一種用於仿真系統的內部互鎖管理方法及裝置的製作方法

2023-05-19 21:25:06

專利名稱：一種用於仿真系統的內部互鎖管理方法及裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及計算機應用技術及半導體領域，特別涉及一種用於仿真系統的內部互 鎖管理方法及裝置。
背景技術：
隨著集成電路晶片集成度的不斷提升和晶片功能的不斷提高，人們對工藝的要求 越來越高。在半導體製造裝備的研究、開發和測試工作中，包括硬體和軟體的研發。開發軟 件中大部分是設備控制軟體，這些軟體在進行測試時，需要首先在仿真環境下進行驗證，而 單純為某一個項目開發軟體測試平臺不僅耗時過大而且可重用性很差，為了提高軟體測試 的效率和準確定位系統所存在問題，迫切需要一個通用的軟體測試平臺系統。需要提供各 項目使用的所有硬體的仿真程序，使開發出來的軟體能在此基礎之上運行，從而進行測試。在半導體製造裝備的研究、開發和測試工作中，仿真具有重要作用。一方面，由於 生產過程控制本身的複雜性，對理論研究不斷提出新的要求，而理論研究需提高設備的利 用率。要藉助於仿真工具；另一方面，面對各種系統控制軟體包，需要現成的仿真平臺，全面 反映算法在實際生產運行中的效果，得到有指導意義的算法改進策略、參數在線調整方法 等。仿真平臺的使用，能夠準確測試設備控制系統軟體，可以減少控制系統軟體執行與集成 電路製造工藝過程的失敗，能解決集成電路工藝設備的工藝穩定性，工藝可靠性，減少設備 維修時間，最大程度的提高設備的利用率。互鎖是防止在狀態機中出現不希望的狀態的方法，這種方法可以是包含電子、電 氣或機械中的設備或系統。在多數應用中，互鎖是當其被觸發時，用於防止機器傷害其操作 者或本身而停止機器動作的設備。系統的互鎖要素包括了 1)互鎖探測器包括探測溫度、壓力、位置傳感器。2)互鎖控制設備包括控制設備各項參數的設備。3)互鎖邏輯設計設備間的動作時序、設備間的邏輯關係設計。在面向半導體製造裝備的功能仿真時，一般都是採用了互鎖的邏輯設計，包含了 設備間的動作時序和邏輯關係設計，由於完全是軟體層面上的內容，因此也就是不同設備 之間所具有的複雜耦合關係極其行為動作的聯繫。為了實現邏輯清晰的互鎖關係，需要有 準確清晰的管理方法和可配置以及可擴展性能的子系統來支持。

發明內容
本發明的目的旨在至少解決上述技術缺陷之一。特別提出了一種用於仿真系統的 內部互鎖管理方法，在仿真運行時完全模擬真實設備間互鎖關係的功能，實現對仿真系統 內部互鎖關係的靈活配置和處理。為達到上述目的，本發明一方面提出了一種用於仿真系統的內部互鎖管理方法， 包括如下步驟
建立屬性原型庫，所述屬性原型庫包括所述仿真子系統和仿真設備的所有屬性 值，其中，仿真系統包括多個仿真子系統，所述仿真子系統進一步包括多個仿真設備；根據所述屬性原 型庫，配置所述仿真設備之間的互鎖信息；和將所述互鎖信息發送給相應的仿真設備，所述仿真設備根據互鎖信息執行相應的 互鎖動作。根據本發明實施例的用於仿真系統的內部互鎖管理方法，對仿真系統中仿真設備 之間的互鎖關係進行靈活配置，並且依據所配置的互鎖關係，仿真設備仿真運行時完全模 擬真實設備間互鎖關係的功能。該方法相對現有的仿真系統的內部互鎖管理方法，具有更 強的有實時性、適應性強以及更好的仿真效果。