積層型電子組件的製造方法及製造裝置的製作方法
2023-05-16 21:02:36
專利名稱：積層型電子組件的製造方法及製造裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種積層電容器等的積層型電子組件的製造方法及製造裝置，特別涉及一種在綠色薄膜印刷出規定圖案的導體的工序。
積層電容器等的積層型電子組件是按以下所製造的。此例乃對於積層型電子組件的一例的積層電容器做說明。首先，用刮漿刀法等由陶瓷泥狀研磨劑製作出矩形的陶瓷綠色薄膜。其次，對該陶瓷綠色薄膜，用網版印刷法等，以規定圖案來印刷導電性焊膏。其次，將塗布有導電性焊膏的陶瓷綠色薄膜以及不塗布的陶瓷綠色薄膜，按規定順序來積層、壓固，製作出多層薄膜。其次，將該多層薄膜配置單位零件的形狀加以切斷，製成出未燒成晶片。其次，在該未燒成晶片的端部塗上外部電極用的導電性焊膏，將此加以燒成而得到積層電容器。再者，未燒成晶片和外部電極用的導電性焊膏不是同時燒成的，只先燒成未燒成晶片後，塗上外部電極用的導電性焊膏，其後就可燒接導電性焊膏。
可是，此種製造過程，是先對於陶瓷綠色薄膜的導電性焊膏的印刷工序中，事先準備堆多數層的作為印刷對象的矩形陶瓷綠色薄膜的情形。在此種情形下，通常是對於印刷裝置用手工供給陶瓷綠色薄膜的關係，故製造效率非常差。
另一方面，為了對應於近年小型化、高密度化的趨勢，故相對於陶瓷綠色薄膜的導電性焊膏的印刷精度是很重要的。通常的積層型電子組件的製造，是採用對於一種積層型電子組件，利用多個種圖案印刷出具有導體的陶瓷綠色薄膜。在是，其課題即是在在用多個種圖案，以高精度進行導體的印刷工序。
本發明係為有鑑在上述情形的發明，其目的在在提供一種有效提供積層型電子組件的製造效率的積層型電子組件的製造方法及裝置。
為達成前述目的，本發明第1發明系提案一種對於包括有在規定形狀的綠色薄膜表面印刷出規定圖案的導體的印刷工序、和使得被印刷在綠色薄膜的導體乾燥的乾燥工序的積層型電子組件的製造方法中，其特徵為具備有對於將綠色薄膜吸附保持在吸附面的保持盤來供給綠色薄膜的工序、和將保持有綠色薄膜的保持盤搬送到印刷位置的搬送工序、和對著被保持在被搬送的保持盤的綠色薄膜表面，印刷出規定圖案的導體的前述印刷工序、和將印刷有導體的綠色薄膜，從保持盤取出，且將取出的綠色薄膜供給到搬送裝置的工序、和使得經過搬送裝置在搬送途中被印刷在綠色薄膜的導體乾燥的前述乾燥工序、和將綠色薄膜從搬送裝置取出，且將取出的綠色薄膜搬送到規定的保管場所的工序。
若按本發明，規定形狀的綠色薄膜會先被搬送到保持盤，並被保持在該保持盤。而該保持盤會被搬送到導體的印刷位置，並在此印刷出規定圖案的導體。的後，綠色薄膜會從保持盤被取出，一邊經過搬送裝置搬送一邊乾燥被印刷的導體。最後將綠色薄膜搬送到規定的保管場所。按此對規定形狀的綠色薄膜，依序進行導體的印刷及乾燥、收納，即可提高積層型電子組件的製造效率。
又，本發明第2發明系提案一種在本發明第1發明所述的積層型電子組件的製造方法中，分別將在前述印刷工序所用的印刷裝置，以多個配置在各不同印刷位置的場所，且對於連續所供給的綠色薄膜，根據所定的規定在每次供給綠色薄膜時，從前述多個個印刷裝置選擇一個印刷裝置，並將選擇保持有綠色薄膜的保持盤搬送到印刷裝置方面的印刷位置。
若按本發明，因具備有多個個印刷裝置，故可在各印刷裝置，印刷出不同圖案的導體。藉此，對所供給的綠色薄膜而言，就可依任意的順序得到具有各種印刷圖案的綠色薄膜。
更在本發明第3發明提案一種對於本發明第1發明所述的積層型電子組件的製造方法，其中，各別將在前述印刷工序所用的印刷裝置，以多個配置在不同印刷位置的場所的同時，還對應於各印刷裝置以多個配置在保持盤，並對於連續被供給的綠色薄膜，根據所定的規定在每次供給綠色薄膜時，從前述多個個印刷裝置選擇一個印刷裝置，將綠色薄膜供給到對應於被選擇的印刷裝置的保持盤，並搬送到選擇保持有綠色薄膜的保持盤的印刷裝置方面的印刷位置為其特徵。
若按本發明，即與本發明第2發明所述的發明相同，對於被供給的綠色薄膜而言，可依任意的順序得到具有各種印刷圖案的綠色薄膜。又，具備有多個個保持盤，例如在以一個印刷裝置實施印刷處理的期間，對應於其它的印刷裝置對保持盤實施綠色薄膜供給等，就可達到印刷處理和搬送處理的並列化。藉此，積層型電子組件的製造效率會更為提升。
