構件的臨時固定/剝離方法及適於其的臨時固定用膠粘劑的製作方法

2023-05-05 01:32:16 5

專利名稱：構件的臨時固定/剝離方法及適於其的臨時固定用膠粘劑的製作方法
技術領域：
本發明涉及加工各種構件時的臨時固定/剝離方法，還涉及適於該方法的臨時固 定用的臨時固定用膠粘劑。例如，涉及在加工光學構件時臨時固定該構件的方法及剝離方 法和適於該用途的光固性臨時固定用膠粘劑。
背景技術：
作為光學透鏡、稜鏡、陣列、矽晶片、半導體安裝構件等的臨時固定用膠粘劑，使用 雙面膠帶或熱熔系膠粘劑，將用這些膠粘劑接合或層疊的構件切削加工為規定的形狀後， 除去膠粘劑，製造加工構件。例如，在半導體安裝構件中，將這些構件用雙面膠帶固定在基 材上後，切削加工成所需的構件，進而通過對雙面膠帶照射紫外線來進行從構件上的剝離。 另外，在熱熔系膠粘劑的情況下，接合構件後，通過加熱使膠粘劑滲透到間隙中後，切削加 工成所需的構件，在有機溶劑中進行膠粘劑的剝離。但是，在雙面膠帶的情況下存在如下問題難以得到尺寸精度，或由於膠粘強度低 而導致構件加工時切割性(★ 7 e > 7性)差，或不加熱到100°C以上就不能剝離。在利用 紫外線照射使其剝離的情況下，存在當被粘物的透射性不足時不能剝離的問題。在使用熱熔系膠粘劑的情況下，剝離時需要使用有機溶劑，鹼性溶液或滷素系有 機溶劑的清洗處理工序繁雜，此外，作業環境也成為問題。為了解決這些缺陷，提出了含有水溶性乙烯基單體等水溶性化合物的臨時固定用 的光固型或加熱型膠粘劑。使用這些膠粘劑的臨時固定方法中，解決了在水中的剝離性，但 相對於此，存在構件固定時的膠粘強度低、切削加工後的構件的尺寸精度不足的問題。另外，提出了一種臨時固定用膠粘劑，其通過使用特定的親水性高的(甲基)丙烯 酸酯來改善膠粘性，同時利用溶脹或部分溶解來改善剝離性。該臨時固定用膠粘劑，在切削 加工時，產生構件與刀片或金剛石切割器等切削工具的摩擦熱，因此需要用大量的水使其 進行冷卻。上述的親水性高的組合物存在如下問題由於切削時固化物溶脹而變柔軟，因 此，不能達到更高的尺寸精度。另外，由於剝離的構件上部分溶解的固化物膠糊殘留，因此 外觀方面出現問題(參照專利文獻1、2、3)。專利文獻1 日本特開平6-116534號公報專利文獻2 日本特開平11-71553號公報專利文獻3 日本特開2001-226641號公報

發明內容
為了改善切削加工後的構件的尺寸精度，期待疏水性、高膠粘強度、且在水中的剝 離性優異、剝離後構件上無膠糊殘留的、在環境方面操作性也優異的臨時固定/剝離方法 及適於該方法的臨時固定用膠粘劑。本發明為了解決這些現有技術的課題而進行了各種研究，結果發現，通過具有從 固定構件和被加工構件中的一方或雙方施加壓力的工序，且將該施加壓力的工序和該進行照射的工序至少同時實施一定時間，由此，加工時可以得到優異的尺寸精度，從而可以實現 本發明。S卩，本發明具有下述構成。(1) 一種臨時固定方法，包括將臨時固定用膠粘劑塗布到固定構件上的工序(以 下稱為塗布工序)、將被加工構件搭載在臨時固定用膠粘劑上的工序(以下稱為搭載工 序)、和該搭載後對臨時固定用膠粘劑照射可見光或紫外線中的至少一種來提高臨時固定 用膠粘劑的膠粘力的工序(以下稱為照射工序)，還包括從固定構件和被加工構件中的一 方或雙方施加壓力的工序(以下稱為加壓工序)，其中，將該施加壓力的工序和該進行照射 的工序至少同時實施一定時間。(2) 一種臨時固定方法，包括將臨時固定用膠粘劑塗布到被加工構件上的工序 (以下稱為塗布工序)、將固定構件搭載在臨時固定用膠粘劑上的工序(以下稱為搭載工 序)、和該搭載後對臨時固定用膠粘劑照射可見光或紫外線中的至少一種來提高臨時固定 用膠粘劑的膠粘力的工序，還包括從固定構件和被加工構件中的一方或雙方施加壓力的工 序(以下稱為加壓工序)，其中，將該施加壓力的工序和該進行照射的工序至少同時實施一 定時間。(3)如上述⑴或⑵所述的臨時固定方法，其中，從固定構件和被加工構件中的 一方或雙方施加的壓力控制在lg/cm2以上且lOOOkg/cm2以下。(4)如上述⑴或(3)所述的臨時固定方法，其中，將固定構件、臨時固定用膠粘 劑、被加工構件中任一個以上控制在0°c以上且150°C以下。(5)如上述⑴至(4)中任一項所述的臨時固定方法，其中，臨時固定用膠粘劑為 含有(A)多官能(甲基)丙烯酸酯、(B)單官能(甲基)丙烯酸酯及(C)光聚合引發劑的 組合物。(6)如上述(5)所述的構件的臨時固定方法，其中，㈧及⑶均為疏水性。(7)如上述⑴至(6)中任一項所述的臨時固定方法，其中，臨時固定用膠粘劑的 玻璃化轉變溫度為-50°C以上且50°C以下。(8)如上述(5)至(7)中任一項所述的臨時固定方法，其中，臨時固定用膠粘劑， 在㈧及⑶的總量100質量份中含有㈧1 90質量份、⑶10 99質量份，以及相對 於㈧及⑶的總量100質量份含有(C)O. 1 30質量份。(9)如上述(5)至⑶中任一項所述的臨時固定方法，其中，臨時固定用膠粘劑， 相對於㈧及⑶的總量100質量份含有不溶於㈧ (C)的粒狀物質(D)O. 1 20質量 份。(10)如上述(9)所述的臨時固定方法，其中，不溶於(A) (C)的粒狀物質(D)的 形狀為球狀。(11)如上述(9)或(10)所述的臨時固定方法，其中，不溶於㈧ (C)的粒狀物 質(D)為交聯聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交聯聚苯乙烯粒子及交聯聚甲基丙烯酸甲酯聚苯乙 烯共聚物粒子中的任一種或它們的混合物。(12)如上述(9)至(11)中任一項所述的臨時固定方法，其中，不溶於㈧ (C) 的粒狀物質(D)的平均粒徑為5 μ m 200 μ m。(13)如上述(9)至(12)中任一項所述的臨時固定方法，其中，將不溶於㈧ (C)的粒狀物質⑶的利用雷射衍射法測定的粒徑(Pm)用對數表示時的粒子體積分布相對於 粒徑的標準偏差在0. 0001 0. 25的範圍。(14) 一種構件的臨時固定/剝離方法，其中，包括對使用上述⑴至(13)中任 一項所述的臨時固定方法進行臨時固定的構件加工後，將該加工後的構件浸漬在100°c以 下的溫水中，除去所述組合物的固化物。