本發明另一方面提出了一種用於仿真系統的內部互鎖管理裝置，包括屬性原型庫，所述屬性原型庫包括所述仿真子系統和仿真設備的所有屬性值，其 中，所述仿真系統包括多個仿真子系統，所述仿真子系統進一步包括多個仿真設備；配置模塊，用於根據所述屬性原型庫配置所述仿真設備之間的互鎖信息；和執行模塊，用於將來自所述配置模塊的互鎖信息發送給相應的仿真設備。根據本發明實施例的用於仿真系統的內部互鎖管理裝置，對仿真系統中仿真設備 之間的互鎖關係進行靈活配置，並且依據所配置的互鎖關係，仿真設備仿真運行時完全模 擬真實設備間互鎖關係的功能。該裝置相對現有的仿真系統的內部互鎖管理裝置，具有更 強的有實時性、適應性強以及更好的仿真效果。此外，本發明的內部互鎖管理裝置具有可擴 展性，其可以與其他相關的子系統以及一個完整的功能仿真平臺配合使用。本發明附加的方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變 得明顯，或通過本發明的實踐了解到。


本發明上述的和/或附加的方面和優點從下面結合附圖對實施例的描述中將變 得明顯和容易理解，其中圖1為根據本發明實施例的用於仿真系統的內部互鎖管理方法的流程圖；圖2為根據本發明實施例的配置互鎖條件及互鎖觸發命令的流程圖；圖3為根據本發明實施例的配置互鎖動作的流程圖；圖4為圖1中執行互鎖關係的流程圖；圖5為圖4中判斷互鎖條件的流程圖；和圖6為根據本發明實施例的用於仿真系統的內部互鎖管理裝置的示意圖。
具體實施例方式下面詳細描述本發明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終 相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附 圖描述的實施例是示例性的，僅用於解釋本發明，而不能解釋為對本發明的限制。為了更好的理解本發明，下面參考附圖描述根據本發明實施例的用於仿真系統的 內部互鎖管理方法。在一個實際的製造裝備中包括多個子系統，一個子系統進而包括多個設備。因此，在利用仿真系統對上述製造裝備進行仿真時，仿真系統內對應的具有仿真子系統和仿真設 備，上層層次鮮明的關係有助於實現仿真邏輯。該內部互鎖管理方法可以用於多種仿真系 統中。在下面的描述中，以面向半導體製造裝備功能的仿真系統為例，需要理解的是本發明 並不限於用於向半導體製造裝備功能的仿真系統如圖1所示，本發明實施例的用於仿真系統的內部互鎖管理方法，包括如下步驟SlOl 建立屬性原型庫；由於本發明實施例的內部互鎖管理方法主要是在一個仿真系統內實現，因此本方 法的實現基於仿真系統內各個仿真設備內部的設備參數、屬性與行為之間的耦合關係，涉 及一個仿真系統內部不同仿真設備之間的邏輯關係和行為。首先，需要建立屬性原型庫，包括仿真子系統和仿真設備的所有屬性值。由於上述 仿真子系統和仿真設備對應的是實際裝備的子系統和設備，因此，仿真子系統和仿真設備 的所有屬性值可以表徵實際裝備的子系統和設備的屬性。當需要對仿真系統內的互鎖關係進行管理時，可以直接從中調用所需的仿真子系 統和仿真設備的屬性值。S102 根據屬性原型庫，配置仿真設備之間的互鎖信息；在步驟101中建立的屬性原型庫的基礎上，對仿真設備之間的互鎖信息進行配置。