更在本發明第4發明提案一種對於本發明第2發明或第3發明的任一項所述的積層型電子組件的製造方法，其中，對應於多個的印刷裝置來配置多個個綠色薄膜的保管場所，且向前述綠色薄膜的保管場所的搬送則是對於對應於所搬送的綠色薄膜進行印刷的印刷裝置的保管場所來進行的。
若按本發明，用不同的印刷裝置被印刷的綠色薄膜就會分別被搬送到不同的保管場所。因而不必在後工序中選別綠色薄膜，積層型電子組件的製造效率會更為提升。
更在本發明第5發明提案一種對於本發明第1發明至第4發明的任一項所述的積層型電子組件的製造方法，其中，在前述印刷工序中，根據所定的規定，在每次印刷時，將相對於綠色薄膜的印刷位置，在與印刷面平行的方向呈相對錯開後進行印刷。
若按本發明，因為印刷面是相對性平行移動的被印刷，所以印刷裝置不必改變所印的圖案，即可在綠色薄膜形成多個種導體圖案。又，用同一印刷裝置，對綠色薄膜形成多個種導體圖案，與採用不同印刷裝置印刷的場合比較，其印刷精度誤差少。藉此，即可提升積層型電子組件的製造效率以及達到高精度化。
更在本發明第6發明提案一種對於本發明第5發明所述的積層型電子組件的製造方法，其中，將綠色薄膜的保管場所對應於前述印刷工序方面的印刷位置而配置多個個，而向前述綠色薄膜保管場所的搬送則是對於對應於綠色薄膜進行印刷的印刷位置的保管場所而進行的。
若按本發明，即與本發明第4發明相同，在不同的印刷位置被印刷的綠色薄膜會分別被搬送到不同的保管場所。因而，不必在後工序中選別綠色薄膜，積層型電子組件的製造效率就更為提升。
更在本發明第7發明提案一種對於具備有在規定形狀的綠色薄膜表面印刷出規定圖案的導體的印刷裝置、和使得被印刷在綠色薄膜的導體乾燥的乾燥裝置的積層型電子組件的製造裝置中，其具備有將綠色薄膜吸附保持在吸附面的保持盤、和將綠色薄膜供給到保持盤的綠色薄膜供給裝置、和將保持有綠色薄膜的保持盤從綠色薄膜的供給位置經過前述印刷裝置搬送到印刷位置的保持盤搬送裝置、和在綠色薄膜的搬送途中，將被印刷在綠色薄膜的導體，用前述乾燥裝置乾燥的綠色薄膜搬送裝置、和使得印刷有導體的綠色薄膜從保持盤移動到綠色薄膜搬送裝置的綠色薄膜移動裝置、和從薄膜搬送裝置取出被乾燥處理的綠色薄膜，且將取出的綠色薄膜搬送到規定的保管場所的綠色薄膜取出裝置。
更在本發明第8發明提案一種對於本發明第7發明所述的積層型電子組件的製造裝置，其中，分別將前述印刷裝置以多個配置在不同印刷位置的場所的同時，前述保持盤搬送裝置系對於利用前述綠色薄膜供給裝置所連續供給的綠色薄膜，根據所定的規定在每次供給綠色薄膜時，從前述多個的印刷裝置選擇一個印刷裝置，且搬送到選擇保持有綠色薄膜的保持盤的印刷裝置方面印刷位置。
更在本發明第9發明提案一種對於本發明第7發明所述的積層型電子組件的製造裝置中，分別將前述印刷裝置以多個配置在不同印刷位置的場所的同時，並對應於各印刷裝置以多個配置在前述保持盤，前述保持盤搬送裝置系對於利用前述綠色薄膜供給裝置所連續供給的綠色薄膜，根據所定的規定在每次供給綠色薄膜時，從前述多個的印刷裝置選擇一個印刷裝置，且將綠色薄膜供給到對應於被選擇的印刷裝置的保持盤，並搬送到選擇保持有綠色薄膜的保持盤的印刷裝置方面的印刷位置。
更在本發明第10發明提案一種對於本發明第8發明或第9發明的任一項所述的積層型電子組件的製造裝置中，將綠色薄膜的保管場所對應於多個個印刷裝置而配置多個個，且前述綠色薄膜取出裝置系欲將該綠色薄膜搬送到對應於綠色薄膜進行印刷的印刷裝置的保管場所。
更在本發明第11發明提案一種對於本發明第7發明至第10發明的任一項所述的積層型電子組件的製造裝置中，前述印刷裝置系具備有將相對於綠色薄膜的印刷位置，在與印刷面平行的方向相對式錯開的移動裝置，根據所定的規定在每次印刷利用前述移動裝置錯開印刷位置後加以印刷。
更在本發明第12發明提案一種對於本發明第11發明所述的積層型電子零件的製造裝置中，將綠色薄膜的保管場所對應於前述印刷裝置的印刷位置而配置多個個，前述綠色薄膜取出裝置是將該綠色薄膜搬送到對應於綠色薄膜進行印刷的印刷位置的保管場所。
若按該些發明的積層型電子組件的製造裝置，即可確實的實施前述本發明第1發明至第6發明所述的發明。亦即，有關本發明的積層型電子組件的製造裝置乃為一種製造效率高的裝置。