(15) 一種構件的臨時固定/剝離方法，其中，包括對使用上述⑴至(13)中任 一項所述的臨時固定方法進行臨時固定的構件加工後，對臨時固定用膠粘劑照射可見光或 紫外線，將該加工後的構件浸漬在100°C以下的溫水中，除去所述組合物的固化物。(16)如上述(1)至(13)中任一項所述的臨時固定方法，其中，可見光或紫外線的 照射量在波長365nm處為lmj/cm2 4000mJ/cm2的範圍。(17)如上述(15)所述的臨時固定/剝離方法，其特徵在於，對該臨時固定的構件 加工後照射的可見光或紫外線的照射量在波長365nm處為lOOOmJ/cm2 40000mJ/cm2的範圍。(18)如上述(5)至(13)中任一項所述的臨時固定方法，其中，(A)多官能(甲基) 丙烯酸酯含有多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物和/或二官能(甲基)丙烯酸酯單 體。(19)如上述(5)至(13)中任一項所述的臨時固定方法，其中，(A)多官能(甲基) 丙烯酸酯含有多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物及二官能(甲基)丙烯酸酯單體。(20)如上述(18)或(19)所述的臨時固定方法，其中，多官能(甲基)丙烯酸酯 低聚物/聚合物含有聚酯類聚氨酯(甲基)丙烯酸酯和/或聚醚類聚氨酯(甲基)丙烯酸(21)如上述(18)或(19)所述的臨時固定方法，其中，二官能(甲基)丙烯酸酯單 體含有1，6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯和/或二(甲基)丙烯酸雙環戊酯。(22)如上述(5)至(13)中任一項所述的臨時固定方法，其中，⑶單官能(甲基) 丙烯酸酯含有苯酚環氧乙烷2摩爾改性(甲基)丙烯酸酯和/或2-(1，2-環六羧基醯亞 胺)乙基(甲基)丙烯酸酯。(23)如上述(5)至(13)中任一項所述的臨時固定方法，其中，⑶單官能(甲基) 丙烯酸酯含有苯酚環氧乙烷2摩爾改性(甲基)丙烯酸酯及2-(1，2-環六羧基醯亞胺)乙 基(甲基)丙烯酸酯。(24)如上述(5)至(13)中任一項所述的臨時固定方法，其中，(C)光聚合引發劑 含有選自苄基二甲基縮酮、氧基-苯基-乙酸2- [2-氧代-2-苯基-乙酸基-乙氧基]-乙 酯及氧基-苯基-乙酸2-[2-羥基-乙氧基]-乙酯中的1種或2種以上。本發明的臨時固定方法中，通過將加壓工序和照射工序至少同時實施一定時間， 在被加工構件的尺寸精度方面獲得顯著的效果。
具體實施例方式本發明中的塗布工序，將臨時固定用膠粘劑塗布到固定構件上或將臨時固定用膠 粘劑塗布到被加工構件上。在本塗布工序中，只要是公知的塗布工序，則可以使用任意方 法都沒有限制，但優選為在進行固定的一方的固定構件或被加工構件的膠粘面上適量塗布膠粘劑的工序。膠粘劑的塗布量優選為0. 00000001 0. lmg/mm2、更優選為0. 000001 0. 001mg/mm2。進行適量塗布的方法只要是公知的方法就沒有特別限制，例如，使用塗布機 的方法簡便且準確，在生產率方面優選。本發明中的搭載工序，是在塗布工序後將被加工構件或固定構件搭載在塗布有臨 時固定用膠粘劑的固定構件上或被加工構件上的臨時固定用膠粘劑上的工序。在本搭載工 序中，只要是公知的方法就沒有特別限制，例如，使用工業用機器人等自動搭載裝置的工序 簡便且準確，在改善生產率方面優選。在本發明的臨時固定方法中，通過將固定構件、臨時固定用膠粘劑、被加工構件中 任一個以上控制在0°C以上且150°C以下來實施，可以控制臨時固定用膠粘劑的流動性。當 固定構件、臨時固定用膠粘劑、被加工構件為0°C以上時，流動性優異，當其為150°C以下 時，臨時固化用膠粘劑不會因熱固化而聚合，尺寸精度優異。從流動性和尺寸精度的觀點考 慮，優選為10°C以上且100°C以下、更優選為20°C以上且80°C以下。進而，進一步優選為 20°C以上且60°C以下。本發明的加壓工序，優選從固定構件和被加工構件中的一方或雙方施加壓力的工 序，更優選以使固定構件與被加工構件的間隔均勻的方式從一方或雙方施加壓力的工序。 在本加壓工序中，只要是公知的方法就沒有特別限制，例如，優選使用真空壓力機或加壓機 進行加壓的方法。本發明中的所謂均勻，是指固定構件與被加工構件的間隔的最大處減去最小處的 差值在40 μ m以下的範圍內。如果在該範圍，則加工被加工構件時獲得良好的尺寸精度。 從尺寸精度的觀點考慮，優選固定構件與被加工構件的間隔的最大處減去最小處的差值在 20 μ m以下的範圍內，更優選在IOym以下的範圍內，進一步優選在5μπι以下的範圍內。另外，本發明的加壓工序中，優選從固定構件和被加工構件中的一方或雙方施加 lg/cm2以上且lOOOkg/cm2以下的壓力來實施。只要固定構件與被加工構件的間隔均勻，則 即使對固定構件與被加工構件局部施加壓力也沒有問題，但從固定構件與被加工構件的間 隔的觀點考慮，優選整體施加壓力。施加的壓力為lg/cm2以上的情況下，能夠使固定構件與 被加工構件的間隔均勻，當其為lOOOkg/cm2以下時，固定構件或被加工構件不會受到損傷。 從固定構件與被加工構件的間隔的均勻性及損傷的觀點考慮，優選為3g/cm2以上且800kg/ cm2以下，更優選為5g/cm2以上且500kg/cm2以下，進一步優選為lOg/cm2以上且300kg/cm2 以下。另外，在本發明中，需要對臨時固定用膠粘劑照射可見光或紫外線中的任一種來 提高臨時固定用膠粘劑的膠粘力的照射工序。作為在照射工序或後述的再照射工序中使 用的燈，只要是提高臨時固定用膠粘劑的膠粘力的燈就沒有特別限制，優選能夠照射波長 365nm的紫外線的黑光燈、金屬滷化物燈、高壓水銀燈、LED燈等。紫外線的波長優選為10 430nm、更優選為200 420nm、最優選為330 405nm。在本發明的照射工序中，可見光或紫外線的照射量在波長365nm處優選為ImJ/ cm2 4000mJ/cm2的範圍。只要在該範圍內，在對被加工構件進行加工時就可獲得良好的尺 寸精度。從尺寸精度的觀點考慮，優選在lOmJ/cm2 3000mJ/cm2的範圍，更優選在IOOmJ/ cm2 2000mJ/cm2的範圍，進一步優選在300mJ/cm2 1000mJ/cm2的範圍。本發明中，優選在加壓工序中至少同時實施照射工序一定時間。