在用戶配置的過程中，如果設備之間執行互鎖動作存在互鎖條件，則需要先配置 互鎖條件以及互鎖觸發命令。圖2示出了配置互鎖條件以及互鎖觸發命令的流程圖。如圖2所示，首先從屬性原型庫中選擇互鎖動作所屬的仿真子系統，讀取該仿真 子系統的屬性值。仿真子系統選擇完成後，再從屬性原型庫選擇所屬的仿真子系統中所屬 的仿真設備，讀取該仿真設備的屬性值。如果該仿真設備已經被配置過互鎖條件，則載入相應的配置信息。並且將該仿真 設備的配置信息以可視化界面的形式呈現給用戶，由用戶決定對該配置信息的處理動作， 包括對配置細心編輯修改或者刪除。在對上述配置信息處理後，保存處理後的配置信息。在本發明的一個實施例中，將仿真設備的配置信息以可視化界面的形式呈現給用 戶可以採用Visual C#實現。如果該設備沒有被配置過互鎖條件，則對其重新開始配置。首先，配置的所屬仿真 設備的屬性值，包括所屬仿真設備的參數值或者狀態值。然後，配置仿真設備間的互鎖條 件。在配置互鎖條件時，由於每個仿真設備都有不同的仿真設備參數和屬性，進而每 個仿真設備參數和屬性又有不同的臨界值，因此每個仿真設備的互鎖條件非常複雜。具體 而言，這些仿真設備的互鎖條件可以交叉包含多個仿真設備的參數與屬性。為解決上述問題，可以採用以單一的文本字符來組合在一起，形成規範的字符串 腳本。從而方便用戶的操作和查看，也能夠很好的解析出上述互鎖條件對應的互鎖邏輯。根據對仿真系統中可能存在的參數進行的需求分析，將仿真設備的參數分類如 下INTEGER :32bit 有符號整數；DOUBLE 雙精度浮點數；
STRING:字符串；BOOLEAN 布爾型， 上述仿真設備的參數以字符串形式保存並解析。當互鎖條件為單個時，以互鎖條件為pressure大於100為例，將pressure作為一 個單一的字符串，大於「>」作為一個字符串，「100」作為一個字符串，然後將上述字符串組 合為「pressure > 100」的腳本。當互鎖條件為多個時，以互鎖條件pressure小於200且flow大於100為例，先按 照pressure小於200和flow大於100兩件單個互鎖條件進行配置，配置完成後採用三種 邏輯「AND，OR, X0R」中的「AND」，再對下一個互鎖條件進行配置，最後將這些字符串組合在 一起變成「pressure 100」 的腳本。當添加完上述互鎖條件後，需要設置一個觸發該互鎖條件的互鎖觸發命令，該命 令是由用戶自己添加。互鎖觸發命令包括由設備的參數或者屬性滿足某種條件來觸發的命 令。這就需要在仿真設備預留出存儲空間，可以使用戶將互鎖觸發命令添加到存儲空間中。以互鎖條件為溫度大於100和壓力小於500為例，對其添加一個互鎖觸發命令 「Messagel」 ；或者互鎖條件為關閉狀態，添加一個互鎖觸發命令「MeSSage2」。配置完互鎖觸發命令之後，將互鎖條件與互鎖觸發命令一一對應之後保存即可。 在這個過程中如果用戶需要修改和刪除，選擇相應的操作即可。互鎖條件採用XML文檔來管理和保存，下面以互鎖條件pressure大於100， pressure小於200且flow大於100為例，說明互鎖條件的定義格式。
- -
pressure>100 messagel -
pressure flow -
pressure100 message2 -