圖1表示對於有關實施形態1的綠色薄膜的導體進行印刷、乾燥工序的裝置的概略俯視圖。
圖2表示圖1的AA線端視圖。
圖3表示保持盤的外觀立體圖。
圖4表示薄膜搬送機的側視圖。
圖5表示積層電容器的部分剖斷立體圖。
圖6表示欲說明積層體的積層構造的分解立體圖。
圖7表示在網版印刷出所用的第1網版的俯視圖。
圖8表示在網版印刷出所用的第2網版的俯視圖。
圖9表示圖1及圖2所示的裝置的動作說明圖。
圖10表示圖1及圖2所示的裝置的動作說明圖。
圖11表示圖1及圖2所示的裝置的動作說明圖。
圖12表示圖1及圖2所示的裝置的動作說明圖。
圖13表示圖1及圖2所示的裝置的動作說明圖。
圖14表示圖1及圖2所示的裝置的動作說明圖。
圖15表示對於有關實施形態2的綠色薄膜的導體進行印刷、乾燥工序的裝置的概略俯視圖。
圖16表示欲說明對綠色薄膜進行導電性焊膏的印刷圖案的圖。
標號說明1供給臺2第1收容臺3第2收容臺10綠色薄膜20第1保持盤30第2保持盤40第1印刷裝置50第2印刷裝置60搬送皮帶70乾燥裝置80第1薄膜搬送機90第2薄膜搬送機101移開置換位置301第1網版311第2網版400保持盤410印刷裝置實施形態1對於本發明的實施形態1參照圖1及圖2做一說明。圖1系對於綠色薄膜的導體進行印刷、乾燥工序的裝置的概略俯視圖，圖2係為圖1的AA線的端視圖，圖3係為保持盤的外觀立體圖，圖4係為薄膜搬送機的側視圖。
該裝置是用來對於事先堆棧而收容在供給臺1的矩形陶瓷綠色薄膜10，實施印刷、乾燥導電性焊膏的工序。綠色薄膜10是為了搬送時保護等等而被形成在同形的PET薄膜(圖標省略)上。再者，對應於需要也可以不要PET薄膜。又，因為綠色薄膜10可經過例如定厚器漿葉法等與習知同樣的手法來製造，故此例中省略其說明。
在供給臺1的近傍，乃如圖1及圖2所示，配置有將綠色薄膜10吸附保持在上面的2個第1保持盤20及第2保持盤30。該第1保持盤20，乃如圖3所示，具備有，具有被形成在上面的吸附面22的保持部21、和用來支持保持部21的同時使保持部21在X方向、Y方向、θ方向移動的驅動部23、和基臺24。藉此，即可經過驅動部23的驅動一邊平行的維持吸附面22一邊來移動保持部21。
第1保持盤20的吸附面22例如是由陶瓷燒結體，更具體是由具有氧化鋯燒結金屬體等的通氣性的多孔質構件製成的。在保持部21的側面連接一與氣閥(圖示省略)連接的吸氣管25。藉由驅動該氣閥，對形成在保持部21的內側的氣室進行負壓作用，使綠色薄膜10被吸附保持在吸附面22。
第1保持盤20的基臺24系具備有，被設在下部四個角的導軌26、和被設在導軌26的間的螺帽27。在導軌26系插通有左右一對並且互相平行鋪設的軌道31。又，在螺帽27系螺合有與軌道31平行鋪設的螺栓32。在螺栓32的一端系連接有調節器等的驅動裝置33。若經該驅動裝置33使螺栓32旋轉，第1保持盤20就會沿著軌道31而移動。
第2保持盤30系具有與第1保持盤20同樣的構成。又，第2保持盤30系與第1保持盤20隔著規定距離，而與軌道31及螺栓32連接在同軸上。藉此，經過前述驅動裝置33的驅動，第1保持盤20和第2保持盤30就會一邊維持規定間隔一邊沿著軌道31而移動。
如圖1所示，當第2保持盤30位在供給臺1的旁邊(圖中的移開置換位置101)時，在第1保持盤20的上方設有第1印刷裝置40。另一方面，當第1保持盤20位在供給臺1的旁邊(圖中的移開置換位置101)時，在第2保持盤30的上方設有第2印刷裝置50。各印刷裝置40、50系具備有網版、滑動臺、導電性焊膏供給部等。經過印刷裝置40，50在保持盤20，30上的綠色薄膜10的表面，塗布、印刷出規定圖案的導電性焊膏。
在供給臺1和移開置換位置101的延長線上，設置供搬送綠色薄膜10的搬送皮帶60。搬送皮帶60系具備有皮帶61和驅動滾輪62，將驅動滾輪62連續或間歇性的驅動，並將載置在皮帶61上的綠色薄膜10搬送到規定方向。本實施形態乃如圖所示，是在與軌道31垂直的方向進行搬送。
搬送皮帶60的中央附近設置有，將被印刷在綠色薄膜10的導電性焊膏，在經過搬送皮帶60搬送的途中使的乾燥的乾燥裝置70。乾燥裝置70是藉由裝的加熱器等的加熱裝置(圖示省略)來加熱在皮帶61上移動的綠色薄膜。