通過在加壓工序中至少同時實施照射工序一定時間，可以使固定構件與被加工構件的間隔均勻，在被加工 構件的加工時的尺寸精度方面獲得顯著的效果。在此所謂的加工是指例如實施切割、研削、 拋光、開孔等使被加工構件成為所需的形狀。在此所謂的一定時間，只要包含進行固化的時 間就沒有特別限定。在可以使固定構件與被加工構件的間隔均勻方面出發，優選在預先實 施加壓工序後，同時實施加壓工序和照射工序。在本發明中，對被加工構件及固定構件的材質沒有特別限制，但優選為由可以透 射紫外線或可見光的材料構成的構件。作為這類材質，可舉出水晶構件、玻璃構件、塑料構 件等。作為在本發明中使用的(A)多官能(甲基)丙烯酸酯，可以使用在低聚物/聚合 物末端或側鏈2個以上被(甲基)丙烯醯基化後的多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合 物或具有2個以上(甲基)丙烯醯基的單體。作為多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物，可舉出1，2-聚丁二烯封端的聚 氨酯(甲基)丙烯酸酯(例如，日本曹達公司製造的「TE-2000」、「TEA-1000」)、上述的氫化 物(例如，日本曹達公司製造的「TEAI-1000」)、1，4-聚丁二烯封端的聚氨酯(甲基)丙烯 酸酯(例如，大阪有機化學公司製造的「BAC-45」)、聚異戊二烯封端的(甲基)丙烯酸酯、 聚酯類聚氨酯(甲基)丙烯酸酯(例如，日本合成公司製造的「UV-2000B」、「UV-3000B」、 「而-700( 」、根上工業公司製造的「1(朋-11」、「1(朋-17」)、聚醚類聚氨酯(甲基)丙烯酸酯 (例如，日本合成公司製造的「UV-3700B」、「UV-6100B」)、雙A型環氧(甲基)丙烯酸酯等。 其中，在效果好的方面，優選聚酯類聚氨酯(甲基)丙烯酸酯和/或聚醚類聚氨酯(甲基) 丙烯酸酯、更優選聚酯類聚氨酯(甲基)丙烯酸酯。多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物的重均分子量優選為10000 60000、更 優選為13000 40000。重均分子量使用GPC系統(東曹公司製造的SC-8010)等，用市售 的標準聚苯乙烯作成標準曲線來求出。作為二官能(甲基)丙烯酸酯單體，可舉出1，3_ 丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1， 4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，9_壬二醇二(甲基)丙 烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸雙環戊酯、2-乙基-2-丁基-丙 二醇(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇改性三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、硬脂酸改性季戊 四醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、2，2_雙甲基)丙烯醯氧基二乙氧基 苯基)丙烷、2，2_雙甲基)丙烯醯氧基丙氧基苯基)丙烷、2，2_雙甲基)丙烯 醯氧基四乙氧基苯基)丙烷、2-(1，2-環六羧基醯亞胺)乙基丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯 等。其中，在效果好的方面，優選1，6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯和/或二(甲基)丙烯 酸雙環戊酯，更優選二(甲基)丙烯酸雙環戊酯。作為三官能(甲基)丙烯酸酯單體，可舉出三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、 三[(甲基)丙烯醯氧基乙基]異氰脲酸酯等。作為四官能以上的(甲基)丙烯酸酯單體，可舉出二羥甲基丙烷四(甲基)丙烯 酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇乙氧基四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五 (甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。(A)多官能(甲基)丙烯酸酯，更優選為疏水性的多官能(甲基)丙烯酸酯。在 此所謂的疏水性是指難以溶解於水的性質或難以與水混合的性質。作為疏水性的多官能(甲基)丙烯酸酯，可舉出例如1，3_ 丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，4_ 丁二醇二(甲基) 丙烯酸酯、1，6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，9_壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二 (甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸雙環戊酯、2-乙基-2- 丁基-丙二醇(甲基)丙烯酸 酯、新戊二醇改性三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、硬脂酸改性季戊四醇二丙烯酸酯、聚 丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、2，2-雙(甲基)丙烯醯氧基二乙氧基苯基)丙烷、2，2-雙 (4-(甲基)丙烯醯氧基丙氧基苯基)丙烷、2，2_雙甲基)丙烯醯氧基四乙氧基苯基) 丙烷、2-(1，2-環六羧基醯亞胺)乙基丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯等。作為疏水性的三官 能(甲基)丙烯酸酯單體，可舉出三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三[(甲基)丙烯 醯氧基乙基]異氰脲酸酯等。