pressure flow</ string〉 上述XML文檔中各個元素的含義和約束如下含義代表整個互鎖關係文檔，為XML樹結構的根節點，由 於一個仿真子系統具有很多的互鎖關係，以鍊表的形式來存儲這些互鎖關係；
含義代表每一個配置的互鎖條件，包含腳本與觸發命令fn息；〈script〉含義配置的腳本信息；約束只能解析下列paramlist中的參數名稱 以及 「and，or, xor」 ；含義觸發互鎖條件的命令；含義代表一個配置信息裡的設備參數名稱，由於可能涉及多個參 數名稱，因此以鍊表的形式來保存；〈string〉含義代表一個配置信息裡的具體設備參數名稱，均是字符串類型保存 的。對於互鎖觸發命令的定義格式將在下面與互鎖動作的定義格式一併說明。由於互鎖行為的發生是觸發命令觸發啟動。觸發命令的類型包括控制命令和互鎖 觸發命令。其中，控制命令來自所述仿真系統所仿真的實際系統。互鎖觸發命令由上述步 驟中配置完成。當互鎖條件及相應的互鎖觸發命令配置完成後，進一步配置由觸發命令觸 發仿真設備的互鎖動作。圖3示出了配置互鎖動作的流程圖。如圖3所示，首先需要選擇所屬的仿真子系 統和仿真設備。如果該設備已被配置過，直接載入配置信息即可，並且將該仿真設備的配置 信息以可視化界面的形式呈現給用戶，由用戶決定對該配置信息的處理動作，包括對配置 細心編輯修改或者刪除。如果該仿真設備未被配置過互鎖動作，則由用戶選擇觸發命令的類型來觸發的互 鎖行為，同時最後需要配置上述觸發命令觸發的其他設備相對應的行為。當觸發命令為互鎖觸發命令時，以互鎖條件為閥門設備的溫度大於100和壓力小 於500為例，該互鎖條件具有一個相應的互鎖觸發命令「Messagel」。當閥門滿足互鎖條件 時，MFC設備的狀態必須處於關閉，即MFC設備必須執行停止這個行為。當觸發命令為控制命令時，當閥門設備接收到控制命令為關閉時，MFC設備必須執 行停止這個動作。在配置觸發命令和互鎖動作時，會將觸發命令和對應仿真設備以及仿真設備的行 為一一對應，以一條數據格式來體現，同時將它們按照先後時間順序暫時序列化存入仿真 設備的存儲空間。在這期間用戶需要編輯或者刪除都可以很方便的執行，直到用戶保存該 配置信息，才以鍊表的XML文件格式保存起來。為了方便大量配置信息的歸類和查找，採用表格的形式來管理。當用戶配置完成 之後覺得有需要修改的地方，可以編輯和刪除這些配置信息，可以重複的對這些配置進行 操作。觸發命令及互鎖動作的命令與行為數據格式定義如下- -
Couplingl valve Close mfc Stop 上述XML文檔中各個元素的含義和約束如下
含義代表整個命令與行為文檔，為XML樹結構的根節點。 因為一個設備有很多的互鎖關係，以鍊表的形式來存儲這些互鎖關係；〈CouplingConfig〉含義代表每一個配置的互鎖命令與行為關係，包含互鎖名 稱，觸發互鎖設備，觸發互鎖命令，涉及的設備以及設備的行為；含義互鎖名稱，由用戶配置名稱，便於區分；約束不能區分大