如圖2所示，在供給臺至搬送皮帶60始端的整個領域的上方，設置第1薄膜搬送機80。第1薄膜搬送機80系吸附保持住堆棧並收容在供給臺1的綠色薄膜10，且將薄膜供給到停止在移開置換位置101的第1保持盤20或者第2保持盤30。又，第1薄膜搬送機80是當第1保持盤20或者第2保持盤30位在移開置換位置101的場合下，來吸附保持住被保持在各保持盤20或者30的印刷後的綠色薄膜10，且將薄膜搬送到搬送皮帶60的搬送始點。
如圖4所示，第1薄膜搬送機80系具備有，滑塊81、和介在支柱82a被設在滑塊81的下面的基板82、和在下面形成多數個吸附孔83a的吸附頭83、和為了使吸附頭83在上下移動的被設在基板82的汽缸84、和供引導吸附頭83上下移動而設的2根導杆85。在滑塊81的上面設有可滑動的嵌合在杆86的導部81a。汽缸84的杆軸84a系被連結在吸附頭83。杆軸86的端部系設有欲令薄膜搬送機80在杆軸86的長邊方向移動的驅動馬達87。
在搬送皮帶60的終端位置的近傍，設置有位在綠色薄膜10的保管場所的第1收容臺2和第2收容臺3。此例中，搬送皮帶60的終端位置、第1收容臺2、第2收容臺3系略並排在一直線上。第1收容臺2系堆棧並收納著在第1印刷裝置40被印刷的綠色薄膜10。又，第2收容臺3系堆棧並收納著在第2印刷裝置50被印刷的綠色薄膜10。
如圖2所示，在搬送皮帶60的終端位置至第2收容臺3的領域的上方設有第2薄膜搬送機90。第2薄膜搬送機90系吸附保持著經過搬送皮帶60被搬送的綠色薄膜10，並將該薄膜搬送到第1收容臺2或第2收容臺3。就第2薄膜搬送機90的構成而言，參照圖4，是與前述的第1薄膜搬送機90相同，可將綠色薄膜保持在吸附頭93，又，第2薄膜搬送機90系經過驅動馬達97的驅動而沿著杆軸96做移動。
此例中，對於本實施形態方面的製造對象的積層電子零件，參照圖5及圖6做一說明。本實施形態中，是以製造出作為積層電子組件的一例的積層電容器。圖5系積層電容器的部分剖斷的立體圖，圖6系欲說明積層體方面的積層構造的分解立體圖。
如圖5所示，積層電容器200系具備有，埋設有以略直方體形狀的誘電體陶瓷所製成的部電極202的積層體201、和被形成在該積層體201的兩端部的外部電極203。積層體201乃如圖6所示，為一種在表面積層多數層形成矩形內部電極202的電介體陶瓷層202的構造。此例中，內部電極202乃在多個個誘電體陶瓷層202方面，交互露出在一方或者另一方的端部，並與被形成在該端部的外部電極203連接。
此種積層電容器200乃如前所述，例如採用網版印刷裝置等，是將形成在部電極202的導電性焊膏，對於一枚綠色薄膜進行一次多份的印刷。此例中，網版印刷裝置是用2種網版。此乃如圖6所示，欲在相鄰的誘電體陶瓷層202用不同的圖案形成內部電極202所必要的。
對於此2種網版，參照圖7及圖8做一說明。圖7係為網版印刷出所用的第1網版的俯視圖，圖8係為網版印刷出所用的第2網版的俯視圖。再者，圖7及圖8係為省略網版的一半所做的記載。又，在圖中，虛線是表示在印刷、積層後切斷綠色薄膜的積層體的位置，為了表示藉由虛線所區隔的區域，故紙面上下方向所示為行方向，紙面左右方向所示為列方向。
第1網版301乃如第7圖所示，具備有網版本體302和支持網版的框體303。在網版本體302形成規定個數(圖為12行×6列＝72個)的積層電容器用的圖案304。此例中，1行的圖案304，就相鄰的行而言，是僅列方向互相錯開1列而配置的。亦即，第奇數行的圖案304分別為同一圖案，第偶數行的圖案304也分別為同一圖案。
第2網版311乃如圖8所示，與第1網版301相同，具備有網版本體312和支持網版的框體313。在網版本體312形成規定個數(圖為12行×6列＝72個)的積層電容器用的圖案314。此例中，第2網版311系在第1網版301的圖案，以1行或1列形成在行方向或者列方向(圖為行方向)。亦即，第2網版311的第奇數行的圖案314系與第1網版301的第偶數行的圖案304相同，第2網版311的第偶數行的圖案314系與第1網版301的第奇數行的圖案304相同。
此種利用第1網版301來印刷導體的綠色薄膜、和利用第2網版311來印刷導體的綠色薄膜加以交互積層，並切斷該薄膜積層體，藉此即如圖6所示，與外部電極的連接部會交互形成在積層體的端部。