作為疏水性的四官能以上的(甲基)丙烯酸酯單體，可舉出 二羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇乙氧基四(甲 基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。在水 溶性的情況下，在切削加工時可能會由於樹脂組合物的固化物溶脹而發生位置偏離，加工 時的尺寸精度變差，因此不優選。即使為親水性，只要其組合物的固化物不會由於水而大大 溶脹或部分溶解，則也可以使用。在多官能(甲基)丙烯酸酯中，在效果好的方面，優選含有多官能(甲基)丙烯酸 酯低聚物/聚合物和/或二官能(甲基)丙烯酸酯單體，更優選並用多官能(甲基)丙烯 酸酯低聚物/聚合物和二官能(甲基)丙烯酸酯單體。並用多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物和二官能(甲基)丙烯酸酯單體的 情況下的含有比例，在多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物和二官能(甲基)丙烯酸 酯單體的合計100質量份中，以質量比計，優選多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物 二官能(甲基)丙烯酸酯單體=30 95 5 70、更優選為40 90 60 10、最優選 為 60 80 40 20。(A)多官能(甲基)丙烯酸酯的用量，在㈧及⑶的總量100質量份中，優選為 1 90質量份、更優選為30 85質量份。如果為1質量份以上，則可以充分促進將組合物 的固化物浸漬於溫水中時從被粘物上剝離該固化物的性質(以下簡稱為「剝離性」)，確保 組合物的固化物以膜狀剝離。另外，如果為90質量份以下，則也不存在初始膠粘性下降的可能。作為⑶單官能(甲基)丙烯酸酯，可以使用單官能(甲基)丙烯酸酯單體。作 為單官能(甲基)丙烯酸酯單體，可舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲 基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸異辛 酯、(甲基)丙烯酸異癸酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、(甲基)丙 烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸雙環戊酯、(甲基)丙烯酸雙環戊烯酯、 (甲基)丙烯酸二環戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、甲氧基化環癸三烯(甲基)丙 烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸3-羥 基丙酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸四氫糠基酯、(甲基)丙烯酸2-羥 基-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、己內酯改性四氫糠基(甲基)丙烯酸酯、 (甲基)丙烯酸3-氯-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸N，N-二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸 N，N-二乙氨基乙酯、(甲基)丙烯酸叔丁氨基乙酯、乙氧羰基甲基(甲基)丙烯酸酯、苯酚 環氧乙烷改性丙烯酸酯、苯酚(環氧乙烷2摩爾改性)丙烯酸酯、苯酚(環氧乙烷4摩爾改性)丙烯酸酯、對枯基苯酚環氧乙烷改性丙烯酸酯、壬基酚環氧乙烷改性丙烯酸酯、壬基酚 (環氧乙烷4摩爾改性)丙烯酸酯、壬基酚(環氧乙烷8摩爾改性)丙烯酸酯、壬基酚(環 氧丙烷2. 5摩爾改性)丙烯酸酯、2-乙基己基卡必醇丙烯酸酯、環氧乙烷改性鄰苯二甲酸 (甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷改性琥珀酸(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三氟乙酯、丙烯 酸、甲基丙烯酸、馬來酸、富馬酸、ω-羧基-聚己內酯單(甲基)丙烯酸酯、鄰苯二甲酸單 羥乙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸二聚物、琥珀酸單(甲基)丙烯醯氧基乙基 酯、Ν_(甲基)丙烯醯氧基烷基六氫鄰苯二甲醯亞胺、2-(1，2-環六羧基醯亞胺)乙基丙烯 酸酯等。(B)單官能(甲基)丙烯酸酯，更優選與㈧同樣為疏水性的單官能(甲基)丙烯 酸酯。在此所謂的疏水性是指難以溶解於水的性質或難以與水混合的性質。所謂疏水性的 單官能(甲基)丙烯酸酯，可舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙 烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲 基)丙烯酸異癸酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、(甲基)丙烯酸苯 酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸雙環戊酯、(甲基)丙烯酸雙環戊烯酯、(甲基) 丙烯酸雙環戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、甲氧基化環癸三烯(甲基)丙烯酸酯、 (甲基)丙烯酸四氫糠基酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸縮水 甘油酯、己內酯改性四氫糠基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸3-氯-2-羥基丙酯、(甲 基)丙烯酸N，N- 二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸N，N- 二乙氨基乙酯、(甲基)丙烯酸叔丁 氨基乙酯、乙氧羰基甲基(甲基)丙烯酸酯、苯酚環氧乙烷改性丙烯酸酯、苯酚(環氧乙烷2 摩爾改性)丙烯酸酯、苯酚(環氧乙烷4摩爾改性)丙烯酸酯、對枯基苯酚環氧乙烷改性丙 烯酸酯、壬基酚環氧乙烷改性丙烯酸酯、壬基酚(環氧乙烷4摩爾改性)丙烯酸酯、壬基酚 (環氧乙烷8摩爾改性)丙烯酸酯、壬基酚(環氧丙烷2. 