小寫字母；含義觸發互鎖的設備名；<coupIingCommandName)含義觸發互鎖的命令；含義涉及到的仿真設備的名稱；〈deviceAction〉含義涉及到的仿真設備行為。在實際的半導體製造裝備中，一個半導體製造裝備子系統會有若干設備，對於功 能仿真來說，不同的設備之間的互鎖關係交叉在一起就會非常複雜。為了避免這樣的複雜， 以單個子系統為個體，分別保存其內部各自設備的互鎖關係，包括互鎖條件、互鎖觸發命令 及對應的互鎖動作。採用仿真子系統的名稱作為保存的文件名稱，即方便了用戶的查看，也 簡化了運行時的調用邏輯。對於整個面向半導體製造裝備功能仿真的互鎖關係管理方法，在配置時，互鎖關 系條件的配置用單個文本組成規範的字符串腳本來實現，而互鎖觸發命令和互鎖動作的配 置以鍊表的形式來體現，同時將配置的信息以xml文件的格式保存在一起，XML文件格式具 有簡明、易維護的特點，有助於簡化開發，方便用戶的查找和讀取。通過上述對仿真設備之間的互鎖關係的配置，以界面的方式給用戶提供可視化的 操作，用戶可以完成對於半導體仿真設備間複雜互鎖關係的編輯、刪除管理功能；並且在配 置過程中能夠及時向用戶提供信息提示，以供用戶查看；在配置完成之後能夠以一定數據 格式將配置信息完整的保存和載入，方便用戶重複操作。S103 將互鎖信息發送給相應的仿真設備，仿真設備根據互鎖信息執行相應的互 鎖動作。結合圖4所示，在步驟102配置完成的基礎上，用戶可以很清晰獲知配置的互鎖信 息，從而根據互鎖信息執行相應的互鎖動作。在仿真子系統中執行互鎖動作，根據觸發命令的不同，分為兩種情況(1)觸發命令為互鎖觸發命令用戶對配置過的仿真設備屬性進行監視，同時對該仿真設備屬性值進行判斷是否滿足互鎖條件。當該設備屬性值達到配置的互鎖區間時，就滿足了互鎖條件，同時觸發了互 鎖觸發命令，將互鎖觸發命令以一種消息傳遞的方式傳遞給相應的仿真設備，以執行相應 的互鎖動作來滿足用戶的配置要求。圖5示出了判斷互鎖條件的流程圖。如圖5所示，首先獲取互鎖條件。當互鎖條件 為單個時，首先需要將配置之後形成的互鎖條件腳本拆分成一個一個的子字符串，提取中 間的判斷關係字符，例如「>」或「<」或「=」等。然後得到上述判斷關係字符相關聯的參 數名稱及參數值，即判斷關係字符前面的設備參數名稱和後面的該參數名稱對應的值。因 為仿真子系統隨時都在監視該仿真設備的參數值，將監視的該參數值與相應的仿真設備配 置的屬性值進行比較。例如將監視的該參數值與配置的參數名稱對應的值比較，如果沒有 滿足互鎖條件，則重新去獲取耦合條件進行判斷，如果滿足了互鎖條件，則結束判斷，執行 下一步的操作。當互鎖條件為多個時，首先執行單個互鎖條件的模式，得到需要判斷的多個參數 值，然後採用正則表達式的模式匹配進行判斷。正則表達式是指一個用來描述或者匹配一 系列符合某個句法規則的字符串的單個字符串。在很多文本編輯器或其他工具裡，正則表 達式通常被用來檢索和/或替換那些符合某個模式的文本內容。一個正則表達式，就是用 某種模式去匹配一類字符串的一個公式。
在本步驟中，採用正則表達式的模式匹配得到並且判斷and，or, xor這3個條件， 從左至右儘量多的精確的去匹配目標字符串，查找「and，or，xor」之間出現的所有單個互鎖 條件，最後將這些需要判斷的參數值該用and的就用and，該用or的就用or，該用xor的就 用xor，將監視的該參數值與仿真設備配置的屬性值進行比較。例如將監視的該參數值與配 置的參數名稱對應的值比較。如果沒有滿足條件，則重新去獲取耦合條件進行判斷，如果滿 足了互鎖判斷條件，則結束判斷，執行下一步的操作。(2)觸發命令為控制命令將該控制命令與配置的命令進行輪詢判斷，如果該控制命令為被配置的命令，則 將該命令傳遞給相應的仿真設備，執行該仿真設備對應的互鎖動作。