其次，將有關本實施形態的網版印刷及乾燥的工序參照圖9至第圖14做一說明。圖9至圖14係為圖1及圖2所示的裝置的動作說明圖。
首先，如圖9所示，將使用第1薄膜搬送機80而堆棧在供給臺1的綠色薄膜10a，供給到停止在移開置換位置101的第1保持盤20。具體是將第1薄膜搬送機80移動到供給臺1的上方。並驅動汽缸84，藉此讓吸附頭83下降到吸附面接近在綠色薄膜10a上面的位置或者近傍。並在吸附面產生負壓作用，而將綠色薄膜10a保持在吸附頭83。其次，吸附頭83上升後，將第1薄膜搬送機80移動到第1保持盤20的上方。接著使吸附頭83下降。其次，解除吸附面的負壓作用。藉此，綠色薄膜10a就會被載置在第1保持盤20上。此例中，第1保持盤20會令吸附面22產生負壓作用，而確實的保持綠色薄膜10a。
其次，如圖10所示，使驅動裝置33驅動，而將第1保持盤20，從移開置換位置101移動到第1印刷裝置40的印刷位置。此時，在驅動裝置33所驅動控制的螺栓32，在同軸結合第1保持盤20和第2保持盤30兩者，第2保持盤30就會與第1保持盤20一起連動，而從第2印刷裝置50的印刷位置移動到移開置換位置101。再者，在此過程中，被保持在第2保持盤30的綠色薄膜10b是經過第2印刷裝置50完成印刷處理。
其次，如圖11所示，就第1印刷裝置40而言，對於被保持在第1保持盤20的綠色薄膜10a，用規定圖案來印刷導電性焊膏。具體而言，是先根據利用定位用的CCD照相機41所拍攝的影像情報，使第1保持盤40的驅動部23驅動，並將保持部21相對於印刷面做平行移動，藉此進行綠色薄膜10a的位置調整。並用前述的第1網版301和滑動臺42，將導電性焊膏塗布、印刷在綠色薄膜10a。
其次，如圖12所示，使驅動裝置33驅動，使第1保持盤20從第1印刷裝置40方面的印刷位置移動到移開置換位置101。此時，在驅動裝置33所驅動控制的螺栓32，在同軸結合第1保持盤20和第2保持盤30兩者，第2保持盤30就會與第1保持盤20一起連動，並從移開置換位置101移動到第2印刷裝置50方面的印刷位置。再者，在此過程中，被保持在第2保持盤30的綠色薄膜10b是種經過第1薄膜搬送機80從供給臺1被供給的綠色薄膜。對此第2保持盤30供給綠色薄膜，是在第1印刷裝置40的印刷處理中被實施的。
其次，如圖13所示，用第1薄膜搬送機80，將被保持在第1保持盤20的綠色薄膜10a，移開置換到搬送皮帶60。被載置在搬送皮帶60的綠色薄膜10a會在經過該搬送皮帶60的搬送途中，通過乾燥裝置70。藉此乾燥被印刷在綠色薄膜10a的導電性焊膏。
經過以上工序，綠色薄膜10a會被保持在第1保持盤20，利用第1印刷裝置40實施印刷處理，並被供給到搬送皮帶60。此例中，在利用第1印刷裝置40的印刷處理時，第2保持盤30是停止在移開置換位置101。在是，將下一個綠色薄膜10b用第1薄膜搬送機80供給到第2保持盤30。而被保持在第2保持盤30的綠色薄膜10b，乃在第2印刷裝置50進行印刷處理。在此第2印刷裝置50使用前述的第2網版311。在此印刷處理實施中，被保持在第1保持盤20的綠色薄膜10a被會移送到搬送皮帶60，進而下一個綠色薄膜10a會被供給到第1保持盤20。在第2印刷裝置50中，被印刷處理的綠色薄膜10b，會接續被移送到搬送皮帶60的綠色薄膜10a，而被移送到搬送皮帶60。
如此，經過第1薄膜搬送機80被依序供給的綠色薄膜，會對於第1保持盤20或第2保持盤30被交互供給。被供給到各保持盤20或30的綠色薄膜10，分別會在對應於的印刷裝置40或50，而用互不相同的網版301或311來印刷導電性焊膏。經過各印刷裝置40或50被印刷的綠色薄膜10a或10b會交互被供給到搬送皮帶60。
另一方面，經過搬送皮帶60被搬送到終端位置的綠色薄膜10a或10b，乃如圖14所示，用第2薄膜搬送機90交互被搬送到第1收容臺2或第2收容臺3。如前所述，在印刷裝置40或50被印刷的綠色薄膜10a或10b會交互被供給到搬送皮帶60。因而，經過第1印刷裝置40被印刷的綠色薄膜10a會被容納到第1收容臺2，經過第2印刷裝置50被印刷的綠色薄膜10b會被容納到第2收容臺3。再者，因為經過第2薄膜搬送機90的具體搬送動作，是與第1薄膜搬送機80相同的，故在此省略說明。