5摩爾改性)丙烯酸酯、2-乙基己 基卡必醇丙烯酸酯、環氧乙烷改性鄰苯二甲酸(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷改性琥珀酸(甲 基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三氟乙酯、ω-羧基-聚己內酯單(甲基)丙烯酸酯、鄰苯二 甲酸單羥乙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸二聚物、琥珀酸單(甲基)丙烯醯氧 基乙基酯、Ν-(甲基)丙烯醯氧基烷基六氫鄰苯二甲醯亞胺、2-(1，2-環六羧基醯亞胺)乙 基丙烯酸酯等。在水溶性的情況下，在切削加工時可能會由於樹脂組合物的固化物溶脹而 發生位置偏離，加工精度變差，因此不優選。另外，即使為親水性，只要其樹脂組合物的固化 物不會因水而溶脹或部分溶解，則也可以使用。在單官能(甲基)丙烯酸酯中，在效果好的方面，優選含有苯酚環氧乙烷2摩爾改 性(甲基)丙烯酸酯和/或2-(1，2-環六羧基醯亞胺)乙基(甲基)丙烯酸酯，更優選並 用苯酚環氧乙烷2摩爾改性(甲基)丙烯酸酯和2-(1，2-環六羧基醯亞胺)乙基(甲基) 丙烯酸酯。並用苯酚環氧乙烷2摩爾改性(甲基)丙烯酸酯和2-(1，2-環六羧基醯亞胺) 乙基(甲基)丙烯酸酯的情況下的含有比例，在苯酚環氧乙烷2摩爾改性(甲基)丙烯酸酯 和2-(1，2-環六羧基醯亞胺)乙基(甲基)丙烯酸酯的合計100質量份中，以質量比計，優 選苯酚環氧乙烷2摩爾改性(甲基)丙烯酸酯2-(1，2-環六羧基醯亞胺)乙基(甲基) 丙烯酸酯=30 90 10 70、更優選為40 80 20 60、最優選為50 70 30 50。(B)單官能(甲基)丙烯酸酯的用量，在㈧及⑶的總量100質量份中，優選為10 99質量份、更優選為15 70質量份。只要是10質量份以上，就不可能使初始膠粘性 下降，只要是99質量份以下，就可以確保剝離性，組合物的固化物以膜狀剝離。另外，通過在前述(A)及(B)的混合組合物中並用(甲基)丙烯醯氧基乙基酸式 磷酸酯、二丁基2-(甲基)丙烯醯氧基乙基酸式磷酸酯、二辛基2-(甲基)丙烯醯氧基乙基 磷酸酯、二苯基2-(甲基)丙烯醯氧基乙基磷酸酯、(甲基)丙烯醯氧基乙基聚乙二醇酸式 磷酸酯等具有乙烯基或(甲基)丙烯醯基的磷酸酯，可以進一步改善對金屬面的密合性。(C)光聚合引發劑是為了利用可見光或紫外線的活性光線使其敏化來促進樹脂 組合物的光固化而配合的物質，可使用公知的各種光聚合引發劑。作為光聚合引發劑，可 舉出二苯甲酮及其衍生物；苯偶醯及其衍生物；蒽醌及其衍生物、苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯 偶姻乙醚、苯偶姻丙醚、苯偶姻異丁醚、苄基二甲基縮酮等苯偶姻衍生物；二乙氧基苯乙酮、 4-叔丁基三氯苯乙酮等苯乙酮衍生物；2-二甲基氨基乙基苯甲酸酯、對二甲基氨基乙基苯 甲酸酯、二苯基二硫醚、噻噸酮及其衍生物；樟腦醌、7，7_二甲基-2，3-二氧代雙環[2. 2. 1] 庚烷-1-羧酸、7，7-二甲基-2，3-二氧代雙環[2. 2. 1]庚烷羧基_2_溴乙酯、7，7-二 甲基-2，3-二氧代雙環[2. 2. 1]庚烷-1-羧基-2-甲基酯、7，7-二甲基-2，3-二氧代雙環 [2. 2. 1]庚烷-1-羧酸氯化物等樟腦醌衍生物；2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉 基-1-丙酮、2-苄基-2- 二甲基氨基-1- (4-嗎啉苯基)-1- 丁酮等α -氨基烷基苯酮衍生 物；苯甲醯基二苯基氧化膦、2，4，6_三甲基苯甲醯基二苯基氧化膦、苯甲醯基二乙氧基氧 化膦、2，4，6_三甲基苯甲醯基二甲氧基苯基氧化膦、2，4，6_三甲基苯甲醯基二乙氧基苯基 氧化膦等醯基氧化膦衍生物；氧基-苯基-乙酸2- [2-氧代-2-苯基-乙酸基-乙氧基]-乙 酯和/或氧基-苯基-乙酸2-[2-羥基-乙氧基]-乙酯等。光聚合引發劑可以使用1種 或組合使用2種以上。在這些光聚合引發劑中，在效果好的方面，優選選自1-苄基二甲基 縮酮、氧基-苯基-乙酸2-[2-氧代-2-苯基-乙酸基-乙氧基]-乙酯及氧基-苯基-乙 酸2-[2-羥基-乙氧基]-乙酯中的1種或2種以上。(C)光聚合引發劑的用量，相對於㈧及⑶的合計100質量份優選為0. 1 30 質量份。更優選為0.5 25質量份。只要為0. 1質量份以上，就確保獲得固化促進的效果， 在25質量份以下可以獲得充分的固化速度。作為更優選的方式，通過使用(C)成分1質量 份以上，可以在不依賴光照射量的情況下固化，進而組合物的固化物的交聯密度增大，切削 加工時便不會發生位置偏離等，在改善剝離性方面更優選。在本發明中，優選由臨時固定用膠粘劑得到的固化物的玻璃化轉變溫度 在-50°C 50°C的範圍內。通過使由上述臨時固定用膠粘劑得到的固化物的玻璃化轉變溫 度在該範圍內，在對構件進行膠粘臨時固定、並對該臨時固定的構件進行加工後，將該加工 好的構件浸漬在100°C以下的溫水中時，臨時固定用膠粘劑的固化物本身大大熱膨脹。其結 果，由於膠粘面積實現減少，從而膠粘強度下降，因此，可以容易地僅回收構件。當由臨時固 定用膠粘劑得到的固化物的玻璃化轉變溫度為-50°C以上時，加工臨時固定的構件時不容 易發生偏離，在尺寸精度方面優異。當50°C以下時，溫水剝離性優異。從剝離性和尺寸精度 的方面考慮，由上述臨時固定用膠粘劑得到的固化物的玻璃化轉變溫度更優選為_25°C 45°C、進一步優選為-20°C 42°C、更進一步優選為0°C 40°C。需要說明的是，由本發明中使用的臨時固定用膠粘劑得到的固化物的玻璃化轉變 溫度的測定方法沒有特別限制，可用DSC或動態粘彈性譜等公知的方法測定。優選的方法是利用動態粘彈性譜的方法。在本發明中，優選將(D)不溶於(A) (C)的粒狀物質與(A)、(B)同時使用。