在仿真子系統中，互鎖條件錯綜複雜，為了滿足仿真實際系統的條件，獲取了準確 的互鎖關係條件是不夠的，如何根據得到的互鎖條件去執行設備的行為動作是個很關鍵的 問題。因此，本發明實施例的內部互鎖管理方法採用消息傳到方式將觸發命令傳遞給相應 的仿真設備。針對每一個仿真設備，都有一個或多個對外通訊接口與控制系統進行通信，這些 通信方式都是有具體的通信協議來支持的，在該系統中，運用這些現成的通信協議來傳遞 觸發互鎖關係的命令。其中，控制系統集成於仿真系統所仿真的實際設備之上。並且仿真 設備庫預留有傳遞上述觸發命令的接口。在配置互鎖判斷條件的時候，在每個互鎖判斷條件下加入一個觸發互鎖關係的互 鎖觸發命令。上述命令實質上只是一個字符，根據這個命令名稱來觸發系統互鎖的行為動 作。當仿真設備滿足了互鎖條件的時候，子系統會根據配置的觸發命令以當前仿真設備使 用的通信協議在內部向仿真設備自身發送該條命令，該條觸發命令其實只包含了命令的名 稱。當仿真設備受到這條命令之後，就如同收到外部控制系統發送的控制命令一樣，去執行 相應的動作行為。
仿真設備接收到觸發命令後，執行相應的互鎖動作。在運行時，當設備滿足了互鎖 條件觸發了互鎖條件命令或者在接收到控制命令時，必須快速的去查找該命令是否在配置 過的命令鍊表中，同時，當命令滿足要求之後，也需要快速的去查找對應的設備以及設備行 為，這樣就需要該子系統必須實時準確的去執行這些操作。在前面的配置過程中，所有的命令與行為配置信息都是有序的存儲成了鍊表的形 式，在運行的過程中，這些鍊表會讀入系統內存中，每一條配置信息都是有序排列的，相當 於每一條配置信息都是有一個序號。因為所有的命令和行為採用字符串的格式來存儲的， 因此本發明實施例的內部互鎖管理方法採用一種字符串快速 查找的方法來實現。在本發明的一個實施例中，上述字符串快速查找的方法採用是ELF Hash Function來實現。下面是一個ELF Hash Function實例
權利要求
一種用於仿真系統的內部互鎖管理方法，其特徵在於，包括如下步驟建立屬性原型庫，所述屬性原型庫包括所述仿真子系統和仿真設備的所有屬性值，其中，所述仿真系統包括多個仿真子系統，所述仿真子系統進一步包括多個仿真設備；根據所述屬性原型庫，配置所述仿真設備之間的互鎖信息；和將所述互鎖信息發送給相應的仿真設備，所述仿真設備根據互鎖信息執行相應的互鎖動作。
2.如權利要求1所述的內部互鎖管理方法，其特徵在於，所述配置所述仿真設備之間 的互鎖信息包括配置所述仿真設備的屬性值，所述仿真設備的屬性值包括所述仿真設備的參數值和狀 態值；配置所述仿真設備之間的互鎖條件和互鎖觸發命令；配置所述仿真設備之間的互鎖動作。
3.如權利要求2所述的內部互鎖管理方法，其特徵在於，所述配置仿真設備之間的互 鎖條件和互鎖觸發命令還包括從所述屬性原型庫中選擇所述仿真子系統的屬性；從所述屬性原型庫中進一步選擇所述仿真子系統中相應的仿真設備的屬性；判斷所述仿真設備是否已經被配置互鎖條件；如果所述仿真設備未配置，則對所述仿真設備配置互鎖條件和所述互鎖條件對應的互 鎖觸發命令；如果所述仿真設備已配置，則向所述仿真設備載入配置的互鎖條件和互鎖觸 發命令；保存所述互鎖條件和互鎖觸發命令。
