程開關通 過控制電路停止電動推桿工作，打開主室蓋。兩個行程開關之間的距離可以調 整，根據實際需要確定行程開關的位置。以上所述，僅為本實用新型較佳的具體實施方式
，但本實用新型的保護範 圍並不局限於此，任何熟悉該技術的人在本實用新型所揭露的技術範圍內，可 輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護範圍之內。因此，本實 用新型的保護範圍應該以權利要求的保護範圍為準。
權利要求1、一種爐體，用於生產單晶矽或者多晶矽，其特徵在於，包括副室(1)、主室蓋(2)、主室(3)、副室筒(8)、主室蓋筒(9)和電動推桿(6)，所述副室筒的下半部中空，所述主室蓋筒為中空的筒件，所述副室通過支撐架和所述副室筒固定，所述主室蓋通過支撐架與所述主室蓋筒固定，所述電動推桿可以穿過所述主室蓋筒與所述副室筒接觸，所述副室筒、主室蓋筒和電動推桿位於同一條直線上，並與所述副室、主室蓋、主室平行。
2、 根據權利要求1所述的一種爐體，其特徵在於，所述電動推桿進一步 包括頂杆(7)、電機(4)和推動裝置(5)，所述電機和所述推動裝置連接， 用於帶動所述推動裝置，所述頂杆下端連接所述推動裝置，上端穿在所述主室 蓋筒的內部。
3、 根據權利要求2所述的一種爐體，其特徵在於，所述推動裝置進一步 包括減速機、絲槓、螺母和外套筒，所述減速機和所述電機連接，所述絲槓一 端連接所述減速機，另一端安裝所述螺母，所述螺母與所述頂杆一端通過螺紋 連接，用於頂動所述頂杆，所述外套筒位於所述絲槓、螺母和頂杆的外部。
4、 根據權利要求3所述的一種爐體，其特徵在於，所述外套筒上安裝第 一行程開關(10)和第二行程開關(11)，用於限定所述螺母的位移。-
5、 根據權利要求2所述的一種爐體，其特徵在於，所述頂杆為凸字型杆 件，上端直徑小於所述主室蓋筒的內徑和所述副室筒的下半部內徑，下端直徑 大於所述主室蓋筒的內徑。
6、 根據權利要求2所述的一種爐體，其特徵在於，所述頂杆進一步包括 頂杆底座和接杆(12)，所述頂杆底座和所述接杆通過卡銷連接，所述頂杆底 座直徑大於所述主室蓋筒的內徑，所述接杆直徑小於所述主室蓋筒的內徑和所 述副室筒的下半部內徑。
專利摘要本實用新型公開了一種爐體，用於生產單晶矽或者多晶矽，副室筒的下半部中空，主室蓋筒為中空的筒件，副室通過支撐架和副室筒固定，主室蓋通過支撐架與主室蓋筒固定，電動推桿可以穿過主室蓋筒與副室筒接觸，副室筒、主室蓋筒和電動推桿位於同一條直線上，並與副室、主室蓋、主室平行。採用了本實用新型的技術方案，不但可以保證單晶矽、多晶矽產品的質量和安全，而且可以很好地控制副室和主室蓋的行程。
文檔編號C30B35/00GK201144301SQ200720187500
公開日2008年11月5日 申請日期2007年12月26日 優先權日2007年12月26日
發明者張鬱兵, 李麗文, 王春苗 申請人:北京古德高機電技術有限公司