如以上詳述，若按本實施形態，堆棧在供給臺1的綠色薄膜10，會交互被供給到第1保持盤20或第2保持盤30，分別在對應的印刷裝置40或50來實施印刷處理。並且在各印刷裝置40或50施行印刷處理的綠色薄膜10，會在經過一個搬送皮帶60的搬送中，利用乾燥裝置70被乾燥。而且印刷、乾燥後的綠色薄膜10會被收容到對應於對於該綠色薄膜10進行印刷處理的印刷裝置40或50的收容臺2或3。按此，對於規定形狀的綠色薄膜10的導體依序進行印刷、乾燥、容納處理，就會提升積層電容器等的積層型電子組件的製造效率。
特別是本實施形態，是用分別具有不同圖案的網版的2個印刷裝置40或50，就能同時製造出形成有不同導體圖案的綠色薄膜10a或10b。此就積層型電子組件的組成而言，有利在提升均質化。又，形成不同導體圖案的綠色薄膜10a或10b，分別會被收容在不同的收容臺2或3，不必在後工序進行綠色薄膜的選別，製造效率就更為提升。
進而，本實施形態系對應於各印刷裝置40或50，而分別具備有保持盤20或者30，對於各保持盤20或30交互的供給綠色薄膜10，經過各印刷裝置40或50的印刷處理、和對於保持盤20或30的綠色薄膜10的供給或取出的處理就可並列同時進行。藉此，製造效率會更為提升。
再者，本實施形態系將綠色薄膜10對於第1保持盤20或第2保持盤30而交互的供給，但本發明並不限在此。亦即，可以根據任意的規定來決定先供給的保持盤。再者，在此場合下，經過第2薄膜搬送機90的綠色薄膜10的收容工序也可對應於供給時的規定。
又，本實施形態是分別用2個保持盤及對應於保持盤的印刷裝置，但本發明並不限在此。亦即，對應於製造對象的積層型電子組件，可使用3臺以上的印刷裝置。
實施形態2對於本發明的實施形態2參照圖15做一說明。圖15係為對於綠色薄膜的導體進行印刷、乾燥工序的裝置的概略俯視圖。在圖中，在與實施形態1相同的構成會附上同一符號。
此裝置系種對於事先堆棧並收容在供給臺1的矩形陶瓷綠色薄膜10，來實施印刷、乾燥導電性焊膏的工序。在供給臺1的近傍，如圖15所示，配置有將綠色薄膜10吸附保持在上面的保持盤400。此保持盤400系利用驅動裝置33的驅動使螺栓32旋轉，藉此即可沿著軌道31而移動。此保持盤400系可移動的設在圖中的移開置換位置101至印刷裝置410的印刷位置。再者，就保持盤400的具體構成而言，是與有關實施形態1的第1保持盤20及第2保持盤30相同。
在供給臺1與移開置換位置101的延長線上，設置一用來搬送綠色薄膜10的搬送皮帶60。搬送皮帶60系具備有皮帶和驅動滾輪(圖示均予省略)，使驅動滾輪連續或間歇性的驅動，並在規定方向搬送被載置在皮帶上的綠色薄膜10。本實施形態乃如圖所示，是在與軌道31垂直的方向進行搬送。
在搬送皮帶60的中央附近設置有使得在搬送途中被印刷在綠色薄膜1 0的導電性焊膏，在經過搬送皮帶60的搬送途中被乾燥的乾燥裝置70。乾燥裝置70系利用內裝的加熱器等的加熱裝置(圖示省略)，來加熱在皮帶61上移動的綠色薄膜。
在供給臺1至搬送皮帶60的始端的領域的上方設有第1薄膜搬送機(圖示省略)。第1薄膜搬送機是吸附保持堆棧收容在供給臺1的綠色薄膜10，且將的供給到在移開置換位置101的保持盤400。又，第1薄膜搬送機80是當保持盤400在移開置換位置101的場合下，來吸附保持被保持在該保持盤400的印刷後的綠色薄膜10，且將此搬送到搬送皮帶60的搬送始點。再者，就第1薄膜搬送機的構成而言，是與實施形態1相同，故省略其說明。
在搬送皮帶60的終端位置近傍設置有位在綠色薄膜10的保管場所的第1收容臺2和第2收容臺3。此例中，搬送皮帶60的終端位置、第1收容臺2、第2收容臺3系並排在略一直線上。第1收容臺2及第2收容臺3是用來堆棧收納著在各個印刷裝置410被印刷的綠色薄膜10。
在搬送皮帶60的終端位置至第2收容臺3的領域的上方，設有第2薄膜搬送機(圖示省略)。第2薄膜搬送機系吸附保持著利用搬送皮帶60被搬送的綠色薄膜10，且將此搬送到第1收容臺1或第2收容臺3。就第2薄膜搬送機90的構成而言，是與實施形態1相同，故省略其說明。
其次，參照圖16來說明有關本實施形態的網版印刷及乾燥的工序。圖16係為欲說明對綠色薄膜印刷導電性焊膏的印刷圖案的圖。