4.如權利要求2所述的內部互鎖管理方法，其特徵在於，所述互鎖動作由觸發命令觸 發啟動，所述觸發命令的類型包括控制命令和互鎖觸發命令，所述控制命令來自所述仿真 系統所仿真的實際系統。
5.如權利要求4所述的內部互鎖管理方法，其特徵在於，所述配置仿真設備之間的互 鎖動作還包括從所述屬性原型庫中選擇所述仿真子系統的屬性；從所述屬性原型庫中進一步選擇所述仿真子系統中相應的仿真設備的屬性；判斷所述仿真設備是否已經被配置互鎖動作；如果所述仿真設備未配置，則選擇所述觸發命令的類型，根據所述觸發命令的類型配 置相應的互鎖動作；如果仿真設備已配置，則向所述仿真設備載入配置的互鎖動作；保存所述互鎖動作。
6.如權利要求3或5所述的內部互鎖管理方法，其特徵在於，所述仿真設備包括存儲空 間，用於根據配置所述互鎖條件的先後順序，以鍊表的XML文件格式存儲所述互鎖條件、與 所述互鎖條件對應的互鎖觸發命令和與所述互鎖觸發命令對應的互鎖動作。
7.如權利要求5述的內部互鎖管理方法，其特徵在於，所述仿真設備執行相應的互鎖 動作還包括當所述觸發命令的類型為控制命令，且所述控制命令為已配置的命令時，將所述控制 命令發送給相應的仿真設備，所述仿真設備執行與所述控制命令對應的互鎖動作；當所述觸發命令的類型為互鎖觸發命令時，判斷所述仿真設備的屬性值是否滿足互鎖 條件，當滿足互鎖條件時，觸發與所述互鎖條件對應的互鎖觸發命令，並將所述互鎖觸發命 令發送給相應的仿真設備，所述仿真設備執行與所述控制命令對應的互鎖動作。
8.如權利要求7所述的內部互鎖管理方法，其特徵在於，所述判斷仿真設備的屬性值 是否滿足互鎖條件還包括根據配置互鎖信息，獲取互鎖條件；將所述互鎖條件拆分為單個的字符串，提取判斷關係字符；獲取與所述判斷關係字符相關聯的參數名稱及參數值；當所述互鎖條件為單個時，將單個參數值與相應的所述仿真設備配置的屬性值進行比 較，如果所述參數值達到所述仿真設備配置的屬性值的互鎖區間時，則判斷所述仿真設備 的屬性值滿足互鎖條件，否則重新獲取互鎖條件；當所述互鎖條件為多個時，將多個參數值進行正則表達式的模式匹配以得到模式匹 配後的單個參數值，將所述模式匹配後的單個參數值與相應的所述仿真設備配置的屬性值 進行比較，如果所述模式匹配後的單個參數值達到所述仿真設備配置的屬性值的互鎖區間 時，則判斷所述仿真設備的屬性值滿足互鎖條件，否則重新獲取互鎖條件。
9.如權利要求8所述的內部互鎖管理方法，其特徵在於，當所述互鎖條件為多個時，所 述仿真設備採用多線程方式並行執行相應的多個互鎖動作。
10.一種用於仿真系統的內部互鎖管理裝置，其特徵在於，包括屬性原型庫，所述屬性原型庫包括所述仿真子系統和仿真設備的所有屬性值，其中，所 述仿真系統包括多個仿真子系統，所述仿真子系統進一步包括多個仿真設備；配置模塊，用於根據所述屬性原型庫配置所述仿真設備之間的互鎖信息；和執行模塊，用於將來自所述配置模塊的互鎖信息發送給相應的仿真設備。
11.如權利要求10所述的內部互鎖管理裝置，其特徵在於，所述互鎖信息包括所述仿 真設備的屬性值、所述仿真設備之間的互鎖條件和互鎖觸發命令和所述仿真設備之間的互 鎖動作，其中，所述仿真設備的屬性值包括所述仿真設備的參數值和狀態值。