由 此，容易使固化後的組合物保持一定的厚度，可以改善更簡單地加工時的尺寸精度。進而， 由於臨時固定用膠粘劑的固化物與不溶於(A) (C)的粒狀物質的線性膨脹係數不同，因 此，在使用上述膠粘劑組合物對構件進行膠粘臨時固定、並對該臨時固定的構件進行加工 後，將該加工後的構件浸漬在100°C以下的溫水中時，在構件和臨時固定用膠粘劑的固化物 的界面發生蜿蜒起伏狀或三維變形，其結果，膠粘面積減少，剝離性更進一步改善。作為⑶不溶於(A) (C)的粒狀物質的材質，通常使用的有機、無機粒子均可 以。作為有機粒子，可舉出聚乙烯粒子、聚丙烯粒子、交聯聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交聯聚 苯乙烯粒子等，作為無機粒子，可舉出玻璃、二氧化矽、氧化鋁、鈦等的陶瓷粒子。(D)不溶於㈧ (C)的粒狀物質，從改善加工時的尺寸精度、即控制膠粘劑的膜 厚的方面考慮，優選為球狀。作為有機粒子，優選利用甲基丙烯酸甲酯單體、苯乙烯單體和 交聯性單體的公知的乳化聚合法以單分散粒子的形式得到的交聯聚甲基丙烯酸甲酯粒子、 交聯聚苯乙烯粒子或交聯聚甲基丙烯酸甲酯聚苯乙烯共聚物粒子。作為無機粒子，由於球 狀二氧化矽粒子的變形小，由粒徑偏差而引起的固化後的組合物的膜厚的偏差減小，因此 優選。其中，從由粒子的沉澱等而引起的貯存穩定性和組合物的反應性方面考慮，更優選交 聯聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交聯聚苯乙烯粒子或交聯聚甲基丙烯酸甲酯聚苯乙烯共聚物粒 子、交聯聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交聯聚苯乙烯粒子、交聯聚甲基丙烯酸甲酯聚苯乙烯共聚 物粒子的任一種或它們的混合物。進一步優選交聯聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交聯聚苯乙烯 粒子及交聯聚甲基丙烯酸甲酯聚苯乙烯共聚物粒子的任一種或它們的混合物。(D)不溶於㈧ (C)的粒狀物質利用雷射法測定的平均粒徑優選在5μπι 200 μ m的範圍。當上述粒狀物質的平均粒徑為5 μ m以上時，剝離性優異，當其為200 μ m以 下時，加工臨時固定的構件時不容易發生偏離，在尺寸精度方面優異。從剝離性和尺寸精度 的觀點考慮，更優選的平均粒徑為8 μ m 150 μ m、進一步優選為9 μ m 120 μ m。需要說 明的是，本發明中的粒徑及粒徑分布的標準偏差，利用島津製作所製造的「雷射衍射式粒度 分布測定裝置SALD-2200」進行測定。粒徑為體積基準。另外，將⑶不溶於(A) (C)的粒狀物質的利用雷射法測定的粒徑(μ m)用對數 表示時，粒子體積分布相對於粒徑的標準偏差優選在0. 0001 0. 25的範圍。當粒狀物質 的粒徑的標準偏差在該範圍時，因粒徑的偏差引起的固化後的組合物的膜厚的偏差變小， 加工臨時固定的構件時不容易發生偏離，不僅在尺寸精度方面優異，剝離性也顯著改善。從 尺寸精度及剝離性的觀點考慮，粒狀物質的粒徑的標準偏差更優選為0. 0001 0. 15、進一 步優選為0. 0001 0. 1、更進一步優選為0. 0001 0. 08、特別優選為0. 0001 0. 072。(D)不溶於(A) (C)的粒狀物質的用量，從膠粘強度、加工精度、剝離性方面考 慮，相對於㈧及⑶的總量100質量份，優選為0. 1 20質量份，更優選為0.2 10質 量份、進一步優選為0. 2 6質量份。對於本發明的臨時固定用膠粘劑，為了改善其貯存穩定性，可以使用少量的阻聚 劑。作為阻聚劑，可舉出甲基對苯二酚、對苯二酚、2，2_亞甲基-雙甲基-6-叔丁基苯 酚)、鄰苯二酚、對苯二酚單甲基醚、單叔丁基對苯二酚、2，5-二叔丁基對苯二酚、對苯醌、 2，5- 二苯基-對苯醌、2，5- 二叔丁基-對苯醌、苦味酸、檸檬酸、吩噻嗪、叔丁基鄰苯二酚、2- 丁基-4-羥基茴香醚及2，6- 二叔丁基-對甲酚等。對這些阻聚劑的用量而言，相對於㈧及⑶的總量100質量份，優選為0. 001 3質量份、更優選為0. 01 2質量份。在0. 001質量份以上時，可確保貯存穩定性，在3質 量份以下時，獲得良好的膠粘性，還不會造成未固化。在本發明的臨時固定用膠粘劑中，也可以同時使用極性有機溶劑。對於本發明的臨時固定用膠粘劑，在不影響本發明的目的的範圍內，還可以使用 通常所使用的丙烯酸橡膠、聚氨酯橡膠、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯橡膠等各種彈性體、無機 填充物、溶劑、增容材料、加固材料、增塑劑、增稠劑、染料、顏料、阻燃劑、矽烷偶聯劑及表面 活性劑等添加劑。本發明的構件的臨時固定/剝離方法如下對使用臨時固定用膠粘劑通過上述方 法臨時固定的構件進行加工後，將該加工好的構件浸漬於100°c以下的溫水中，除去固化了 的臨時固定用膠粘劑。利用本發明，不使用有機溶劑，可以提高光學用構件等各種構件的加
工精度。根據本發明的優選實施方式，在從臨時固定用膠粘劑的固化物上除去被加工構件 時，對臨時固定用膠粘劑照射可見光或紫外線，由此可以縮短將臨時固定用膠粘劑的固化 物浸漬在100°C以下的溫水中而除去固化後的臨時固定用膠粘劑的時間。在本發明中，在從臨時固定用膠粘劑的固化物上除去被加工構件時，對臨時固定 用膠粘劑照射可見光或紫外線的可見光或紫外線的照射量在波長365nm處為lOOOmJ/cm2 以上且40000mJ/cm2以下的情況下，可以縮短將臨時固定用膠粘劑的固化物浸漬在100°C以 下的溫水中而除去固化後的臨時固定用膠粘劑的時間的效果好，因此優選(再照射工序)。 照射量更優選為2000mJ/cm2以上且38000mJ/cm2以下、進一步優選為4000mJ/cm2以上且 36000mJ/cm2 以下。在本發明中，使用適當加熱後的溫水、例如100°C以下的溫水時，可以在短時間內 實現在水中的剝離性，生產率提高，因此優選。在使用優選30°C 100°C、更優選40 99°C 的溫水的情況下，膠粘劑的固化物在短時間內熱膨脹，同時可釋放組合物固化時產生的殘 餘變形應力。進而，由於臨時固定用膠粘劑的固化物與粒狀物質的線性膨脹係數不同，因 此，使用上述膠粘劑組合物對構件進行膠粘臨時固定、並對該臨時固定的構件進行加工後， 將該加工好的構件浸漬在100°C以下的溫水中時，在構件與臨時固定用膠粘劑的固化物的 界面發生蜿蜒起伏狀或三維變形。