首先，用第1薄膜搬送機將綠色薄膜10供給到停止在移開置換位置101的保持盤400。其次，使保持盤400移動到印刷裝置410的印刷位置。
其次，用印刷裝置41對著被保持在保持盤400的綠色薄膜10來實施導電性焊膏的印刷。此時，每實施印刷，就令保持盤400的保持部(圖示省略)相對於印刷面而在平行的方向移動。藉此，被印刷在綠色薄膜10的導電性焊膏的圖案每次印刷就不同。亦即，對於綠色薄膜10在多個的位置實施印刷。本實施形態是用前述的第1網版301，在分別形成如圖16(a)及16(b)所示的導電性焊膏11般，對於依序供給的綠色薄膜10將保持盤400的保持部，在每次印刷時交互移動。圖16(b)系對於圖16(a)的印刷位置，在紙面上方向，使得只等在一個單位零件的寬度的距離來移動保持盤400，並進行印刷。藉此，積層同圖16(a)與16(b)，且沿著同圖的虛線切斷成單位零件形狀，就可構成積層不同單位零件的積層體圖案的內部電極。
其次，使驅動裝置33驅動，並使保持盤400從印刷裝置410的印刷位置移動到移開置換位置101。其次，用第1薄膜搬送機將被保持在保持盤400的印刷完的綠色薄膜，移開置換到搬送盤60。被載置在搬送盤60的綠色薄膜10會在搬送途中通過乾燥裝置70。藉此，即可乾燥被印刷在綠色薄膜10的導電性焊膏。
其次，經過搬送皮帶60被搬送到終端位置的綠色薄膜10，會用第2薄膜搬送機被交互搬送到第1收容臺2或第2收容臺3。
如前所述，在印刷裝置410在兩個印刷位置被印刷的綠色薄膜10會被交互供給到搬送皮帶60。因而圖16(a)所示的綠色薄膜10會被收納在第1收容臺2，同圖16(b)所示的綠色薄膜10會被收納在第2收容臺3。
如以上詳述，若按本實施形態，被堆棧在供給臺1的綠色薄膜10會被供給到保持盤400，每次在印刷裝置410印刷時，會交互改變印刷位置而被印刷。而在印刷裝置410施行印刷處理的綠色薄膜10，會經過搬送皮帶60在搬送中被乾燥裝置70乾燥。而綠色薄膜10就會被收容在對應於對於該綠色薄膜10進行印刷處理的印刷位置的收容臺2或3。因為按此對於規定形狀的綠色薄膜10的導體依序進行印刷、乾燥、收納處理，積層電容器等的積層型電子組件的製造效率就會提升。
特別是本實施形態是對於依序供給的綠色薄膜用一個網版來印刷多個圖案的導電性焊膏，就可減輕因使用不同網版所產生的印刷精度誤差。
藉此可提升積層型電子組件的製造效率及達到高精度化。又，綠色薄膜會分別被收容在對應於印刷導電性焊膏圖案的收容臺2或3，而不必在後工序進行綠色薄膜的選別，製造效率就更為提升。
再者，本實施形態是在印刷裝置410印刷時，將保持盤400的保持部在每次印刷時錯開在多個的位置後進行印刷，但本發明並不限在此。只要是可將印刷裝置和綠色薄膜的印刷面做相對式移動，依然固定保持盤400使印刷裝置410移動即可。更在本實施形態，在兩個印刷位置進行印刷，藉此即可對於綠色薄膜10，以圖16(a)、16(b)所示的圖案，來塗布導電性焊膏11，但也可在3個以上的印刷位置來印刷。
甚至在本實施形態中，錯開保持盤400的方向是相對於被形成在綠色薄膜10的導體圖案而採用積層型電子零件的寬度方向，但本發明並不限在此。也能令綠色薄膜10與積層型電子零件的長度方向平行的方式呈相對式的錯開。
如以上詳述，若按本發明對於規定形狀的綠色薄膜，依序進行導體的印刷及乾燥、收納，就可提升積層型電子組件的製造效率。
權利要求
1.一種積層型電子組件的製造方法，包括在規定形狀的綠色薄膜表面印刷出規定圖案的導體的印刷工序、和乾燥被印刷在綠色薄膜的導體的乾燥工序，其特徵在於，對於將綠色薄膜吸附保持在吸附面的保持盤，供給綠色薄膜的工序，將保持綠色薄膜的保持盤搬送到印刷位置的工序，對被保持在被搬送的保持盤的綠色薄膜表面，印刷出規定圖案的導體的所述印刷工序，從保持盤取出印刷有導體的綠色薄膜，並將所取出的綠色薄膜供給到搬送裝置的工序，在由搬送裝置的搬送途中，使得被印刷在綠色薄膜的導體乾燥的所述乾燥工序，和從搬送裝置取出綠色薄膜，並將所取出的綠色薄膜搬送到規定的保管場所的工序。
2.如權利要求1所述的積層型電子組件的製造方法，其特徵在於，將在所述印刷工序所用的印刷裝置，分別多個配置在印刷位置的場所，對於連續供給的綠色薄膜，根據所定的規定在每次供給綠色薄膜時，從所述多個印刷裝置選擇一個印刷裝置，並搬送到選擇保持有綠色薄膜的保持盤的印刷裝置的印刷位置。