12.如權利要求11所述的內部互鎖管理裝置，其特徵在於，所述配置模塊配置互鎖條 件和互鎖觸發命令包括從所述屬性原型庫中選擇所述仿真子系統的屬性；從所述屬性原型庫中進一步選擇所述仿真子系統中相應的仿真設備的屬性；判斷所述仿真設備是否已經被配置互鎖條件；如果所述仿真設備未配置，則對所述仿真設備配置互鎖條件和所述互鎖條件對應的互 鎖觸發命令；如果所述仿真設備已配置，則向所述仿真設備載入配置的互鎖條件和互鎖觸 發命令；保存所述互鎖條件和互鎖觸發命令。
13.如權利要求11所述的內部互鎖管理裝置，其特徵在於，述互鎖動作由觸發命令觸 發啟動，所述觸發命令的類型包括控制命令和互鎖觸發命令。
14.如權利要求13所述的內部互鎖管理裝置，其特徵在於，所述配置模塊配置互鎖動 作包括從所述屬性原型庫中選擇所述仿真子系統的屬性；從所述屬性原型庫中進一步選擇所述仿真子系統中相應的仿真設備的屬性；判斷所述仿真設備是否已經被配置互鎖動作；如果所述仿真設備未配置，則選擇所述觸發命令的類型，根據所述觸發命令的類型配 置相應的互鎖動作；如果仿真設備已配置，則向所述仿真設備載入配置的互鎖動作；保存所述互鎖動作。
15.如權利要求13所述的內部互鎖管理裝置，其特徵在於，所述執行模塊執行相應的 互鎖動作包括當所述觸發命令的類型為控制命令，且所述控制命令為已配置的命令時，所述執行模 塊將所述控制命令發送給相應的仿真設備；當所述觸發命令的類型為互鎖觸發命令時，所述執行模塊判斷所述仿真設備的屬性值 是否滿足互鎖條件，當滿足互鎖條件時，觸發與所述互鎖條件對應的互鎖觸發命令，並將所 述互鎖觸發命令發送給相應的仿真設備。
16.如權利要求15所述的內部互鎖管理裝置，其特徵在於，所述配置模塊判斷仿真設 備的屬性值是否滿足互鎖條件包括根據配置互鎖信息，獲取互鎖條件；將所述互鎖條件拆分為單個的字符串，提取判斷關係字符；獲取與所述判斷關係字符相關聯的參數名稱及參數值；當所述互鎖條件為單個時，將單個參數值與相應的所述仿真設備配置的屬性值進行比 較，如果所述參數值達到所述仿真設備配置的屬性值的互鎖區間時，則判斷所述仿真設備 的屬性值滿足互鎖條件，否則重新獲取互鎖條件；當所述互鎖條件為多個時，將多個參數值進行正則表達式的模式匹配以得到模式匹 配後的單個參數值，將所述模式匹配後的單個參數值與相應的所述仿真設備配置的屬性值 進行比較，如果所述模式匹配後的單個參數值達到所述仿真設備配置的屬性值的互鎖區間 時，則判斷所述仿真設備的屬性值滿足互鎖條件，否則重新獲取互鎖條件。
17.如權利要求16所述的內部互鎖管理裝置，其特徵在於，所述仿真設備根據控制命 令或互鎖觸發命令執行對應的互鎖動作。
全文摘要
本發明公開了一種用於仿真系統的內部互鎖管理方法，包括如下步驟建立屬性原型庫；根據屬性原型庫，配置所述仿真設備之間的互鎖信息；和將所述互鎖信息發送給相應的仿真設備，所述仿真設備根據互鎖信息執行相應的互鎖動作。本發明還公開了一種於仿真系統的內部互鎖管理裝置，包括屬性原型庫、配置模塊和執行模塊。本發明的用於仿真系統的內部互鎖管理方法及裝置，對仿真系統中仿真設備之間的互鎖關係進行靈活配置，並且依據所配置的互鎖關係，仿真設備仿真運行時完全模擬真實設備間互鎖關係的功能，具有更強的有實時性、適應性強以及更好的仿真效果。
文檔編號G06F9/445GK101968742SQ201010288680
公開日2011年2月9日 申請日期2010年9月21日 優先權日2010年9月21日
發明者徐華, 李搏, 王巍, 高士雲 申請人:清華大學