其結果，膠粘面積減少，膠粘強度下降，可以以膜狀將臨 時固定用膠粘劑的固化物除去。需要說明的是，對於臨時固定用膠粘劑的固化物和水接觸 的方法，由於連同接合體一起浸漬在水中的方法簡便，因此推薦。下面，舉出實施例及比較例更詳細地說明本發明。本發明並不限定於這些實施例。實施例(實施例1)(臨時固定用膠粘劑的製作)按照以下所述的順序製作臨時固定用膠粘劑。作為㈧多官能(甲基)丙烯酸酯， 使用日本合成公司製造的「UV-3000B」(聚酯類聚氨酯丙烯酸酯，以下簡稱為「UV-3000B」， 為疏水性的(甲基)丙烯酸酯，重均分子量15000) 30質量份、二丙烯酸雙環戊酯(日本化藥 公司製造的「KAYARAD R-684」，以下簡稱為「R-684」，為疏水性的(甲基)丙烯酸酯)15質量份；作為(B)單官能(甲基)丙烯酸酯，使用2-(1，2-環六羧基醯亞胺)乙基丙烯酸酯(東亞 合成公司製造的「ARONIX M-140」，以下簡稱為「M-140」，為疏水性的(甲基)丙烯酸酯)20 質量份、苯酚環氧乙烷2摩爾改性丙烯酸酯(東亞合成公司製造的「ARONIX M-101A」，為疏 水性的(甲基)丙烯酸酯)35質量份；作為(C)光聚合引發劑，使用苄基二甲基縮酮(汽 巴精化公司製造的「IRGA⑶RE651」，以下簡稱為「BDK」)10質量份；作為⑶不溶於㈧ (C)的粒狀物質，使用平均粒徑100 μ m、將粒徑(μπι)用對數表示時的粒子體積分布相對於 粒徑的標準偏差為0. 063的球狀交聯聚苯乙烯粒子(GANZ化成公司製造的「GS-100S」) 1質 量份；作為阻聚劑，使用2，2-亞甲基-雙甲基-6-叔丁基苯酚)(住友化學工業公司制 造的，4廿一 MDP-S」，以下簡稱為「MDP」)0. 1質量份，製作樹脂組合物。使用所得到的樹脂組合物，用以下所示的評價方法進行玻璃化轉變溫度、拉伸剪 切膠粘強度、剝離試驗。將這些結果示於表1。另外，對(D)不溶於(A) (C)的粒狀物質 的平均粒徑及將粒徑(μπι)用對數表示時的粒子體積分布相對於粒徑的標準偏差也進行 測定。(評價方法)玻璃化轉變溫度以Imm厚的矽片為模型板，將樹脂組合物插入PET膜。通過使用 有無極放電燈的7 二一 ^ 3 >公司製造的固化裝置，在365nm波長的累積光量為2000mJ/ cm2的條件下，使樹脂組合物從上面固化後，再在365nm波長的累積光量為2000mJ/cm2的條 件下使其從下面固化，製作厚度Imm的樹脂組合物的固化物。將製作的固化物用切割器裁 斷為長50mm寬5mm，作為玻璃化轉變溫度測定用固化物。將所得到的固化物利用精工電子 產業公司製造的動態粘彈性測定裝置「DMS210」，在氮氣氛中對所述固化物施加IHz的拉伸 方向的應力及變形，以升溫速度每分鐘2°C的比例邊升溫邊測定tan δ，將該tan δ的峰頂 的溫度作為玻璃化轉變溫度。拉伸剪切膠粘強度(表中的「膠粘強度」)依照JIS K 6850進行測定。具體而言， 使用作為被粘材料的耐熱玻璃05mmX25mmX厚度2. Omm)，將膠粘部位設定為直徑8mm，用 製作的樹脂組合物使2片耐熱玻璃粘貼，通過使用有無極放電燈的7工一 」 3 >公司製造 的固化裝置，在365nm波長的累積光量為2000mJ/cm2的條件下使其固化，製作拉伸剪切膠 粘強度試驗片。對製作的試驗片，使用萬能試驗機，在溫度23°C、溼度50%的環境下，以拉 伸速度為lOmm/min測定拉伸剪切膠粘強度。剝離試驗(表中的「80°C溫水剝離時間」 「剝離狀態」)在上述耐熱玻璃上塗布組 合物，使其粘貼在作為支撐物的鈉鈣玻璃(150mmX150mmX厚度1. 7mm)上，除此以外，在與 上述同樣的條件下使製作的樹脂組合物固化，製作剝離試驗物。將所得到的試驗物浸漬在 溫水(80°C)中，測定耐熱玻璃剝離的時間，也對剝離狀態進行觀察。粒狀物質的平均粒徑及將粒徑(μπι)用對數表示時的粒子體積分布相對於粒徑 的標準偏差(表中的「不溶於(Α)、(B)、(C)的粒狀物質的粒徑的標準偏差」)利用雷射衍 射式粒度分布測定裝置(島津製作所製造的「SALD-2200」)進行測定。(臨時固定/剝離方法)將作為固定構件的鈉鈣玻璃(150mmX150mmX厚度1. 7mm)在加熱板上加熱至 80°C，塗布Ig製作的臨時固定用膠粘劑(塗布工序)。其後，從上方搭載作為被加工構 件的鈉鈣玻璃(80mmX80mmX厚度1. 1mm)(搭載工序)。然後，將厚度50mm的石英玻璃(80mmX 80mmX厚度5mm)從上方搭載在作為被加工構件的鈉鈣玻璃上，從上述石英玻璃上 施加負荷，施加與石英玻璃的重量部分合計為12. 5g/cm2的壓力，放置5分鐘(加壓工序)。 固定構件與被加工構件的間隔，由最大處減去最小處的差值為5μπι以下。接著，邊施加12. 5g/cm2的壓力邊從作為固定構件的鈉鈣玻璃一側使用黑光燈， 照射365nm波長的UV光300mJ/cm2 (與加壓工序同時實施照射工序(30秒))。使用切割 裝置，僅將所得到的膠粘試驗物的作為被加工構件的鈉鈣玻璃裁斷為邊長IOmm的四方形。 裁斷過程中作為被加工構件的鈉鈣玻璃沒有發生脫落，顯示出良好的加工性。對僅將作為 被加工構件的鈉鈣玻璃裁斷後的膠粘試驗物，使用金屬滷化物燈照射365nm波長的UV光 16000mJ/cm2後(再照射工序(40秒))，浸漬在80°C的溫水中，結果在1分鐘內完全剝離 (溫水剝離時間)。另外，任意取出10個該剝離後的裁斷試驗片，用光學顯微鏡對其裁斷試 驗片的背面(用臨時固定用膠粘劑臨時固定的面)的各邊進行觀察，測定玻璃出現缺口處 的最大寬度，求出其平均值和標準偏差。進而，為了從剝離後的臨時固定用膠粘劑的裁斷試 驗片上得到臨時固定用膠粘劑的固化物膜，任意取出10個剝離後的裁斷試驗片，利用厚度 計(MICRO GAUG^測定所述固化 物的膜的膜厚，求出其平均值和標準偏差。將各邊的玻璃 出現缺口處的最大寬度的平均值和標準偏差及臨時固定用膠粘劑的固化物的膜的膜厚的 平均值和標準偏差的測定結果示於表1。表 權利要求