3.如權利要求1所述的積層型電子組件的製造方法，其特徵在於，分別將在所述印刷工序所用的印刷裝置，多個配置在不同印刷位置的場所，同時還對應於各印刷裝置多個配置保持盤，對連續供給的綠色薄膜，根據所定的規定在供給每個綠色薄膜時，從所述多個印刷裝置選擇一個印刷裝置，對應於所選擇的印刷裝置，對保持盤供給綠色薄膜，並搬送到選擇保持綠色薄膜的保持盤的印刷裝置的印刷位置。
4.如權利要求2或3所述的積層型電子組件的製造方法，其特徵在於，對應於多個的印刷裝置，配置多個綠色薄膜的保管場所，向所述綠色薄膜的保管場所的搬送，則是對於對應於所搬送的綠色薄膜進行印刷的印刷裝置的保管場所來進行。
5.如權利要求1至4任一項所述的積層型電子組件的製造方法，其特徵在於，在所述印刷工序中，根據所定的規定在每次印刷時，相對於綠色薄膜的印刷位置，在與印刷面平行的方向相對錯開後進行印刷。
6.如權利要求5所述的積層型電子組件的製造方法，其特徵在於，對應於所述印刷工序的印刷位置，多個配置綠色薄膜的保管場所，對應於進行搬送的綠色薄膜的印刷的印刷位置的保管場所，進行向所述綠色薄膜的保管場所的搬送。
7.一種積層型電子組件的製造裝置，包括在規定形狀的綠色薄膜表面上印刷規定圖案的導體的印刷裝置、和使得被印刷在綠色薄膜的導體乾燥的乾燥裝置，其特徵在於，將綠色薄膜吸附保持在吸附面的保持盤，將綠色薄膜供給到保持盤的綠色薄膜供給裝置，將保持有綠色薄膜的保持盤，從綠色薄膜的供給位置，經過所述印刷裝置搬送到印刷位置的保持盤搬送裝置，在綠色薄膜的搬送途中，將被印刷到綠色薄膜的導體，用所述乾燥裝置乾燥的綠色薄膜搬送裝置，使得印刷有導體的綠色薄膜，從保持盤移動到綠色薄膜搬送裝置的綠色薄膜移動裝置，和從薄膜搬送裝置取出被乾燥處理的綠色薄膜，並將取出的綠色薄膜搬送到規定的保管場所的綠色薄膜取出裝置。
8.如權利要求7所述的積層型電子組件的製造裝置，其特徵在於，分別將所述印刷裝置，多個配置在不同印刷位置的場所，同時所述保持盤搬送裝置，對於在經過所述綠色薄膜供給裝置連續供給的綠色薄膜，根據所定的規定將每個供給的綠色薄膜，從所述多個印刷裝置選擇一個印刷裝置，搬送到選擇保持有綠色薄膜的保持盤的印刷裝置的印刷位置。
9.如權利要求7所述的積層型電子組件的製造裝置，其特徵在於，分別將所述印刷裝置多個配置在不同印刷位置的場所，同時對應於各印刷裝置多個配置所述保持盤，所述保持盤搬送裝置，對於所述綠色薄膜供給裝置連續供給的綠色薄膜，根據所定的規定在每次供給綠色薄膜時，從所述多個印刷裝置選擇一個印刷裝置，將綠色薄膜供給到對應於被選擇的印刷裝置的保持盤，並搬送到選擇保持有綠色薄膜的保持盤的印刷裝置的印刷位置。
10.如權利要求8或9所述的積層型電子組件的製造裝置，其特徵在於，對應於多個印刷裝置，多個配置綠色薄膜的保管場所，所述綠色薄膜取出裝置，將綠色薄膜搬送到對應於綠色薄膜進行印刷的印刷裝置的保管場所。
11.如權利要求7至10任一項所述的積層型電子組件的製造裝置，其特徵在於，所述印刷裝置，包括使對於綠色薄膜的印刷位置在與印刷面平行的方向相對錯開的移動裝置，並根據所定的規定對每次印刷利用所述移動裝置，錯開印刷位置後進行印刷。
12.如權利要求11所述的積層型電子組件的製造裝置，其特徵在於，對應於所述印刷裝置的印刷位置，多個配置綠色薄膜的保管場所，所述綠色薄膜取出裝置，將綠色薄膜搬送到對應於綠色薄膜進行印刷的印刷位置的保管場所。
全文摘要
本發明揭示一種積層型電子組件的製造方法及製造裝置,從供給臺1交互的對第1保持盤20或者第2保持盤30供給綠色薄膜10,被保持在第1保持盤的綠色薄膜10是用第1印刷裝置40印刷導電性焊膏,保持在第2保持盤的綠色薄膜10是用第2印刷裝置50來印刷不同在前述第1印刷裝置40的圖案的導電性焊膏。用各印刷裝置被印刷處理的綠色薄膜10是交互的經過搬送皮帶60被搬送,並經乾燥裝置70乾燥後,對應於印刷裝置被收容在收容臺2或3。本發明的積層型電子組件的製造方法及裝置可有效提升積層型電子組件的製造效率。
文檔編號H01G4/33GK1335631SQ0111697
公開日2002年2月13日 申請日期2001年5月16日 優先權日2000年5月16日
發明者關口義二, 安藤功一, 小泉勝男 申請人:太陽誘電株式會社