1.一種臨時固定方法，包括將臨時固定用膠粘劑塗布到固定構件上的工序、將被加 工構件搭載在臨時固定用膠粘劑上的工序、和該搭載後對臨時固定用膠粘劑照射可見光或 紫外線中的至少一種來提高臨時固定用膠粘劑的膠粘力的工序，還包括從固定構件和被加 工構件中的一方或雙方施加壓力的工序，其中，將該施加壓力的工序和該進行照射的工序 至少同時實施一定時間。
2.一種臨時固定方法，包括將臨時固定用膠粘劑塗布到被加工構件上的工序、將固 定構件搭載在臨時固定用膠粘劑上的工序、和該搭載後對臨時固定用膠粘劑照射可見光或 紫外線中的至少一種來提高臨時固定用膠粘劑的膠粘力的工序，還包括從固定構件和被加 工構件中的一方或雙方施加壓力的工序，其中，將該施加壓力的工序和該進行照射的工序 至少同時實施一定時間。
3.如權利要求1或2所述的臨時固定方法，其中，從固定構件和被加工構件中的一方或 雙方施加的壓力控制在lg/cm2以上且lOOOkg/cm2以下。
4.如權利要求1至3中任一項所述的臨時固定方法，其中，將固定構件、臨時固定用膠 粘劑、被加工構件中任一個以上控制在0°C以上且150°C以下。
5.如權利要求1至4中任一項所述的臨時固定方法，其中，臨時固定用膠粘劑為含有(A)多官能(甲基)丙烯酸酯、(B)單官能(甲基)丙烯酸酯及(C)光聚合引發劑的組合 物。
6.如權利要求5所述的構件的臨時固定方法，其中，(A)及(B)均為疏水性。
7.如權利要求1至6中任一項所述的臨時固定方法，其中，臨時固定用膠粘劑的玻璃化 轉變溫度為_50°C以上且50°C以下。
8.如權利要求5至7中任一項所述的臨時固定方法，其中，臨時固定用膠粘劑，在(A) 及⑶的總量100質量份中含有㈧1 90質量份、⑶10 99質量份，以及相對於㈧及(B)的總量100質量份含有(C)O.1 30質量份。
9.如權利要求5至8中任一項所述的臨時固定方法，其中，臨時固定用膠粘劑相對於 (A)及⑶的總量100質量份含有不溶於㈧ (C)的粒狀物質(D)O. 1 20質量份。
10.如權利要求9所述的臨時固定方法，其中，不溶於㈧ (C)的粒狀物質⑶的形 狀為球狀。
11.如權利要求9或10所述的臨時固定方法，其中，不溶於㈧ (C)的粒狀物質⑶ 為交聯聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交聯聚苯乙烯粒子及交聯聚甲基丙烯酸甲酯聚苯乙烯共聚 物粒子中的任一種或它們的混合物。
12.如權利要求9至11中任一項所述的臨時固定方法，其中，不溶於㈧ (C)的粒狀 物質(D)的平均粒徑為5 μ m 200 μ m。
13.如權利要求9至12中任一項所述的臨時固定方法，其中，將不溶於㈧ (C)的粒 狀物質(D)的利用雷射衍射法測定的單位為μ m的粒徑用對數表示時的粒子體積分布相對 於粒徑的標準偏差在0. 0001 0. 25的範圍。
14.一種構件的臨時固定/剝離方法，其中，包括對使用權利要求1至13中任一項所 述的臨時固定方法進行臨時固定的構件加工後，將該加工後的構件浸漬在100°C以下的溫 水中，除去所述組合物的固化物。
15.一種構件的臨時固定/剝離方法，其中，包括對使用權利要求1至13中任一項所述的臨時固定方法進行臨時固定的構件加工後，對臨時固定用膠粘劑照射可見光或紫外 線，將該加工後的構件浸漬在100°c以下的溫水中，除去所述組合物的固化物。
16.如權利要求1至13中任一項所述的臨時固定方法，其中，可見光或紫外線的照射量 在波長365nm處為lmj/cm2 4000mJ/cm2的範圍。
17.如權利要求15所述的臨時固定/剝離方法，其特徵在於，對該臨時固定的構件加工 後照射的可見光或紫外線的照射量在波長365nm處為lOOOmJ/cm2 40000mJ/cm2的範圍。
18.如權利要求5至13中任一項所述的臨時固定方法，其中，(A)多官能(甲基)丙烯 酸酯含有多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物和/或二官能(甲基)丙烯酸酯單體。
19.如權利要求5至13中任一項所述的臨時固定方法，其中，(A)多官能(甲基)丙烯 酸酯含有多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物和二官能(甲基)丙烯酸酯單體。
20.如權利要求18或19所述的臨時固定方法，其中，多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物 /聚合物含有聚酯類聚氨酯(甲基)丙烯酸酯和/或聚醚類聚氨酯(甲基)丙烯酸酯。
21.如權利要求18或19所述的臨時固定方法，其中，二官能(甲基)丙烯酸酯單體含 有1，6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯和/或二(甲基)丙烯酸雙環戊酯。
22.如權利要求5至13中任一項所述的臨時固定方法，其中，(B)單官能(甲基)丙烯 酸酯含有苯酚環氧乙烷2摩爾改性(甲基)丙烯酸酯和/或2-(1，2-環六羧基醯亞胺)乙 基(甲基)丙烯酸酯。
23.如權利要求5至13中任一項所述的臨時固定方法，其中，(B)單官能(甲基)丙 烯酸酯含有苯酚環氧乙烷2摩爾改性(甲基)丙烯酸酯和2-(1，2-環六羧基醯亞胺)乙基 (甲基)丙烯酸酯。
24.如權利要求5至13中任一項所述的臨時固定方法，其中，(C)光聚合引發劑含有選 自苄基二甲基縮酮、氧基-苯基-乙酸2-[2-氧代-2-苯基-乙酸基-乙氧基]-乙酯及氧 基-苯基-乙酸2-[2_羥基-乙氧基]-乙酯中的1種或2種以上。
全文摘要
本發明提供一種臨時固定方法，其可在加工構件的尺寸精度方面獲得顯著的效果。所述臨時固定方法，具有將臨時固定用膠粘劑塗布到固定構件上的塗布工序、將被加工構件搭載在臨時固定用膠粘劑上的搭載工序、和搭載工序後對臨時固定用膠粘劑照射可見光或紫外線中的至少一種來提高臨時固定用膠粘劑的膠粘力的照射工序，還具有從固定構件和被加工構件中的一方或雙方施加壓力的加壓工序，其特徵在於，將加壓工序和照射工序至少同時實施一定時間。臨時固定用膠粘劑為含有(A)多官能(甲基)丙烯酸酯、(B)單官能(甲基)丙烯酸酯及(C)光聚合引發劑的組合物。
文檔編號C09J5/00GK102105546SQ20098012870
公開日2011年6月22日 申請日期2009年7月22日 優先權日2008年7月22日
發明者大島和宏, 慄村啟之, 金井朋之 申請人:電氣化學工業株式會社